Ltcc濾波器測試板以及測試夾具的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及電子器件測試技術領域，特別是涉及一種LTCC濾波器測試板以及測試夾具。
【背景技術】
[0002]LTCC(Low Temperature Co-fired Ceramic，低溫共燒陶瓷)濾波器是一種適用于微波頻段的選頻器件，廣泛應用于微波通信、雷達導航、衛(wèi)星通訊以及汽車電子等領域。近年來，隨著整機系統(tǒng)高度集成化、小型化的發(fā)展需求，LTCC濾波器以其體積小、微波頻段電性一致性好、可靠性高等優(yōu)點而獲得廣泛的應用。LTCC濾波器是采用低溫共燒技術制備的獨石結構電子元件(使用頻段覆蓋DC—40GHz)，其常見端電極個數分別有4、6、8、10等，包括三種類型端電極:輸入端、輸出端和接地端，端電極的寬度最小達0.5_，從而使得測試難度大。
[0003]傳統(tǒng)的DC-6GHZ頻段的產品測試，使用的測試夾具存在較大的測試誤差，尤其是測試頻段在IGHz以上頻段的產品測試誤差更大。

【發(fā)明內容】

[0004]基于此，有必要提供一種測試誤差小且測試頻率范圍較大的LTCC濾波器測試板。
[0005]還提供一種LTCC濾波器測試夾具。
[0006]—種LTCC濾波器測試板，包括基板，所述基板包括第一面和與所述第一面相對的第二面;所述測試板還包括第一接地層、第二接地層、第三接地層以及信號傳輸層;所述第一接地層設置于所述基板的第一面上;所述第二接地層、所述第三接地層以及所述信號傳輸層相互絕緣設置于所述第二面上;所述信號傳輸層設置于所述第二面的中間位置;所述第二接地層和所述第三接地層分別設置于所述信號傳輸層兩側，形成共面波導結構;所述第二接地層、所述第三接地層以及所述基板上還設置有接地層連接孔;所述第二接地層、所述第三接地層分別通過所述接地層連接孔與所述第一接地層電連接;所述第二接地層和所述第三接地層兩端均分別設置有負輸入端、負輸出端;所述信號傳輸層的兩端分別設置有信號輸入端和信號輸出端;所述信號輸入端的一端、所述負輸入端用于與第一同軸連接器連接;所述信號輸入端的另一端向所述信號輸出端延伸;所述信號輸出端的一端、所述負輸出端用于與第二同軸連接器連接;所述信號輸出端的另一端向所述信號輸入端延伸;所述信號傳輸層上位于所述信號輸入端和信號輸出端的中間位置處設置有焊盤;所述焊盤用于與待測試的LTCC濾波器電連接。
[0007]在其中一個實施例中，所述焊盤上還設置有垂直導電結構；所述垂直導電結構用于確保所述焊盤的垂直方向上呈導電狀態(tài)，而水平方向上呈絕緣狀態(tài)。
[0008]在其中一個實施例中，所述垂直導電結構為垂直導電膠。
[0009]在其中一個實施例中，所述第一接地層、所述第二接地層、所述第三接地層以及所述信號傳輸層均為銅層;所述第二接地層和所述第三接地層上未設置負輸入端、負輸出端的區(qū)域均涂覆有絕緣層;所述信號傳輸層上未設置焊盤、信號輸入端和信號輸出端的區(qū)域均涂覆有絕緣層。
[0010]—種LTCC濾波器測試夾具，包括底座以及設置于所述底座上的測試支架;所述測試支架上設置有測試壓針和測試升降裝置;所述測試夾具還包括接地裝置、如前述任一實施例所述的測試板以及所述第一同軸連接器和所述第二同軸連接器;所述測試板的第一接地層與所述接地裝置電連接且可拆卸連接;所述第一同軸連接器和所述第二同軸連接器分別用于與射頻矢量網絡分析儀連接;所述測試升降裝置用于控制所述測試壓針上下運動，從而實現待測LTCC濾波器與測試板之間的導通控制。
[0011]在其中一個實施例中，所述第一同軸連接器和所述第二同軸連接器均為SMA接頭。
[0012]在其中一個實施例中，還包括測試校準板;所述測試校準板的結構除不設置用于與待測LTCC濾波器連接的焊盤之外與測試板相同；所述測試校準板用于校準測試板的測試值。
[0013]在其中一個實施例中，所述接地裝置為接地銅塊，所述接地銅塊上設置螺釘連接孔;所述接地銅塊通過螺釘連接孔分別與底座以及所述測試板連接。
[0014]在其中一個實施例中，所述接地銅塊上與所述測試板連接的一側設置為階梯結構。
[0015]在其中一個實施例中，還包括設置于所述測試板第二面上的測試蓋板;所述測試蓋板為“工”字形結構;所述測試蓋板的中間位置設置有固定槽，以定位待測LTCC濾波器。
[0016]上述LTCC濾波器測試板以及測試夾具，測試板中的第一接地層、第二接地層以及第三接地層通過接地層連接孔連接為一個整體，統(tǒng)一引出到接地端，從而實現測試誤差的最小化。并且，測試板中的基板、設置于基板第二面的第二接地層、第三接地層以及信號傳輸層形成共面波導結構，使得測試板能夠適用于更高的測試頻率，且測試損耗較小，穩(wěn)定性更好。
【附圖說明】
[0017]圖1為一實施例中的LTCC濾波器測試板的結構簡圖；
[0018]圖2為圖1中的LTCC濾波器測試板的頂部平面示意圖；
[0019]圖3為用于對圖1中的測試板進行校準的測試校準板的頂部平面示意圖；
[0020]圖4為一實施例中的LTCC濾波器測試夾具的主視圖；
[0021]圖5為圖4中的測試夾具的側視圖；
[0022]圖6為圖4中的底座的結構不意圖；
[0023]圖7為圖4中的底座在另一視角下的結構不意圖；
[0024]圖8為圖4中的測試蓋板的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0025]為了使本發(fā)明的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0026]—種LTCC濾波器測試板，用于LTCC濾波器測試過程中，以實現LTCC濾波器S參數的測試功能。S參數也稱散射參數，包括直通S參數和反射S參數。直通S參數包括反向傳輸系數S12和正向傳輸系數S21。直通S參數用于反映設備的插入損耗。反射S參數包括輸入反射系統(tǒng)Sll和輸出反射系數S22，用于表征設備的回波損耗。圖1為一實施例中的LTCC濾波器測試板(以下簡稱測試板)的結構簡圖，圖2則為圖1中的測試板的頂部平面的示意圖。參見圖1和圖2，該測試板為采用高頻陶瓷材料通過覆銅工藝制作的PCB板，其包括基板110、第一接地層120、第二接地層132、第三接地層134以及信號傳輸層140。其中，第二接地層132、第三接地層134均作為接地電極，信號傳輸層140則作為信號輸入/輸出電極。
[0027]在本實施例中，基板110為長方體，且為絕緣介質層。基板110的材質為高頻陶瓷材料，測試頻率可以在6GHz以上?；?10的材質可以根據測試頻率進行設定。對于測試頻率6GHz以下測試板，基板110采用FR4板材即可。如果測試頻率大于6GHz，則一般要選用高頻陶瓷材料作為基板材料?；?10包括第一面(即基板110的下表面)和與第一面相對的第二面(即基板110的上表面)。
[0028]第一接地層120覆蓋整個基板110的下表面。第二接地層132、第三接地層134以及信號傳輸層140則設置于基板110的上表面。在本實施例中，基板110、第一接地層120、第二接地層132以及第三接地層134上均設置有多個接地層連接孔136。第二接地層132和第三接地層134分別通過接地層連接孔136與第一接地層120連接，形成一個整體后引出到接地端，從而實現測試誤差的最小化。在本實施例中，第一接地層120、第二接地層132和第三接地層134上還設置有用于與測試夾具上的接地裝置連接的接地連接孔138，