基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于紫外光源測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體設(shè)及一種基于手套箱的真空紫外光 源測(cè)試系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002] 在當(dāng)前的生產(chǎn)、生活中，紫外燈在眾多領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用。紫外線的光生物效 應(yīng)可用于滅菌，細(xì)菌受到紫外線照射后，引起DNA鏈的斷裂，致使細(xì)菌死亡。紫外線滅菌用 于空氣、水、各類(lèi)飲料、實(shí)驗(yàn)室、車(chē)間和醫(yī)院等許多場(chǎng)合。紫外線對(duì)人體保健也有很廣范圍的 應(yīng)用，適量的紫外照射對(duì)人體內(nèi)臟和免疫系統(tǒng)有良好的影響，但過(guò)量的紫外線會(huì)造成皮膚 紅斑等皮膚疾病。目前已發(fā)展的紫外線物理療法可W治療牛皮癖和何償病，消除炎癥。紫 外線的巧光效應(yīng)可用于無(wú)機(jī)元素和有機(jī)物質(zhì)的化學(xué)分析，食品衛(wèi)生中的微量元素和有害物 質(zhì)的檢測(cè)，工業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)品質(zhì)量的監(jiān)測(cè)，礦床探測(cè)中的樣品分析。紫外線的光化效應(yīng)可用于 復(fù)印、油墨固化、半導(dǎo)體巧片的光刻技術(shù)、高分子老化試驗(yàn)和同位素分離等。大功率紫外光 源可W在有限的體積內(nèi)產(chǎn)生紫外福射通量，設(shè)備緊湊，使用成本較低。國(guó)外已有各類(lèi)紫外光 源的產(chǎn)品，在城市飲用水、給排水和空氣殺菌領(lǐng)域已有大規(guī)模應(yīng)用。
[0003] 為了測(cè)試各類(lèi)紫外光源的紫外福射效率，1971年Keitz提出由福照度計(jì)算福射 通量的公式(KeitzHAE.LightCalculationsandmeasurements[M].London,UK: MacmillanandCoLtd, 1971.)
[0004]
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：包括高低溫恒溫手套箱、燈架 和紫外輻射測(cè)試設(shè)備，其中： 所述手套箱具有一個(gè)觀察窗，用于觀測(cè)手套箱內(nèi)的操作狀態(tài)，其外側(cè)裝有可開(kāi)合的擋 光設(shè)施，正常實(shí)驗(yàn)測(cè)試時(shí)用于遮擋手套箱外部的光線，避免雜散光干擾導(dǎo)致的測(cè)量誤差；同 時(shí)設(shè)有若干個(gè)輻射測(cè)試窗口，也作為觀測(cè)窗；手套箱其余內(nèi)表面進(jìn)行黑化處理； 所述紫外輻射測(cè)試設(shè)備包括若干紫外輻照度計(jì)、光譜儀、單色儀，用于測(cè)量紫外輻射； 所述燈架位于手套箱內(nèi)，是固定式或者是旋轉(zhuǎn)式，燈架的高度可以調(diào)節(jié)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述的 觀測(cè)窗材料根據(jù)待測(cè)波段確定，測(cè)量波長(zhǎng)200 nm以下的真空紫外輻射時(shí)，窗口材料采用氟 化鎂晶體，探頭或光纖與窗口之間抽真空或者保持氮?dú)饣驓鍤夥諊?；測(cè)量波長(zhǎng)200 nm以上 的紫外輻射時(shí)，窗口材料是石英玻璃，探頭或光纖周?chē)幱诔爻旱拇髿庵小?br>3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述的 手套箱內(nèi)裝有測(cè)量水蒸汽含量的探頭、測(cè)量氧氣含量的探頭，這些探頭與外部的分析儀相 連，用來(lái)檢測(cè)手套箱內(nèi)的水、氧含量。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述的 手套箱附設(shè)水循環(huán)接口，可以通過(guò)恒溫水浴或油浴控制光源的管壁溫度或冷端溫度。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述手 套箱設(shè)有過(guò)渡艙，該過(guò)渡艙采用可折疊的結(jié)構(gòu)，過(guò)渡艙的長(zhǎng)度可以根據(jù)裝入的燈的尺寸通 過(guò)可折疊結(jié)構(gòu)進(jìn)行伸縮調(diào)節(jié)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述紫 外輻照度計(jì)探頭放置于手套箱觀測(cè)窗外，探頭的接收面對(duì)準(zhǔn)燈體，且探頭受光面的法線垂 直于燈軸。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述光 譜儀采用光纖導(dǎo)光，光纖頭固定在手套箱的觀測(cè)窗外，光纖頭前安裝有余弦校正片、準(zhǔn)直透 鏡。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于：所述的 手套箱直接跟真空單色儀的入射縫法蘭連接，組成聯(lián)合測(cè)試系統(tǒng)，同時(shí)測(cè)定真空紫外光源 的相對(duì)光譜功率分布和絕對(duì)輻射效率。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型屬于紫外光源測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種基于手套箱的真空紫外光源測(cè)試系統(tǒng)。本實(shí)用新型包括高低溫恒溫手套箱、燈架和紫外輻射測(cè)試設(shè)備等。所述的手套箱具有一個(gè)觀察窗，外部裝有擋光設(shè)施；同時(shí)設(shè)有若干個(gè)輻射測(cè)試窗口；其余內(nèi)表面進(jìn)行黑化處理。手套箱內(nèi)至少裝有測(cè)量水蒸汽、氧氣含量的探頭和分析儀，并附設(shè)有恒溫水浴的水循環(huán)回路以控制光源的管壁溫度或冷端溫度。手套箱的過(guò)渡艙采用折疊結(jié)構(gòu)，長(zhǎng)度可以調(diào)整。燈架位于手套箱內(nèi)。紫外輻射測(cè)試設(shè)備包括紫外輻照度計(jì)、光譜儀或單色儀，用于測(cè)量紫外輻射和200nm以下的真空紫外輻射。本實(shí)用新型為各種線性紫外光源的真空紫外輻射效率的評(píng)估提供一種簡(jiǎn)便、可靠、準(zhǔn)確的測(cè)量手段，可用于真空紫外光源的研究開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)制造和品質(zhì)評(píng)價(jià)。
【IPC分類(lèi)】G01J3-28, G01J1-04, G01J1-00, G01J3-02
【公開(kāi)號(hào)】CN204594576
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520130118
【發(fā)明人】張善端, 韓秋漪
【申請(qǐng)人】復(fù)旦大學(xué)
【公開(kāi)日】2015年8月26日
【申請(qǐng)日】2015年3月7日