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一種背壓式壓力傳感器的制造方法

文檔序號:10054491閱讀:761來源:國知局
一種背壓式壓力傳感器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種近大氣壓力環(huán)境下的動態(tài)壓力測量傳感器,具體地講是一種背壓式壓力傳感器。
【背景技術(shù)】
[0002]在空氣動力試驗中,經(jīng)常需要測量模型表面的壓力變化,通常是使用壓力掃描閥完成測量,可是當(dāng)模型需要轉(zhuǎn)動時,測壓點與掃描閥連接的軟管就無法完成安裝。有些高精度的絕壓傳感器雖然能用來測量,但是大氣壓力就已經(jīng)有l(wèi)OOKPa左右,例如量程為100 KPa,即使精度達(dá)到0.1%F.S的傳感器,在測量3KPa壓力時測量精度僅能夠達(dá)到50?lOOPa,這顯然不能夠滿足外場測試的精度需要;如果用低量程的表壓傳感器測量,雖然能保證精度,但是需要傳感器前后形成壓差,而模型旋轉(zhuǎn)時整個傳感器都需要一起轉(zhuǎn)動,表壓傳感器測量出來的數(shù)據(jù)并不是葉片表面與當(dāng)?shù)卮髿鈮褐g的壓差。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是為了克服上述技術(shù)問題,提供一種背壓式壓力傳感器,能實現(xiàn)近大氣壓力環(huán)境下的動態(tài)壓力測量。
[0004]實現(xiàn)本實用新型的技術(shù)方案是:一種背壓式壓力傳感器,包括殼體、敏感元件;所述殼體前端鑲嵌有敏感元件;所述殼體后端有通氣孔;所述殼體與敏感元件形成背壓腔,該背壓腔通過通氣孔與外界相連。
[0005]所述通氣孔設(shè)有氣孔密封元件。
[0006]通過通氣孔與外界大氣相連,在測量前封堵通氣孔,將背壓腔密封,背壓腔內(nèi)氣體壓力與當(dāng)?shù)禺?dāng)時大氣壓力相同,這樣動態(tài)試驗是壓力傳感器的內(nèi)外壓差就是所需的動態(tài)壓力。
[0007]本發(fā)明的有益效果是,實現(xiàn)大氣壓力附近的壓力測量,傳感器性能可靠,精度高,體積小。
【附圖說明】
[0008]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明。
[0009]圖1是本實用新型壓力傳感器原理圖。
[0010]圖中標(biāo)號:1 一殼體,2—壓力敏感元件,3—通氣孔,4一背壓腔。
【具體實施方式】
[0011]如圖1所示,一種背壓式壓力傳感器,包括殼體1、敏感元件2,所述殼體1前端鑲嵌有敏感元件2,所述殼體1后端有通氣孔3,殼體1與敏感元件2形成背壓腔4,該背壓腔4通過通氣孔3與外界相連。所述通氣孔3設(shè)有氣孔密封元件。
[0012]本實用新型工作過程:壓力測試前,將通氣孔3用氣孔密封元件密封,背壓腔4內(nèi)封裝一個當(dāng)時當(dāng)?shù)氐拇髿鈮毫Γ@時,壓力傳感器傳出的壓力數(shù)據(jù)為實驗需要數(shù)據(jù),實現(xiàn)對動態(tài)壓力的測量。
【主權(quán)項】
1.一種背壓式壓力傳感器,其特征在于:包括殼體、敏感元件;所述殼體前端鑲嵌有敏感元件;所述殼體后端有通氣孔;所述殼體與敏感元件形成背壓腔,該背壓腔通過通氣孔與外界相連;所述通氣孔設(shè)有氣孔密封元件。
【專利摘要】本實用新型公開了一種背壓式壓力傳感器,其特征在于:包括殼體、敏感元件;所述殼體前端鑲嵌有敏感元件,所述殼體后端有通氣孔,殼體與敏感元件形成背壓腔,該背壓腔通過通氣孔與外界大氣相連;在測量前封堵通氣孔,將背壓腔密封,背壓腔內(nèi)氣體壓力與當(dāng)?shù)禺?dāng)時大氣壓力相同,由此實現(xiàn)大氣壓力附近的壓力測量,同理,背壓腔可以封裝需要的參考壓,以實現(xiàn)不同壓力環(huán)境下的壓力測量,傳感器性能可靠,精度高,體積小。
【IPC分類】G01L19/00
【公開號】CN204964098
【申請?zhí)枴緾N201520310689
【發(fā)明人】王羅, 于常安, 何顯中, 賈琦, 張旭
【申請人】中國空氣動力研究與發(fā)展中心設(shè)備設(shè)計及測試技術(shù)研究所
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年5月14日
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