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熱板光阻檢測裝置的制造方法

文檔序號:10228074閱讀:443來源:國知局
熱板光阻檢測裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種光阻檢測裝置,尤其涉及一種熱板光阻檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]玻璃在軟烤(Soft bake)和硬烤(Hard bake)制程過程中,由于熱板腔(Hot platechamber)內(nèi)溫度較高,光阻容易揮發(fā),吸附在熱板腔內(nèi)壁形成光阻滴,如果光阻滴在熱板(Hot Plate:HP)內(nèi)殘留過多,會導(dǎo)致產(chǎn)品產(chǎn)生異常顆粒,熱板腔內(nèi)有排出(exhaust)光阻裝置,但不能完全清理光阻,如熱板腔內(nèi)的光阻累計量過多,產(chǎn)生光阻滴滴在產(chǎn)品上,會影響產(chǎn)品的品質(zhì),需要增加一種裝置,檢測熱板腔的機(jī)構(gòu)內(nèi)的光阻累計量。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于,提供了一種熱板光阻檢測裝置,能夠隨時的檢測到熱板腔內(nèi)的光阻的含量,及時的清理熱板腔內(nèi)壁的光阻,保證了產(chǎn)品的品質(zhì)。
[0004]本實用新型解決其技術(shù)問題是采用以下的技術(shù)方案來實現(xiàn)。
[0005]本實用新型提供了一種熱板光阻檢測裝置,該熱板光阻檢測裝置包括固定框架、電路單元、若干海綿球組成光阻吸收器、連接桿和彈簧,該固定框架形成一空腔,該彈簧具有第一端及與該第一端相對的第二端,該彈簧的第一端固定聯(lián)接在該固定框架內(nèi)的空腔的頂壁,該光阻吸收器通過連接桿與該彈簧的第二端固定連接在一起,該電路單元包括滑動變阻器、電流表和電源,該電源的輸出端與該電流表電連接,該電源的輸入端與該滑動變阻器電連接,該滑動變阻器與該電流表電連接,該滑動變阻器設(shè)有指針,該指針固定連接在該彈簧的第二端上,并可隨該彈簧的第二端滑動。
[0006]進(jìn)一步地,該固定框架內(nèi)的空腔的頂壁安裝固定有套筒,該套筒的中部開設(shè)有孔道,該彈簧套設(shè)在該孔道中,套筒底部設(shè)有一開口,該開口將套筒中的孔道與本體的空腔相連通。
[0007]進(jìn)一步地,該連接桿穿設(shè)于套筒的開口并與彈簧的第二端固定連接。
[0008]進(jìn)一步地,該套筒的側(cè)壁上開設(shè)有滑槽,該滑槽將套筒中的孔道與該固定框架中的空腔連通。
[0009]進(jìn)一步地,該滑動變阻器安裝在本體的空腔內(nèi),并靠近套筒中的滑槽而設(shè)置,且該滑動變阻器的延伸方向與該套筒中的滑槽的延伸方向一致。
[0010]進(jìn)一步地,該滑動變阻器上的指針設(shè)置在套筒上的滑槽中,該指針的一端通過滑槽裸露在孔道中,并與彈簧的第二端固定連接。
[0011 ]進(jìn)一步地,該熱板光阻檢測裝置還包括設(shè)置在該套筒上連接一報警裝置的警示器,該彈簧的第二端滑動到警示器所在位置,報警裝置將會發(fā)出報警提示。
[0012]進(jìn)一步地,該報警裝置設(shè)置在熱板腔的外部機(jī)臺上。
[0013]進(jìn)一步地,該電流表設(shè)置在該熱板腔的外部機(jī)臺上。
[0014]進(jìn)一步地,該連接桿可拆卸,該連接桿拆卸后使用有機(jī)溶劑洗去光阻,可重復(fù)使用。
[0015]上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述,為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段,而可依照說明書的內(nèi)容予以實施,并且為了讓本實用新型的上述和其他目的、特征和優(yōu)點能夠更明顯易懂,以下特舉較佳實施例,并配合附圖,詳細(xì)說明如下。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實用新型實施例中熱板光阻檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2為本實用新型實施例中熱板光阻檢測裝置的電路原理示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為了更進(jìn)一步闡述本實用新型為達(dá)成預(yù)定實用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效,以下結(jié)合附圖及較佳實施例,對本實用新型進(jìn)行詳細(xì)說明如下。
[0019]圖1為本實用新型實施例中熱板光阻檢測裝置的結(jié)構(gòu)示意圖,圖2為本實用新型實施例中熱板光阻檢測裝置的電路原理示意圖。請參考圖1至圖2,熱板光阻檢測裝置包括本體10、電路單元20、光阻吸收器30、連接桿40和彈簧50。
[0020]本體10包括固定框架11、套筒12和安裝座14,該固定框架11與該安裝底座14固定連接在一起,具體的,該固定框架11與該安裝座14可以粘合、卡扣或一體成型的方式固定連接在一起,優(yōu)選地,在本實施例中,該固定框架11與該安裝座14為一體成型的方式固定連接在一起,其中,該安裝座14位于該固定框架11的底部,該安裝座14上還設(shè)置有兩個安裝孔(圖未示出),通過緊固螺釘可以將本體10固定安裝在熱板腔(圖未示出)內(nèi)壁上,其中,具體的,該本體10安裝在靠近熱板腔內(nèi)壁的排出光阻裝置(圖未示出)上。本體10上的固定框架11形成有空腔13,該套筒12固定在該固定框架11的頂壁,且該套筒12懸立在該本體10中的空腔13內(nèi)。該彈簧50懸掛在本體10上的固定框架11的空腔13內(nèi)的頂壁,并套設(shè)在該套筒12內(nèi)。光阻吸收器30通過連接桿40與彈簧50連接在一起,并懸掛在本體10的空腔13內(nèi)可上下自由滑動。
[0021 ]具體的,該彈簧50具有第一端51及與該第一端51相對的第二端52,該彈簧50的第一端51安裝固定在該固定框架11的空腔13頂壁。該光阻吸收器30通過連接桿40與彈簧50活動連接在一起,并懸掛在該本體10的空腔13內(nèi)可以上下自由滑動,進(jìn)一步地,該彈簧50的第二端52與該連接桿40的一端活動連接,該連接桿40的另一端與該光阻吸收器30活動連接,且該連接桿40可拆卸,在拆卸該連接桿40后使用有機(jī)溶劑洗去光阻,可重復(fù)使用。
[0022]該套筒12的中部設(shè)置有孔道121,具體的,該孔道121為圓孔道并用于套設(shè)彈簧50,防止彈簧50擺動而影響檢測的精度。該套筒12底部設(shè)有一開口 122,該開口 122將套筒12中的孔道121與本體10的空腔13相連通,連接桿40的一端穿設(shè)于套筒12的開口 122與彈簧50的第二端52固定連接。該套筒12的側(cè)壁120上開設(shè)有一滑槽123,該滑槽123將該套筒12中的孔道121與該本體10上的空腔13連通。該套筒12的側(cè)壁120的外壁上還設(shè)置有便于工作人員查看彈簧50形變量的若干刻度1230,這些刻度1230可以設(shè)置在靠近滑槽123的側(cè)壁120的外壁上,工作人員通過觀察彈簧50的第二端所指的刻度1230便可知道光阻吸收器30所吸收的熱板腔內(nèi)的光阻的含量,從而了解到熱板腔內(nèi)的光阻的累積量。
[0023]該熱板光阻檢測裝置還包括設(shè)置在該套筒12中的滑槽123的底部上連接一報警裝置(圖未示出)的警示器60,具體的,該警示器60所設(shè)在該套筒12中的滑槽123的底部的具體位置是根據(jù)致使熱板腔內(nèi)壁上所形成的光阻滴滴下時的光阻累積含量值的一定比例得到預(yù)設(shè)光阻的含量值而設(shè)定。進(jìn)一步地,工作人員根據(jù)預(yù)設(shè)光阻的含量值和彈簧50的彈簧剛度進(jìn)行換算得到該套筒12中的滑槽123的警示器60的具體設(shè)置位置。當(dāng)光阻吸收器30所吸收的光阻使彈簧50的第二端52下滑到警示器60所在位置時,機(jī)臺上的報警裝置會發(fā)出報警提示工作人員及時清除熱板腔內(nèi)壁的光阻,從而防止光阻在熱板腔內(nèi)壁形成光阻滴,而避免了光阻滴滴在產(chǎn)品上,提高了產(chǎn)品的品質(zhì)。
[0024]該電路單元20包括滑動變阻器21、電流表22、定值電阻23、電源24和開關(guān)25,該電源24的輸出端與電流表22電連接,該滑動變阻器21還設(shè)有指針211,該電流表22分別與該滑動變阻器21和該滑動變阻器21上的指針211電連接,這樣移動滑動變阻器21上的指針211便可以改變滑動變阻器21的輸出電阻的阻值,同時電流表22還與定值電阻23電連接,該
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