一種微波毫米波直流偏置探針的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及微波毫米波放大器電路在片測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著通信和雷達(dá)等技術(shù)的不斷發(fā)展，極大的牽引著微波毫米波技術(shù)的發(fā)展，尤其是固態(tài)微波功率放大器和低噪聲放大器等有源器件的發(fā)展，進(jìn)而帶動(dòng)了相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展，比如微波組裝、微波在片測(cè)試等領(lǐng)域。
[0003]微波毫米波在片測(cè)試是微波放大器和低噪聲放大器等有源器件研制和生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)之一，更是制約生產(chǎn)的主要瓶頸所在。通常，微波毫米波芯片在應(yīng)用之前必須進(jìn)行測(cè)試、篩選，以確保提供給系統(tǒng)的電路是完好的，尤其是對(duì)功率合成系統(tǒng)和收發(fā)多功能通道來(lái)說(shuō)，數(shù)十只甚至上百只功率芯片在同一通道，如果有缺陷，排查將是一個(gè)繁重、費(fèi)時(shí)的過(guò)程，因此在片測(cè)試必須快速、準(zhǔn)確和有效，真實(shí)表征電路的功能作用。
[0004]在片測(cè)試是對(duì)晶圓級(jí)微波毫米波電路進(jìn)行微波性能自動(dòng)篩選測(cè)試。目前，通用步驟如下:首先把晶圓片放置在探針臺(tái)中間，通過(guò)真空吸附固定;然后通過(guò)微波探針供給微波信號(hào)，通過(guò)直流探針實(shí)現(xiàn)偏置上電；最后利用相關(guān)微波儀器測(cè)試其相關(guān)性能。在這系列條件中，直流加電的偏置探針起到非常關(guān)鍵的作用，如果配置不恰當(dāng)，去耦不良，將導(dǎo)致嚴(yán)重后果，比如自激和振蕩，嚴(yán)重的會(huì)燒毀芯片以及探針等。
[0005]目前，常用的直流偏置探針采用屏蔽線供電，其芯為加電線，連接至探針頭，而外層包裹線直接連接探針座，進(jìn)而接地。由于接地線距離芯片真正的地比較遠(yuǎn)，加之工作頻率較高，即使一段較短的電線，其寄生的感性量將可能導(dǎo)致其在低頻或高頻某處振蕩和自激，進(jìn)而影響測(cè)試準(zhǔn)確性，更嚴(yán)重的是無(wú)法正常測(cè)試，燒毀芯片和損害探針。為了解決此類問(wèn)題，常常采用制作排針(探針卡)，如CASCADE和GGB公司，即在排針之間，連接去耦電容，目的是縮短與芯片真正的地之間的距離，較少寄生參量，同時(shí)輔之合理的去耦電容，避免單探針測(cè)試所帶來(lái)上述潛在的問(wèn)題，但是由于排針本身面積較大，加之芯片面積大小、放大器級(jí)數(shù)以及版圖布局等不同，導(dǎo)致探針卡使用沒(méi)有通用性，給測(cè)試帶來(lái)諸多不便。
[0006]針對(duì)上述問(wèn)題，需要一種不僅使用簡(jiǎn)單、靈活，通用，而且去耦良好，有效避免自激的微波毫米波用直流偏置探針。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0007]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種微波毫米波直流偏置探針，體積小、簡(jiǎn)單靈活、通用性好、去耦良好、節(jié)省成本、有效消除測(cè)試自激和震蕩等潛在問(wèn)題。
[0008]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采取的技術(shù)方案是:一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于包括探針、探針座和電容;所述探針設(shè)置有2個(gè)，分別固定于環(huán)氧樹(shù)脂基板上，環(huán)氧樹(shù)脂基板固定安裝于探針座上;探針前端固定有探針前端電容，探針中間部位固定有探針中部電容，探針尾部固定有探針尾部電容，探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容容值大小不同。
[0009]作為優(yōu)選，所述2個(gè)探針呈并列排列。
[0010]作為優(yōu)選，所述探針固定在環(huán)氧樹(shù)脂基板上的方式為焊接，環(huán)氧樹(shù)脂基板上的2條金屬微帶線分別焊接于2條探針尾部，一根用于直流上電，另一根用于接地。
[0011]作為優(yōu)選，所述2個(gè)探針間距可調(diào)節(jié)，以滿足通用微波毫米波PAD間距要求。
[0012]作為優(yōu)選，所述探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容的容值按照從小到大排列。
[0013]作為優(yōu)選，所述探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容的容值可根據(jù)不同測(cè)試電路進(jìn)行微調(diào)。
[0014]作為優(yōu)選，所述探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容固定在探針上的方式為焊接。
[0015]采用上述技術(shù)方案所產(chǎn)生的有益效果在于:本實(shí)用新型提供一種微波毫米波直流偏置探針，體積小、簡(jiǎn)單靈活、通用性好、去耦良好、節(jié)省成本、有效消除測(cè)試自激和震蕩等潛在冋題。
[0016]首先，能有效消除自激和振蕩，通過(guò)采用雙直流探針并列排列，雙探針尾部焊接于微型或小型的環(huán)氧版上的兩條金屬微帶線上，一探針用于接地，另一探針用于直流加電；在其針前端和中間部位焊接不同容值的電容，在其尾部焊接大容值去耦電容，縮減了到芯片真正地之間的距離，進(jìn)而降低寄生參量影響，消除自激和振蕩。
[0017]其次，通用性好，兩探針之間的距離可以根據(jù)實(shí)際需要，進(jìn)行不同程度的微調(diào)，匹配滿足通用芯片焊盤間距，涵蓋大多數(shù)微波毫米波電路測(cè)試。
[0018]再次，體積小，使用靈活，由于只采用兩探針并列，相比于探針卡，不僅體積小，而且移動(dòng)和使用方便；
[0019]最后，節(jié)省成本，本探針僅比單探針多用了一根探針和幾只去耦電容，相比于排針和探針卡制作，費(fèi)用大大降低。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0021 ]圖中:1、探針;2、環(huán)氧樹(shù)脂基板;3、探針座;4、探針如端電容;5、探針中部電容;6、
探針尾部電容。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0023]實(shí)施例1
[0024]—種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于包括探針1、探針座3和電容;所述探針I(yè)設(shè)置有2個(gè)，分別固定于環(huán)氧樹(shù)脂基板2上，環(huán)氧樹(shù)脂基板2固定安裝于探針座3上;探針I(yè)前端固定有探針前端電容4，探針I(yè)中間部位固定有探針中部電容5，探針I(yè)尾部固定有探針尾部電容6，探針前端電容4、探針中部電容5和探針尾部電容6容值大小不同。
[0025]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述2個(gè)探針I(yè)呈并列排列。
[0026]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述探針I(yè)固定在環(huán)氧樹(shù)脂基板2上的方式為焊接，環(huán)氧樹(shù)脂基板2上的2條金屬微帶線分別焊接于2條探針I(yè)尾部，一根用于直流上電，另一根用于接地。
[0027]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述2個(gè)探針I(yè)間距可調(diào)節(jié)，以滿足通用微波毫米波PAD間距要求。
[0028]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述探針前端電容4、探針中部電容5和探針尾部電容6的容值按照從小到大排列。
[0029]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述探針前端電容4、探針中部電容5和探針尾部電容6的容值可根據(jù)不同測(cè)試電路進(jìn)行微調(diào)。
[0030]進(jìn)一步的技術(shù)方案，所述探針前端電容4、探針中部電容5和探針尾部電容6固定在探針I(yè)上的方式為焊接。
[0031]本實(shí)用新型提供一種微波毫米波直流偏置探針，體積小、簡(jiǎn)單靈活、通用性好、去耦良好、節(jié)省成本、有效消除測(cè)試自激和震蕩等潛在問(wèn)題。
[0032]首先，能有效消除自激和振蕩，通過(guò)采用雙直流探針并列排列，雙探針尾部焊接于微型或小型的環(huán)氧版上的兩條金屬微帶線上，一探針用于接地，另一探針用于直流加電；在其針前端和中間部位焊接不同容值的電容，在其尾部焊接大容值去耦電容，縮減了到芯片真正地之間的距離，進(jìn)而降低寄生參量影響，消除自激和振蕩。
[0033]其次，通用性好，兩探針之間的距離可以根據(jù)實(shí)際需要，進(jìn)行不同程度的微調(diào)，匹配滿足通用芯片焊盤間距，涵蓋大多數(shù)微波毫米波電路測(cè)試。
[0034]再次，體積小，使用靈活，由于只采用兩探針并列，相比于探針卡，不僅體積小，而且移動(dòng)和使用方便；
[0035]最后，節(jié)省成本，本探針僅比單探針多用了一根探針和幾只去耦電容，相比于排針和探針卡制作，費(fèi)用大大降低。
[0036]對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型，對(duì)本實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本領(lǐng)域技術(shù)人員根據(jù)本實(shí)用新型的原理設(shè)計(jì)出其他結(jié)構(gòu)的產(chǎn)品，均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于包括探針(I)、探針座(3)和電容;所述探針(I)設(shè)置有2個(gè)，分別固定于環(huán)氧樹(shù)脂基板(2)上，環(huán)氧樹(shù)脂基板(2)固定安裝于探針座(3)上;探針(I)前端固定有探針前端電容(4)，探針(I)中間部位固定有探針中部電容(5)，探針(I)尾部固定有探針尾部電容(6)，探針前端電容(4)、探針中部電容(5)和探針尾部電容(6)容值大小不同。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于所述2個(gè)探針(I)呈并列排列。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于所述探針(I)固定在環(huán)氧樹(shù)脂基板(2)上的方式為焊接，環(huán)氧樹(shù)脂基板(2)上的2條金屬微帶線分別焊接于2條探針(I)尾部，一根用于直流上電，另一根用于接地。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于所述2個(gè)探針(I)間距可調(diào)節(jié)，以滿足通用微波毫米波PAD間距要求。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于所述探針前端電容(4 )、探針中部電容(5 )和探針尾部電容(6 )的容值按照從小到大排列。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于所述探針前端電容(4)、探針中部電容(5)和探針尾部電容(6)的容值可根據(jù)不同測(cè)試電路進(jìn)行微調(diào)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波毫米波直流偏置探針，其特征在于所述探針前端電容(4)、探針中部電容(5)和探針尾部電容(6)固定在探針(I)上的方式為焊接。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種微波毫米波直流偏置探針，屬于微波毫米波放大器電路在片測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域。包括探針、探針座和電容；所述探針設(shè)置有2個(gè)，分別固定于環(huán)氧樹(shù)脂基板上，環(huán)氧樹(shù)脂基板固定安裝于探針座上；探針前端固定有探針前端電容，探針中間部位固定有探針中部電容，探針尾部固定有探針尾部電容，探針前端電容、探針中部電容和探針尾部電容容值大小不同。本實(shí)用新型提供一種微波毫米波直流偏置探針，體積小、簡(jiǎn)單靈活、通用性好、去耦良好、節(jié)省成本、有效消除測(cè)試自激和震蕩等潛在問(wèn)題。
【IPC分類】G01R31/28, G01R1/073
【公開(kāi)號(hào)】CN205374533
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620064574
【發(fā)明人】魏碧華, 蔡道民
【申請(qǐng)人】中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十三研究所
【公開(kāi)日】2016年7月6日
【申請(qǐng)日】2016年1月22日