一種掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及測(cè)試領(lǐng)域，特別涉及一種掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)有的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)通常為圓形平面樣品臺(tái)，僅能放置上下表面較為平整的樣品，無法較好的固定不規(guī)則的樣品。對(duì)于需要觀察不規(guī)則樣品的平面或者斷面時(shí)，無法將樣品立起。而且，每次樣品固定需在樣品臺(tái)上貼層導(dǎo)電膠，造成耗材浪費(fèi)。
[0003]因而現(xiàn)有技術(shù)還有待改進(jìn)和提高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)的不足之處，本實(shí)用新型的目的在于提供一種掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，可固定不同類型、凹凸不平的樣品。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采取了以下技術(shù)方案:
[0006]—種掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，包括基臺(tái)，所述基臺(tái)的上表面上設(shè)置有定位擋塊、固定塊和壓緊螺絲，所述定位擋塊和固定塊均為長方體，所述定位擋塊和固定塊間隔設(shè)置以形成用于容納樣品的矩形凹槽，所述固定塊內(nèi)設(shè)置有與所述壓緊螺絲適配的螺紋孔，所述螺紋孔與所述矩形凹槽連通，所述壓緊螺絲通過所述螺紋孔將樣品固定在所述矩形凹槽內(nèi)。
[0007]所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)中，所述固定塊的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)固定塊分別設(shè)置在所述定位擋塊的左側(cè)和右側(cè)。
[0008]所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)中，所述定位擋塊、固定塊和基臺(tái)一體成型設(shè)置。
[0009]所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)中，所述樣品臺(tái)上設(shè)置有固定孔，所述固定孔與基臺(tái)的上表面垂直，所述固定孔穿過所述定位擋塊和基臺(tái)。
[0010]所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)中，所述定位擋塊和固定塊之間的間距為5mm。
[0011]所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)中，所述基臺(tái)上還設(shè)置有壓塊，所述壓塊為長方體，所述壓塊設(shè)置在所述矩形凹槽內(nèi)，所述壓塊對(duì)應(yīng)所述固定塊的螺紋孔的位置設(shè)置有檔槽，所述檔槽與所述螺紋孔連通。
[0012]所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)中，所述檔槽的開口面積大于所述螺紋孔的開口面積。
[0013]所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)中，所述定位擋塊和固定塊之間的間距為30mm。
[0014]相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型提供的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，包括基臺(tái)，所述基臺(tái)的上表面上設(shè)置有定位擋塊、固定塊和壓緊螺絲，所述定位擋塊和固定塊均為長方體，所述定位擋塊和固定塊間隔設(shè)置以形成用于容納樣品的矩形凹槽，所述固定塊內(nèi)設(shè)置有與所述壓緊螺絲適配的螺紋孔，所述螺紋孔與所述矩形凹槽連通，所述壓緊螺絲通過所述螺紋孔將樣品固定在所述矩形凹槽內(nèi)。由此，只需將樣品放置在矩形凹槽內(nèi)，旋緊所述壓緊螺絲即可固定樣品，操作簡單方便，而且，可以固定豎直放置的樣品，也可固定表面凹凸不平、不同類型的樣品，使用范圍廣泛。
【附圖說明】
[0015]圖1為本實(shí)用新型提供的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)的第一實(shí)施例的正視圖。
[0016]圖2為本實(shí)用新型提供的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)的第一實(shí)施例的俯視圖。
[0017]圖3為本實(shí)用新型提供的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)的第二實(shí)施例的正視圖。
[0018]圖4為本實(shí)用新型提供的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)的第二實(shí)施例的俯視圖。
[0019]圖5為本實(shí)用新型提供的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)的第二實(shí)施例中，設(shè)置有定位凹槽和凸起部的樣品臺(tái)的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0020]本實(shí)用新型提供一種掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及效果更加清楚、明確，以下參照附圖并舉實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0021]請(qǐng)參閱圖1和圖2，本實(shí)用新型提供的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，包括基臺(tái)10，所述基臺(tái)10的上表面上設(shè)置有定位擋塊20、固定塊30和壓緊螺絲(圖中未示出)，所述定位擋塊20和固定塊30均為長方體，所述定位擋塊20和固定塊30間隔設(shè)置以形成用于容納樣品的矩形凹槽40，所述固定塊30內(nèi)設(shè)置有與所述壓緊螺絲適配的螺紋孔310，所述螺紋孔310與所述矩形凹槽40連通，所述壓緊螺絲通過所述螺紋孔310將樣品固定在所述矩形凹槽40內(nèi)。
[0022]由此，只需將樣品放置在矩形凹槽內(nèi)，旋緊所述壓緊螺絲即可固定樣品，操作簡單方便，而且，可以固定豎直放置的樣品，也可固定表面凹凸不平、不同類型的樣品，使得掃描電子顯微鏡可觀察各種樣品，使用范圍廣泛。
[0023]進(jìn)一步的，所述定位擋塊20、固定塊30和基臺(tái)10—體成型設(shè)置。優(yōu)選的，所述定位擋塊20、固定塊30和基臺(tái)10通過3D打印一體成型，當(dāng)然，也可以在長方體的基臺(tái)10上銑出兩個(gè)矩形凹槽形成所述樣品臺(tái)，本實(shí)用新型不做限定。
[0024]所述基臺(tái)10為正方體基臺(tái)，旋轉(zhuǎn)基臺(tái)10不僅可改變觀察樣品的方向，而且不會(huì)影響基臺(tái)10的固定。優(yōu)選的，所述基臺(tái)10的邊長為50mm。所述定位擋塊20和固定塊30等高，避免高度不已損壞顯微鏡。進(jìn)一步的，所述樣品臺(tái)的長和寬均為50mm，高為15mm(固定塊和基臺(tái)的高度之和)。
[0025]本實(shí)用新型的第一實(shí)施例中，如圖1和圖2所示，所述固定塊30的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)固定塊30分別設(shè)置在所述定位擋塊20的左側(cè)和右側(cè)。這樣可形成兩個(gè)矩形凹槽40，可通過掃描電子顯微鏡同時(shí)觀察多個(gè)樣品，提高了觀察效率。所述固定塊30除構(gòu)成矩形凹槽40的一側(cè)外，其他側(cè)邊均與基臺(tái)10的邊緣平齊。所述固定塊30的高度與定位擋塊20的高度相等，可避免高度不等引起的顯微鏡刮傷。優(yōu)選的，所述固定塊30的寬度為15mm，長度為50mm;所述定位擋塊20的寬度為10mm，長度為50mm。
[0026]所述定位擋塊20和固定塊30之間的間距為5mm。換而言之，所述矩形凹槽40的寬度為5mm，長度為50mm。
[0027]進(jìn)一步的，所述樣品臺(tái)上設(shè)置有固定孔210，所述固定孔210與基臺(tái)10的上表面垂直，所述固定孔210穿過所述定位擋塊20和基臺(tái)10。換而言之，在所述定位擋塊20的中心向下打一個(gè)固定孔210，螺栓可穿過所述固定孔210將樣品臺(tái)固定在所述電子顯微鏡上。當(dāng)然，是固定孔210內(nèi)也可設(shè)置螺紋，通過螺釘將所述樣品臺(tái)固定在電子顯微鏡上。所述固定孔210的設(shè)置，不僅能固定樣品臺(tái)，也能讓樣品臺(tái)方便的旋轉(zhuǎn)，便于觀察不同的樣品。
[0028]請(qǐng)參閱圖3和圖4，本實(shí)用新型的第二實(shí)施例中，所述基臺(tái)10上還設(shè)置有壓塊50，所述壓塊50為長方體，所述壓塊50設(shè)置在所述矩形凹槽40內(nèi)，具體的，所述壓塊50放置在所述矩形凹槽40內(nèi)；所述壓塊50對(duì)應(yīng)所述固定塊30的螺紋孔310的位置設(shè)置有檔槽510，所述檔槽510與所述螺紋孔310連通。這樣，壓緊螺絲通過螺紋孔310抵住檔槽510，通過旋緊壓緊螺絲使得壓塊50將樣品夾住，實(shí)現(xiàn)樣品的固定，而且，采用壓塊50使得樣品的受力均勻，有效的保護(hù)了樣品。
[0029]所述檔槽510的開口面積大于所述螺紋孔310的開口面積。這樣壓緊螺絲可很好的伸入到檔槽510內(nèi)。
[0030]進(jìn)一步的，本實(shí)施例中，所述定位擋塊20和固定塊30之間的間距為30mm。換而言之，所述矩形凹槽40的寬度為30mm，其長度為50mm。本實(shí)施例中的樣品臺(tái)的長寬高同樣為50X 50 X 15mm。所述定位擋塊20和固定塊30寬度均為10mm，長度均為50mm。所述壓塊50的寬度為7mm，長度為50mm。
[0031]更進(jìn)一步的，請(qǐng)參閱圖5，所述壓塊50與固定塊30接觸的側(cè)邊(即設(shè)置有檔槽510的側(cè)邊)的兩端對(duì)稱設(shè)置有橫截面為“V”形的定位凹槽520，對(duì)應(yīng)的，所述固定塊30對(duì)應(yīng)所述定位凹槽520的位置設(shè)置有橫截面為倒“V”形的(S卩，與所述定位凹槽520適配的)凸起部320。平時(shí)無需壓緊樣品時(shí)，所述壓塊50放置在矩形凹槽40內(nèi)，容易掉落;設(shè)置定位凹槽520和凸起部320，使得壓塊50放置在定位凹槽320內(nèi)時(shí)不會(huì)掉落，起到對(duì)壓塊50的固定和保護(hù)作用。
[0032]可以理解的是，對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，可以根據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)方案及其實(shí)用新型構(gòu)思加以等同替換或改變，而所有這些改變或替換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附的權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，包括基臺(tái)，其特征在于，所述基臺(tái)的上表面上設(shè)置有定位擋塊、固定塊和壓緊螺絲，所述定位擋塊和固定塊均為長方體，所述定位擋塊和固定塊間隔設(shè)置以形成用于容納樣品的矩形凹槽，所述固定塊內(nèi)設(shè)置有與所述壓緊螺絲適配的螺紋孔，所述螺紋孔與所述矩形凹槽連通，所述壓緊螺絲通過所述螺紋孔將樣品固定在所述矩形凹槽內(nèi)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，其特征在于，所述固定塊的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)固定塊分別設(shè)置在所述定位擋塊的左側(cè)和右側(cè)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，其特征在于，所述定位擋塊、固定塊和基臺(tái)一體成型設(shè)置。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，其特征在于，所述樣品臺(tái)上設(shè)置有固定孔，所述固定孔與基臺(tái)的上表面垂直，所述固定孔穿過所述定位擋塊和基臺(tái)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，其特征在于，所述定位擋塊和固定塊之間的間距為5mm。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，其特征在于，所述基臺(tái)上還設(shè)置有壓塊，所述壓塊為長方體，所述壓塊設(shè)置在所述矩形凹槽內(nèi)，所述壓塊對(duì)應(yīng)所述固定塊的螺紋孔的位置設(shè)置有檔槽，所述檔槽與所述螺紋孔連通。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，其特征在于，所述檔槽的開口面積大于所述螺紋孔的開口面積。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，其特征在于，所述定位擋塊和固定塊之間的間距為30mm。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種掃描電子顯微鏡的樣品臺(tái)，包括基臺(tái)，所述基臺(tái)的上表面上設(shè)置有定位擋塊、固定塊和壓緊螺絲，所述定位擋塊和固定塊均為長方體，所述定位擋塊和固定塊間隔設(shè)置以形成用于容納樣品的矩形凹槽，所述固定塊內(nèi)設(shè)置有與所述壓緊螺絲適配的螺紋孔，所述螺紋孔與所述矩形凹槽連通，所述壓緊螺絲通過所述螺紋孔將樣品固定在所述矩形凹槽內(nèi)。由此，只需將樣品放置在矩形凹槽內(nèi)，旋緊所述壓緊螺絲即可固定樣品，操作簡單方便，而且，可以固定豎直放置的樣品，也可固定表面凹凸不平、不同類型的樣品，使用范圍廣泛。
【IPC分類】G01Q30/20, G01Q10/00
【公開號(hào)】CN205263127
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201521125182
【發(fā)明人】劉強(qiáng)
【申請(qǐng)人】深圳市美信檢測(cè)技術(shù)股份有限公司
【公開日】2016年5月25日
【申請(qǐng)日】2015年12月30日