一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到電子級(jí)單晶硅拋光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]電子級(jí)單晶硅拋光片生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域中，因?qū)钂伖馄砻嬗袠O其嚴(yán)格的顆粒、沾污、劃道、條紋等微缺陷的技術(shù)指標(biāo)要求，因此需要精確的檢測(cè)設(shè)備對(duì)以上缺陷做出準(zhǔn)確檢測(cè)，以判定硅拋光片表面狀況是否合格。目前使用的硅拋光片表面檢測(cè)設(shè)備，主要由掃描處理腔、光源、傳送裝置、機(jī)械臂、片盒支撐臺(tái)組成。其中掃描處理腔為硅拋光片進(jìn)行檢測(cè)的場(chǎng)所，檢測(cè)光源為激光，通過(guò)計(jì)算機(jī)自動(dòng)將光信號(hào)轉(zhuǎn)化為數(shù)字信息，顯示出檢測(cè)結(jié)果；傳送裝置及機(jī)械臂負(fù)責(zé)發(fā)送與接收硅拋光片，可根據(jù)需要實(shí)現(xiàn)成品與殘次品的分離；片盒支撐臺(tái)為硅拋光片發(fā)送與接收的裝置。
[0003]當(dāng)前的使用方法是:檢測(cè)硅拋光片時(shí)，將待檢硅拋光片片盒放在檢測(cè)設(shè)備的發(fā)送臺(tái)，將接收成品硅拋光片的接收片盒放在檢測(cè)設(shè)備的接收臺(tái)。目前存在的問(wèn)題是，因?yàn)槠兄闻_(tái)是固定的，位置不可調(diào)整，其邊緣距離腔體框架非常接近，幾乎是沒(méi)有間隙的緊密接觸。這種結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn)是，由于片盒支撐臺(tái)與腔體框架之間幾乎沒(méi)有空間，操作人員在操作時(shí)將裝有硅拋光片的待檢片盒放在片盒臺(tái)上，經(jīng)常會(huì)發(fā)生片盒碰撞腔體框架，損傷待檢測(cè)的硅拋光片，造成硅拋光片邊緣崩邊，或者表面劃傷等嚴(yán)重缺陷。由于在之前的很多工序已經(jīng)花費(fèi)了大量人力物力，如果在最終檢測(cè)時(shí)出現(xiàn)上述現(xiàn)象，就會(huì)造成巨大浪費(fèi)與經(jīng)濟(jì)損失，生產(chǎn)效率低下。
[0004]另外，傳統(tǒng)的結(jié)構(gòu)中，由于片盒支撐臺(tái)固定且無(wú)保護(hù)裝置，機(jī)械臂有時(shí)會(huì)發(fā)生誤動(dòng)作。當(dāng)操作人員在片盒支撐臺(tái)放置或收取片盒時(shí)，機(jī)械臂有撞擊硅拋光片的風(fēng)險(xiǎn)，造成嚴(yán)重?fù)p傷或者直接報(bào)廢，甚至出現(xiàn)嚴(yán)重的人身傷害。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]為解決現(xiàn)有技術(shù)中片盒支撐臺(tái)固定且無(wú)保護(hù)裝置，在誤操作時(shí)容易導(dǎo)致機(jī)械臂撞擊硅拋光片，造成嚴(yán)重?fù)p傷或者直接報(bào)廢，甚至出現(xiàn)嚴(yán)重的人身傷害的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)，采用在原有片盒支撐臺(tái)基礎(chǔ)上，增加轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，使其既可便捷、準(zhǔn)確的在片盒支撐臺(tái)上放置及收取片盒，也能保證機(jī)械臂按照要求實(shí)現(xiàn)精確動(dòng)作，避免了之前誤動(dòng)作造成的嚴(yán)重后果。
[0006]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案為:一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)，在支撐臺(tái)臺(tái)面上設(shè)置有片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)，所述片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)分別由其下方設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置帶動(dòng)兩者向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置包括轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸、從動(dòng)桿、主動(dòng)桿、減速器和電機(jī)，其中，轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸底端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在支撐臺(tái)臺(tái)面上，頂端固定在片盒發(fā)送臺(tái)或片盒接收臺(tái)底部，從動(dòng)桿的一端固定在轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸上，另一端與主動(dòng)桿的一端鉸接，且主動(dòng)桿由電機(jī)通過(guò)減速器帶動(dòng)其偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)從動(dòng)桿和轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸偏轉(zhuǎn)。
[0007]所述支撐臺(tái)臺(tái)面上設(shè)置有分別控制片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)偏轉(zhuǎn)的發(fā)送臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕和接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕。
[0008]所述支撐臺(tái)臺(tái)面的邊緣設(shè)置有防護(hù)框架，該防護(hù)框架與片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)有足夠的空間，可實(shí)現(xiàn)輕松、安全、準(zhǔn)確的放置及收取片盒，既降低了人員勞動(dòng)量，提高工作效率，又大大提升了設(shè)備安全、高效運(yùn)行的能力，使設(shè)備保持最佳的工作狀態(tài)與效率。
[0009]有益效果:本實(shí)用新型通過(guò)在片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)下方設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，實(shí)現(xiàn)兩者的靈活轉(zhuǎn)動(dòng)，操作簡(jiǎn)便，實(shí)用性、安全性方面顯著提升。使用該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置時(shí)，只需根據(jù)需要，按下相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕，使對(duì)應(yīng)的片盒發(fā)送臺(tái)或片盒接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到與操作者垂直的位置，此時(shí)機(jī)械臂處于鎖死狀態(tài)，不會(huì)進(jìn)行任何機(jī)械動(dòng)作，可有效防止誤動(dòng)作造成的硅拋光片損傷及人員傷害。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)偏轉(zhuǎn)示意圖；
[0012]圖3為轉(zhuǎn)動(dòng)裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]附圖標(biāo)記:1、支撐臺(tái)臺(tái)面，2、片盒發(fā)送臺(tái)，3、片盒接收臺(tái)，4、轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，401、轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸，402、從動(dòng)桿，403、主動(dòng)桿，404、減速器，405、電機(jī)，5、發(fā)送臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕，6、接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕，7、防護(hù)框架。
【具體實(shí)施方式】
[0014]如圖所示，一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)，在支撐臺(tái)臺(tái)面I上設(shè)置有片盒發(fā)送臺(tái)2和片盒接收臺(tái)3，邊緣設(shè)置有防護(hù)框架7，且防護(hù)框架7與片盒發(fā)送臺(tái)2和片盒接收臺(tái)3之間具有充足的操作空間，所述片盒發(fā)送臺(tái)2和片盒接收臺(tái)3分別由其下方設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置4帶動(dòng)兩者向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)裝置分別由發(fā)送臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕5和接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕6進(jìn)行控制，發(fā)送臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕5和接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕6設(shè)置在支撐臺(tái)臺(tái)面I上；所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置4包括轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸401、從動(dòng)桿402、主動(dòng)桿403、減速器404和電機(jī)405，其中，轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸401底端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在支撐臺(tái)臺(tái)面I上，頂端固定在片盒發(fā)送臺(tái)2或片盒接收臺(tái)3底部，從動(dòng)桿402的一端固定在轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸401上，另一端與主動(dòng)桿403的一端鉸接，且主動(dòng)桿403由電機(jī)405通過(guò)減速器404帶動(dòng)其偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)從動(dòng)桿402和轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸401偏轉(zhuǎn)。
[0015]檢測(cè)時(shí)依次按下發(fā)送臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕5、接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕6，片盒發(fā)送臺(tái)2、片盒接收臺(tái)3分別從傾斜角度轉(zhuǎn)動(dòng)到與操作者垂直的角度，從而使片盒發(fā)送臺(tái)2、片盒接收臺(tái)3與防護(hù)框架7留有足夠的距離，此時(shí)機(jī)械臂處于鎖死狀態(tài)，不會(huì)發(fā)生任何的機(jī)械動(dòng)作及位置移動(dòng)。這樣一來(lái)，一方面便于裝有硅拋光片的待檢測(cè)片盒在片盒發(fā)送臺(tái)2、片盒接收臺(tái)3上的放置和收取，另一方面有效保證了設(shè)備及人員的安全，避免了機(jī)械臂誤動(dòng)作造成的嚴(yán)重事故。片盒放置好后，依次按下發(fā)送臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕5、接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕6，片盒發(fā)送臺(tái)2、片盒接收臺(tái)3分別回到各自的存在一定傾斜角度的位置，同時(shí)機(jī)械臂接收到信號(hào)，開(kāi)始動(dòng)作，檢測(cè)開(kāi)始。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)，在支撐臺(tái)臺(tái)面(I)上設(shè)置有片盒發(fā)送臺(tái)(2)和片盒接收臺(tái)(3)，其特征在于:所述片盒發(fā)送臺(tái)(2)和片盒接收臺(tái)(3)分別由其下方設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置(4)帶動(dòng)兩者向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置(4)包括轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸(401)、從動(dòng)桿(402 )、主動(dòng)桿(403 )、減速器(404 )和電機(jī)(405 )，其中，轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸(401)底端轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在支撐臺(tái)臺(tái)面(I)上，頂端固定在片盒發(fā)送臺(tái)(2)或片盒接收臺(tái)(3)底部，從動(dòng)桿(402)的一2而固定在轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸(401)上，另一2而與主動(dòng)桿(403)的一2而1 父接，且主動(dòng)桿(403)由電機(jī)(405 )通過(guò)減速器(404 )帶動(dòng)其偏轉(zhuǎn)，進(jìn)而帶動(dòng)從動(dòng)桿(402 )和轉(zhuǎn)動(dòng)支撐軸(401)偏轉(zhuǎn)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)，其特征在于:所述支撐臺(tái)臺(tái)面(I)上設(shè)置有分別控制片盒發(fā)送臺(tái)(2)和片盒接收臺(tái)(3)偏轉(zhuǎn)的發(fā)送臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕(5)和接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕(6)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)，其特征在于:所述支撐臺(tái)臺(tái)面(I)的邊緣設(shè)置有防護(hù)框架(7)。
【專利摘要】一種硅拋光片表面顆粒檢測(cè)儀片盒支撐臺(tái)，在支撐臺(tái)臺(tái)面上設(shè)置有片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)，片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)分別由其下方設(shè)置的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置帶動(dòng)兩者向相反的方向轉(zhuǎn)動(dòng)。本實(shí)用新型通過(guò)在片盒發(fā)送臺(tái)和片盒接收臺(tái)下方設(shè)置轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，實(shí)現(xiàn)兩者的靈活轉(zhuǎn)動(dòng)，操作簡(jiǎn)便，實(shí)用性、安全性方面顯著提升。使用該轉(zhuǎn)動(dòng)裝置時(shí)，只需根據(jù)需要，按下相應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)按鈕，使對(duì)應(yīng)的片盒發(fā)送臺(tái)或片盒接收臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)到與操作者垂直的位置，此時(shí)機(jī)械臂處于鎖死狀態(tài)，不會(huì)進(jìn)行任何機(jī)械動(dòng)作，可有效防止誤動(dòng)作造成的硅拋光片損傷及人員傷害。
【IPC分類】G01N21/88
【公開(kāi)號(hào)】CN204832061
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520528003
【發(fā)明人】吳躍峰, 史舸, 熊誠(chéng)雷, 邵奇
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月2日
【申請(qǐng)日】2015年7月21日