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新型光臂放大式二維線性測頭的制作方法_4

文檔序號:10078349閱讀:來源:國知局
設(shè)于長方體上相互垂直的兩個側(cè)面,激光束一 21、激光束二22分別傾斜入射到反射面 一 41、反射面二42上,激光源一 11、激光源二12相對長方體傾斜設(shè)置,其相對水平面的傾 斜度為90° - α,使其發(fā)射的激光束一 21、激光束二22能夠分別傾斜入射到反射面一 41、 反射面42上,入射角也為90° -α,并以角度α反射到光電探測器一 31、光電探測器二32 上。設(shè)置長方體形狀的測頭基座4加工方便,安裝簡單,其側(cè)面加工成反射面安裝面,精度 容易保證。
[0078] 實(shí)施例3
[0079] 本實(shí)施例中的新型光臂放大式二維線性測頭,與實(shí)施例1基本一致,僅平移部件 與回復(fù)部件采用雙簧片結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn),具體結(jié)構(gòu)包括:
[0080] 如圖1-7所示,兩個激光源,用于發(fā)射兩條激光束,即激光源一 11發(fā)射激光束一 21,激光源二12發(fā)射激光束二22 ;
[0081 ] 測頭基座4,包括至少兩個反射面,如圖8所示的反射面一 41、反射面二42,用于反 射每個激光源發(fā)射的激光束,測頭基座4上設(shè)有用于檢測的測桿6和測球7 ;
[0082] 兩個光電探測器,即光電探測器一 31、光電探測器二32,分別用于接收測頭基座4 上反射面反射的激光束一 21、激光束二22 ;
[0083] 如圖8所示,平移部件與回復(fù)部件,用于使測頭基座4做直線運(yùn)動,或測頭基座4 與光電探測器共同做直線運(yùn)動,以改變測頭基座4反射面上的所述激光束一 21、激光束二 22反射點(diǎn)位置,在測量完成后再將測頭基座4回復(fù)至初始位置,或?qū)y頭基座4和每個所 述光電探測器回復(fù)至初始位置,本實(shí)施例中采用平行簧片結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)平移部件與回復(fù)部件功 能。
[0084] 處理系統(tǒng),根據(jù)光電探測器一 31、光電探測器二32上所接收到的激光束一 21、激 光束二22反射位置變化值,計(jì)算得到測球7的位移變化值。
[0085] 該兩層平行簧片結(jié)構(gòu)主要由兩層平行簧片結(jié)構(gòu)疊加組成。其中測頭基座4安裝測 頭基座安裝板93上。測頭基座安裝板93上設(shè)置兩個相互平行的空心簧片一 81,該簧片一 81的端部連接在安裝支撐架91上,使測頭基座安裝板93可以在兩個空心簧片一 81的作用 下,沿垂直于空心簧片一 81平面的方向相對安裝支撐架91來回?cái)[動。安裝支撐架91上還 是設(shè)有2個平行的簧片二82,其端部連接在固定平板92上,簧片二82與空心的簧片一 81 相互垂直設(shè)置,使安裝支撐架91可以在垂直于簧片二82平面的方向相對固定平板92來回 擺動。從而實(shí)現(xiàn)測頭基座4能夠在互相垂直的兩個空心簧片一 81和簧片二82平面方向的 直線運(yùn)動與回復(fù)運(yùn)動;從而形成測頭基座4在兩個不同直線方向即XY方向直線位移和回復(fù) 運(yùn)動。
[0086] 以上實(shí)施例僅用以說明本實(shí)用新型而并非限制本實(shí)用新型所描述的技術(shù)方案,盡 管本說明書參照上述的各個實(shí)施例對本實(shí)用新型已進(jìn)行了詳細(xì)的說明,但本實(shí)用新型不局 限于上述【具體實(shí)施方式】,因此任何對本實(shí)用新型進(jìn)行修改或等同替換;而一切不脫離實(shí)用 新型的精神和范圍的技術(shù)方案及其改進(jìn),其均應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的權(quán)利要求范圍當(dāng)中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,包括: 兩個激光源,用于發(fā)射兩條激光束,即激光源一(11)發(fā)射激光束一(21),激光源二 (12)發(fā)射激光束二(22); 測頭基座(4),包括至少兩個反射面,用于反射每個所述激光源發(fā)射的激光束,所述測 頭基座上設(shè)有用于檢測的測桿(6)和測球(7); 兩個光電探測器,即光電探測器一(31)、光電探測器二(32),分別用于接收所述測頭 基座(4)上反射面反射的激光束一(21)、激光束二(22); 平移部件,用于使所述測頭基座(4)做直線運(yùn)動,或用于使所述測頭基座(4)與光電探 測器共同做直線運(yùn)動,以改變所述測頭基座(4)反射面上的所述激光束一(21)、激光束二 (22)的反射點(diǎn)位置; 回復(fù)部件(5),用于將所述測頭基座(4)回復(fù)至初始位置,或?qū)⑺鰷y頭基座(4)與光 電探測器(3)共同回復(fù)至初始位置; 處理系統(tǒng),根據(jù)所述光電探測器一(31)、光電探測器二(32)上分別接收到的激光束一 (21),激光束二(22)反射位置變化值,計(jì)算得到所述測球(7)的位移變化值。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,所述平移部件 用于平移所述測頭基座(4)。3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,所述光電探測 器一(31)、光電探測器二(32)的反射面相互垂直設(shè)置,所述平移部件用于將所述測頭基座 (4)沿相對所述光電探測器一(31)、光電探測器二(32)的垂直平面做運(yùn)動。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,所述平移部件 包括兩個相互平行的導(dǎo)向槽一(81),所述導(dǎo)向槽一(81)之間滑動設(shè)有至少一個導(dǎo)向槽二 (82),所述導(dǎo)向槽一(81)與導(dǎo)向槽二(82)相互垂直,所述導(dǎo)向槽二(82)上滑動連接所述 測頭基座(4)。5. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,還包括殼體 (9),所述激光源一(11)、激光源二(12)固定在所述殼體(9)內(nèi),所述光電探測器一(31)、 光電探測器二(32)連接在所述殼體內(nèi),所述回復(fù)部件(5)為彈簧或簧片,其中一端連接在 所述殼體(9)上、另一端連接在所述測頭基座(4)上。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,至少一個所述 光電探測器旋轉(zhuǎn)連接在所述殼體(9)上,每個所述光電探測器在位于對應(yīng)所述激光束的入 射光、反射光構(gòu)成的平面上進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。7. 根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的一種新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,所 述光電探測器一(31)、光電探測器二(32)為位置敏感探測器。8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,所述光電探測 器一(31)、光電探測器二(32)均為一維位置敏感探測器。9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,所述測頭基座 (4)為梯形臺體,所述測頭基座(4)包括位于梯形臺體側(cè)面的兩個反射面,即所述反射面一 (41)、反射面二(42)。10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的新型光臂放大式二維線性測頭,其特征在于,所述測頭基座 (4)的形狀為長方體,該長方體可水平面上移動,該長方體沿豎直方向相互垂直的兩個側(cè)面 上設(shè)置有反射面一(41)、反射面二(42),所述激光束一(21)、激光束二(22)分別傾斜入射 到所述反射面一(41)、反射面二(42)上。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種新型光臂放大式二維線性測頭,包括用于發(fā)射兩條激光束的兩個激光源;用于反射每束激光束的測頭基座,測頭基座設(shè)有至少兩個反射面以及測桿和測球;用于接收兩條反射激光束的兩個光電探測器;用于使測頭基座,或光電探測器與測頭基座一起,做直線運(yùn)動的平移部件,以改變測頭基座反射面上的兩條激光束反射點(diǎn)位置的平移部件;用于將測頭基座回復(fù)至初始位置的回復(fù)部件;用于計(jì)算獲得測球位移變化值的處理系統(tǒng)。該二維線性測頭通過兩個光電探測器能夠得到在兩個不同直線方向的位移量,以補(bǔ)償被測工件定位時的測量偏差,獲得更為準(zhǔn)確的測量坐標(biāo),提高了測量精度,簡化了結(jié)構(gòu),降低了生產(chǎn)成本,易于批量加工制造。
【IPC分類】G01B11/00
【公開號】CN204988188
【申請?zhí)枴緾N201520771429
【發(fā)明人】張白, 康學(xué)亮
【申請人】北方民族大學(xué)
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年9月30日
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