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一種檢測平面的檢測儀及其檢測方法

文檔序號:10551085閱讀:432來源:國知局
一種檢測平面的檢測儀及其檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種檢測平面的檢測儀及其檢測方法,該檢測儀包括:底座、橫梁、激光傳感器、傳動機(jī)構(gòu)以及動力裝置,所述傳動機(jī)構(gòu)包括X向傳動機(jī)構(gòu)和Y向傳動機(jī)構(gòu),所述Y向傳動機(jī)構(gòu)連接所述激光傳感器,所述動力裝置連接所述X向傳動機(jī)構(gòu),通過驅(qū)動所述X向傳動機(jī)構(gòu)工作,帶動所述橫梁沿X軸方向移動,所述動力裝置還連接所述Y向傳動機(jī)構(gòu),通過驅(qū)動所述Y向傳動機(jī)構(gòu)工作,帶動所述激光傳感器沿Y軸方向移動。本發(fā)明采用逐點(diǎn)檢測方式,對待測面板的各個點(diǎn)逐一進(jìn)行檢測,激光傳感器用于獲取待測面板的各個點(diǎn)的Z軸坐標(biāo),可對待檢測點(diǎn)坐標(biāo)進(jìn)行準(zhǔn)確定位,適應(yīng)各種尺寸的面板檢測。
【專利說明】
一種檢測平面的檢測儀及其檢測方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及面板檢測技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種檢測平面的檢測儀及其檢測方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶面板生產(chǎn)領(lǐng)域,液晶面板的翹曲檢測多用手工方式,利用標(biāo)準(zhǔn)塞規(guī)檢測,該種方式只能測量液晶面板的四周的翹曲,同時檢測的人為因素大,測量誤差大,效率低,不能完全反映全部面積的翹曲情況。近年來,開始出現(xiàn)利用光學(xué)光柵方法測量液晶面板的翹曲度,雖然可以測量液晶面板的完整平面,但是無法對翹曲點(diǎn)坐標(biāo)進(jìn)行準(zhǔn)確定位,不利于應(yīng)用廠商做出準(zhǔn)確的定位改善,同時,光柵檢測對于大規(guī)格面板及玻璃基板檢測存在一定的局限性,不適應(yīng)大尺寸的檢測。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種檢測平面的檢測儀及其檢測方法,來解決以上技術(shù)問題。
[0004]為達(dá)此目的,本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]第一方面,本發(fā)明提供一種檢測平面的檢測儀,包括:底座、橫梁、激光傳感器、傳動機(jī)構(gòu)以及動力裝置;
[0006]所述底座的中部設(shè)有平面檢測部;所述平面檢測部的上表面為平整的平面,用于放置待測面板;
[0007]所述傳動機(jī)構(gòu)包括X向傳動機(jī)構(gòu)和Y向傳動機(jī)構(gòu);
[0008]所述X向傳動機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述底座的端部,所述X向傳動機(jī)構(gòu)連接所述橫梁;所述Y向傳動機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述橫梁上,所述Y向傳動機(jī)構(gòu)連接所述激光傳感器;
[0009]所述動力裝置連接所述X向傳動機(jī)構(gòu),通過驅(qū)動所述X向傳動機(jī)構(gòu)工作,帶動所述橫梁沿X軸方向移動;所述動力裝置還連接所述Y向傳動機(jī)構(gòu),通過驅(qū)動所述Y向傳動機(jī)構(gòu)工作,帶動所述激光傳感器沿Y軸方向移動。
[0010]本發(fā)明采用逐點(diǎn)檢測方式,通過傳動機(jī)構(gòu)控制激光傳感器沿著X軸方向和Y軸方向進(jìn)行移動,逐一對待測面板的各個點(diǎn)進(jìn)行檢測,而點(diǎn)的X軸坐標(biāo)和Y軸坐標(biāo)可根據(jù)傳動機(jī)構(gòu)當(dāng)前的位移獲得,其中,激光傳感器用于獲取點(diǎn)的Z軸坐標(biāo),Z軸坐標(biāo)即判定面板翹曲度的參數(shù),而得知每個點(diǎn)的坐標(biāo)后,由于檢測儀的底板一般是固定不動的,故很容易根據(jù)點(diǎn)的坐標(biāo)反推出點(diǎn)的所在位置,對翹曲點(diǎn)坐標(biāo)進(jìn)行準(zhǔn)確定位,而且本檢測儀由于采用的是逐點(diǎn)檢測的方式,故沒有尺寸檢測限制,適應(yīng)各種尺寸的翹曲度檢測。
[0011 ]優(yōu)選的,所述X向傳動機(jī)構(gòu)包括X向?qū)к壓蚗向?qū)к夁B接件;所述Y向傳動機(jī)構(gòu)包括Y向?qū)к壓蚘向?qū)к夁B接件;
[0012]所述X向?qū)к墳槁輻U,所述X向?qū)к夁B接件上設(shè)置有與所述X向?qū)к壠ヅ涞牡谝宦菽?所述第一螺母和所述X向?qū)к壜菁y連接;所述X向?qū)к夁B接件連接所述橫梁;
[0013]所述Y向?qū)к墳槁輻U,所述Y向?qū)к夁B接件上設(shè)置有與所述Y向?qū)к壠ヅ涞牡诙菽?所述第二螺母和所述Y向?qū)к壜菁y連接;所述Y向?qū)к夁B接件連接所述激光傳感器;
[0014]所述動力裝置連接所述X向?qū)к?,以?qū)動所述X向?qū)к壭D(zhuǎn),帶動所述第一螺母沿著X軸方向移動;所述動力裝置還連接所述Y向?qū)к?,以?qū)動所述Y向?qū)к壭D(zhuǎn),帶動所述第二螺母沿著Y軸方向移動。
[0015]優(yōu)選的,所述X向傳動機(jī)構(gòu)還包括X向滑塊;所述Y向傳動機(jī)構(gòu)還包括Y向滑塊;
[0016]所述X向滑塊上設(shè)置有第一滑槽;所述X向?qū)к夁B接件上還設(shè)置有與所述第一滑槽匹配的第一滑槽連接部;
[0017]所述Y向滑塊上設(shè)置有第二滑槽;所述Y向?qū)к夁B接件上還設(shè)置有與所述第二滑槽匹配的第二滑槽連接部。
[0018]采用滑塊是為了保證激光傳感器沿X軸方向移動時的平穩(wěn)或穩(wěn)定性。
[0019]優(yōu)選的,所述檢測儀還包括Z向升降機(jī)構(gòu);所述激光傳感器固定于所述Z向升降機(jī)構(gòu)上;所述Z向升降機(jī)構(gòu)可驅(qū)動所述激光傳感器沿Z軸方向移動;
[0020]所述Z向升降機(jī)構(gòu)與所述Y向?qū)к夁B接件固定連接。
[0021]所述Z向升降機(jī)構(gòu)可采用電機(jī)或氣缸。
[0022]優(yōu)選的,所述Z向升降機(jī)構(gòu)上還設(shè)置有光學(xué)影像部件,所述光學(xué)影像部件電連接所述激光傳感器、所述X向傳動機(jī)構(gòu)以及所述Y向傳動機(jī)構(gòu),用于實(shí)時獲取所述激光傳感器當(dāng)前所在位置的待測面板的點(diǎn)的坐標(biāo);還用于根據(jù)獲取到的待測面板的點(diǎn)的坐標(biāo)生成一 3D視圖。
[0023]其中,點(diǎn)的坐標(biāo)包括點(diǎn)的X軸坐標(biāo)、Y軸坐標(biāo)和Z軸坐標(biāo)。
[0024]優(yōu)選的,所述底座采用花崗巖材料制成。
[0025]優(yōu)選的,所述傳動機(jī)構(gòu)采用滾珠絲桿傳動結(jié)構(gòu)。
[0026]橫梁優(yōu)選采用花崗巖材料制成,因?yàn)榛◢弾r平臺的平面度誤差僅為0.01毫米,加上高精度的導(dǎo)軌以及滾珠絲桿傳動,可保證系統(tǒng)測量誤差小于0.025毫米。
[0027]優(yōu)選的,所述待測面板為液晶面板或玻璃面板。
[0028]第二方面,本發(fā)明還提供一種檢測平面的檢測方法,包括:
[0029]隨機(jī)抽取所述平面檢測部的多個點(diǎn)進(jìn)行檢測,確定Z軸原點(diǎn)坐標(biāo);
[0030]將待測面板放置于所述平面檢測部上;
[0031]獲取所述待測面板的各個點(diǎn)的坐標(biāo),并存儲;
[0032]其中,點(diǎn)的坐標(biāo)包括點(diǎn)的X軸坐標(biāo)、Y軸坐標(biāo)和Z軸坐標(biāo)。
[0033]優(yōu)選的,所述步驟:獲取所述待測面板的各個點(diǎn)的坐標(biāo),并存儲之后,還包括:
[0034]根據(jù)所述待測面板的各個點(diǎn)的坐標(biāo),生成所述待測面板的3D圖。
[0035]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明采用逐點(diǎn)檢測方式,對待測面板的各個點(diǎn)逐一進(jìn)行檢測,激光傳感器用于獲取點(diǎn)的Z軸坐標(biāo),本檢測儀可對待檢測點(diǎn)坐標(biāo)進(jìn)行準(zhǔn)確定位,適應(yīng)各種尺寸的面板檢測。
【附圖說明】
[0036]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖。
[0037]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測平面的檢測儀的立體結(jié)構(gòu)圖。
[0038]圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測平面的檢測方法流程圖。
[0039]圖中:
[0040]100、底座;101、平面檢測部;110、橫梁;120、立柱;131、X向?qū)к墸?32、X向滑塊133、X向?qū)к夁B接件;141、¥向?qū)к墸?42、¥向滑塊;143、¥向?qū)к夁B接件;150、2向升降機(jī)構(gòu);160、激光傳感器;170、光學(xué)影像部件;200、待測面板。
【具體實(shí)施方式】
[0041]為使得本發(fā)明的發(fā)明目的、特征、優(yōu)點(diǎn)能夠更加的明顯和易懂,下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,下面所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而非全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0042]下面結(jié)合附圖并通過【具體實(shí)施方式】來進(jìn)一步說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
[0043]請參考圖1,圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測平面的檢測儀的立體結(jié)構(gòu)圖。該檢測儀包括底座100、橫梁110、用于支撐橫梁110的兩立柱120、傳動機(jī)構(gòu)、Z向升降機(jī)構(gòu)150、激光傳感器160、光學(xué)影像部件170以及動力裝置。
[0044]其中,底座100呈“凸”字形,底座100凸起部為平面檢測部101。平面檢測部101位于底座100的中部,其上表面為平整的平面,用于放置待測面板200;本發(fā)明實(shí)施例中,待測面板200為液晶面板或玻璃面板。
[0045]具體的,傳動機(jī)構(gòu)包括X向傳動機(jī)構(gòu)和Y向傳動機(jī)構(gòu)。本實(shí)施例中,傳動機(jī)構(gòu)采用滾珠絲桿傳動結(jié)構(gòu)。
[0046]其中,位于平面檢測部101的兩側(cè)的底座100的兩端部的上表面均設(shè)置有X向傳動機(jī)構(gòu)。X向傳動機(jī)構(gòu)具體包括X向?qū)к?31、X向滑塊132以及X向?qū)к夁B接件133。
[0047 ]更具體的,X向?qū)к?31為螺桿,X向?qū)к夁B接件133包括第一螺母,X向滑塊132用于保證橫梁110沿X軸方向移動時的平穩(wěn)或穩(wěn)定性。
[0048]X向?qū)к夁B接件133的一側(cè)面和立柱120固定連接,立柱120和橫梁110固定連接。工作時,電機(jī)接通電源,帶動X向?qū)к?31開始旋轉(zhuǎn),X向?qū)к?31旋轉(zhuǎn)帶動第一螺母沿著X軸方向移動,進(jìn)而帶動橫梁110沿著X軸方向移動。
[0049]Y向傳動機(jī)構(gòu)設(shè)置于橫梁110的上側(cè)表面,Y向傳動機(jī)構(gòu)具體包括Y向?qū)к?41、Y向滑塊142以及Y向?qū)к夁B接件143。
[0050 ]更具體的,Y向?qū)к?41為螺桿,Y向?qū)к夁B接件143包括第二螺母,Y向滑塊142用于保證Z向升降機(jī)構(gòu)150沿Y軸方向移動時的平穩(wěn)或穩(wěn)定性。
[0051]Y向?qū)к夁B接件143的一側(cè)面和Z向升降機(jī)構(gòu)150固定連接,激光傳感器160以及光學(xué)影像部件170與Z向升降機(jī)構(gòu)150固定連接。本實(shí)施例中,動力裝置為電機(jī)。工作時,動力裝置帶動Y向?qū)к?41開始旋轉(zhuǎn),進(jìn)而帶動Y向?qū)к夁B接件143沿著Y軸方向移動,使激光傳感器160沿著Y軸方向移動。其中,Z向升降機(jī)構(gòu)150可帶動激光傳感器160沿Z軸方軸方向移動。
[0052]本實(shí)施例的檢測儀可控制激光傳感器160沿著X軸方向、Y軸方向以及Z軸方向移動。實(shí)現(xiàn)對待測面板200的平面的每個點(diǎn)的坐標(biāo)檢測并存儲,可得出待測面板200的翹曲度,還可把檢測到的結(jié)果反饋給計(jì)算機(jī)或相關(guān)數(shù)據(jù)處理設(shè)備進(jìn)行處理或分析,由于采用的是逐點(diǎn)檢測,故可以針對每個點(diǎn)的位置進(jìn)行定位,快速的找出對應(yīng)的翹曲點(diǎn),本實(shí)施例中,點(diǎn)的坐標(biāo)包括點(diǎn)的X軸坐標(biāo)、Y軸坐標(biāo)以及Z軸坐標(biāo)。
[0053]請參考圖2,圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的檢測平面的檢測方法流程圖。具體的檢測方法如下:
[0054]S301、確定Z軸原點(diǎn)坐標(biāo)。
[0055]隨機(jī)抽取平面檢測部101的多個點(diǎn)進(jìn)行檢測,確定Z軸原點(diǎn)坐標(biāo)。
[0056]S302、將待測面板200放置于平面檢測部101上。
[0057]S303、控制檢測儀開始工作,開始對待測面板200的各個點(diǎn)進(jìn)行逐一掃描,獲取待測面板200的各個點(diǎn)的坐標(biāo),并存儲。
[0058]S304、獲取待測面板200的各個點(diǎn)的坐標(biāo)后,將待測面板200的各個點(diǎn)的坐標(biāo)發(fā)送至計(jì)算機(jī)或相關(guān)數(shù)據(jù)處理設(shè)備。
[0059]S305、根據(jù)各個點(diǎn)的坐標(biāo),生成待測面板200的3D(3Dimens1ns,三維)圖。
[0060]3D圖更方便查看,通過查看3D圖,很容易就能發(fā)現(xiàn)待測面板200的平面是否平整,以及清晰的知道待測面板200的高低變化及平面翹曲的波浪圖像。其結(jié)果相對于傳統(tǒng)的檢測方式得出的結(jié)果,不僅更加精準(zhǔn),且更直觀。
[0061]本發(fā)明的描述中,需要理解的是,術(shù)語“上”、“下”、“X軸方向”、“Y軸方向”、“Z軸方向”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系,僅是為了便于描述本發(fā)明和簡化描述,而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作,因此不能理解為對本發(fā)明的限制。
[0062]以上所述,以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而非對其限制;盡管參照前述實(shí)施例對本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明,本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改,或者對其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換,并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種檢測平面的檢測儀,其特征在于,包括:底座、橫梁、激光傳感器、傳動機(jī)構(gòu)以及動力裝置; 所述底座的中部設(shè)有平面檢測部;所述平面檢測部的上表面為平整的平面,用于放置待測面板; 所述傳動機(jī)構(gòu)包括X向傳動機(jī)構(gòu)和Y向傳動機(jī)構(gòu); 所述X向傳動機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述底座的端部,所述X向傳動機(jī)構(gòu)連接所述橫梁;所述Y向傳動機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述橫梁上,所述Y向傳動機(jī)構(gòu)連接所述激光傳感器; 所述動力裝置連接所述X向傳動機(jī)構(gòu),通過驅(qū)動所述X向傳動機(jī)構(gòu)工作,帶動所述橫梁沿X軸方向移動;所述動力裝置還連接所述Y向傳動機(jī)構(gòu),通過驅(qū)動所述Y向傳動機(jī)構(gòu)工作,帶動所述激光傳感器沿Y軸方向移動。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測儀,其特征在于,所述X向傳動機(jī)構(gòu)包括X向?qū)к壓蚗向?qū)к夁B接件;所述Y向傳動機(jī)構(gòu)包括Y向?qū)к壓蚘向?qū)к夁B接件; 所述X向?qū)к墳槁輻U,所述X向?qū)к夁B接件上設(shè)置有與所述X向?qū)к壠ヅ涞牡谝宦菽?所述第一螺母和所述X向?qū)к壜菁y連接;所述X向?qū)к夁B接件連接所述橫梁; 所述Y向?qū)к墳槁輻U,所述Y向?qū)к夁B接件上設(shè)置有與所述Y向?qū)к壠ヅ涞牡诙菽?所述第二螺母和所述Y向?qū)к壜菁y連接;所述Y向?qū)к夁B接件連接所述激光傳感器; 所述動力裝置連接所述X向?qū)к?,以?qū)動所述X向?qū)к壭D(zhuǎn),帶動所述第一螺母沿著X軸方向移動;所述動力裝置還連接所述Y向?qū)к?,以?qū)動所述Y向?qū)к壭D(zhuǎn),帶動所述第二螺母沿著Y軸方向移動。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測儀,其特征在于,所述X向傳動機(jī)構(gòu)還包括X向滑塊;所述Y向傳動機(jī)構(gòu)還包括Y向滑塊; 所述X向滑塊上設(shè)置有第一滑槽;所述X向?qū)к夁B接件上還設(shè)置有與所述第一滑槽匹配的第一滑槽連接部; 所述Y向滑塊上設(shè)置有第二滑槽;所述Y向?qū)к夁B接件上還設(shè)置有與所述第二滑槽匹配的第二滑槽連接部。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測儀,其特征在于,還包括Z向升降機(jī)構(gòu);所述激光傳感器固定于所述Z向升降機(jī)構(gòu)上;所述Z向升降機(jī)構(gòu)可驅(qū)動所述激光傳感器沿Z軸方向移動; 所述Z向升降機(jī)構(gòu)與所述Y向?qū)к夁B接件固定連接。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的檢測儀,其特征在于,所述Z向升降機(jī)構(gòu)上還設(shè)置有光學(xué)影像部件,所述光學(xué)影像部件電連接所述激光傳感器、所述X向傳動機(jī)構(gòu)以及所述Y向傳動機(jī)構(gòu),用于實(shí)時獲取所述激光傳感器當(dāng)前所在位置的待測面板的點(diǎn)的坐標(biāo);還用于根據(jù)獲取到的待測面板的點(diǎn)的坐標(biāo)生成一3D視圖; 其中,點(diǎn)的坐標(biāo)包括點(diǎn)的X軸坐標(biāo)、Y軸坐標(biāo)和Z軸坐標(biāo)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測儀,其特征在于,所述底座采用花崗巖材料制成。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測儀,其特征在于,所述傳動機(jī)構(gòu)采用滾珠絲桿傳動結(jié)構(gòu)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測儀,其特征在于,所述待測面板為液晶面板或玻璃面板。9.一種檢測平面的檢測方法,采用如權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的檢測儀,其特征在于,包括: 隨機(jī)抽取所述平面檢測部的多個點(diǎn)進(jìn)行檢測,確定Z軸原點(diǎn)坐標(biāo); 將待測面板放置于所述平面檢測部上; 獲取所述待測面板的各個點(diǎn)的坐標(biāo),并存儲; 其中,點(diǎn)的坐標(biāo)包括點(diǎn)的X軸坐標(biāo)、Y軸坐標(biāo)和Z軸坐標(biāo)。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的檢測方法,其特征在于,所述步驟:獲取所述待測面板的各個點(diǎn)的坐標(biāo),并存儲之后,還包括: 根據(jù)所述待測面板的各個點(diǎn)的坐標(biāo),生成所述待測面板的3D圖。
【文檔編號】G01B11/24GK105910553SQ201610389541
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年6月3日
【發(fā)明人】馬宏權(quán), 敖薈蘭, 周江秀, 梅領(lǐng)亮, 徐地華
【申請人】廣東正業(yè)科技股份有限公司
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