測試裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實用新型是關(guān)于一種測試裝置，且特別是關(guān)于一種測試設(shè)備的測試裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 公知的測試設(shè)備可包含電路板、空間轉(zhuǎn)換板與測試裝置。測試裝置具有多個彈性 接觸結(jié)構(gòu)與定位彈性接觸結(jié)構(gòu)用的上導引板與下導引板。彈性接觸結(jié)構(gòu)的兩端分別穿出上 導引板與下導引板，其中穿出下導引板的一端用來接觸待測物(device under test,簡稱 DUT)上的接觸接點，例如焊墊(pad)或凸塊(bump);而穿出上導引板的一端通過空間轉(zhuǎn)換板 與電路板電性連接。而下導引板上的貫穿孔的排列方式皆對應(yīng)待測物上的接觸接點。
[0003] -般而言，進行測試裝置的組裝，是先將彈性接觸結(jié)構(gòu)固定在下導引板上，之后再 安裝上導引板，但組裝完成后，測試裝置中的這些彈性接觸結(jié)構(gòu)常常會出現(xiàn)左右偏擺方向 不一致，因此容易造成測試裝置中這些彈性接觸結(jié)構(gòu)無法與待測物穩(wěn)定接觸的問題。 【實用新型內(nèi)容】
[0004] 本實用新型提供了一種測試裝置，可以有效使得測試裝置中的多根彈性接觸結(jié)構(gòu) 大致上朝同一方向擺動。
[0005] 本實用新型提供了一種應(yīng)用于測試設(shè)備的測試裝置，所述測試裝置包含具有多個 上貫穿開口的一上導引板，具有多個下貫穿開口的一下導引板，所述下導引板位于所述上 導引板的一側(cè)，所述上導引板與所述下導引板之間具有一測試裝置偏移量d 2,以及多個彈 性接觸結(jié)構(gòu)。每一所述彈性接觸結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述上導引板與所述下導引板之間，每一所述 彈性接觸結(jié)構(gòu)各依序具有一接觸結(jié)構(gòu)尖段、一接觸結(jié)構(gòu)身段與一接觸結(jié)構(gòu)尾段，每一所述 彈性接觸結(jié)構(gòu)分別單獨穿過每一所述上貫穿開口與每一所述下貫穿開口，每一所述彈性接 觸結(jié)構(gòu)的所述接觸結(jié)構(gòu)尖段與所述接觸結(jié)構(gòu)尾段之間分別具有一彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量， 每一所述彈性接觸結(jié)構(gòu)具有一目標彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量cU，所述目標彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量 cU與所述測試裝置偏移量山之間的關(guān)系符合以下關(guān)系式= (^ = (^±50~200微米，其中山和山 的單位均為微米。
[0006] 如上述的測試裝置，其中，具有最小彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量的所述彈性接觸結(jié)構(gòu)，其 所述最小彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量為cU減去25微米。
[0007] 如上述的測試裝置，其中，具有最大彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量的所述彈性接觸結(jié)構(gòu)，其 所述最大彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量為CU加上25微米。
[0008] 如上述的測試裝置，其中，所述上導引板與所述下導引板之間的所述測試裝置偏 移量為每一所述上貫穿開口的中心軸相對于每一所述下貫穿開口的中心軸之間的距離。
[0009] 如上述的測試裝置，其中，所述上導引板與所述下導引板二者之間的所述測試裝 置偏移量為呈相對設(shè)置。
[0010] 如上述的測試裝置，其中，所述接觸結(jié)構(gòu)尖段的一接觸結(jié)構(gòu)尖端自其中心軸拉出 一第一假想線，所述接觸結(jié)構(gòu)身段與所述接觸結(jié)構(gòu)尾段的交點垂直拉出一第二假想線，所 述第二假想線平行于所述接觸結(jié)構(gòu)尖段，每一所述彈性接觸結(jié)構(gòu)的彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量為 所述第一假想線與所述第二假想線之間的距離。
[0011] 如上述的測試裝置，其中，每一所述彈性接觸結(jié)構(gòu)的所述接觸結(jié)構(gòu)身段具有一彈 性部。
[0012] 如上述的測試裝置，其中，每一所述彈性接觸結(jié)構(gòu)為能彈性變形的金屬結(jié)構(gòu)。
[0013] 如上述的測試裝置，其中，當所述目標彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量與所述測試裝置偏移 量之間的關(guān)系符合以下關(guān)系式(12 = (^-50~200微米時，所述測試裝置偏移量小于所述最小 彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量。
[0014] 如上述的測試裝置，其中，當所述目標彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量與所述測試裝置偏移 量之間的關(guān)系符合以下關(guān)系式(12 = (^+50~200微米時，所述測試裝置偏移量大于所述最大 彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量。
[0015] 本實用新型通過設(shè)計目標彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量cb與測試裝置偏移量d2之間的關(guān)系 符合以下關(guān)系式= (^ = (^±50~200微米，進而可以達到測試裝置在組裝完成后，可以實現(xiàn)讓 測試裝置中的這些彈性接觸結(jié)構(gòu)大致上朝向同一方向擺動的目的。
【附圖說明】
[0016] 以下附圖僅旨在于對本實用新型做示意性說明和解釋，并不限定本實用新型的范 圍。其中：
[0017] 圖1為本實用新型的測試裝置一實施例的剖面示意圖。
[0018] 圖2為本實用新型的彈性接觸結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0019] 圖3為本實用新型的測試裝置中的上、下導引板的示意圖。
[0020] 圖4A為本實用新型的測試裝置采用不同的測試裝置偏移量的測試結(jié)果的折線圖。
[0021] 圖4B為本實用新型的測試裝置采用不同的測試裝置偏移量的測試結(jié)果的折線圖。
[0022] 圖5A為本實用新型的測試裝置采用不同的測試裝置偏移量的測試結(jié)果的折線圖。
[0023] 圖5B為本實用新型的測試裝置采用不同的測試裝置偏移量的測試結(jié)果的折線圖。 [0024]圖6為將圖4A至圖5B的測試裝置偏移量測試結(jié)果以標準差表示的折線圖。
[0025]附圖符號說明：
[0026] 100測試裝置 0、P 交點
[0027] 110上導引板 Θ 夾角
[0028] 112上貫穿開口 h 第一假想線
[0029] 120下導引板 12 第二假想線
[0030] 122下貫穿開口 13 第三假想線
[00311 130彈性接觸結(jié)構(gòu) 14 第四假想線
[0032] 132接觸結(jié)構(gòu)尖段 d 彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量
[0033] 1321接觸結(jié)構(gòu)尖端 cb 目標彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移量
[0034] 134接觸結(jié)構(gòu)身段 d2 測試裝置偏移量
[0035] 1341彈性部 Χι、Χ2中心軸
[0036] 136接觸結(jié)構(gòu)尾段
【具體實施方式】
[0037] 以下將以附圖詳細清楚說明本實用新型的保護范圍，任何所屬技術(shù)領(lǐng)域中的普通 技術(shù)人員在了解本實用新型的較佳實施例后，可由本實用新型所記載的技術(shù)，加以改變及 修飾，其并不脫離本實用新型的保護范圍。此外，為簡化附圖起見，一些公知慣用的結(jié)構(gòu)與 組件在附圖中將以簡單示意的方式繪示。
[0038] 如【背景技術(shù)】所述，由于測試裝置中的彈性接觸結(jié)構(gòu)在組裝完成后會出現(xiàn)左右偏擺 方向不一致的問題，因此無法與待測物穩(wěn)定接觸。
[0039]有鑒于此，本實用新型便提出了一種測試裝置，通過設(shè)計目標彈性接觸結(jié)構(gòu)偏移 量cU與測試裝置偏移量d2之間的關(guān)系符合以下關(guān)系式:d2 = cU ± 50~200微米，進而可以達 到測試裝置在組裝完成后，讓測試裝置中的這些彈性接觸結(jié)構(gòu)大致上朝向同一方向偏擺， 進而實現(xiàn)與待測物穩(wěn)定接觸的目的。
[0040] 參照圖1，其為本實用新型的測試裝置一實施例的剖面示意圖。測試裝置100包含 有上導引板110、位于上導引板110-側(cè)的下導引板120以及位于上導引板110以及下導引板 120之間的多個彈性接觸結(jié)構(gòu)130。上導引板110以及下導引板120分別具有多個上貫穿開口 112與下貫穿開口 122,用以容置與固定彈性接觸結(jié)構(gòu)130。
[0041] 彈性接觸結(jié)構(gòu)130各依序包含有接觸結(jié)構(gòu)尖段132、接觸結(jié)構(gòu)身段134以及接觸結(jié) 構(gòu)尾段136。接觸結(jié)構(gòu)尖段132穿出下導引板120的下貫穿開口 122,并且接觸結(jié)構(gòu)尖段132的 接觸結(jié)構(gòu)尖端1321用以與待測物(未圖式)接觸。接觸結(jié)構(gòu)尾段136容置在上導引板110的上 貫穿開口 112中，并且接觸結(jié)構(gòu)尾段136穿出上導引板110的上貫穿開口 112,進一步可以抵 接于空間轉(zhuǎn)換板(未圖式)或電路板(未圖式)的接點(pad)。接觸結(jié)構(gòu)身段134位于上導引板 110以及下導引板120之間。當接觸結(jié)構(gòu)尖端1321接觸待測物時，上導引板110以及下導引板 120會限制彈性接觸結(jié)構(gòu)130的位移。更具體地說，上導引板110以及下導引板120之間具有 測試裝置偏移量d 2,亦即上導引板110的上貫穿開口 112不會對齊下導引板120的下貫穿開 口 122,以讓彈性接觸結(jié)構(gòu)130在穿過上貫穿開口 112與下貫穿開口 122之后至少部分抵靠于 上導引板110或下導引板120而定位。
[0042] 在本實施例中，彈性接觸結(jié)構(gòu)130為能彈性變形的金屬結(jié)構(gòu)，例如為垂直挫屈彈性 接觸結(jié)構(gòu)(又稱Cobra彈性接觸結(jié)構(gòu)），故接觸結(jié)構(gòu)身段134為一概呈彎曲的接觸結(jié)構(gòu)身段并 且在鄰近接觸結(jié)構(gòu)尾段136的位置具有彈性部1341，彈性部1341作為挫屈結(jié)構(gòu)，以在彈性接 觸結(jié)構(gòu)130受到外力時利用挫屈原理讓彈性接觸結(jié)構(gòu)130變形產(chǎn)生彈力。
[0043] 接著如圖2以及圖