一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及晶片測(cè)試,特別是一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著電子設(shè)備的發(fā)展,電子設(shè)備基本上都是通過(guò)晶片來(lái)進(jìn)行導(dǎo)通或傳送信號(hào),而且為了市場(chǎng)的需求,晶片基本上都是小型板狀,因此晶片上的觸電小,在測(cè)試時(shí),需要保證與探針的接觸精度,而在現(xiàn)有的晶片測(cè)試中,晶片通常都是裸露在空氣中進(jìn)行測(cè)試,因此晶片在測(cè)試時(shí),空氣中的粉塵很容易吸附在晶片的測(cè)試面上,因有些粉塵具有導(dǎo)電作用,因此很容易影響晶片的測(cè)試效果,而且粉塵吸附在探針的表面,也很容易造成探針使用壽命縮短,從而提高測(cè)試成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn),提供一種能持續(xù)提供潔凈環(huán)境、測(cè)試精度高和使用壽命長(zhǎng)的晶片測(cè)試防護(hù)裝置。
[0004]本實(shí)用新型的目的通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置,它包括導(dǎo)電基座、罩體和升降臺(tái),所述導(dǎo)電基座上設(shè)置有探針卡,所述的罩體設(shè)在所述導(dǎo)電基座外圍,在罩體上開(kāi)設(shè)有一電纜引出口,電纜引出口內(nèi)設(shè)置有使測(cè)試設(shè)備與探針卡連接的電纜,其特征在于:所述的電纜引出口設(shè)置有一用以密封電纜的彈性密封圈,所述的罩體內(nèi)部安裝有一粉塵檢測(cè)器,粉塵檢測(cè)器與測(cè)試設(shè)備電連接,在罩體上開(kāi)設(shè)有一吸口,吸口通過(guò)管道連接有一抽真空裝置,所述的升降臺(tái)包括升降氣缸和晶片放置平臺(tái),晶片放置平臺(tái)上設(shè)置有多個(gè)用以吸住晶片的吸盤(pán)。
[0005]所述的導(dǎo)電基座為導(dǎo)電橡膠底座。
[0006]所述的罩體的側(cè)面位置設(shè)置有觀測(cè)門(mén)和旋轉(zhuǎn)把手。
[0007]所述的罩體的頂部?jī)?nèi)設(shè)置有電纜固定支架,電纜固定支架上開(kāi)設(shè)有多個(gè)電纜導(dǎo)向孔。
[0008]所述的罩體的內(nèi)表面設(shè)置有電纜導(dǎo)向支架,電纜導(dǎo)向支架上開(kāi)設(shè)有導(dǎo)向過(guò)孔,電纜穿過(guò)導(dǎo)向過(guò)孔。
[0009]本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型的晶片測(cè)試防護(hù)罩,設(shè)置有粉塵檢測(cè)儀和抽真空裝置,能夠隨時(shí)對(duì)罩體內(nèi)的粉塵度進(jìn)行檢測(cè),并且對(duì)罩體內(nèi)的粉塵進(jìn)行清理,從而為晶片的測(cè)試提供了一持續(xù)潔凈的安全環(huán)境,從而避免了粉塵對(duì)晶片測(cè)試效果的影響,提高了晶片參數(shù)的測(cè)試精度,減少了晶片的報(bào)廢;同時(shí)也避免了粉塵吸附在探測(cè)針上,從而保證了探測(cè)針的使用壽命。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
[0011]圖2為升降臺(tái)的俯視不意圖
[0012]圖中,1-導(dǎo)電基座,2-罩體,3-升降臺(tái),4-探針卡,5-電纜引出口,6_測(cè)試設(shè)備,7-電纜,8-彈性密封圈,9-粉塵檢測(cè)器,10-吸口,11-抽真空裝置,12-升降氣缸,13-晶片放置平臺(tái),14-吸盤(pán),15-電纜固定支架,16-電纜導(dǎo)向支架。
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步的描述,本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述:
[0014]如圖1所示,一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置,它包括導(dǎo)電基座1、罩體2和升降臺(tái)3,所述導(dǎo)電基座I上設(shè)置有探針卡4,所述的罩體2設(shè)在所述導(dǎo)電基座I外圍,在本實(shí)施例中,所述的導(dǎo)電基座I為導(dǎo)電橡膠底座,在罩體2上開(kāi)設(shè)有一電纜引出口 5,電纜引出口 5內(nèi)設(shè)置有使測(cè)試設(shè)備6與探針卡4連接的電纜7,所述的電纜引出口 5設(shè)置有一用以密封電纜7的彈性密封圈8,彈性密封圈8將電纜與電纜引出口 5之間的間隙密封,保證了屏蔽效果,同時(shí)避免光和粉塵從電纜引出口 5進(jìn)入到罩體內(nèi),所述的罩體2內(nèi)部安裝有一粉塵檢測(cè)器9,粉塵檢測(cè)器9與測(cè)試設(shè)備6電連接,在罩體2上開(kāi)設(shè)有一吸口 10,吸口 10通過(guò)管道連接有一抽真空裝置11,粉塵檢測(cè)器9可在線(xiàn)檢測(cè)罩體2內(nèi)的粉塵度,當(dāng)檢測(cè)到粉塵超標(biāo)后,測(cè)試設(shè)備停止測(cè)試,并且將其信號(hào)傳送給抽真空裝置,抽真空裝置啟動(dòng),將罩體2內(nèi)的粉塵吸走,從而保證晶片在測(cè)試時(shí),罩體2內(nèi)的粉塵度處于達(dá)標(biāo)狀態(tài),從而避免了粉塵影響晶片的測(cè)試效果,當(dāng)所述的升降臺(tái)3包括升降氣缸12和晶片放置平臺(tái)13,晶片放置平臺(tái)13上設(shè)置有多個(gè)用以吸住晶片的吸盤(pán)14。
[0015]在本實(shí)施例中,所述的罩體2的側(cè)面位置設(shè)置有觀測(cè)門(mén)和旋轉(zhuǎn)把手,圖1中未畫(huà)出,通過(guò)旋轉(zhuǎn)把手實(shí)現(xiàn)打開(kāi)或閉合所述觀測(cè)門(mén),在本實(shí)施例中,觀測(cè)門(mén)可以是左右旋轉(zhuǎn)式的,也可以是上下旋轉(zhuǎn)式的。
[0016]本實(shí)施例中,所述的罩體2的頂部?jī)?nèi)設(shè)置有電纜固定支架15,電纜固定支架15上開(kāi)設(shè)有多個(gè)電纜導(dǎo)向孔,以使所述電纜7穿過(guò)電纜固定支架15,設(shè)置的多個(gè)電纜導(dǎo)向孔,從而使得多根電纜7能夠分別從一電纜導(dǎo)向孔中穿出,避免電纜打結(jié),也可便于電纜理順,從而為線(xiàn)路的檢修提供便利。
[0017]在本實(shí)施例中,為了將電纜7有序的從罩體2中引出到外部測(cè)試設(shè)備的接口,所述的罩體2的內(nèi)表面設(shè)置有電纜導(dǎo)向支架16,電纜導(dǎo)向支架16上開(kāi)設(shè)有導(dǎo)向過(guò)孔,電纜7穿過(guò)導(dǎo)向過(guò)孔,從而使得電纜7處于捆扎狀態(tài),避免了電纜散亂排列。
[0018]本實(shí)用新型的工作過(guò)程如下:將晶片放置在晶片放置平臺(tái)13上,吸盤(pán)14吸住晶片,然后升降氣缸12工作,使得晶片位于導(dǎo)電基座I下方并使晶片上的待測(cè)點(diǎn)與探針卡4接觸,從而使得晶片與測(cè)試設(shè),6電連接,測(cè)試設(shè)備6開(kāi)始測(cè)試,測(cè)試完畢后,升降氣缸12下行,吸盤(pán)14釋放晶片,可通過(guò)人工或者機(jī)械手將晶片取出,在測(cè)試前,粉塵檢測(cè)器9要對(duì)罩體2內(nèi)的粉塵度進(jìn)出檢測(cè),當(dāng)檢測(cè)到粉塵超標(biāo)后,測(cè)試設(shè)備停止測(cè)試,并且將其信號(hào)傳送給抽真空裝置,抽真空裝置啟動(dòng),將罩體2內(nèi)的粉塵吸走,罩體2內(nèi)的粉塵度處于達(dá)標(biāo)狀態(tài),從而避免了粉塵影響晶片的測(cè)試效果,保證了晶片的測(cè)試精準(zhǔn)度。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置,它包括導(dǎo)電基座(1)、罩體(2)和升降臺(tái)(3),所述導(dǎo)電基座(I)上設(shè)置有探針卡(4 ),所述的罩體(2 )設(shè)在所述導(dǎo)電基座(I)外圍,在罩體(2 )上開(kāi)設(shè)有一電纜引出口(5),電纜引出口(5)內(nèi)設(shè)置有使測(cè)試設(shè)備(6 )與探針卡(4 )連接的電纜(7 ),其特征在于:所述的電纜引出口(5)設(shè)置有一用以密封電纜(7)的彈性密封圈(8),所述的罩體(2)內(nèi)部安裝有一粉塵檢測(cè)器(9),粉塵檢測(cè)器(9)與測(cè)試設(shè)備(6)電連接,在罩體(2)上開(kāi)設(shè)有一吸口(10),吸口(10)通過(guò)管道連接有一抽真空裝置(11),所述的升降臺(tái)(3)包括升降氣缸(12)和晶片放置平臺(tái)(13),晶片放置平臺(tái)(13)上設(shè)置有多個(gè)用以吸住晶片的吸盤(pán)(14)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置,其特征在于:所述的導(dǎo)電基座(I)為導(dǎo)電橡膠底座。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置,其特征在于:所述的罩體(2)的側(cè)面位置設(shè)置有觀測(cè)門(mén)和旋轉(zhuǎn)把手。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置,其特征在于:所述的罩體(2)的頂部?jī)?nèi)設(shè)置有電纜固定支架(15),電纜固定支架(15)上開(kāi)設(shè)有多個(gè)電纜導(dǎo)向孔。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置,其特征在于:所述的罩體(2)的內(nèi)表面設(shè)置有電纜導(dǎo)向支架(16),電纜導(dǎo)向支架(16)上開(kāi)設(shè)有導(dǎo)向過(guò)孔,電纜(7)穿過(guò)導(dǎo)向過(guò)孔。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶片測(cè)試防護(hù)裝置,它包括導(dǎo)電基座(1)、罩體(2)和升降臺(tái)(3),導(dǎo)電基座上(1)設(shè)置有探針卡(4),罩體(2)設(shè)在導(dǎo)電基座(1)外圍,在罩體(2)上開(kāi)設(shè)有一電纜引出口(5),電纜引出口(5)內(nèi)設(shè)置有電纜(7),電纜引出口(5)設(shè)置有彈性密封圈(8),罩體(2)內(nèi)部安裝有一粉塵檢測(cè)器(9),在罩體(2)上開(kāi)設(shè)有一吸口(10),吸口(10)通過(guò)管道連接有一抽真空裝置(11),升降臺(tái)(3)包括升降氣缸(12)和晶片放置平臺(tái)(13),晶片放置平臺(tái)(13)上設(shè)置有吸盤(pán)(14)。本實(shí)用新型的有益效果是:它具有能持續(xù)提供潔凈環(huán)境、測(cè)試精度高和使用壽命長(zhǎng)的優(yōu)點(diǎn)。
【IPC分類(lèi)】G01R1/04, G01R31/00
【公開(kāi)號(hào)】CN204925175
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520645596
【發(fā)明人】吳峰
【申請(qǐng)人】四川芯聯(lián)發(fā)電子股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年8月25日