放電檢測電路的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及電路領(lǐng)域，尤其涉及一種放電檢測電路。
【背景技術(shù)】
[0002]離子注入機(jī)是半導(dǎo)體器件制造中常用的摻雜設(shè)備，該設(shè)備通過引導(dǎo)雜質(zhì)離子注入半導(dǎo)體晶片，從而改變晶片傳導(dǎo)率。但是，由于離子注入機(jī)結(jié)構(gòu)復(fù)雜及大量電源的使用，使高、低壓共存在一個整體中，并且由于電極的絕緣部件受到污染、離子束碰撞電極及管壁放氣使真空下降等原因會造成高壓放電現(xiàn)象，這種放電現(xiàn)象即稱為glitch現(xiàn)象。glitch會引起離子束流的中斷，從而對注入劑量產(chǎn)生嚴(yán)重影響，甚至影響晶圓的合格率。為提高晶圓的合格率及嚴(yán)格控制注入劑量，對glitch的檢測極為重要。
[0003]然而，現(xiàn)有的glitch檢測電路設(shè)計(jì)復(fù)雜，實(shí)現(xiàn)起來很不方便，且響應(yīng)延時較長，準(zhǔn)確性較低，容易受許多因素的干擾，大大增加了工作強(qiáng)度。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]現(xiàn)需要提供一種使用于離子注入機(jī)的放電檢測電路，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題?；诖耍緦?shí)用新型提供了一種放電檢測電路，包括:
[0005]電平比較單元，接收一電流監(jiān)控輸出端的電壓和一預(yù)定電壓，并對所述電流監(jiān)控輸出端的電壓和預(yù)定電壓進(jìn)行比較，當(dāng)所述電流監(jiān)控輸出端的電壓超過所述預(yù)定電壓時，所述電平比較單元的輸出電平翻轉(zhuǎn)，當(dāng)所述電流監(jiān)控輸出端的電壓回落到所述預(yù)定電壓以下時，所述電平比較單元的輸出電平再次翻轉(zhuǎn)；以及
[0006]脈沖輸出單元，連接所述電平比較單元，所述脈沖輸出單元檢測所述電平比較單元輸出電平的翻轉(zhuǎn)以檢測所述電流監(jiān)控輸出端是否有放電，所述脈沖輸出單元檢測到所述電平比較單元輸出電平的翻轉(zhuǎn)時輸出高電平。
[0007]可選的，所述放電檢測電路還包括電平轉(zhuǎn)換單元，連接于所述電平比較單元和所述脈沖輸出單元之間，接收所述電平比較單元輸出電平，并轉(zhuǎn)換為滿足脈沖輸出單元電平輸入的電平。
[0008]可選的，所述電平轉(zhuǎn)換單元包括一電壓比較器和一晶體管，所述電壓比較器的一輸入端接收所述電平比較單元輸出的翻轉(zhuǎn)后的電平，所述電壓比較器的另一輸入端接地，所述電壓比較器的輸出端連接所述晶體管的基極，所述晶體管的發(fā)射極接地，所述晶體管的集電極連接所述脈沖輸出單元。
[0009]可選的，所述脈沖輸出單元包括脈沖輸出主體和發(fā)光二極管，所述脈沖輸出主體的第一輸入端接收所述電平比較單元輸出電平，所述脈沖輸出主體的第一輸出端連接所述發(fā)光二極管的陰極，所述發(fā)光二極管的陽極連接一第一外界電壓，所述發(fā)光二極管的陰極作為所述脈沖輸出單元的輸出端，當(dāng)所述脈沖輸出主體檢測到所述電流監(jiān)控輸出端有放電時，所述發(fā)光二極管熄滅。
[0010]可選的，所述脈沖輸出單元還包括一電阻及一電容，所述脈沖輸出主體通過所述電阻及電容控制所述高電平的持續(xù)時間。
[0011 ] 可選的，所述發(fā)光二極管的陽極通過所述電阻連接所述外界電壓，并通過所述電容接地。
[0012]可選的，所述脈沖輸出單元還包括與門，所述與門的一輸入端和輸出端分別連接于所述脈沖主體和所述發(fā)光二極管之間，用于驅(qū)動所述發(fā)光二極管。
[0013]可選的，所述與門的另一輸入端還分別連接所述脈沖輸出主體的第二輸入端和第三輸入端，所述脈沖輸出主體的第二輸入端、第三輸入端以及所述與門的另一輸入端還接入一第二外界電壓。
[0014]可選的，所述脈沖輸出主體為非重觸發(fā)單穩(wěn)態(tài)觸發(fā)器。
[0015]可選的，所述電平比較單元為比較器，其兩個輸入端分別接收所述電流監(jiān)控輸出端的電壓和所述預(yù)定電壓。
[0016]可選的，所述放電檢測電路為離子注入機(jī)的放電檢測電路。
[0017]本實(shí)用新型的放電檢測電路包括電平比較單元和脈沖輸出單元，通過電平比較單元對電流監(jiān)控輸出端的電壓和預(yù)定電壓進(jìn)行比較，當(dāng)所述電流監(jiān)控輸出端的電壓超過所述預(yù)定電壓時電平比較單元的輸出電平翻轉(zhuǎn)，而脈沖輸出單元檢測電平比較單元輸出電平的翻轉(zhuǎn)以檢測所述電流監(jiān)控輸出端是否有放電。本實(shí)用新型能夠僅由兩個電路模塊單元實(shí)現(xiàn)電源放電的檢測，提高了電路的抗干擾能力，相比于現(xiàn)有技術(shù)也簡化了電路的實(shí)現(xiàn)。
【附圖說明】
[0018]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述放電檢測電路的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述放電檢測電路的電路圖；
[0020]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例所述放電檢測電路的檢測波形仿真圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0022]本實(shí)用新型提供了一種電源放電檢測電路，該電路實(shí)現(xiàn)方便，集成度高，響應(yīng)延時極小，實(shí)踐表明該電路對電源glitch的檢測效果良好。該實(shí)用新型應(yīng)用于離子注入機(jī)，該電路適用于離子注入過程中對電源glitch的檢測。
[0023]如圖1所示，本實(shí)用新型的放電檢測電路包括:電平比較單元1，用于對電流監(jiān)控輸出端的電壓和預(yù)定電壓進(jìn)行比較，當(dāng)所述電流監(jiān)控輸出端的電壓超過所述預(yù)定電壓時，電平比較單元I的輸出電平翻轉(zhuǎn)，當(dāng)電流監(jiān)控輸出端的電壓回落到預(yù)定電壓以下時，電平比較單元I的輸出電平再次翻轉(zhuǎn)；以及
[0024]脈沖輸出單元3，連接所述電平比較單元1，用于檢測所述電平比較單元I輸出電平的翻轉(zhuǎn)以檢測所述電流監(jiān)控輸出端是否有放電，所述脈沖輸出單元3檢測到所述電平比較單元I輸出電平的翻轉(zhuǎn)時，輸出高電平。
[0025]在本實(shí)施例中，放電檢測電路還包括電平轉(zhuǎn)換單元2，連接于所述電平比較單元I和所述脈沖輸出單元3之間，用于將所述電平比較單元I輸出的翻轉(zhuǎn)后的電平轉(zhuǎn)換為滿足脈沖輸出單元3的電平輸入的電平。
[0026]在本實(shí)施例中，放電檢測電路為離子注入機(jī)的放電檢測電路。結(jié)合離子注入機(jī)通常的參數(shù)，電流監(jiān)控輸出端輸出絕對值大小為OV?1V電壓信號，因此預(yù)定電壓可以取中間值例如5V。
[0027]如圖2所示，電平比較單元I為比較器，其兩個輸入端分別接收所述電流監(jiān)控輸出端的電壓(source)和所述預(yù)定電壓，對電流監(jiān)控輸出端的電壓和預(yù)定電壓進(jìn)行比較，當(dāng)電流監(jiān)控輸出超過給定電壓時，電平比較單元I的輸出電平進(jìn)行翻轉(zhuǎn)；當(dāng)電流監(jiān)控輸出回落到給定電壓以下時，電平比較單元I的輸出電平再次翻轉(zhuǎn)。其中，上述電平的翻轉(zhuǎn)可以設(shè)置為低到高的翻轉(zhuǎn)，也可以設(shè)置為高到低的翻轉(zhuǎn)。電平轉(zhuǎn)換單元2將電平比較單元I輸出的正負(fù)15V的電平轉(zhuǎn)換為5V和OV的電平，為后續(xù)的脈沖輸出單元3提供合適的電平輸入。
[0028]如圖2所示，電平轉(zhuǎn)換單元2包括一電壓比較器和一晶體管，所述電壓比較器的一輸入端接收所述電平比較單元I輸出的翻轉(zhuǎn)后的電平，所述電壓比較器的另一輸入端接地，所述電壓比較器的輸出端連接所述晶體管的基極，所述晶體管的發(fā)射極接地，所述晶體管的集電極連接所述脈沖輸出單元3。
[0029]所述脈沖輸出單元3包括脈沖輸出主體31和發(fā)光二極管34，所述脈沖輸出主體31的第一輸入端Al接收所述電平比較單元I (本實(shí)施例中通過電平轉(zhuǎn)換單元2輸出)的輸出電平，所述脈沖輸出主體31的第一輸出端Q連接所述發(fā)光二極管34的陰極，所述發(fā)光二極管34的陽極連接一第一外界電壓，所述發(fā)光二極管34的陰極作為所述脈沖輸出單元3的輸出端，當(dāng)所述脈沖輸出主體31檢測到所述電流監(jiān)控輸出端有放電時，所述發(fā)光二極管34熄滅。另