半導(dǎo)體設(shè)備的上蓋板膠圈檢漏裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種檢漏工裝，尤其是一種半導(dǎo)體設(shè)備的上蓋板膠圈檢漏裝置，屬于半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體設(shè)備的裝配過程必須保證上蓋板膠圈的密封性能滿足設(shè)備的要求，如果在膠圈全部安裝到設(shè)備上之后再檢漏，就增加了不確定因素可能會出現(xiàn)漏率不合格等現(xiàn)象，如此會增加設(shè)備檢漏時(shí)間及零部件的更換裝配時(shí)間。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]針對上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種可減少設(shè)備的檢漏時(shí)間及更換零部件的時(shí)間，同時(shí)提高設(shè)備的可靠性能的半導(dǎo)體設(shè)備的上蓋板膠圈檢漏裝置。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:半導(dǎo)體設(shè)備的上蓋板膠圈檢漏裝置，包括管接頭，噴頭上板，陶瓷環(huán)，壓板和底板。管接頭固定在噴頭上板上端的中心處并連接檢漏儀。陶瓷環(huán)設(shè)置在噴頭上板和壓板之間。底板設(shè)置在壓板的下面。待檢膠圈放置在底板的凹槽內(nèi)。
[0005]本實(shí)用新型適用于任何任意直徑小于底板的凹槽的上蓋板膠圈，在最后在檢漏環(huán)節(jié)中，該裝置可在檢漏過程中減少零部件拆卸的次數(shù)，幫助順利完成檢漏環(huán)節(jié)。
[0006]本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)如下:
[0007]1、結(jié)構(gòu)緊湊合理，滿足上蓋板膠圈檢漏的使用要求；
[0008]2、增加檢漏操作的成功率，使檢漏工作能順利進(jìn)行；
[0009]3、本設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，拆卸方便，提高了上蓋板膠圈的檢漏效率。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是本實(shí)用新型的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清晰、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0013]如圖1和圖2所示:半導(dǎo)體設(shè)備的上蓋板膠圈檢漏裝置，包括管接頭1，噴頭上板2，陶瓷環(huán)3，壓板4和底板5。管接頭1固定在噴頭上板2上端的中心處并連接檢漏儀。陶瓷環(huán)3設(shè)置在噴頭上板2和壓板4之間。底板5設(shè)置在壓板4的下面。待檢膠圈放置在底板5的凹槽內(nèi)。
[0014]使用前首先對所有零部件進(jìn)行擦拭或清洗，以確保密封效果；使用時(shí)，將膠圈安裝到底板5的凹槽內(nèi)，壓上陶瓷環(huán)，再安裝膠圈，并將管接頭1連接檢漏儀，要求安裝牢固，不得有松動(dòng)現(xiàn)象。另外需要說明的是，本設(shè)計(jì)適用于任意型號的上蓋板膠圈，但適用的前提條件是需要確保底板5的凹槽的直徑至少要大于膠圈的直徑，這樣才能蓋住膠圈，避免漏氣。最后在檢漏環(huán)節(jié)中，該裝置可在檢漏過程中減少零部件拆卸的次數(shù)，幫助順利完成檢漏環(huán)
【主權(quán)項(xiàng)】
1.半導(dǎo)體設(shè)備的上蓋板膠圈檢漏裝置，其特征在于:包括管接頭，噴頭上板，陶瓷環(huán)，壓板和底板；管接頭固定在噴頭上板上端的中心處并連接檢漏儀，陶瓷環(huán)設(shè)置在噴頭上板和壓板之間，底板設(shè)置在壓板的下面，待檢膠圈放置在底板的凹槽內(nèi)。
【專利摘要】半導(dǎo)體設(shè)備的上蓋板膠圈檢漏裝置，包括管接頭，噴頭上板，陶瓷環(huán)，壓板和底板。管接頭固定在噴頭上板上端的中心處并連接檢漏儀。陶瓷環(huán)設(shè)置在噴頭上板和壓板之間。底板設(shè)置在壓板的下面。待檢膠圈放置在底板的凹槽內(nèi)。本實(shí)用新型適用于任何任意直徑小于底板的凹槽的上蓋板膠圈，在最后在檢漏環(huán)節(jié)中，該裝置可在檢漏過程中減少零部件拆卸的次數(shù)，幫助順利完成檢漏環(huán)節(jié)。
【IPC分類】G01M3/02
【公開號】CN205079911
【申請?zhí)枴緾N201520816547
【發(fā)明人】馬壯, 朱佳奇
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請日】2015年10月20日