一種旁熱式氣敏元件的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種半導(dǎo)體器件，尤其涉及一種旁熱式氣敏元件。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體傳感器以其易于實現(xiàn)集成化，微型化、靈敏度高等諸多優(yōu)點，一直引起世界各國科學(xué)家的重視和興趣。由于電子技術(shù)的飛速發(fā)展，以半導(dǎo)體傳感器為代表的各種固態(tài)傳感器相繼問世。這類傳感器主要是以半導(dǎo)體為敏感材料，在各種物理量的作用下引起半導(dǎo)體材料內(nèi)載流子濃度或分布的變化，通過檢測這些物理特性的變化，即可反映被測參數(shù)值。它與各種結(jié)構(gòu)型傳感器相比，具有如下特點:由于傳感器原理是基于物理變化的，因而沒有相對運動部件，可以做到結(jié)構(gòu)簡單，微型化；靈敏度高，動態(tài)性能好，輸出為電量；采用半導(dǎo)體為敏感材料容易實現(xiàn)傳感器集成化，智能化；功耗低，安全可靠。
[0003]目前以半導(dǎo)體為基礎(chǔ)材料的氣敏元件已相當(dāng)成熟，但仍然存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜、穩(wěn)定性較差的問題。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、響應(yīng)速度快、靈敏度高、穩(wěn)定性好的旁熱式氣敏元件。
[0005]本實用新型解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:一種旁熱式氣敏元件，包括陶瓷絕緣管，所述陶瓷絕緣管內(nèi)壁涂有燒結(jié)體，所述陶瓷絕緣管中設(shè)置有加熱器，所述加熱器兩端分別設(shè)置有第一引出電極、第二引出電極，所述第一引出電極、第二引出電極分別從陶瓷絕緣體兩端穿出，所述陶瓷絕緣體一端上設(shè)置有第一測量電極、第二測量電極。
[0006]當(dāng)加熱器對燒結(jié)體進行加熱，所述燒結(jié)體產(chǎn)生多孔結(jié)構(gòu)，用于對氣體的吸附和釋放，當(dāng)燒結(jié)體吸附或釋放氣體時，燒結(jié)體質(zhì)量和導(dǎo)電率會發(fā)生改變，根據(jù)氣體濃度的變化，燒結(jié)體導(dǎo)電率發(fā)生相應(yīng)變化，從而作為測定量對氣體進行檢測。
[0007]在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本實用新型還可以做如下改進。
[0008]進一步，所述燒結(jié)體為多孔二氧化鈦材料，所述二氧化鈦材料為多孔半導(dǎo)體材料，加熱時容易產(chǎn)生表面積較大的多孔結(jié)構(gòu)，有利于氣體的吸收或釋放。
[0009]進一步，所述第一測量電極為梳狀金電極，所述梳狀金電極導(dǎo)電性強有利于電信號的收集與輸出。
[0010]進一步，所述第二測量電極為圓環(huán)碳電極，所述圓環(huán)碳電極導(dǎo)電強、內(nèi)耗低，降低了對檢測信號的干擾，同時碳電極環(huán)保無污染。
[0011]本實用新型的有益效果是:結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、響應(yīng)速度快、靈敏度高、穩(wěn)定性好。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實用新型一種旁熱式氣敏元件結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖中，各標(biāo)號所代表的部件列表如下:1、陶瓷絕緣體，2、燒結(jié)體，3、第一引出電極，4、第二引出電極，5、第一測量電極，6、加熱器，7、第二測量電極。
【具體實施方式】
[0014]以下結(jié)合附圖對本實用新型的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本實用新型，并非用于限定本實用新型的范圍。
[0015]如圖1所示，一種旁熱式氣敏元件，包括陶瓷絕緣管1，所述陶瓷絕緣管I內(nèi)壁涂有燒結(jié)體2，所述陶瓷絕緣管I中設(shè)置有加熱器6，所述加熱器6兩端分別設(shè)置有第一引出電極3、第二引出電極4，所述第一引出電極3、第二引出電極4分別從陶瓷絕緣體I兩端穿出，所述陶瓷絕緣體I 一端上設(shè)置有第一測量電極5、第二測量電極7。
[0016]當(dāng)加熱器6對燒結(jié)體2進行加熱，所述燒結(jié)體2產(chǎn)生多孔結(jié)構(gòu)，用于對氣體的吸附和釋放，當(dāng)燒結(jié)體2吸附或釋放氣體時，燒結(jié)體2質(zhì)量和導(dǎo)電率會發(fā)生改變，根據(jù)氣體濃度的變化，燒結(jié)體2導(dǎo)電率發(fā)生相應(yīng)變化，從而作為測定量對氣體進行檢測。
[0017]所述燒結(jié)體2為多孔二氧化鈦材料，所述二氧化鈦材料為多孔半導(dǎo)體材料，加熱時容易產(chǎn)生表面積較大的多孔結(jié)構(gòu)，有利于氣體的吸收或釋放；所述第一測量電極5為梳狀金電極，所述梳狀金電極導(dǎo)電性強有利于電信號的收集與輸出；所述第二測量電極7為圓環(huán)碳電極，所述圓環(huán)碳電極導(dǎo)電強、內(nèi)耗低，降低了對檢測信號的干擾，同時碳電極環(huán)保無污染。
[0018]以上所述僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種旁熱式氣敏元件，其特征在于，包括陶瓷絕緣管，所述陶瓷絕緣管內(nèi)壁涂有燒結(jié)體，所述陶瓷絕緣管中設(shè)置有加熱器，所述加熱器兩端分別設(shè)置有第一引出電極、第二引出電極，所述第一引出電極、第二引出電極分別從陶瓷絕緣體兩端穿出，所述陶瓷絕緣體一端上設(shè)置有第一測量電極、第二測量電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種旁熱式氣敏元件，其特征在于，所述燒結(jié)體為多孔二氧化鈦材料。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種旁熱式氣敏元件，其特征在于，所述第一測量電極為梳狀金電極。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種旁熱式氣敏元件，其特征在于，所述第二測量電極為圓環(huán)碳電極。
【專利摘要】本實用新型涉及一種旁熱式氣敏元件，包括陶瓷絕緣管，所述陶瓷絕緣管內(nèi)壁涂有燒結(jié)體，所述陶瓷絕緣管中設(shè)置有加熱器，所述加熱器兩端分別設(shè)置有第一引出電極、第二引出電極，所述第一引出電極、第二引出電極分別從陶瓷絕緣體兩端穿出，所述陶瓷絕緣體一端上設(shè)置有第一測量電極、第二測量電極。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、制造成本低廉、響應(yīng)速度快、靈敏度高、穩(wěn)定性好。
【IPC分類】G01N27-04
【公開號】CN204330657
【申請?zhí)枴緾N201420575338
【發(fā)明人】李 杰
【申請人】重慶澤嘉機械有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年9月30日