一種晶圓固定夾具的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明提供了一種晶圓固定夾具，該晶圓固定夾具包括固定托盤(pán)和設(shè)置于所述固定托盤(pán)上的至少兩個(gè)卡具；所述固定托盤(pán)內(nèi)部設(shè)置有防止絕緣測(cè)試液體溢出或?yàn)R出的第一凹槽和承載晶圓以及所述絕緣測(cè)試液體的第二凹槽，所述第一凹槽的底面與所述第二凹槽的上表面重合，以及所述第一凹槽與所述第二凹槽的軸線重合；所述至少兩個(gè)卡具包括固定卡具和可調(diào)節(jié)卡具，用于將所述晶圓限定在所述第二凹槽內(nèi)，所述可調(diào)節(jié)卡具與套置有彈簧的操控桿固定連接，用于固定或釋放所述晶圓。本發(fā)明提供的晶圓固定夾具，適用于在生產(chǎn)線中，配合自動(dòng)高壓測(cè)試系統(tǒng)對(duì)晶圓耐壓性能進(jìn)行測(cè)試，可以達(dá)到簡(jiǎn)化晶圓級(jí)高壓器件的評(píng)估操作，降低評(píng)估成本，并提高評(píng)估效率的目的。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種晶圓固定夾具
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明實(shí)施例涉及半導(dǎo)體器件制造技術(shù)，尤其涉及一種晶圓固定夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著功率器件制造技術(shù)的不斷發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)于功率器件的需求也越來(lái)越大，同時(shí)對(duì)功率器件的耐壓等級(jí)要求也越來(lái)越高。
[0003]目前，在功率器件制造過(guò)程中，通常會(huì)對(duì)晶圓進(jìn)行高壓測(cè)試評(píng)估，以確保晶圓的耐壓性能。但是，若將晶圓直接裸露于空氣環(huán)境中，且當(dāng)施加電壓大于500V時(shí)，由于空氣電弧放電，容易損壞器件。為了避免因晶圓在空氣中進(jìn)行測(cè)試評(píng)估造成器件損壞的不良現(xiàn)象產(chǎn)生，目前，一種方法是，采用有專(zhuān)用真空腔體探針臺(tái)或填充有惰性氣體腔體探針臺(tái)來(lái)對(duì)晶圓的耐壓性進(jìn)行評(píng)估，但此種設(shè)備比較昂貴，且操作過(guò)程繁瑣；另一種方法是，由工作人員采用非自動(dòng)探針臺(tái)對(duì)晶圓的耐壓性能進(jìn)行評(píng)估，但這種評(píng)估方法的評(píng)估效率低下，不適合生產(chǎn)線作業(yè)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明提供一種晶圓固定夾具，可適用于在生產(chǎn)線上配合自動(dòng)高壓測(cè)試系統(tǒng)對(duì)晶圓耐壓性能進(jìn)行測(cè)試，以實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)化晶圓級(jí)高壓器件的評(píng)估操作，降低評(píng)估成本，并同時(shí)提高評(píng)估效率的目的。
[0005]本發(fā)明實(shí)施例提供了一種晶圓固定夾具，該晶圓固定夾具包括固定托盤(pán)和設(shè)置于所述固定托盤(pán)上的至少兩個(gè)卡具；
[0006]所述固定托盤(pán)內(nèi)部設(shè)置有防止絕緣測(cè)試液體溢出或?yàn)R出的第一凹槽和承載晶圓以及所述絕緣測(cè)試液體的第二凹槽，所述第一凹槽的底面與所述第二凹槽的上表面重合，以及所述第一凹槽與所述第二凹槽的軸線重合；
[0007]所述至少兩個(gè)卡具包括固定卡具和可調(diào)節(jié)卡具，用于將所述晶圓限定在所述第二凹槽內(nèi)，其中，所述可調(diào)節(jié)卡具與套置有彈簧的操控桿固定連接，用于固定或釋放所述晶圓。
[0008]進(jìn)一步地，所述第二凹槽的深度大于或等于所述晶圓的厚度。
[0009]進(jìn)一步地，所述第一凹槽底面靠近所述第二凹槽處設(shè)置有傾斜平面，所述傾斜平面的第一端與所述第一凹槽的底面相連接，所述傾斜平面的第二端與所述第二凹槽底面相連接。
[0010]進(jìn)一步地，所述至少兩個(gè)卡具對(duì)稱(chēng)設(shè)置于所述固定托盤(pán)上。
[0011]進(jìn)一步地，所述固定卡具包括連接部件和第一固定件；
[0012]所述連接部件第一端與所述第一凹槽的底面或第二凹槽的側(cè)面固定，所述連接部件的第二端與所述第一固定件相連接，所述第一固定件用于將所述晶圓限定在所述第二凹槽內(nèi)。
[0013]進(jìn)一步地，所述可調(diào)節(jié)卡具包括滑槽和第二固定件；
[0014]所述滑槽設(shè)置于所述第一凹槽的底面，并且從所述第一凹槽的側(cè)壁延伸至所述第二凹槽的側(cè)壁；
[0015]所述第二固定件與第一凹槽接觸的一側(cè)內(nèi)嵌于所述滑槽內(nèi)，并且通過(guò)沿所述滑槽方向滑動(dòng)固定或釋放所述晶圓；
[0016]所述第一凹槽的側(cè)壁上設(shè)置有貫穿所述第一凹槽的孔洞；
[0017]所述操控桿的第一端穿過(guò)所述孔洞并且露置于所述第一凹槽外側(cè)，所述操控桿的第一端上設(shè)置有凸起，用于阻擋所述操控桿從所述孔洞滑落，并且所述操控桿的第二端與所述第二固定件固定連接；
[0018]所述彈簧處于壓縮狀態(tài)，并且套置于所述操控桿上，所述彈簧的第一端與所述第二固定件相抵觸，所述彈簧的第二端與所述第一凹槽的內(nèi)側(cè)壁相抵觸。
[0019]進(jìn)一步地，所述第二固定件的底部?jī)蓚?cè)設(shè)置有限位凸起，所述第一凹槽的底面的對(duì)應(yīng)位置設(shè)置有限位板，以將所述第二固定件限定在所述滑槽內(nèi)滑動(dòng)。
[0020]進(jìn)一步地，所述限位板通過(guò)螺絲設(shè)置在所述第一凹槽的底面上，或者，所述限位板與所述第一凹槽的底面為一體結(jié)構(gòu)。
[0021]進(jìn)一步地，所述第二固定件與所述晶圓接觸的面為平面或者曲面。
[0022]進(jìn)一步地，所述操控桿上還設(shè)置有控制件；
[0023]所述控制件，用于限制所述操控桿伸入到所述第一凹槽內(nèi)部的距離。
[0024]進(jìn)一步地，所述控制件為螺母，所述螺母固定在所述第一凹槽外壁上；
[0025]所述操控桿上設(shè)置有與所述螺母對(duì)應(yīng)的螺紋；
[0026]所述螺母套置于所述操控桿的第一端上。
[0027]本發(fā)明實(shí)施例所提供的晶圓固定夾具，可以通過(guò)真空系統(tǒng)固定于探針臺(tái)系統(tǒng)，并配合自動(dòng)高壓測(cè)試系統(tǒng)對(duì)晶圓耐壓性能評(píng)估，以實(shí)現(xiàn)提高測(cè)試效率的目的。此外，利用本發(fā)明所提供的晶圓固定夾具可以有效簡(jiǎn)化晶圓級(jí)高壓器件的評(píng)估操作，降低評(píng)估成本。
【附圖說(shuō)明】
[0028]圖1a為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種晶圓固定夾具的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0029]圖1b為圖1a中晶圓固定夾具沿A1-A2的剖面圖；
[0030]圖2a為本發(fā)明實(shí)施例中提供的一種固定卡具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖2b為本發(fā)明實(shí)施例中提供的另一種固定卡具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖2c為本發(fā)明實(shí)施例中提供的又一種固定卡具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0033]圖2d為本發(fā)明實(shí)施例中提供的又一種固定卡具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0034]圖3為圖1a中晶圓固定夾具沿B1-B2的一種剖面圖；
[0035]圖4a為本發(fā)明實(shí)施例中所提供的一種第二固定件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0036]圖4b為圖1a中晶圓固定夾具沿C1-C2的一種剖面圖；
[0037]圖4c為圖1a中晶圓固定夾具沿C1-C2的另一種剖面圖；
[0038]圖5為圖1a中晶圓固定夾具沿B1-B2的另一種剖面圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明?？梢岳斫獾氖?，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用于解釋本發(fā)明，而非對(duì)本發(fā)明的限定。另外還需要說(shuō)明的是，為了便于描述，附圖中僅示出了與本發(fā)明相關(guān)的部分而非全部結(jié)構(gòu)。
[0040 ]圖1 a為本發(fā)明實(shí)施例一提供的一種晶圓固定夾具的結(jié)構(gòu)示意圖。該晶圓固定夾具包括固定托盤(pán)I和設(shè)置于固定托盤(pán)I上的至少兩個(gè)卡具2;固定托盤(pán)I內(nèi)部設(shè)置有防止絕緣測(cè)試液體溢出或?yàn)R出的第一凹槽11和承載晶圓以及絕緣測(cè)試液體的第二凹槽12，第一凹槽11的底面112與第二凹槽12的上表面重合，以及第一凹槽11與第二凹槽12的軸線重合;至少兩個(gè)卡具2包括固定卡具201和可調(diào)節(jié)卡具202，用于將晶圓限定在第二凹槽12內(nèi)，其中，可調(diào)節(jié)卡具202與套置有彈簧26的操控桿25固定連接，用于固定或釋放所述晶圓。
[0041]需要說(shuō)明的是，本技術(shù)方案所提供的晶圓固定夾具的使用方法為在需要對(duì)晶圓耐壓性能進(jìn)行評(píng)估時(shí)，首先，將待測(cè)晶圓放入到第二凹槽12內(nèi)，再利用卡具2將晶圓進(jìn)行固定；其次，在將晶圓固定后向該固定托盤(pán)I內(nèi)注入絕緣測(cè)試液體，使得所注入的絕緣測(cè)試液體覆蓋待測(cè)晶圓；最后，令承載有待測(cè)晶圓和絕緣測(cè)試液體的固定托盤(pán)I通過(guò)真空系統(tǒng)固定于探針臺(tái)系統(tǒng)上，并配合自動(dòng)高壓測(cè)試系統(tǒng)對(duì)晶圓耐壓性能進(jìn)行評(píng)估。
[0042]從上述使用方法可以看出，在本實(shí)施所提供的晶圓固定夾具中，設(shè)置第一凹槽11的目的是防止絕緣測(cè)試液體在固定托盤(pán)I相對(duì)位移的過(guò)程中從固定托盤(pán)I內(nèi)濺出。為了進(jìn)一步防止絕緣測(cè)試液體從固定托盤(pán)I內(nèi)濺出，優(yōu)選是，第二凹槽12的深度大于或等于晶圓的厚度。
[0043]在此基礎(chǔ)上，為了使得操作人員易于將待測(cè)晶圓放入第二凹槽12內(nèi)或從第二凹槽12內(nèi)取出已測(cè)試完畢的晶圓，優(yōu)選是，如圖1a所示，第一凹槽11底面112靠近第二凹槽12處設(shè)置有傾斜平面13，傾斜平面13的第一端與第一凹槽11的底面112相連接，傾斜平面13的第二端與第二凹槽12底面122相連接。
[0044]進(jìn)一步地，為了使得限定在第二凹槽12內(nèi)的晶圓受力平衡，優(yōu)選是，如圖1a所示，至少兩個(gè)卡具2對(duì)稱(chēng)設(shè)置于固定托盤(pán)I上。
[0045]卡具的形狀有多種，根據(jù)其是否可以活動(dòng)，可以將卡具分為固定卡具和可調(diào)節(jié)卡具。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例所提供的晶圓固定夾具中的卡具可以全部為固定卡具;也可以全部為可調(diào)節(jié)卡具;還可以部分為固定卡具，部分為可調(diào)節(jié)卡具，此處不作限制。
[0046]在圖1a中示例性地給出了一種固定卡具的結(jié)構(gòu)示意圖。圖1b為圖1a中晶圓固定夾具沿A1-A2的剖面圖。下面結(jié)合圖1a和Ib對(duì)固定卡具的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。在圖1a中，位于第二凹槽12左側(cè)的卡具2為固定卡具201，固定卡具201包括連接部件21和第一固定件22;連接部件21第一端與第一凹槽11的底面112或第二凹槽12的側(cè)面121固定(在圖1a和Ib中，示例性地，連接部件21第一端與第一凹槽11的底面112固定)，連接部件21的第二端與第一固定件22相連接，第一固定件22用于將晶圓限定在第二凹槽12內(nèi)。具體地，從圖1a中可以看出，連接部件21的形狀為Y形，其第一端固定于第一凹槽11的底面112，第二端分叉，并且每一個(gè)分出來(lái)的枝叉分別與一個(gè)片狀的第一固定件22連接。當(dāng)需要利用該固定卡具201固定晶圓時(shí)，只需要將晶圓插入到片狀的第一固定件22與第二凹槽12底面122之間的縫隙中即可。需要說(shuō)明的是，在圖1a中所提供的技術(shù)方案中，連接部件21的形狀為Y形，以及連接部件21分出來(lái)的兩個(gè)枝叉分別與兩個(gè)第一固定件22連接，這僅是本發(fā)明實(shí)施例所提供的一個(gè)具體示例，而非對(duì)本發(fā)明的限制。另外，第一固定件22的形狀為片狀，這同樣僅是本發(fā)明的一個(gè)具體示例，而非對(duì)本發(fā)明的限制。連接部件21和第一固定件22的形狀可以為任意形狀，只要能確保放置于第二凹槽12內(nèi)的晶圓被固定即可。
[0047]圖2a、圖2b、圖2c和圖2d分別給出了另外四種固定卡具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0048]圖2a中所提供的固定卡具的結(jié)構(gòu)與圖1b中所提供的固定卡具的結(jié)構(gòu)類(lèi)似，區(qū)別僅在于將圖1b中片狀的第一固定件優(yōu)化為圓臺(tái)形的第一固定件。請(qǐng)參看圖2a，固定卡具201包括連接部件21和第一固定件22。連接部件21的形狀為桿狀，其第一端固定于第一凹槽11的底面112，第二端與第一固定件22連接。第一固定件22的形狀為圓臺(tái)形。具體地，該固定件22的下底面221與第二凹槽12底面122相對(duì)設(shè)置，而固定件22的上底面222背離第二凹槽21的底面122，并且固定件22的下底面221的直徑小于固定件22的上底面222的直徑。利用這種結(jié)構(gòu)的第一固定件22對(duì)晶圓進(jìn)行固定時(shí)，晶圓邊緣與第一固定件22的側(cè)面223的一點(diǎn)接觸，從而限制晶圓在第二凹槽12內(nèi)的晃動(dòng)。此外，這種結(jié)構(gòu)的第一固定件22可用于固定不同厚度的晶圓。
[0049]在圖2b中，固定卡具201的形狀為Γ的圓環(huán)形。需要說(shuō)明的是，對(duì)于這種結(jié)構(gòu)的卡具，其第一端223既充當(dāng)了圖2a中卡具2的連接部件21，用于將該固定卡具201與第一凹槽11的底面112相連接，又充當(dāng)了圖2a中卡具2的第一固定件22，用于將晶圓限定在第二凹槽12內(nèi)。固定卡具201的第二端224僅充當(dāng)了圖2a中固定卡具201的第一固定件22，用于進(jìn)一步將晶圓限定在第二凹槽12內(nèi)。在此基礎(chǔ)上，還可以將圖2b中固定卡具201的結(jié)構(gòu)優(yōu)化為圖2c中的結(jié)構(gòu)。與圖2b中的固定卡具相比，圖2c中，將固定卡具201第一端223與晶圓接觸的側(cè)面2231優(yōu)化為弧面，這樣可以增大該固定卡具201與晶圓邊緣的接觸面積，進(jìn)而確保晶圓不易被損傷。典型地，可以將固定卡具201優(yōu)化為圖2d中所提供的圓弧形，這樣，可以進(jìn)一步增大固定卡具201與晶圓邊緣的接觸面積，避免在對(duì)其進(jìn)行測(cè)試時(shí)，晶圓受到損傷或破碎。
[0050]此外，在圖1a中還示還例性地給出了一種可調(diào)節(jié)卡具的結(jié)構(gòu)示意圖，在該圖，位于第二凹槽12右側(cè)的卡具2為可調(diào)節(jié)卡具202。圖3為圖1a中可調(diào)節(jié)卡具沿B1-B2的剖面圖。下面結(jié)合圖1a和圖3對(duì)可調(diào)節(jié)卡具的結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。該可調(diào)節(jié)卡具202包括滑槽23和第二固定件24;滑槽23設(shè)置于第一凹槽11的底面112，并且從第一凹槽11的側(cè)壁111延伸至第二凹槽12的側(cè)壁121;第二固定件24與第一凹槽11接觸的一側(cè)內(nèi)嵌于滑槽23內(nèi)，并且通過(guò)沿滑槽23方向滑動(dòng)固定或釋放晶圓；第一凹槽11的側(cè)壁111上設(shè)置有貫穿第一凹槽側(cè)壁111的孔洞251;操控桿25的第一端穿過(guò)孔洞251并且露置于第一凹槽11外側(cè)，操控桿25第一端上設(shè)置有凸起252，用于阻擋操控桿25從孔洞251滑落，并且操控桿25的第二端與第二固定件24固定連接;彈簧26處于壓縮狀態(tài)，并且套置于操控桿25上，彈簧26的第一端與第二固定件24相抵觸，彈簧26的第二端與第一凹槽11的內(nèi)側(cè)壁1111相抵觸。
[0051]進(jìn)一步地，為了有效限制第二固定件24沿垂直于第二凹槽12底面122的方向運(yùn)動(dòng)，優(yōu)選是，第二固定件24的底部?jī)蓚?cè)設(shè)置有限位凸起241(如圖4a所示)，第一凹槽11的底面112的對(duì)應(yīng)位置設(shè)置有限位板2411，以將第二固定件24限定在滑槽23內(nèi)滑動(dòng)?？蛇x地，如圖4b，限位板2411通過(guò)螺絲2412設(shè)置在第一凹槽11的底面112上，或者，如圖4c，限位板2411與第一凹槽11的底面112為一體結(jié)構(gòu)。在此基礎(chǔ)上第二固定件24與晶圓接觸的面242(如圖4a所示)可以為平面或者曲面。
[0052]進(jìn)一步地，操控桿上還可以設(shè)置有控制件;控制件用于限制操控桿伸入到第一凹槽內(nèi)部的距離。示例性地，如圖5所示，控制件為螺母27，螺母27固定在第一凹槽外側(cè)壁1112上;操控桿25上設(shè)置有與螺母27對(duì)應(yīng)的螺紋271;螺母27套置于操控桿25的第一端上。這樣設(shè)置，操作人員可以利用螺母27可調(diào)節(jié)地固定和移動(dòng)操控桿25，進(jìn)而控制操控桿25伸入到第一凹槽11內(nèi)部的距離。
[0053]本發(fā)明實(shí)施例所提供的晶圓固定夾具可以通過(guò)真空系統(tǒng)固定于探針臺(tái)系統(tǒng)，并配合自動(dòng)高壓測(cè)試系統(tǒng)對(duì)晶圓耐壓性能評(píng)估，以實(shí)現(xiàn)提高測(cè)試效率的目的。此外，利用本發(fā)明所提供的晶圓固定夾具可以有效簡(jiǎn)化晶圓級(jí)高壓器件的評(píng)估操作，降低評(píng)估成本。
[0054]注意，上述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例及所運(yùn)用技術(shù)原理。本領(lǐng)域技術(shù)人員會(huì)理解，本發(fā)明不限于這里所述的特定實(shí)施例，對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來(lái)說(shuō)能夠進(jìn)行各種明顯的變化、重新調(diào)整和替代而不會(huì)脫離本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，雖然通過(guò)以上實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了較為詳細(xì)的說(shuō)明，但是本發(fā)明不僅僅限于以上實(shí)施例，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的情況下，還可以包括更多其他等效實(shí)施例，而本發(fā)明的范圍由所附的權(quán)利要求范圍決定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶圓固定夾具，其特征在于，包括固定托盤(pán)和設(shè)置于所述固定托盤(pán)上的至少兩個(gè)卡具； 所述固定托盤(pán)內(nèi)部設(shè)置有防止絕緣測(cè)試液體溢出或?yàn)R出的第一凹槽和承載晶圓以及所述絕緣測(cè)試液體的第二凹槽，所述第一凹槽的底面與所述第二凹槽的上表面重合，以及所述第一凹槽與所述第二凹槽的軸線重合； 所述至少兩個(gè)卡具包括固定卡具和可調(diào)節(jié)卡具，用于將所述晶圓限定在所述第二凹槽內(nèi)，其中，所述可調(diào)節(jié)卡具與套置有彈簧的操控桿固定連接，用于固定或釋放所述晶圓。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定夾具，其特征在于， 所述第二凹槽的深度大于或等于所述晶圓的厚度。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定夾具，其特征在于， 所述第一凹槽底面靠近所述第二凹槽處設(shè)置有傾斜平面，所述傾斜平面的第一端與所述第一凹槽的底面相連接，所述傾斜平面的第二端與所述第二凹槽底面相連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定夾具，其特征在于， 所述至少兩個(gè)卡具對(duì)稱(chēng)設(shè)置于所述固定托盤(pán)上。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定夾具，其特征在于， 所述固定卡具包括連接部件和第一固定件； 所述連接部件第一端與所述第一凹槽的底面或第二凹槽的側(cè)面固定，所述連接部件的第二端與所述第一固定件相連接，所述第一固定件用于將所述晶圓限定在所述第二凹槽內(nèi)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓固定夾具，其特征在于， 所述可調(diào)節(jié)卡具包括滑槽和第二固定件； 所述滑槽設(shè)置于所述第一凹槽的底面，并且從所述第一凹槽的側(cè)壁延伸至所述第二凹槽的側(cè)壁； 所述第二固定件與第一凹槽接觸的一側(cè)內(nèi)嵌于所述滑槽內(nèi)，并且通過(guò)沿所述滑槽方向滑動(dòng)固定或釋放所述晶圓； 所述第一凹槽的側(cè)壁上設(shè)置有貫穿所述第一凹槽的孔洞； 所述操控桿的第一端穿過(guò)所述孔洞并且露置于所述第一凹槽外側(cè)，所述操控桿的第一端上設(shè)置有凸起，用于阻擋所述操控桿從所述孔洞滑落，并且所述操控桿的第二端與所述第二固定件固定連接； 所述彈簧處于壓縮狀態(tài)，并且套置于所述操控桿上，所述彈簧的第一端與所述第二固定件相抵觸，所述彈簧的第二端與所述第一凹槽的內(nèi)側(cè)壁相抵觸。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓固定夾具，其特征在于， 所述第二固定件的底部?jī)蓚?cè)設(shè)置有限位凸起，所述第一凹槽的底面的對(duì)應(yīng)位置設(shè)置有限位板，以將所述第二固定件限定在所述滑槽內(nèi)滑動(dòng)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的晶圓固定夾具，其特征在于，所述限位板通過(guò)螺絲設(shè)置在所述第一凹槽的底面上，或者，所述限位板與所述第一凹槽的底面為一體結(jié)構(gòu)。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓固定夾具，其特征在于， 所述第二固定件與所述晶圓接觸的面為平面或者曲面。10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓固定夾具，其特征在于，所述操控桿上還設(shè)置有控制件；所述控制件，用于限制所述操控桿伸入到所述第一凹槽內(nèi)部的距離。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的晶圓固定夾具，其特征在于，所述控制件為螺母，所述螺母固定在所述第一凹槽外壁上；所述操控桿上設(shè)置有與所述螺母對(duì)應(yīng)的螺紋；所述螺母套置于所述操控桿的第一端上。
【文檔編號(hào)】G01R31/12GK105891552SQ201610004440
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年1月6日
【發(fā)明人】趙樹(shù)峰, 楊瓊, 李元英
【申請(qǐng)人】蘇州捷芯威半導(dǎo)體有限公司