一種光柵傳感器動(dòng)態(tài)檢測(cè)平臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種光柵傳感器動(dòng)態(tài)檢測(cè)平臺(tái)，具體是一種光柵光速動(dòng)態(tài)綜合檢測(cè)平臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，光柵檢測(cè)技術(shù)水平的高低直接影響著光柵的制造技術(shù)水平，而且在某種意義上來說，光柵的檢測(cè)比光柵刻劃和復(fù)制更為重要。衡量光柵質(zhì)量的指標(biāo)主要有準(zhǔn)確度、均勻性誤差等。不論是光柵或是編碼盤，準(zhǔn)確度都是光柵檢測(cè)中最為重要的指標(biāo)。針對(duì)長光柵的準(zhǔn)確度檢測(cè)目前國內(nèi)外常用的方法為全長最大誤差，針對(duì)圓光柵的準(zhǔn)確度檢測(cè)為任意兩直徑柵線直徑間隔誤差。對(duì)于長光柵的準(zhǔn)確度檢測(cè)，通常采用“比較法”來測(cè)長光柵的刻劃誤差，根據(jù)精度高低來選擇主要有線紋比長儀、光電光波比長儀以及長光柵數(shù)顯檢查儀等三種。而所有光柵檢測(cè)的準(zhǔn)確度以及均勻性誤差等方面真實(shí)數(shù)據(jù)的獲取，均需要在針對(duì)性設(shè)計(jì)的高精密測(cè)試平臺(tái)上才能獲得。
[0003]而目前在光柵等類似對(duì)象的測(cè)試平臺(tái)方面，主要分為兩個(gè)方面:一方面是純靜態(tài)或半靜態(tài)情況下的測(cè)試平臺(tái)。該情況下雖然可以有效保證獲取數(shù)據(jù)的真實(shí)性，但操作起來非常復(fù)雜費(fèi)時(shí)，工作效率較低，在批量化生產(chǎn)應(yīng)用時(shí)更是難以實(shí)現(xiàn)；另一方面是在準(zhǔn)靜態(tài)測(cè)試平臺(tái)使用受限的基礎(chǔ)上，部分人提出采用動(dòng)態(tài)情況下的實(shí)時(shí)檢測(cè)平臺(tái)，但由于并未較好的解決檢測(cè)平臺(tái)在動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)過程中穩(wěn)態(tài)或高加速態(tài)行走精度、定位精度等，導(dǎo)致所測(cè)數(shù)據(jù)的動(dòng)態(tài)準(zhǔn)確度、回程誤差、重復(fù)性等無法滿足設(shè)計(jì)要求，同時(shí)無法解決動(dòng)態(tài)情況下數(shù)據(jù)高速采集的問題，因此造成光柵檢測(cè)在高速動(dòng)態(tài)綜合檢測(cè)平臺(tái)方面的受限。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的為解決了上述現(xiàn)有的技術(shù)缺點(diǎn)，提供一種導(dǎo)向精密、定位精準(zhǔn)、實(shí)時(shí)同步的動(dòng)態(tài)測(cè)試平臺(tái)。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種光柵傳感器動(dòng)態(tài)檢測(cè)平臺(tái)，其包括底座、固定在所述底座上的大理石平臺(tái)、固定在所述大理石平臺(tái)上的基準(zhǔn)光柵和用于固定被測(cè)光柵的被測(cè)光柵固定架、用于采集光柵信號(hào)并對(duì)光柵信號(hào)進(jìn)行處理的綜合控制平臺(tái)；在所述大理石平臺(tái)上還設(shè)置有超精密導(dǎo)向?qū)к?；在所述基?zhǔn)光柵的兩側(cè)設(shè)置有用于傳動(dòng)被測(cè)光柵固定架的直線電機(jī)；所述基準(zhǔn)光柵沿超精密導(dǎo)向?qū)к?、直線電機(jī)通過精密導(dǎo)向滑塊以及超輕質(zhì)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述綜合控制平臺(tái)與直線電機(jī)相連。
[0006]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施例，所述被測(cè)光柵固定架通過活動(dòng)的被測(cè)光柵安裝夾具與所述大理石平臺(tái)相連。
[0007]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施例，所述大理石平臺(tái)為A級(jí)精密花崗巖濟(jì)南青石材；所述綜合控制平臺(tái)包括IMAC400控制器、驅(qū)動(dòng)器，工業(yè)計(jì)算機(jī)、數(shù)據(jù)采集板卡、上位機(jī)數(shù)據(jù)處理器；所述超精密導(dǎo)向?qū)к墳楦咚佟⒕芗?jí)靜音型線軌。
[0008]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施例，所述超精密導(dǎo)向?qū)к壍膬啥嗽O(shè)置有用于防止誤操作產(chǎn)生沖擊的限位開關(guān)、緩沖器和回零檢測(cè)器。
[0009]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施例，所述直線電機(jī)還相連有水冷裝置；所述大理石平臺(tái)的兩側(cè)設(shè)有寬度不等的用于走強(qiáng)電弱電的走線拖鏈。
[0010]作為本實(shí)用新型的一種優(yōu)選實(shí)施例，所述大理石平臺(tái)上還設(shè)置有水平調(diào)節(jié)器用于調(diào)節(jié)大理石平臺(tái)的水平。
[0011]本實(shí)用新型具有的有效效果是:一種光柵傳感器動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)平臺(tái)包括底座、固定在所述底座上的大理石平臺(tái)、固定在所述大理石平臺(tái)上的基準(zhǔn)光柵和用于固定被測(cè)光柵的被測(cè)光柵固定架、用于采集光柵信號(hào)并對(duì)光柵信號(hào)進(jìn)行處理的綜合控制平臺(tái)；在所述大理石平臺(tái)上還設(shè)置有超精密導(dǎo)向?qū)к墸辉谒龌鶞?zhǔn)光柵的兩側(cè)設(shè)置有用于傳動(dòng)被測(cè)光柵固定架的直線電機(jī)；所述基準(zhǔn)光柵沿超精密導(dǎo)向?qū)к墶⒅本€電機(jī)通過精密導(dǎo)向滑塊以及超輕質(zhì)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)往復(fù)運(yùn)動(dòng)；所述綜合控制平臺(tái)與直線電機(jī)相連；本實(shí)用新型將全部動(dòng)態(tài)測(cè)試組件設(shè)置于一整體大理石平臺(tái)之上，由雙直線電機(jī)帶動(dòng)被測(cè)光柵在超精密導(dǎo)向?qū)к壣贤鶑?fù)運(yùn)動(dòng)，通過綜合控制平臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)對(duì)比分析，不僅導(dǎo)向精密、定位精準(zhǔn)、實(shí)時(shí)同步，而且安全可靠、自動(dòng)化程度高，具有很高的實(shí)用價(jià)值和推廣價(jià)值。
【附圖說明】
[0012]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0013]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖中:1、底座；2、大理石平臺(tái)；3、水平調(diào)節(jié)器；4、超輕質(zhì)平臺(tái)；5、被測(cè)光柵固定架；
6、超精密導(dǎo)向?qū)к墸?、直線電機(jī)；8、走線拖鏈；9、水冷裝置；10、綜合控制平臺(tái)；11、限位開關(guān)；12、緩沖器；13、被測(cè)光柵安裝夾具；14、精密導(dǎo)向滑塊；15、基準(zhǔn)光柵；16、回零檢測(cè)器。
【具體實(shí)施方式】
[0015]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0016]參見圖1，一種光柵傳感器動(dòng)態(tài)檢測(cè)平臺(tái)的測(cè)試平臺(tái)，包括底座1、固定在所述底座I上的大理石平臺(tái)2、固定在所述大理石平臺(tái)2上的基準(zhǔn)光柵15和用于固定被測(cè)光柵的被測(cè)光柵固定架5、用于采集光柵信號(hào)并對(duì)光柵信號(hào)進(jìn)行處理的綜合控制平臺(tái)10 ;在所述大理石平臺(tái)2上還設(shè)置有超精密導(dǎo)向?qū)к? ;在所述基準(zhǔn)光柵15的兩側(cè)設(shè)置有用于傳動(dòng)被測(cè)光柵固定架5的直線電機(jī)7 ;所述被測(cè)光柵固定架5通過超輕質(zhì)平臺(tái)4、精密滑塊14沿導(dǎo)向?qū)к?