一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及精確測量的工具，特別涉及一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具，該夾具應用在微波實驗室環(huán)境中，也可以用于微波器件批量生產(chǎn)時的測試測量。
【背景技術】
[0002]隨著微波技術的發(fā)展，微波器件體積越來越小，應用面越來越廣發(fā)，如何在運用中提取該類微小器件微波參數(shù)就成為了一大難點，該類電容市場無準確提取微波參數(shù)的手段，可采用微帶電路與金絲球焊接進行測試，但是此類方法測試后產(chǎn)品無法再次使用和出售，并且測試準確性較差，具有相當?shù)木窒扌浴?br>
【發(fā)明內容】

[0003]本實用新型的目的在于提供一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具，測試夾具有極低損耗的特點，更能準確測試片式電容微波參數(shù)。
[0004]為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型的方案是:一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具，包括夾具主體，在主體上設置有放置被測電容的下平臺，在主體上設置有垂直于所述平臺的導軌，導軌上設置有滑塊，所述滑塊連接一個在所述下平臺之上與所述平臺平行的上平臺，一個推拉手柄安裝在主體上，手柄活動軸連接上平臺，操作手柄使上平臺沿導軌上下移動，其中，在所述下平臺上設置多個含有電容測試載片底托，在下平臺的底端設有與電容測試載片連接的電容一個極的電信號引出接口，在所述上平臺上對應所述多個電容測試載片設置有多個彈性觸頭，所述彈性觸頭與被測電容的接觸面是與被測電容表面尺寸相對應的接觸面，在所述上平臺上端面設有與彈性觸頭連接的作為電容另一個極電信號引出接口。
[0005]方案進一步是:所述彈性觸頭包括觸頭桿和連接套，連接套中設置有彈簧，觸頭桿卡在連接套中頂在彈簧上。
[0006]方案進一步是:所述觸頭桿為階梯桿形狀。
[0007]本實用新型的有益效果是:本實用新型通過對50歐姆微波同軸傳輸線改進，采用彈性內導體滿足同軸傳輸要求的結構，對片式電容進行連接，具有極低損耗的特點，更能準確測試片式電容微波參數(shù)。為了這個目的，把50歐姆傳輸線的同軸內導體做到了與電容尺寸相應的直徑，并且內導體具有一定伸縮性，既能保證連接穩(wěn)定，又能保護待測產(chǎn)品表面不收損傷。
[0008]下面結合附圖和實施例對本實用新型作一詳細描述。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型整體結構示意圖；
[0010]圖2為本實用新型測試桿結構示意圖。
【具體實施方式】
[0011]一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具，如圖1所示，包括夾具主體，在主體上設置有放置被測電容的下平臺1，在主體上設置有垂直于所述平臺的導軌2，導軌上設置有滑塊3，所述滑塊連接一個在所述下平臺之上與所述平臺平行的上平臺4，一個推拉手柄5安裝在主體上，手柄活動軸501連接上平臺，操作手柄使上平臺沿導軌上下移動，其中，在所述下平臺上設置多個含有電容測試載片底托6，在下平臺的底端設有與電容測試載片連接的電容一個極的電信號引出接口(圖中未示出)，在所述上平臺上對應所述多個電容測試載片設置有多個彈性觸頭7，所述彈性觸頭與被測電容的接觸面是與被測電容表面尺寸相對應的接觸面，在所述上平臺上端面設有與彈性觸頭連接的作為電容另一個極電信號引出接口(圖中未示出)。
[0012]實施例中:所述彈性觸頭包括觸頭桿701和連接套702，觸頭桿的前端面7011是與測試電容接觸的面，連接套中設置有彈簧703，觸頭桿卡在連接套中頂在彈簧上。
[0013]實施例中:所述觸頭桿為階梯桿形狀，測試分析可知，階梯桿形狀同軸傳輸結構中內導體加入芯片電容，駐波和插損較理想，電場分布均勻。該結構滿足高片傳輸要求。
[0014]本實施例設備因客戶是進行批量測試，對產(chǎn)品做大量試驗和篩選，因此對測試精度，尤其是重復性要求較高。因此結構采用垂直下壓模式，使用導軌從夾具主體到測試載片定位，使得上平臺下壓時橫向移動分量在微米級，保證了每次連接的一致性。同時采用TRL校準，把參考面校準到待測件兩端；待測件周邊的材料選用介電常數(shù)盡量低的絕緣材料，將其影響降到最低，并對相關結構進行了電性能仿真。
[0015]本實施例結構因測試的產(chǎn)品涉及到大量的試驗和篩選，因此要求待測件在夾具上的連接方便快捷，不能使用螺釘固定或焊接。該結構可以把待測件直接放在測試載片上，拉動手柄，使得作為壓塊的上平臺下沉，壓塊下部有彈性的彈性觸頭傳輸線就可以把待測件壓緊在測試載片上，同時完成射頻連接。因待測電容尺寸種類較多，實施例中的觸頭桿規(guī)格尺寸需要適應實際測試的電容芯片，接觸端面要覆蓋全部尺寸范圍的芯片進行測試。測試不同尺寸規(guī)格的電容時，只需要把相應的載片旋轉至面前即可。
【主權項】
1.一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具，包括夾具主體，在主體上設置有放置被測電容的下平臺，在主體上設置有垂直于所述平臺的導軌，導軌上設置有滑塊，所述滑塊連接一個在所述下平臺之上與所述平臺平行的上平臺，一個推拉手柄安裝在主體上，手柄活動軸連接上平臺，操作手柄使上平臺沿導軌上下移動，其特征在于，在所述下平臺上設置多個含有電容測試載片底托，在下平臺的底端設有與電容測試載片連接的電容一個極的電信號引出接口，在所述上平臺上對應所述多個電容測試載片設置有多個彈性觸頭，所述彈性觸頭與被測電容的接觸面是與被測電容表面尺寸相對應的接觸面，在所述上平臺上端面設有與彈性觸頭連接的作為電容另一個極電信號引出接口。2.根據(jù)權利要求1所述的一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具，其特征在于，所述彈性觸頭包括觸頭桿和連接套，連接套中設置有彈簧，觸頭桿卡在連接套中頂在彈簧上。3.根據(jù)權利要求2所述的一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具，其特征在于，所述觸頭桿為階梯桿形狀。
【專利摘要】本實用新型公開了一種片式電容高頻參數(shù)測試夾具，包括夾具主體，在主體上設置有放置被測電容的下平臺，在主體上設置有導軌，導軌上設置有滑塊，所述滑塊連接一個在所述下平臺之上與所述平臺平行的上平臺，一個推拉手柄安裝在主體上，操作手柄使上平臺沿導軌上下移動，在所述下平臺上設置多個含有電容測試載片底托，在所述上平臺上對應所述多個電容測試載片設置有多個彈性觸頭。本實用新型采用彈性內導體滿足同軸傳輸要求的結構，對片式電容進行連接，具有極低損耗的特點，更能準確測試片式電容微波參數(shù)，既能保證連接穩(wěn)定，又能保護待測產(chǎn)品表面不收損傷。
【IPC分類】G01R1/04
【公開號】CN204679531
【申請?zhí)枴緾N201520431853
【發(fā)明人】何川
【申請人】北京中微普業(yè)科技有限公司
【公開日】2015年9月30日
【申請日】2015年6月19日