具有平板式偏振分光器的檢測透鏡面形偏差用檢測裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種具有平板式偏振分光器的檢測透鏡面形偏差用檢測裝置。
【背景技術】
[0002]目前，檢驗拋光后的光學零件面形偏差通常采用光學樣板或干涉儀檢測，檢驗方法都是根據(jù)光的干涉原理，在光學車間檢驗光學零件的面形偏差，常用的方法有干涉圖樣法和陰影法。干涉圖樣法可分為接觸法(即樣板法)和非接觸法(即干涉儀法)。
[0003]在光學車間光學鏡片面形偏差檢測通常采用光學樣板法，而鏡片下盤后出廠前的終檢采用干涉儀檢測法。二者都是根據(jù)光的干涉原理，通過觀察到的干涉條紋的數(shù)目、形狀、變化狀態(tài)和顏色來確定鏡片的面形偏差。樣板法檢測需要將待測鏡片和光學樣板直接接觸，加壓觀察，這種檢測方法不僅對鏡片的表面光潔度造成一定程度的破壞，多次測量還會使光學樣板磨損，給測量結果帶來誤差，造成反復返工甚至報廢、大大降低了生產(chǎn)效率、增加了生產(chǎn)成本。干涉儀(以美國zego為例)屬于非接觸無損檢測，測量精度高，但價格昂貴，而且測量范圍受到標準鏡頭相關孔徑的限制，需要多種規(guī)格的標準鏡頭，并且需要一定長度的導軌來實現(xiàn)基準面的球心從待測透鏡的球面頂點移動到與被測面的球心重合，通過測量移動的距離獲得待測透鏡的曲率半徑。干涉圖不能反映曲率半徑相對名義值的偏差，不適用于車間的在線檢測。
[0004]專利CN201010550796 “透鏡面形偏差檢測裝置及其方法”公開了一種小型球面干涉儀，該干涉儀使用兩個完全相同的等邊直角棱鏡膠合而成的分光棱鏡(其中一個棱鏡的斜面上鍍有偏振分光介質膜)，將檢測光束分成透射和反射兩束光，分別照射在待測鏡片和光學樣板上反射在接收屏上形成干涉條紋，它用于無損檢驗球面鏡片偏差。但這種方法無法消除光源的亮斑和雜散光，采集到的干涉條紋對比度較差；且用平行光作為檢測光，要求檢測裝置各光學元件口徑較大，且光能利用率較低，產(chǎn)生的背景噪聲較大，嚴重影響圖像質量，使后期圖像處理的誤差變大。
[0005]專利200310122011.9“改進型邁克爾遜干涉儀”公開了一種分光器，該分光器是由兩片完全相同的等邊直角棱鏡膠合而成的分光棱鏡，且在膠合面上鍍有一層半透半反膜，它可以實現(xiàn)光束的透鏡和反射。它用于波長的測定，未應用到透鏡的面形偏差檢測。
【實用新型內容】
[0006]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種結構設計合理、使用高效便捷的具有平板式偏振分光器的檢測透鏡面形偏差用檢測裝置。
[0007]為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是:一種具有平板式偏振分光器的檢測透鏡面形偏差用檢測裝置，包括傾斜設置的分光器，所述分光器由兩塊完全相同的呈平板狀的玻璃膠合而成，且其中一塊玻璃的膠合面鍍有偏振分光介質膜，所述分光器周側設置有激光光源以及接收屏，所述分光器與激光光源之間設置有起偏器以及激光擴束鏡，所述接收屏的內側或者外側設置有檢偏器，光學樣板、待測鏡片放置在所述分光器的周偵牝其中所述激光光源的出射光束與接收屏的軸線相互垂直且交點與所述分光器的中心點重合，所述待測鏡片的光軸與光學樣板的光軸相互垂直且交點偏離所述分光器的中心點，所述光學樣板的光軸、待測鏡片的光軸、激光光源的出射光束以及接收屏的軸線分別與所述分光器的鏡面所夾銳角均為45度，所述分光器與待測鏡片之間以及所述分光器與光學樣板之間均設置有1/4波片。
[0008]進一步的，所述起偏器設置在所述分光器與激光擴束鏡之間，或所述起偏器設置在所述激光擴束鏡與激光光源之間。
[0009]進一步的，所述分光器的傾斜角度為45度。
[0010]進一步的，所述激光擴束鏡、起偏器以及激光光源的軸線位于同一直線上。
[0011]進一步的，所述檢偏器與接收屏的軸線位于同一直線上。
[0012]進一步的，所述分光器與待測鏡片之間設置的1/4波片與所述待測鏡片的軸線位于同一直線上，所述分光器與光學樣板之間設置的1/4波片與所述光學樣板的軸線位于同一直線上。
[0013]進一步的，所述光學樣板上設置有壓電陶瓷移相器。
[0014]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有以下有益效果:(1)本實用新型采用偏振干涉的方法，使兩相干光束有近似相等的光強，條紋亮度可以調節(jié)，能夠抑制雜散光等光學噪聲的影響，得到對比度高的干涉條紋，減少后期圖像處理的誤差，提高鏡片檢測的精度；(2)本實用新型所采用的分光器相比于立方分光器，生產(chǎn)工藝簡單，成本低，特別適用于大口徑檢測系統(tǒng)；(3)本實用新型有效減輕裝置的整體重量，使儀器更容易裝配。
[0015]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型做進一步詳細的說明。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型實施例的構造示意圖。
[0017]圖2為本實用新型實施例的光路原理圖。
[0018]圖中:1-分光器，Ia-玻璃，Ib-膠合面，2-激光光源，3-接收屏，4-起偏器，5-激光擴束鏡，6-檢偏器，7-光學樣板，71-光學樣板基準面，8-待測鏡片，81-待測鏡片基準面，9-1/4波片。
【具體實施方式】
[0019]如圖1~2所示，一種具有平板式偏振分光器I的檢測透鏡面形偏差用檢測裝置，包括傾斜設置的分光器1，所述分光器I由兩塊完全相同的呈平板狀的玻璃Ia膠合而成，且其中一塊玻璃Ia的膠合面Ib鍍有偏振分光介質膜，所述分光器I周側設置有激光光源2以及接收屏3，所述分光器I與激光光源2之間設置有起偏器4以及激光擴束鏡5，所述接收屏3的內側或者外側設置有檢偏器6，光學樣板7、待測鏡片8放置在所述分光器I的周側，其