物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種能夠減少噪聲的產(chǎn)生、且發(fā)揮出卓越的檢測精度的物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體。物理量傳感器(1)具有：角速度檢測元件(4)、加速度檢測元件(3)、對加速度檢測元件(3)的檢測信號進(jìn)行傳輸?shù)慕雍弦€(BY1)、位于角速度檢測元件(4)與接合引線(BY1)之間并與固定電位連接的屏蔽部(7)。此外，角速度檢測元件(4)和加速度檢測元件(3)以在高度方向上錯開的方式而被配置，并且在角速度檢測元件(4)和加速度檢測元件(3)之間配置有屏蔽部(7)的至少一部分。
【專利說明】
物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體。
【背景技術(shù)】
[0002]例如，在專利文獻(xiàn)I中，公開了一種將IC芯片、角速度檢測元件、加速度檢測元件重疊地收納在封裝件內(nèi)所形成的復(fù)合傳感器。然而，在像這樣的結(jié)構(gòu)中，存在有如下問題，即，角速度檢測元件的驅(qū)動信號作為噪聲而混入加速度檢測元件的檢測信號中，或者向IC芯片輸入輸出的數(shù)字信號作為噪聲而混入加速度檢測元件的檢測信號中，從而導(dǎo)致檢測精度降低的問題。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-76264號公報。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于:提供一種能夠降低噪聲的產(chǎn)生而發(fā)揮卓越的檢測精度的物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體。
[0005]本發(fā)明是為了解決上述的問題的至少一部分而形成的，且能夠作為以下的應(yīng)用例而實現(xiàn)。
[0006]應(yīng)用例I
[0007]本應(yīng)用例的一種物理量傳感器的特征在于，具有:角速度檢測元件;加速度檢測元件;加速度檢測信號配線，其對所述加速度檢測元件的檢測信號進(jìn)行傳輸;屏蔽部，其位于所述角速度檢測元件與所述加速度檢測信號配線之間，并與固定電位連接。
[0008]由此，能夠獲得減少了噪聲的產(chǎn)生、且能夠發(fā)揮出卓越的檢測精度的物理量傳感器。
[0009]應(yīng)用例2
[0010]在本應(yīng)用例的物理量傳感器中，優(yōu)選為，所述角速度檢測元件與所述加速度檢測元件以在高度方向上錯開的方式而被配置，在所述角速度檢測元件與所述加速度檢測元件之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。
[0011]由此，能夠進(jìn)一步減少噪聲的產(chǎn)生。
[0012]應(yīng)用例3
[0013]在本應(yīng)用例的物理量傳感器中，優(yōu)選為，所述角速度檢測元件與所述加速度檢測元件以在與所述高度方向正交的方向上錯開的方式而被配置，在所述角速度檢測元件與所述加速度檢測元件之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。
[0014]由此，能夠進(jìn)一步減少噪聲的產(chǎn)生。
[0015]應(yīng)用例4
[0016]在本應(yīng)用例的物理量傳感器中，優(yōu)選為，在對所述角速度檢測元件的驅(qū)動信號進(jìn)行傳輸?shù)尿?qū)動信號配線以及對檢測信號進(jìn)行傳輸?shù)慕撬俣葯z測信號配線之中的至少一方、和與所述加速度檢測元件連接的所述加速度檢測信號配線之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。
[0017]由此，能夠進(jìn)一步減少噪聲的產(chǎn)生。
[0018]應(yīng)用例5
[0019]在本應(yīng)用例的物理量傳感器中，優(yōu)選為，在所述驅(qū)動信號配線以及所述角速度檢測信號配線之中的至少一方、和對向所述加速度檢測元件施加的載波進(jìn)行傳輸?shù)妮d波配線之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。
[0020]由此，能夠進(jìn)一步減少噪聲的產(chǎn)生。
[0021]應(yīng)用例6
[0022]在本應(yīng)用例的物理量傳感器中，優(yōu)選為，所述物理量傳感器具有:電路，其與所述角速度檢測元件以及所述加速度檢測元件電連接;數(shù)字配線，其與所述電路連接，并對數(shù)字信號進(jìn)行傳輸;在所述數(shù)字配線與所述角速度檢測元件之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。
[0023]由此，能夠進(jìn)一步減少噪聲的產(chǎn)生。
[0024]應(yīng)用例7
[0025]在本應(yīng)用例的物理量傳感器中，優(yōu)選為，在俯視觀察時，相對于所述電路的中心而在一側(cè)配置有所述加速度檢測信號配線，在另一側(cè)配置有所述數(shù)字配線。
[0026]由此，能夠進(jìn)一步減少噪聲的產(chǎn)生。
[0027]應(yīng)用例8
[0028]在本應(yīng)用例的物理量傳感器中，優(yōu)選為，所述物理量傳感器具有:支承基板，其對所述角速度檢測元件進(jìn)行支承，在所述支承基板上配置有所述屏蔽部。
[0029]由此，裝置的結(jié)構(gòu)會變得更加簡單。
[0030]應(yīng)用例9
[0031 ]在本應(yīng)用例的物理量傳感器中，優(yōu)選為，所述物理量傳感器具有:支承基板，其對所述角速度檢測元件進(jìn)行支承，所述屏蔽部被與所述支承基板分體配置。
[0032]由此，屏蔽部的配置、形狀的自由度會增加。
[0033]應(yīng)用例10
[0034]本應(yīng)用例的一種電子設(shè)備的特征在于，具有上述應(yīng)用例的物理量傳感器。
[0035]由此，能夠獲得可靠性較高的電子設(shè)備。
[0036]應(yīng)用例11
[0037]本應(yīng)用例的一種移動體的特征在于，具有上述應(yīng)用例的物理量傳感器。
[0038]由此，能夠獲得可靠性較高的移動體。
【附圖說明】
[0039]圖1為表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0040]圖2為圖1中所示的物理量傳感器的剖視圖。
[0041 ]圖3為表示加速度檢測元件的俯視圖。
[0042]圖4為圖3中所示的加速度檢測元件的剖視圖。
[0043]圖5為表示角速度檢測元件的俯視圖。
[0044]圖6為對圖5中所示的角速度檢測元件的工作進(jìn)行說明的俯視圖。
[0045]圖7為表不支承基板的俯視圖。
[0046]圖8為表示IC的連接狀態(tài)的俯視圖。
[0047]圖9為表示本發(fā)明的第二實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0048]圖10為表示本發(fā)明的第三實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0049]圖11為圖10中所示的物理量傳感器的剖視圖。
[0050]圖12為表示本發(fā)明的第四實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0051]圖13為圖12中所示的物理量傳感器的剖視圖。
[0052]圖14為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動型(或筆記本型)的個人計算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0053]圖15為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動電話機(jī)(包括智能移動電話機(jī)、PHS等)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0054]圖16為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0055]圖17為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的汽車的結(jié)構(gòu)的立體圖。
【具體實施方式】
[0056]以下，根據(jù)附圖中所示的實施方式而對本發(fā)明的物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0057]第一實施方式
[0058]圖1為表示本發(fā)明的第一實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。圖2為圖1中所示的物理量傳感器的剖視圖。圖3為表示加速度檢測元件的俯視圖。圖4圖3中所示的加速度檢測元件的剖視圖。圖5為表示角速度檢測元件的俯視圖。圖6為對圖5中所示的角速度檢測元件的工作進(jìn)行說明的俯視圖。圖7為表示支承基板的俯視圖。圖8為表示IC的連接狀態(tài)的俯視圖。另外，以下為了便于說明，將圖2中的上側(cè)稱為“上”，將下側(cè)稱為“下”。此外，將相互正交的三個軸設(shè)為X軸、Y軸以及Z軸，將與X軸平行的方向稱為“X軸方向”，將與Y軸平行的方向稱為“Y軸方向”，將與Z軸平行的方向稱為“Z軸方向”。
[0059]圖1中所示的物理量傳感器I具有封裝件2、被收納在封裝件2中的加速度檢測元件
3、角速度檢測元件4、IC(電路)5、支承基板6以及屏蔽部7。以下，對關(guān)于這些的各部件依次詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0060]封裝件
[0061]首先，對封裝件2進(jìn)行說明。如圖1所示，封裝件2具有:具有在下表面上開口的凹部211的空腔狀的基座21、以堵塞凹部211的開口的方式與基座21接合的板狀的蓋體22。這種封裝件2具有通過使蓋體22堵塞凹部211的開口而形成的內(nèi)部空間S，并且在該內(nèi)部空間S中收納有加速度檢測元件3、角速度檢測元件4以及IC6。另外，內(nèi)部空間S被氣密性密封，從而成為減壓狀態(tài)(優(yōu)選為真空狀態(tài))。
[0062]雖然對于作為基座21的結(jié)構(gòu)材料而未進(jìn)行特別限定，但能夠使用例如氧化鋁等的各種陶瓷、玻璃材料、金屬材料等。此外，雖然對于作為蓋體22的結(jié)構(gòu)材料而未進(jìn)行特別限定，但可以為線膨脹系數(shù)與基座21的結(jié)構(gòu)材料近似的部件。例如在將基座21的結(jié)構(gòu)材料設(shè)為前文所述的那樣的陶瓷的情況下，優(yōu)選為，將所述蓋體22的結(jié)構(gòu)材料設(shè)為科瓦等的合金。另外，對基座21與蓋體22的接合方法沒有特別進(jìn)行限定，例如既可以經(jīng)由金屬化層而進(jìn)行接合，也可以經(jīng)由粘合材料而進(jìn)行接合。
[0063]此外，如圖1所示，在基座21上設(shè)置有面向內(nèi)部空間S的多個內(nèi)部端子23。在該內(nèi)部端子23中包括用于IC5的第一內(nèi)部端子231和用于角速度檢測元件4的第二內(nèi)部端子232，第一內(nèi)部端子231內(nèi)的一部分經(jīng)由被形成在基座21內(nèi)的未圖示的內(nèi)部配線而與第二內(nèi)部端子232電連接，此外，剩余的一部分經(jīng)由所述內(nèi)部配線而與被配置在基座21的底面上的外部端子24電連接(參照圖2)。另外，作為內(nèi)部端子23和外部端子24的數(shù)量沒有被特別限定，只要根據(jù)需要而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定即可。
[0064]加速度檢測元件
[0065]加速度檢測元件3經(jīng)由例如銀漿、粘合材料等的固定部件而被固定在基座21的凹部211的底面上。作為這種加速度檢測元件3，只要至少能夠?qū)σ粋€方向的加速度進(jìn)行檢測，則不會對其特別地進(jìn)行限定，例如能夠設(shè)為如下結(jié)構(gòu)。
[0066]如圖3所示，加速度檢測元件3具有:基座基板31，被支承在基座基板31上的元件片
32、對元件片32進(jìn)行覆蓋并與基座基板31接合的蓋體33。
[0067]基座基板31為例如玻璃制，并被形成為板狀，在其上表面上設(shè)置有凹部311。此外，在基座基板31的上表面上設(shè)置有凹部312、313、314，在凹部312內(nèi)配置有配線351以及端子361，在凹部313內(nèi)配置有配線352以及端子362，在凹部314內(nèi)配置有配線353以及端子363。此外，端子361、362、363被配置在基座基板31的從蓋體33露出的部分上。
[0068]此外，元件片32具有:支承部321、322、可動部323，連結(jié)部324、325、第一固定電極指328、第二固定電極指329。此外，可動部323具有基部323a、從基部323a向Y軸方向兩側(cè)突出的多個可動電極指323b。這種元件片32由摻雜了例如磷、硼等雜質(zhì)的硅基板形成。
[0069]支承部321、322被接合在基座基板31的上表面上，支承部321經(jīng)由導(dǎo)電性凸塊BI而與配線351電連接。而且，在這些支承部321、322之間設(shè)置有可動部323?？蓜硬?23經(jīng)由連結(jié)部324而被連結(jié)在支承部321上，并且經(jīng)由連結(jié)部325而被連結(jié)在支承部322上。這種可動部323能夠相對于支承部321、322而如箭頭a所示，在X軸方向上進(jìn)行位移。
[0070]此外，第一固定電極指328被配置在所對應(yīng)的可動電極指323b的X軸方向一側(cè)，且以呈相對于所對應(yīng)的可動電極指323b隔開間隔而嚙合的梳齒狀的方式排列有多個。而且，該多個第一固定電極指328經(jīng)由導(dǎo)電性凸塊B2而與配線352電連接。
[0071]與此相對，第二固定電極指329被配置在所對應(yīng)的可動電極指323b的X軸方向另一偵U，且以呈相對于所對應(yīng)的可動電極指323b隔開間隔而嚙合的梳齒狀的方式而排列有多個。而且，該多個第二固定電極指329經(jīng)由導(dǎo)電性凸塊B3而與配線353電連接。
[0072]如圖4所示，蓋體33呈板狀，并且在其下表面設(shè)置有凹部331。而且，蓋體33的下表面與基座基板31的上表面接合。
[0073]以上這種結(jié)構(gòu)的加速度檢測元件3以如下方式對加速度進(jìn)行檢測。即，當(dāng)施加有X軸方向的加速度時，則可動部323會基于該加速度的大小而在使連結(jié)部324、325彈性變形的同時在X方向上進(jìn)行位移。隨著這樣的位移，可動電極指323b與第一固定電極指328之間的間隙以及可動電極指323b與第二固定電極指329之間的間隙會分別發(fā)生變動，從而可動電極指323b與第一固定電極指328之間的靜電電容以及可動電極指323b與第二固定電極指329之間的靜電電容會發(fā)生變化。通過從IC5向第一固定電極指328以及第二固定電極指329施加用于對靜電電容進(jìn)行檢測的載波，從而使這種靜電電容的變化經(jīng)由與可動部323連結(jié)的端子361而作為檢測信號輸出，并且IC5根據(jù)該檢測信號而對加速度進(jìn)行檢測。
[0074]角速度檢測元件
[0075]作為角速度檢測元件4，只要能夠?qū)︻A(yù)定的繞軸的角速度進(jìn)行檢測，則其并不會被特別限定，例如能夠?qū)⑵湓O(shè)為如下結(jié)構(gòu)。
[0076]如圖5所示，本實施方式的角速度檢測元件4具有對水晶基板進(jìn)行圖案化處理而形成的振動片41、被設(shè)置在振動片41上的電極。
[0077]振動片41具有:基部42;從基部42向X軸方向兩側(cè)延伸的檢測臂431、432;從基部42向Y軸方向兩側(cè)延伸的連結(jié)臂441、442;從連結(jié)臂441向X軸方向兩側(cè)延伸的驅(qū)動臂451、452;從連結(jié)臂442向X軸方向兩側(cè)延伸的驅(qū)動臂453、454。
[0078]此外，電極具有:檢測信號電極461、檢測信號端子462、檢測接地電極471、檢測接地端子472、驅(qū)動信號電極481、驅(qū)動信號端子482、驅(qū)動接地電極491、驅(qū)動接地端子492。
[0079]檢測信號電極461被配置在檢測臂431、432的上表面上以及下表面上。此外，檢測接地電極471被配置在檢測臂431、432的兩側(cè)面上。此外，驅(qū)動信號電極481被配置在驅(qū)動臂451、452的上下表面以及驅(qū)動臂453、454的兩側(cè)面上。此外，驅(qū)動接地電極491被配置在驅(qū)動臂453、454的上下表面以及驅(qū)動臂451、452的兩側(cè)面上。
[0080]此外，在基部42的下表面上配置有兩個檢測信號端子462、兩個檢測接地端子472、驅(qū)動信號端子482、驅(qū)動接地端子492。而且，一方的檢測信號端子462與檢測臂431上的檢測信號電極461連接，另一方的檢測信號端子462與檢測臂432上的檢測信號電極461連接。此夕卜，一方的檢測接地端子472與檢測臂431上的檢測接地電極471連接，另一方的檢測接地端子472與檢測臂432上的檢測接地電極471連接。此外，驅(qū)動信號端子482與驅(qū)動臂451?454上的驅(qū)動信號電極481連接。此外，驅(qū)動接地端子492與驅(qū)動臂451?454上的驅(qū)動接地電極491連接。
[0081]以上這種結(jié)構(gòu)的角速度檢測元件4以如下方式來對角速度進(jìn)行檢測。在未向角速度檢測元件4施加角速度的狀態(tài)下，當(dāng)向驅(qū)動信號電極481與驅(qū)動接地電極491之間施加驅(qū)動信號時，則如圖6(a)所示那樣，驅(qū)動臂451?454會向箭頭A所示的方向彎曲振動。此時，由于驅(qū)動臂451?454為對稱地進(jìn)行振動，因此檢測臂431、432幾乎不會振動。而且，在該狀態(tài)下，當(dāng)施加圍繞Z軸的角速度時，則如圖6(b)所示那樣，將有科里奧利力作用于驅(qū)動臂451?454從而會激勵出箭頭B所示的方向上的振動，并且與該振動呼應(yīng)，檢測臂431、432會向箭頭C所示的方向進(jìn)行彎曲振動。從檢測信號電極461與檢測接地電極471之間取得由于這種振動而在檢測臂431、432上產(chǎn)生的電荷，以作為檢測信號，并根據(jù)該信號IC5來對角速度進(jìn)行檢測。
[0082]支承基板
[0083]如圖1所示，支承基板6具有從下方對角速度檢測元件4進(jìn)行支承并將其固定在封裝件2上、且將角速度檢測元件4與第二內(nèi)部端子232電連接的功能。此外，支承基板6以在其下方留有配置IC5的空間的方式而被配置。因此，角速度檢測元件4在被支承在支承基板6上的狀態(tài)下，以相對于角速度檢測元件4而在高度方向(Z軸方向)上錯開的方式被配置。
[0084]這種支承基板6為一直以來所熟知的TAB(Tape Automated Bonding:帶式自動鍵合)安裝用的基板。6如圖7所示，這種支承基板具有:框狀的基部61、被設(shè)置在基部61上的六個引線62。引線62被固定在基部61的下表面上，并且其頂端部延伸至基部61的開口內(nèi)。而且，這些引線62的頂端部經(jīng)由未圖示的導(dǎo)電性粘合材料而與角速度檢測元件4的端子462、472、482、492電連接。另一方面，引線62的基端部分別經(jīng)由未圖示的導(dǎo)電性粘合材料而與第二內(nèi)部端子232電連接。
[0085]IC
[0086]如圖1所示，IC5經(jīng)由例如銀漿、粘合材料等的固定部件而被固定在基座21的凹部211的底面上。此外，IC5以與加速度檢測元件3橫向并排的方式而被配置，并且以與角速度檢測元件4以及支承基板6縱向重疊的方式而被配置。即，在從+Z軸方向俯視觀察時，IC5以不與加速度檢測元件3重疊的方式而被配置，并以與角速度檢測元件4以及支承基板6重疊的方式而被配置。
[0087]此外，如圖8所示，IC5經(jīng)由接合引線BYl而與加速度檢測元件3的端子361、362、363電連接，并經(jīng)由接合引線BY2而與第一內(nèi)部端子231電連接。接合引線BYl包括:對來自加速度檢測元件3的檢測信號進(jìn)行傳輸?shù)膶?dǎo)線(加速度檢測信號配線)、對向加速度檢測元件3所施加的載波進(jìn)行傳輸?shù)膶?dǎo)線(載波配線)。在接合引線BY2中包括:對來自角速度檢測元件4的檢測信號進(jìn)行傳輸?shù)膶?dǎo)線(角速度檢測信號配線)、對向角速度檢測元件4所施加的驅(qū)動信號進(jìn)行傳輸?shù)膶?dǎo)線(驅(qū)動信號配線)。
[0088]這種IC5具有:例如將載波向加速度檢測元件3施加的驅(qū)動電路、根據(jù)來自加速度檢測元件3的檢測信號而對加速度進(jìn)行檢測的檢測電路、對角速度檢測元件4進(jìn)行驅(qū)動的驅(qū)動電路、根據(jù)來自角速度檢測元件4的檢測信號而對角速度進(jìn)行檢測檢測電路、將模擬信號向數(shù)字信號進(jìn)行轉(zhuǎn)換的A/D轉(zhuǎn)換電路、實施與外部裝置的通信的接口等。
[0089]在此，在多個接合引線BY2之中包括:對例如將所檢測出的加速度、加速度轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號而得到的輸出信號、和IC5所具有的接口用的電源等的數(shù)字信號進(jìn)行傳輸?shù)膶?dǎo)線(數(shù)字信號配線)。因此，在物理量傳感器I中，盡可能地將接合引線BY2以遠(yuǎn)離對加速度檢測元件3的檢測信號、載波進(jìn)行傳輸?shù)慕雍弦€BYl的方式而進(jìn)行配置，從而使得前文所述的數(shù)字信號不易混入到加速度檢測元件3的檢測信號、載波之中。具體而言為，通過在俯視觀察時，相對于IC5的中心O而將接合引線BY2配置在-X軸側(cè)，并將接合引線BYl配置在+X軸側(cè)，從而使接合引線BY2遠(yuǎn)離接合引線BYl。
[0090]屏蔽部
[0091]屏蔽部7為，為了使向角速度檢測元件4所施加的驅(qū)動信號不易混入到加速度檢測元件3的檢測信號、載波之中而被設(shè)置的部件。由此使得噪聲不易向加速度檢測元件3的檢測信號、載波中加載，從而能夠通過IC5而更加準(zhǔn)確地對加速度進(jìn)行檢測。
[0092]如圖1以及圖2所示，支承基板6的基部61具有在俯視觀察時以與角速度檢測元件4重疊的方式而延伸至-X軸側(cè)的延伸部611，并且在該延伸部611的上表面上配置有屏蔽部7。屏蔽部7通過例如金屬膜等的導(dǎo)電膜而構(gòu)成，并且被接地。通過將屏蔽部7配置在支承基板6上，從而使得物理量傳感器I的結(jié)構(gòu)更加簡單。另外，屏蔽部7也可以不接地，而與基準(zhǔn)電位(被固定的電位)連接。
[0093]這種屏蔽部7的至少一部分位于接合引線BYl與對角速度檢測元件4的驅(qū)動信號進(jìn)行傳輸?shù)尿?qū)動配線(引線62、驅(qū)動信號端子482、驅(qū)動信號電極481等)以及對角速度檢測元件4的檢測信號進(jìn)行傳輸?shù)慕撬俣葯z測配線(引線62、檢測信號端子462、檢測信號電極461等)之間。因此，使得角速度檢測元件4的驅(qū)動信號、檢測信號不易經(jīng)由接合引線BYl而混入到加速度檢測元件3的檢測信號、載波之中。其結(jié)果為，使得噪聲不易加載于加速度檢測元件3的檢測信號、載波中，從而能夠通過IC5而以較高精度對加速度進(jìn)行檢測。
[0094]特別地，由于如圖2所示，屏蔽部7在側(cè)面觀察時(橫向觀察時)，其至少一部分位于角速度檢測元件4與加速度檢測元件3之間，此外，如圖1所示，在俯視觀察時(從縱向觀察時)，所述屏蔽部7的至少一部分位于角速度檢測元件4與加速度檢測元件3之間，因此能夠更有效地對角速度檢測元件4的驅(qū)動信號、檢測信號進(jìn)行屏蔽。因此，使得這些信號更加不易經(jīng)由接合引線BY2而混入到加速度檢測元件3的檢測信號、載波之中。
[0095]此外，還能夠發(fā)揮如下效果。即，如圖5所示，在角速度檢測元件4的驅(qū)動臂451?454的頂端部處配置有用于對振動平衡進(jìn)行調(diào)節(jié)(減小振動泄漏)的金屬制的質(zhì)量調(diào)節(jié)膜
40。而且，通過在將角速度檢測元件4固定在封裝件2上的狀態(tài)下，利用激光照射而將質(zhì)量調(diào)節(jié)膜40的一部分(調(diào)節(jié)部)除去來實施振動平衡的調(diào)節(jié)。此時，如圖2所示，屏蔽部7在側(cè)面觀察時(從橫向觀察時)，其至少一部分位于角速度檢測元件4的質(zhì)量調(diào)節(jié)膜40的調(diào)節(jié)部與接合引線BYl之間，此外，如圖1所示，在俯視觀察時(從縱向觀察時)，其至少一部分位于角速度檢測元件4的質(zhì)量調(diào)節(jié)膜40的調(diào)節(jié)部與接合引線BYl之間。因此，因質(zhì)量調(diào)節(jié)膜40的一部分被除去而飛散出的金屬材料會被屏蔽部7所遮蔽，從而不易附著在接合引線BYl上。因此，例如能夠更有效地防止相鄰的接合引線BYl的彼此之間的短路等。另外，為了得到該效果，并非必須要形成屏蔽部7，例如也可以采用如下結(jié)構(gòu)，S卩，在圖2的物理量傳感器I中省略屏蔽部7，而通過利用延伸部611來對飛散的金屬材料進(jìn)行遮蔽來防止其附著在接合引線BYl上。
[0096]第二實施方式
[0097]接下來，對本發(fā)明的物理量傳感器的第二實施方式進(jìn)行說明。
[0098]圖9為對與本發(fā)明的第二實施方式相關(guān)的物理量傳感器進(jìn)行表示的俯視圖。
[0099]在本實施方式所涉及的物理量傳感器中，除屏蔽部的結(jié)構(gòu)不同以外，均與前文所述的第一實施方式所涉及的物理量傳感器相同。
[0100]另外，在以下的說明中，對于第二實施方式的物理量傳感器，以與前文所述的實施方式的不同點為中心而進(jìn)行說明，對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖9中，對于與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同符號。
[0101]在本實施方式中，如圖9所示，屏蔽部7被配置在與支承基板6分體的基板8上。以此方式，通過將屏蔽部7設(shè)為與支承基板6分體，從而與前文所述的第一實施方式相比，使屏蔽部7的配置的自由度增加，由此易于將屏蔽部7配置在更加合適的位置處。
[0102]通過像以上那樣的第二實施方式，也能夠?qū)εc前述的第一實施方式相同的效果進(jìn)行施展。
[0103]第三實施方式
[0104]接下來，對本發(fā)明的物理量傳感器的第三實施方式進(jìn)行說明。
[0105]圖10為表示本發(fā)明的第三實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。圖11為圖10中所示的物理量傳感器的剖視圖。
[0106]在本實施方式所涉及的物理量傳感器中，除屏蔽部的結(jié)構(gòu)不同以外，均與前文所述的第一實施方式所涉及的物理量傳感器相同。
[0107]另外，在以下的說明中，對于第三實施方式的物理量傳感器，以與前文所述的實施方式的不同點為中心進(jìn)行說明，對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖10中，對于與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同的符號。
[0108]在本實施方式中，如圖10以及圖11所示，支承基板6的基部61具有在俯視觀察時以與接合引線BY2重疊的方式而向+X軸側(cè)延伸的延伸部612。而且，在延伸部612的上表面上配置有屏蔽部7。由于延伸部612之上的屏蔽部7位于接合引線BY2與角速度檢測元件4之間，因此通過接合引線BY2而傳輸?shù)臄?shù)字信號不易經(jīng)由角速度檢測元件4的檢測信號電極461而混入到檢測信號中。因此，噪聲不易加載于來自角速度檢測元件4的檢測信號，從而能夠通過IC5而以更高的精度對角速度進(jìn)行檢測。
[0109]通過以上那樣的第三實施方式，也能夠發(fā)揮與前文所述的第一實施方式相同的效果O
[0110]第四實施方式
[0111]接下來，對本發(fā)明的物理量傳感器的第四實施方式進(jìn)行說明。
[0112]圖12為表示本發(fā)明的第四實施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。圖13為圖12中所示的物理量傳感器的剖視圖。
[0113]在本實施方式所涉及的物理量傳感器中，除了角速度檢測元件被設(shè)置有兩個這一點以外，均與前文所述的第一實施方式所涉及的物理量傳感器相同。
[0114]另外，在以下的說明中，對于第四實施方式的物理量傳感器，以與前文所述的實施方式的不同點為中心而進(jìn)行說明，對于相同的事項則省略其說明。此外，在圖12中，對于與前文所述的實施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同符號。
[0115]在本實施方式中，如圖12以及圖13所示，物理量傳感器I還具有能夠?qū)@Y軸的角速度進(jìn)行檢測的角速度檢測元件9。此外，角速度檢測元件9與角速度檢測元件4相同，被支承在支承基板6上，并經(jīng)由導(dǎo)線63而與IC5電連接。此外，角速度檢測元件9以與角速度檢測元件4橫向并排的方式而被配置，并且以與加速度檢測元件3縱向重疊的方式而被配置。并且，屏蔽部7位于角速度檢測元件9與接合引線BYl之間。
[0116]這種角速度檢測元件9具有:基部91，從基部91向-Y軸側(cè)延伸的一對驅(qū)動臂92、93、從基部91向+Y軸側(cè)延伸的一對檢測臂94、95。而且，在驅(qū)動臂92、93上配置有未圖示的驅(qū)動信號電極以及驅(qū)動接地電極，在檢測臂94、95上配置有未圖示的檢測信號電極以及檢測接地電極。
[0117]通過如上述那樣的第四實施方式，也能夠發(fā)揮與前文所述的第一實施方式相同的效果。
[0118]電子設(shè)備
[0119]接下來，根據(jù)圖14?圖16來對具備物理量傳感器I的電子設(shè)備詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0120]圖14為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動型(或筆記本型)的個人計算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0121 ] 在該圖中，個人計算機(jī)1100通過具備鍵盤1102的主體部1104、具備顯示部1108的顯示單元1106而被構(gòu)成，顯示單元1106以能夠相對于主體部1104而經(jīng)由鉸鏈結(jié)構(gòu)部進(jìn)行轉(zhuǎn)動的方式被支承。在這種個人計算機(jī)1100中內(nèi)置有對角速度以及加速度進(jìn)行檢測的物理量傳感器I。
[0122]圖15為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的移動電話機(jī)(包括智能移動電話機(jī)、PHS(personal handy-phone system:個人移動電話系統(tǒng))等)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0123]在該圖中，移動電話機(jī)1200具備多個操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。在這種移動電話機(jī)1200中，內(nèi)置有對角速度以及加速度進(jìn)行檢測的物理量傳感器I。
[0124]圖16為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0125]在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體1302的背面上設(shè)置有顯示部1310，所述顯示部1310為根據(jù)CCD(Charge Coupled Device:電荷親合器件)的攝像信號而進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，并且顯示部1310作為將被攝體表示為電子圖像的取景器而發(fā)揮作用。此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中為里側(cè))處設(shè)置有包括光學(xué)鏡頭(攝像光學(xué)系統(tǒng))、CCD等的受光單元1304。當(dāng)攝影者確認(rèn)了被顯示在顯示部1310中的被拍攝物體的圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時，則該時間點上的CCD的攝像信號被向存儲器1308轉(zhuǎn)送并存儲于其中。在這種數(shù)碼照相機(jī)1300中內(nèi)置有對角速度以及加速度進(jìn)行檢測的物理量傳感器I。
[0126]由于如以上那樣的電子設(shè)備具備物理量傳感器I，因此能夠發(fā)揮較高的可靠性。
[0127]另外，本發(fā)明的電子設(shè)備除了圖14的個人計算機(jī)(移動型個人計算機(jī))、圖15的移動電話機(jī)、圖16的數(shù)碼照相機(jī)以外，還能夠應(yīng)用于如下的裝置，S卩，例如智能電話機(jī)、平板終端、時鐘、噴墨式噴出裝置(例如噴墨打印機(jī))、膝上型個人計算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、車輛導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括附帶有通信功能的電子記事本)、電子辭典、計算器、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、電視電話、防盜用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計、血壓計、血糖計、心電圖計測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計量設(shè)備類(例如車輛、飛機(jī)、船舶的計量設(shè)備類)、飛行模擬器等。
[0128]移動體
[0129]接下來，根據(jù)圖17而對具備圖1所示的物理量傳感器I的移動體詳細(xì)地進(jìn)行說明。
[0130]圖17為表示應(yīng)用了本發(fā)明的電子設(shè)備的汽車的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0131]在汽車1500中內(nèi)置有對角速度以及加速度進(jìn)行檢測的物理量傳感器I，從而能夠通過物理量傳感器I來對車身1501的姿態(tài)進(jìn)行檢測。物理量傳感器I的檢測信號被向車身姿態(tài)控制裝置1502供給，并且車身姿態(tài)控制裝置1502根據(jù)該信號來對車身1501的姿態(tài)進(jìn)行檢測，從而能夠根據(jù)檢測結(jié)果而對懸架的軟硬進(jìn)行控制，且能夠?qū)Ω鱾€車輪1503的制動進(jìn)行控制。其他地，這種姿態(tài)控制也能夠在雙足步行機(jī)器人、遙控直升機(jī)中被進(jìn)行利用。如以上那樣，為了實現(xiàn)各種移動體的姿態(tài)控制而組裝物理量傳感器I。
[0132]雖然在以上，根據(jù)圖示的實施方式而對本發(fā)明的物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體進(jìn)行了說明，然而本發(fā)明并不僅限定于此，各部分的結(jié)構(gòu)能夠置換成具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)的部件。此外，在本發(fā)明中夜可以附加其他的任意的結(jié)構(gòu)物。此外，本發(fā)明也可以為將所述各個實施方式中的、任意的兩者以上的結(jié)構(gòu)(特征)組合而成的結(jié)構(gòu)。
[0133]此外，雖然在上述的實施方式中，加速度檢測元件為對X軸方向的加速度進(jìn)行檢測的結(jié)構(gòu)，然而作為加速度檢測元件的檢測軸并沒有特別對其進(jìn)行限定，其也可以為Y軸方向，還可以為Z軸方向。此外，也可以為能夠?qū)軸、Y軸、Z軸的至少兩個軸的方向的加速度進(jìn)行檢測的結(jié)構(gòu)。
[0134]符號說明
[0135] 1:物理量傳感器;2:封裝件;21:基座;211:凹部;22:蓋體;23:內(nèi)部端子;231:第一內(nèi)部端子;232:第二內(nèi)部端子;24:外部端子;3:加速度檢測元件；31:基座基板;311、312、313、314:凹部；32:元件片；321、322:支承部；323:可動部；323a:基部；323b:可動電極指;324、325:連結(jié)部；328:第一固定電極指；329:第二固定電極指；33:蓋體；331:凹部；351、352、353:配線；361、362、363:端子;4:角速度檢測元件；40:質(zhì)量調(diào)節(jié)膜;41:振動片;42:基部;431、432:檢測臂;441、442:連結(jié)臂;451、452、453、454:驅(qū)動臂;461:檢測信號電極;462:檢測信號端子;471:檢測接地電極;472:檢測接地端子;481:驅(qū)動信號電極;482:驅(qū)動信號端子;491:驅(qū)動接地電極;492:驅(qū)動接地端子；5:1C; 6:支承基板;61:基部;611、612:延伸部;62:引線;63:引線；7:屏蔽部;8:基板;9:角速度檢測兀件;91:基部;92、93:驅(qū)動臂；94、95:檢測臂；1100:個人計算機(jī)；1102:鍵盤；1104:主體部；1106:顯示單元；1108:顯示部；1200:移動電話機(jī)；1202:操作按鈕；1204:聽筒；1206:話筒；1208:顯示部；1300:數(shù)碼照相機(jī);1302:殼體;1304:受光單元;1306:快門按鈕;1308:存儲器;1310:顯示部；1500:汽車；1501:車身；1502:車身姿態(tài)控制裝置；1503:車輪;B1、B2、B3:導(dǎo)電凸塊;BYl:接合引線;BY2:接合引線;S:內(nèi)部空間。
【主權(quán)項】
1.一種物理量傳感器，其特征在于，具有: 角速度檢測元件； 加速度檢測元件； 加速度檢測信號配線，其對所述加速度檢測元件的檢測信號進(jìn)行傳輸； 屏蔽部，其位于所述角速度檢測元件與所述加速度檢測信號配線之間，并與固定電位連接。2.如權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其中， 所述角速度檢測元件與所述加速度檢測元件以在高度方向上錯開的方式而被配置， 在所述角速度檢測元件與所述加速度檢測元件之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。3.如權(quán)利要求1或2所述的物理量傳感器，其中， 所述角速度檢測元件與所述加速度檢測元件以在與所述高度方向正交的方向上錯開的方式而被配置， 在所述角速度檢測元件與所述加速度檢測元件之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。4.如權(quán)利要求1或2所述的物理量傳感器，其中， 在對所述角速度檢測元件的驅(qū)動信號進(jìn)行傳輸?shù)尿?qū)動信號配線以及對檢測信號進(jìn)行傳輸?shù)慕撬俣葯z測信號配線之中的至少一方、和與所述加速度檢測元件連接的所述加速度檢測信號配線之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。5.如權(quán)利要求4所述的物理量傳感器，其中， 在所述驅(qū)動信號配線以及所述角速度檢測信號配線之中的至少一方、和對向所述加速度檢測元件施加的載波進(jìn)行傳輸?shù)妮d波配線之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。6.如權(quán)利要求1或2所述的物理量傳感器，具有: 電路，其與所述角速度檢測元件以及所述加速度檢測元件電連接； 數(shù)字配線，其與所述電路連接，并對數(shù)字信號進(jìn)行傳輸， 在所述數(shù)字配線與所述角速度檢測元件之間配置有所述屏蔽部的至少一部分。7.如權(quán)利要求6所述的物理量傳感器，其中， 在俯視觀察時，相對于所述電路的中心而在一側(cè)配置有所述加速度檢測信號配線，在另一側(cè)配置有所述數(shù)字配線。8.如權(quán)利要求1或2所述的物理量傳感器，具有: 支承基板，其對所述角速度檢測元件進(jìn)行支承， 在所述支承基板上配置有所述屏蔽部。9.如權(quán)利要求1或2所述的物理量傳感器，具有: 支承基板，其對所述角速度檢測元件進(jìn)行支承， 所述屏蔽部被與所述支承基板分體配置。10.一種電子設(shè)備，其特征在于，具有權(quán)利要求1或2所述的物理量傳感器。11.一種移動體，其特征在于，具有權(quán)利要求1或2所述的物理量傳感器。
【文檔編號】G01P3/44GK106053883SQ201610221727
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年4月11日 公開號201610221727.1, CN 106053883 A, CN 106053883A, CN 201610221727, CN-A-106053883, CN106053883 A, CN106053883A, CN201610221727, CN201610221727.1
【發(fā)明人】井出次男
【申請人】精工愛普生株式會社