一種微小幾何體測量平臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種微小幾何體測量平臺(tái)，屬于光學(xué)測量技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，對微小幾何體的測量要求越來越迫切。從機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)到醫(yī)學(xué)、生物工程、環(huán)境保護(hù)等；特別是在一些新興的高新技術(shù)領(lǐng)域，都有微小幾何體測量的問題。盡管微小幾何體測量的對象各種各樣，測量方法不盡相同，但它們共同的特點(diǎn)是:測量范圍小，分辨率及精度要求高，自動(dòng)化程度高，難度大。近年來，隨著計(jì)算機(jī)與機(jī)器視覺技術(shù)的發(fā)展，圖像處理與分析方法水平不斷提高，使基于機(jī)器視覺成像方法的幾何測量技術(shù)逐漸成為機(jī)械加工自動(dòng)測量的一種革新手段。機(jī)器視覺在線測量具有非接觸、設(shè)備簡單、對現(xiàn)場環(huán)境要求不高、通用性好、易于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化等諸多優(yōu)點(diǎn)而受到人們的廣泛關(guān)注。然而現(xiàn)有的測量物體微小幾何體的實(shí)驗(yàn)裝置尚無統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)，在微小幾何體測量中物體常常達(dá)到納米級。目前關(guān)于微小幾何體測量方法常見的有基于圖像技術(shù)的微小幾何體檢測、光干涉法和衍射法。上述方法中基于圖像處理的檢測方法的缺點(diǎn)是其檢測精度只達(dá)到了亞微米級；光干涉法和衍射法進(jìn)行微小幾何體測量的缺點(diǎn)是其儀器的結(jié)構(gòu)較復(fù)雜價(jià)格較貴且對測量環(huán)境的要求茍1刻。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型提供了一種微小幾何體測量平臺(tái)，以用于解決現(xiàn)在測量平臺(tái)結(jié)構(gòu)較復(fù)雜價(jià)格較貴且對測量環(huán)境的要求苛刻，檢測精度只達(dá)到了亞微米級的問題。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種微小幾何體測量平臺(tái)，包括底座1、豎直板I 2、豎直板II 3、滑軌I 4、滑軌II 5、移動(dòng)臺(tái)6、支撐桿7、移動(dòng)塊8、相機(jī)支撐板9、(XD攝像機(jī)10、旋轉(zhuǎn)軸13、螺釘14、螺桿15、支座16、電機(jī)17、銷釘18、螺釘19、螺母20 ;其中底座1兩側(cè)分別設(shè)有豎直板I 2、豎直板II 3，豎直板I 2、豎直板II 3與支撐桿7通過螺釘19、螺母20進(jìn)行螺紋連接，支撐桿7上通過銷釘18連接移動(dòng)塊8上的銷釘孔，移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向與底座1所在的面垂直，移動(dòng)塊8下方一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸13上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有相機(jī)支撐板9且相機(jī)支撐板9的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平面與移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向所確定的平面平行，相機(jī)支撐板9上設(shè)有CCD攝像機(jī)10，底座1通過螺釘14與滑軌I 4、滑軌II 5螺紋固定連接，在滑軌I 4、滑軌II 5上設(shè)置有移動(dòng)臺(tái)6且移動(dòng)臺(tái)6的移動(dòng)方向與移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向垂直，移動(dòng)臺(tái)6位于CCD攝像機(jī)10的正下方，在支座16上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿15，在螺桿15上螺紋連接有移動(dòng)臺(tái)6，電機(jī)17的輸出軸與螺桿15連接，電機(jī)17與支座16固定連接在一起。
[0005]所述(XD攝像機(jī)10底部裝有顯微攝像頭11。
[0006]所述顯微攝像頭11下連接有設(shè)置在光源盒子12中的光源。
[0007]所述豎直板I 2、豎直板II 3與支撐桿7通過8個(gè)螺釘19和8個(gè)螺母20進(jìn)行螺紋連接。
[0008]所述底座1通過8個(gè)緊定螺釘14與滑軌I 4、滑軌II 5螺紋固定連接。
[0009]本實(shí)用新型的使用過程是:
[0010]使用過程中將微小幾何體(如:100nm左右)放在移動(dòng)臺(tái)6上，(XD攝像機(jī)10將帶有顯微放大作用的顯微攝像頭11的圖像經(jīng)過圖像采集卡傳輸至計(jì)算機(jī)上；其中光源用于提供照明，從而提高采集的效果。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果是:為微小幾何體(lOOnm左右)的測量提供了高精度的視覺測量裝置，最大程度地提高了圖像質(zhì)量減少了測量誤差從而提高了測量精度；同時(shí)，結(jié)構(gòu)簡單、成本較低。
【附圖說明】
[0012]圖1為本實(shí)用新型的等軸側(cè)示意圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型的示意圖；
[0014]圖中各標(biāo)號:1_底座、2-豎直板1、3-豎直板I1、4-滑軌1、5-滑軌I1、6-移動(dòng)臺(tái)、7-支撐桿、8-移動(dòng)塊、9-相機(jī)支撐板、10-C⑶攝像機(jī)、11-顯微攝像頭、12-光源盒子、13-旋轉(zhuǎn)軸、14-螺釘、15-螺桿、16-支座、17-電機(jī)、18-銷釘、19-螺釘、20-螺母。
【具體實(shí)施方式】
[0015]實(shí)施例1:如圖1-2所示，一種微小幾何體測量平臺(tái)，包括底座1、豎直板I 2、豎直板II 3、滑軌I 4、滑軌II 5、移動(dòng)臺(tái)6、支撐桿7、移動(dòng)塊8、相機(jī)支撐板9、(XD攝像機(jī)10、旋轉(zhuǎn)軸13、螺釘14、螺桿15、支座16、電機(jī)17、銷釘18、螺釘19、螺母20 ;其中底座1兩側(cè)分別設(shè)有豎直板I 2、豎直板II 3，豎直板I 2、豎直板II 3與支撐桿7通過螺釘19、螺母20進(jìn)行螺紋連接，支撐桿7上通過銷釘18連接移動(dòng)塊8上的銷釘孔，移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向與底座1所在的面垂直，移動(dòng)塊8下方一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸13上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有相機(jī)支撐板9且相機(jī)支撐板9的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平面與移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向所確定的平面平行，相機(jī)支撐板9上設(shè)有CCD攝像機(jī)10，底座1通過螺釘14與滑軌I 4、滑軌II 5螺紋固定連接，在滑軌I 4、滑軌II 5上設(shè)置有移動(dòng)臺(tái)6且移動(dòng)臺(tái)6的移動(dòng)方向與移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向垂直，移動(dòng)臺(tái)6位于CCD攝像機(jī)10的正下方，在支座16上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿15，在螺桿15上螺紋連接有移動(dòng)臺(tái)6，電機(jī)17的輸出軸與螺桿15連接，電機(jī)17與支座16固定連接在一起。
[0016]所述(XD攝像機(jī)10底部裝有顯微攝像頭11。
[0017]所述顯微攝像頭11下連接有設(shè)置在光源盒子12中的光源。
[0018]所述豎直板I 2、豎直板II 3與支撐桿7通過8個(gè)螺釘19和8個(gè)螺母20進(jìn)行螺紋連接。
[0019]所述底座1通過8個(gè)緊定螺釘14與滑軌I 4、滑軌II 5螺紋固定連接。
[0020]實(shí)施例2:如圖1-2所示，一種微小幾何體測量平臺(tái)，包括底座1、豎直板I 2、豎直板II 3、滑軌I 4、滑軌II 5、移動(dòng)臺(tái)6、支撐桿7、移動(dòng)塊8、相機(jī)支撐板9、(XD攝像機(jī)10、旋轉(zhuǎn)軸13、螺釘14、螺桿15、支座16、電機(jī)17、銷釘18、螺釘19、螺母20 ;其中底座1兩側(cè)分別設(shè)有豎直板I 2、豎直板II 3，豎直板I 2、豎直板II 3與支撐桿7通過螺釘19、螺母20進(jìn)行螺紋連接，支撐桿7上通過銷釘18連接移動(dòng)塊8上的銷釘孔，移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向與底座1所在的面垂直，移動(dòng)塊8下方一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸13上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有相機(jī)支撐板9且相機(jī)支撐板9的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平面與移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向所確定的平面平行，相機(jī)支撐板9上設(shè)有CCD攝像機(jī)10，底座1通過螺釘14與滑軌I 4、滑軌II 5螺紋固定連接，在滑軌I 4、滑軌II 5上設(shè)置有移動(dòng)臺(tái)6且移動(dòng)臺(tái)6的移動(dòng)方向與移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向垂直，移動(dòng)臺(tái)6位于CCD攝像機(jī)10的正下方，在支座16上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺桿15，在螺桿15上螺紋連接有移動(dòng)臺(tái)6，電機(jī)17的輸出軸與螺桿15連接，電機(jī)17與支座16固定連接在一起。
[0021 ] 所述(XD攝像機(jī)10底部裝有顯微攝像頭11。
[0022]所述顯微攝像頭11下連接有設(shè)置在光源盒子12中的光源。
[0023]實(shí)施例3:如圖1-2所示，一種微小幾何體測量平臺(tái)，包括底座1、豎直板I 2、豎直板II 3、滑軌I 4、滑軌II 5、移動(dòng)臺(tái)6、支撐桿7、移動(dòng)塊8、相機(jī)支撐板9、(XD攝像機(jī)10、旋轉(zhuǎn)軸13、螺釘14、螺桿15、支座16、電機(jī)17、銷釘18、螺釘19、螺母20 ;其中底座1兩側(cè)分別設(shè)有豎直板I 2、豎直板II 3，豎直板I 2、豎直板II 3與支撐桿7通過螺釘19、螺母20進(jìn)行螺紋連接，支撐桿7上通過銷釘18連接移動(dòng)塊8上的銷釘孔，移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向與底座1所在的面垂直，移動(dòng)塊8下方一側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸13上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有相機(jī)支撐板9且相機(jī)支撐板9的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平面與移動(dòng)塊8的移動(dòng)方向所確定的平面平行，相機(jī)支撐板9上設(shè)有CCD攝像機(jī)10，底座1通過螺釘14與滑軌I 4、滑軌II 5螺紋固