自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于觀察分析新材料分子或原子量級(jí)大小的裝置，尤其涉及一種自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，屬于顯微電子設(shè)備領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]納米材料是指在三維空間中至少有一個(gè)維度的尺寸小于10nm或者由它們作為基本單元構(gòu)成的材料。由于它的尺寸已經(jīng)接近電子的相干長度，它的性質(zhì)因?yàn)閺?qiáng)相干所帶來的自組織使得性質(zhì)發(fā)生很大變化，如光學(xué)、熱學(xué)、電學(xué)、磁學(xué)、力學(xué)以及化學(xué)方面的性質(zhì)和塊體材料相比將會(huì)有顯著的不同。所以，納米尺度和性能特異變化是納米材料必須同時(shí)具備的兩個(gè)基本特征。
[0003]半導(dǎo)體納米材料的量子尺寸效應(yīng)和表面與界面等效應(yīng)，使其表現(xiàn)出獨(dú)特的光學(xué)特性，如光學(xué)發(fā)光性、吸收帶邊藍(lán)移、激子發(fā)光等。尤其是I1-VI族一維納米材料，它們是寬的直接帶隙半導(dǎo)體材料，是典型的光電半導(dǎo)體材料。帶隙半導(dǎo)體材料，是典型的光電半導(dǎo)體材料。以砸化鎘為(CdSe)例，作為典型的光電半導(dǎo)體材料之一，本身具有獨(dú)特的光電學(xué)性質(zhì)，在作為光源、光吸收、光波導(dǎo)、光致發(fā)光和光電轉(zhuǎn)換等方面有著廣闊的應(yīng)用前景。
[0004]目前國內(nèi)尚無成熟的專門用來制備半導(dǎo)體納米材料相關(guān)樣品的裝置，也沒有配套的測(cè)試儀器。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，解決好現(xiàn)有技術(shù)的問題，彌補(bǔ)現(xiàn)有目前市場上現(xiàn)有產(chǎn)品的不足。
[0006]本實(shí)用新型提供了一種自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，主要包括激光發(fā)射器、第一狹縫、第一半反半透鏡、濾光片、第二半反半透鏡、照相機(jī)、顯微物鏡、樣品臺(tái)、狹縫、第三狹縫、光譜儀、第一聚光透鏡、準(zhǔn)直透鏡、第二聚焦透鏡、第三聚焦透鏡、控制器、CCD探測(cè)器和計(jì)算機(jī)，所述計(jì)算機(jī)通過控制器與激光發(fā)射器連接，所述光譜儀連接CCD探測(cè)器，CCD探測(cè)器連接計(jì)算機(jī)。
[0007]優(yōu)選的，按照激光光路的方向依次設(shè)置激光器、第一狹縫、第一半反半透鏡、第二狹縫、第三狹縫和光譜儀。
[0008]優(yōu)選的，上述激光發(fā)射器和第一狹縫之間設(shè)置有第一聚光透鏡，第一狹縫和第一半反半透鏡之間設(shè)置有第二聚光透鏡，所述第一半反半透鏡和第二狹縫之間設(shè)置有第三聚光透鏡，第二狹縫和第三狹縫之間設(shè)置有第三聚光透鏡。
[0009]優(yōu)選的，按照激光光路方向還依次設(shè)置有激光器、第一狹縫、第一半反半透鏡、顯微物鏡和樣品臺(tái)。
[0010]優(yōu)選的，按照激光光路方向還依次設(shè)置有激光器、第一狹縫、第一半反半透鏡、濾光片、第二半反半透鏡和照相機(jī)。
[0011]本實(shí)用新型提供的自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，可以得到材料帶隙、缺陷、雜質(zhì)能級(jí)以及復(fù)合機(jī)制等參數(shù)信息，通過對(duì)發(fā)光譜中峰位、半高寬等的分析，為科學(xué)實(shí)驗(yàn)提供證據(jù)。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]附圖標(biāo)記:1_激光發(fā)射器；2_第一狹縫；3_第一半反半透鏡；4_濾波片；5-第二半反半透鏡；6_照相機(jī)；7_顯微物鏡；8_樣品臺(tái)；9_第二狹縫；10_第三狹縫；11_光譜儀；12-第一聚光透鏡；13-準(zhǔn)直透鏡；14-第二聚光透鏡；15-第三聚光透鏡；16-控制器；17-CCD探測(cè)器；18-計(jì)算機(jī)。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為了便于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解和實(shí)施本實(shí)用新型，下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。
[0015]本實(shí)用新型提供的自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，主要結(jié)構(gòu)如圖1所示，主要包括激光發(fā)射器1、第一狹縫2、第一半反半透鏡3、濾光片4、第二半反半透鏡5、照相機(jī)6、顯微物鏡7、樣品臺(tái)8、狹縫9、第三狹縫10、光譜儀11、第一聚光透鏡12、準(zhǔn)直透鏡13、第二聚焦透鏡14、第三聚焦透鏡15、控制器16、(XD探測(cè)器17和計(jì)算機(jī)18，計(jì)算機(jī)18通過控制器16與激光發(fā)射器I連接，光譜儀11連接CXD探測(cè)器17，CXD探測(cè)器17連接計(jì)算機(jī)18。激光發(fā)射器I和第一狹縫2之間設(shè)置有第一聚光透鏡12，第一狹縫2和第一半反半透鏡3之間設(shè)置有第二聚光透鏡13，第一半反半透鏡3和第二狹縫9之間設(shè)置有第三聚光透鏡14，第二狹縫9和第三狹縫10之間設(shè)置有第三聚光透鏡15。
[0016]按照激光光路的方向依次設(shè)置激光器1、第一狹縫2、第一半反半透鏡3、第二狹縫9、第三狹縫10和光譜儀11。
[0017]按照激光光路方向還依次設(shè)置有激光器1、第一狹縫2、第一半反半透鏡3、顯微物鏡7和樣品臺(tái)8。
[0018]按照激光光路方向還依次設(shè)置有激光器1、第一狹縫2、第一半反半透鏡3、濾光片4、第二半反半透鏡5和照相機(jī)6。
[0019]本實(shí)用新型提供的自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，其工作原理為:激光器I出射激光經(jīng)由外部光路進(jìn)入顯微鏡7照射到樣品上，樣品受到激光的激發(fā)，產(chǎn)生光致發(fā)光，樣品發(fā)出的光由顯微鏡7的物鏡進(jìn)行收集，經(jīng)過顯微鏡7里的鏡片組(半反半透的透鏡)變成平行光，使得樣品所發(fā)熒光分為兩部分，一部分進(jìn)入照相機(jī)6進(jìn)行成像，一部分經(jīng)由透鏡聚焦后進(jìn)入光譜儀11，通過計(jì)算機(jī)18來控制控制器16，從而可以控制激光發(fā)射的參數(shù)，而CCD探測(cè)器17通過計(jì)算機(jī)18的連接可以顯示出結(jié)果。
[0020]通過對(duì)光致發(fā)光峰的分析我們可以得到:物質(zhì)的特征電子躍迀，粒子是否有表面缺陷發(fā)光，樣品的發(fā)光性能、能級(jí)結(jié)構(gòu)和表面狀態(tài)等信息。
[0021]以上所述之【具體實(shí)施方式】為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施方式，并非以此限定本實(shí)用新型的具體實(shí)施范圍，本實(shí)用新型的范圍包括并不限于本【具體實(shí)施方式】，凡依照本實(shí)用新型之形狀、結(jié)構(gòu)所作的等效變化均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，其特征在于:所述自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀主要包括激光發(fā)射器(I)、第一狹縫(2)、第一半反半透鏡(3)、濾光片(4)、第二半反半透鏡(5)、照相機(jī)(6)、顯微物鏡(7)、樣品臺(tái)(8)、狹縫(9)、第三狹縫(10)、光譜儀(11)、第一聚光透鏡(12)、準(zhǔn)直透鏡(13)、第二聚焦透鏡(14)、第三聚焦透鏡(15)、控制器(16)、C⑶探測(cè)器(17)和計(jì)算機(jī)(18)，所述計(jì)算機(jī)(18)通過控制器(16)與激光發(fā)射器(I)連接，所述光譜儀(11)連接CCD探測(cè)器(17)，CCD探測(cè)器(17)連接計(jì)算機(jī)(18)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，其特征在于:按照激光光路的方向依次設(shè)置激光器(I)、第一狹縫(2)、第一半反半透鏡(3)、第二狹縫(9)、第三狹縫(10)和光譜儀(11)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，其特征在于:所述激光發(fā)射器(I)和第一狹縫⑵之間設(shè)置有第一聚光透鏡(12)，第一狹縫(2)和第一半反半透鏡(3)之間設(shè)置有第二聚光透鏡(13)，所述第一半反半透鏡(3)和第二狹縫(9)之間設(shè)置有第三聚光透鏡(14)，第二狹縫(9)和第三狹縫(10)之間設(shè)置有第三聚光透鏡(15)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，其特征在于:按照激光光路方向還依次設(shè)置有激光器(I)、第一狹縫(2)、第一半反半透鏡(3)、顯微物鏡(7)和樣品臺(tái)5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，其特征在于:按照激光光路方向還依次設(shè)置有激光器(I)、第一狹縫(2)、第一半反半透鏡(3)、濾光片(4)、第二半反半透鏡(5)和照相機(jī)(6)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，主要包括激光發(fā)射器(1)、第一狹縫(2)、第一半反半透鏡(3)、濾光片(4)、第二半反半透鏡(5)、照相機(jī)(6)、顯微物鏡(7)、樣品臺(tái)(8)、狹縫(9)、第三狹縫(10)、光譜儀(11)、第一聚光透鏡(12)、準(zhǔn)直透鏡(13)、第二聚焦透鏡(14)、第三聚焦透鏡(15)、控制器(16)、CCD探測(cè)器(17)和計(jì)算機(jī)(18)，所述計(jì)算機(jī)(18)通過控制器(16)與激光發(fā)射器(1)連接，所述光譜儀(11)連接CCD探測(cè)器(17)，CCD探測(cè)器(17)連接計(jì)算機(jī)(18)。本實(shí)用新型提供的自動(dòng)控制共聚焦顯微熒光儀，可以得到材料帶隙、缺陷、雜質(zhì)能級(jí)以及復(fù)合機(jī)制等參數(shù)信息，通過對(duì)發(fā)光譜中峰位、半高寬等的分析，為科學(xué)實(shí)驗(yàn)提供證據(jù)。
【IPC分類】G01N21/64
【公開號(hào)】CN204807457
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520474605
【發(fā)明人】陳小梅
【申請(qǐng)人】陳小梅
【公開日】2015年11月25日
【申請(qǐng)日】2015年7月2日