一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，采用耐熱和耐腐蝕材料作為基底薄膜，在其上表面用離子濺射鍍膜工藝形成絕緣物質(zhì)涂層，在絕緣涂層上采用離子濺射鍍膜方式制作兩雙傳導(dǎo)線路；絕緣涂層上表面設(shè)置相互貼合的粘貼層與保護(hù)膜層；若在基底薄膜或絕緣涂層整體表面形成均勻的可導(dǎo)電薄膜，另外覆蓋遮蔽膠帶后進(jìn)行鍍膜，離子濺射鍍膜過程后，去除遮蔽膠帶即可形成傳導(dǎo)線路；制成液體泄漏檢測裝置。本實用新型有益效果為：可防止因各種液體或濕氣導(dǎo)致傳導(dǎo)線路發(fā)生腐蝕，可準(zhǔn)確檢測可導(dǎo)電液體泄漏，最小化誤報的發(fā)生；提高漏液檢測裝置的可靠性；有利于提高薄膜層間的貼合力，減少上層保護(hù)膜層剝離的可能性，降低產(chǎn)品不良率。
【專利說明】
一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型專利涉及一種檢測可導(dǎo)電液體泄漏的裝置，尤其涉及一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，其特點是可在薄膜材質(zhì)上利用離子濺射鍍膜工藝形成可感應(yīng)液體的傳導(dǎo)線路，從而構(gòu)成液體泄漏檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]離子濺射形成干涉膜是增進(jìn)相間襯度顯示組織的新方法。離子濺射鍍膜是在部分真空的濺射室中輝光放電，產(chǎn)生正的氣體離子;在陰極(靶)和陽極(試樣)間電壓的加速作用下，荷正電的離子轟擊陰極表面，使陰極表面材料原子化;形成的中性原子，從各個方向濺出，射落到試樣的表面，于是在試樣表面上形成一層均勻的薄膜。
[0003]現(xiàn)在的離子濺射鍍膜，多半是在反應(yīng)氣體存在下進(jìn)行的，化合物沉積膜的穩(wěn)定性和光學(xué)常數(shù)，依賴于氣體的類型和陰極材料。常用的反應(yīng)氣體為氧氣，常用的陰極材料有鐵、鎳、銅鉛等，有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬，反應(yīng)濺射形成的氧化物是屬于有吸收而折射率不是很高的鍍膜材料。濺射鍍膜的操作與濺射鍍膜設(shè)備密切相關(guān)。
[0004]申請?zhí)枮?00880128802.3的中國專利公開了一種粘貼式薄膜形狀，可直接粘貼于易發(fā)生可導(dǎo)電液體泄漏的場所地面或設(shè)施表面，從而迅速檢測液體泄漏的粘貼式薄膜型可導(dǎo)電液體泄漏檢測裝置。如圖1與圖2所示，可導(dǎo)電液體泄漏檢測裝置由下端的粘貼層110、中間的基底薄膜層120和上端的保護(hù)薄膜層130至下而上的順序復(fù)合而成；下端的粘貼層110為膠帶形式，可直接粘貼于檢測液體泄漏的地面或設(shè)施表面;基底薄膜層120的上表面用于印制傳導(dǎo)線路121、122、123、124，薄膜材質(zhì)采用PET、PE、PTFE、PVC或其他聚四氟乙烯系列聚合物；
[0005]傳導(dǎo)線路121、122、123、124在基底薄膜層120的上表面以一定的間距相隔呈平行線排列，由可導(dǎo)電油墨或銀(Silver)化合物油墨進(jìn)行印制而成;保護(hù)膜層130覆蓋于基底薄膜層110上部，防止外部的物理性沖擊破壞傳導(dǎo)線路121、122、123、124，在對應(yīng)于導(dǎo)電線路122、123的位置通有感應(yīng)孔131并按一定的間距排列組成，可以使泄漏液體能夠準(zhǔn)確的落入感應(yīng)電路的檢測位置;保護(hù)膜層使用與基底薄膜層110相同的材質(zhì)如PET、PE、PTFE、PVC或其他聚四氟乙烯系列的聚合物;基底薄膜層120的傳導(dǎo)線路121、122、123、124上會有微量的電流通過，當(dāng)發(fā)生可導(dǎo)電液體泄漏時，液體從感應(yīng)孔131流入引起兩個傳導(dǎo)線路122、123發(fā)生電氣短路，控制器根據(jù)檢測到的模擬電子信號判斷電路發(fā)生短路從而確認(rèn)發(fā)生液體泄漏并發(fā)出警報。
[0006]另外，根據(jù)兩個傳導(dǎo)線路122、123反饋的阻抗值大小可確認(rèn)液體泄漏的位置，液體泄漏引起兩個傳導(dǎo)線路122、123發(fā)生短路時，反饋到控制器的阻抗值大時說明在離控制器距離較遠(yuǎn)的位置檢測到液體泄漏，阻抗值相對小時說明離控制器距離較近的位置檢測到液體泄漏;上述的粘貼式薄膜型導(dǎo)電液體泄漏檢測系統(tǒng)的導(dǎo)電線路121、122、123、124主要使用凹版印刷(Gravure)、卷對卷(Roll to Roll)印刷以及狹縫涂布(Slot Die)、逗號棍(Comma)涂布方式制作；制作過程中由于可導(dǎo)電油墨或銀化合物油墨的混合比率不同阻抗值會產(chǎn)生較大變化，同時印刷或涂布時設(shè)備的啟動條件、印刷和涂布后的干燥方式和溫度條件以及印刷時周邊環(huán)境條件(溫度，濕度)的不同都會使導(dǎo)電線路121、122、123、124的阻抗值發(fā)生較變化，從而導(dǎo)致控制器無法準(zhǔn)確的指示液體泄漏距離。
[0007]同時，如果為降低傳導(dǎo)線路121、122、123、124的阻抗值，提高化合物油墨中金屬物質(zhì)(銀、金、銅等)的含量來印制傳導(dǎo)線路121、122、123、124，實際應(yīng)用中，受檢測液體泄漏的場所或設(shè)施的周圍環(huán)境的水分、濕氣影響，傳導(dǎo)線路121、122、123、124易發(fā)生腐蝕及氧化而導(dǎo)致阻抗值越來越高，以至于難以正確檢測液體的泄漏與否以及準(zhǔn)確定位泄漏位置，增加了控制器發(fā)生誤報的可能性;并且，基底薄膜層120上表面涂布或印刷方式形成的傳導(dǎo)線路121、122、123、124厚度增大，將導(dǎo)致與基底薄膜層與保護(hù)膜層130貼合力降低，容易發(fā)生剝離導(dǎo)致泄漏檢測裝置產(chǎn)生不良。
[0008]因此，針對以上方面，需要對現(xiàn)有技術(shù)進(jìn)行有效創(chuàng)新。
【實用新型內(nèi)容】
[0009]針對以上缺陷，本實用新型提供一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，使用P1、PET、PO、PTFE等耐熱性及耐腐蝕性優(yōu)異的薄膜材料作為基底，在其表面以離子濺射鍍膜方式形成傳導(dǎo)線路，電路的阻抗值較原有的印刷電路相比較低并且分布均勻，使用此技術(shù)可構(gòu)建數(shù)百米的薄膜型液體檢測系統(tǒng)，可及時、穩(wěn)定、準(zhǔn)確的檢測到可導(dǎo)電液體泄漏并進(jìn)行定位，最小化控制器的誤報率。
[0010]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術(shù)方案:
[0011 ] 一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，由以下結(jié)構(gòu)構(gòu)成:
[0012]⑴采用P1、ΡΕΤ、Ρ0或PTFE耐熱和耐腐蝕材料作為基底薄膜，在其上表面用離子濺射鍍膜工藝形成絕緣物質(zhì)涂層來提高絕緣阻抗，然后在上述絕緣涂層上采用離子濺射鍍膜方式制作兩雙傳導(dǎo)線路，使其按一定的間距以平行線的方式排列構(gòu)成；
[0013]⑵絕緣涂層上表面設(shè)置相互貼合的粘貼層與保護(hù)膜層，保護(hù)膜層使用ΡΙ、ΡΕΤ、Ρ0、PTFE或PO耐熱和耐腐蝕的薄膜材料，傳導(dǎo)線路相應(yīng)的保護(hù)膜層位置上按一定的間距設(shè)有感應(yīng)孔；
[0014]⑶傳導(dǎo)線路:在真空腔內(nèi)放置靶材和基底薄膜進(jìn)行離子濺射鍍膜制程，靶材采用導(dǎo)電性能好的金屬材料，層疊結(jié)構(gòu)的最外層傳導(dǎo)線路采用耐腐蝕性能的可導(dǎo)電材料，為形成傳導(dǎo)線路或?qū)盈B結(jié)構(gòu)的傳導(dǎo)線路；
[0015]⑷以上的傳導(dǎo)線路的成型方式為，靶材通過電極供應(yīng)負(fù)直流電壓，基底薄膜通過電極供應(yīng)正直流電壓，在真空腔內(nèi)通入氬氣惰性氣體，等離子狀態(tài)的高能量氬離子撞擊靶材表面，靶材原子飛濺到基底薄膜層表面沉積形成導(dǎo)電線路，過剩物質(zhì)由真空栗排出腔體，以上工序可連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)完成成型的傳導(dǎo)線路；
[0016](5)若在基底薄膜或絕緣涂層整體表面形成均勻的可導(dǎo)電薄膜，則在基底薄膜或絕緣涂層上表面需要另外覆蓋遮蔽膠帶后進(jìn)行鍍膜，靶材原子將沉積于遮蔽膠帶縷空部位，離子濺射鍍膜過程后，去除遮蔽膠帶即可形成傳導(dǎo)線路；
[0017](6)所形成的傳導(dǎo)線路以金屬為靶材采用離子濺射鍍膜方式制成液體泄漏檢測裝置。
[0018]離子濺射鍍膜方式時，傳導(dǎo)線路以及層疊結(jié)構(gòu)的傳導(dǎo)線路，總厚度可控制在0.01?Ιμπι范圍內(nèi)；
[0019]為使傳導(dǎo)線路的阻抗值降低并提高其耐腐蝕性，采用不同電導(dǎo)率和化學(xué)特性的金屬進(jìn)行多層疊加的方式進(jìn)行加工為特征的漏液檢測裝置；
[0020]利用兩個感應(yīng)線路通過泄漏液體的通電效果根據(jù)電壓的差異進(jìn)行判斷，在終端各個線路連接處配置貼片電阻，可檢測電路的接通狀態(tài)；
[0021]液體泄漏通過一雙感應(yīng)線路反饋的電壓信號差異來實現(xiàn)，傳導(dǎo)線路斷開時，控制器內(nèi)部通過分析各個傳導(dǎo)線路反饋的電壓信號予以判斷，從而構(gòu)成液體泄漏檢測系統(tǒng)；
[0022]與基底薄膜復(fù)合的保護(hù)膜層上，在感應(yīng)泄漏液體的傳導(dǎo)線路相應(yīng)位置處均設(shè)定有按一定規(guī)律排列的感應(yīng)孔為特征的液體泄漏檢測裝置；
[0023]所述基底薄膜上以離子濺射鍍膜方式形成絕緣涂層，在絕緣層上形成傳導(dǎo)線路為特征的液體泄漏檢測系統(tǒng)；
[0024]所述基底薄膜或絕緣涂層上覆蓋遮蔽膠帶，根據(jù)遮蔽膠帶的縷空圖樣控制傳導(dǎo)線路鍍膜形態(tài)為特征的液體泄漏檢測裝置。
[0025]本實用新型所述的利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器的有益效果為:
[0026]⑴本案是通過使用P1、PET、PO、PTFE等具有耐腐蝕性和耐熱性的薄膜作為基底，以離子濺射鍍膜方式形成傳導(dǎo)線路的可導(dǎo)電液體泄漏檢測裝置；
[0027]⑵在基底薄膜層上表面用離子濺射鍍膜方式連續(xù)層疊多種金屬從而形成傳導(dǎo)線路，最后為提高傳導(dǎo)線路耐腐蝕性，電路的最外層使用耐腐蝕性強(qiáng)的金屬作為離子濺射鍍膜，防止因各種液體或濕氣導(dǎo)致傳導(dǎo)線路發(fā)生腐蝕，有利于準(zhǔn)確的檢測可導(dǎo)電液體泄漏，最小化誤報的發(fā)生；
[0028]⑷與原有的環(huán)境變化因素較多的印刷和涂布方式相比，離子濺射鍍膜制程在真空狀態(tài)下進(jìn)行，可做到超精密控制，便于降低阻抗值并實現(xiàn)均勻分布，有利于準(zhǔn)確的感應(yīng)液體泄漏位置，從而提高漏液檢測裝置的可靠性；同時，使用離子濺射鍍膜方式形成的傳導(dǎo)線路厚度可做到Ιμπι以內(nèi)，有利于提高薄膜層間的貼合力，減少上層保護(hù)膜層剝離的可能性，降低廣品的不良率。
【附圖說明】
[0029]下面根據(jù)附圖對本實用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0030]圖1是漏水檢測裝置分解示意圖；
[0031 ]圖2是圖1的整體不意圖；
[0032]圖3是在基底薄膜層上表面采用離子濺射鍍膜方式形成絕緣涂層以及用來檢測液體泄漏位置的四個傳導(dǎo)線路的漏液檢測裝置結(jié)構(gòu)圖；
[0033]圖4是圖3的整體不意圖；
[0034]圖5是在基底薄膜層上表面采用離子濺射鍍膜方式形成絕緣涂層以及兩個傳導(dǎo)線路的漏液檢測裝置結(jié)構(gòu)圖；
[0035]圖6是圖5的整體示意圖；
[0036]圖7是去除基底薄膜層上表面的絕緣涂層后以離子濺射鍍膜方式形成用來檢測液體泄漏位置的四個傳導(dǎo)線路的漏液檢測裝置結(jié)構(gòu)圖；
[0037 ]圖8是圖7的整體不意圖；
[0038]圖9是去除基底薄膜層上表面絕緣涂層后以離子濺射鍍膜方式形成兩個傳導(dǎo)線路的漏液檢測裝置結(jié)構(gòu)圖；
[0039 ] 圖1O是圖9的整體不意圖；
[0040]圖11是離子濺射鍍膜方式形成的兩組傳導(dǎo)線路利用可導(dǎo)電液體的電氣導(dǎo)通現(xiàn)象檢測液體泄漏與否以及泄漏位置的液體泄漏檢測裝置的控制電路圖；
[0041]圖12是離子濺射鍍膜方式形成的一組傳導(dǎo)線路利用可導(dǎo)電液體的電氣導(dǎo)通現(xiàn)象檢測液體的泄漏與否的液體泄漏檢測裝置的控制電路圖；
[0042]圖13是真空腔以及在基底薄膜層上表面形成絕緣涂層和傳導(dǎo)線路的離子濺射鍍膜制程原理圖；
[0043]圖14是離子濺射鍍膜制程使用的遮蔽膠帶及其與基底薄膜層的組合示意圖。
【具體實施方式】
[0044]如圖3-14所示，本實用新型實施例所述的利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，包括基底薄膜(220)、粘貼層(210)、絕緣涂層(230)、傳導(dǎo)線路(231、232、233、234)、粘貼層(240)、保護(hù)膜層(250)感應(yīng)孔(241、251);所述的基底薄膜(220)下層設(shè)置了粘貼層(210)，其表面層設(shè)置絕緣涂層(230)，所述的絕緣涂層(230)內(nèi)設(shè)置了傳導(dǎo)線路(231、232、233、234)，上層設(shè)置了上粘貼層(240)與保護(hù)膜層(250)粘貼，所述的傳導(dǎo)線路(232、233)與上層保護(hù)膜層(250)的對應(yīng)位置按一定間距設(shè)置有感應(yīng)孔(241、251)。
[0045]⑴采用P1、PET、P0、PTFE耐熱和耐腐蝕材料作為基底薄膜220，在其上表面用離子濺射鍍膜工藝形成絕緣物質(zhì)涂層230來提高絕緣阻抗，然后在上述絕緣涂層230上采用離子濺射鍍膜方式制作兩雙傳導(dǎo)線路，即傳導(dǎo)線路231、232、233、234，使其按一定的間距以平行線的方式排列構(gòu)成；
[0046]⑵上述基底薄膜220上依次為傳導(dǎo)線路231、232、233、234，絕緣涂層230上表面設(shè)置相互貼合的粘貼層240與保護(hù)膜層250，保護(hù)膜層250使用PI (po Iy imide)、PET(Polyester)、P0(polyolef in)、PTFE(Tef 1n系列)、P0(polyolef ine)耐熱和耐腐蝕的薄膜材料，傳導(dǎo)線路232、233相應(yīng)的保護(hù)膜層位置上按一定的間距設(shè)有感應(yīng)孔241、251，上述保護(hù)膜層250和粘貼層240根據(jù)被檢測的液體種類、使用者的需求、節(jié)約制造成本、調(diào)節(jié)感應(yīng)靈敏度等理由也可省略；
[0047]⑶所述的傳導(dǎo)線路，為形成傳導(dǎo)線路231、232、233、234或?qū)盈B結(jié)構(gòu)的傳導(dǎo)線路231-1、231-2、232-1、232-2、233-1、233-2、234-1、234-2，在真空腔 310 內(nèi)放置具有多種功能的靶材312和基底薄膜220(有絕緣涂層230或無絕緣涂層230)進(jìn)行離子濺射鍍膜制程，為改善電氣信號傳輸、準(zhǔn)確檢測液體泄漏，靶材312主要采用導(dǎo)電性能好的金屬材料，層疊結(jié)構(gòu)的最外層傳導(dǎo)線路231-2、232-2、233-2、234-2采用耐腐蝕性能卓越的可導(dǎo)電材料以提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性；
[0048]⑷上述的傳導(dǎo)線路231、232、233、234的成型方式為，靶材312通過電極311供應(yīng)負(fù)直流電壓，基底薄膜220通過電極313供應(yīng)正直流電壓，在真空腔310內(nèi)通入氬氣等惰性氣體，等離子狀態(tài)的高能量氬離子撞擊靶材312表面，靶材原子314飛濺到基底薄膜層表面沉積形成導(dǎo)電線路，過剩物質(zhì)由真空栗排出腔體，連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)完成；
[0049](5)如單純應(yīng)用上述離子濺射鍍膜制程可在基底薄膜220或絕緣涂層230整體表面形成均勻的可導(dǎo)電薄膜，但無法按設(shè)定大小和間距形成傳導(dǎo)線路231、232、233、234，為解決此問題，如圖14所示，在基底薄膜220或絕緣涂層230上表面需要另外覆蓋遮蔽膠帶后進(jìn)行鍍膜，靶材原子314將沉積于遮蔽膠帶縷空部位321，離子濺射鍍膜過程后，去除遮蔽膠帶即可形成傳導(dǎo)線路231、232、233、234;
[0050](6)使用此類型的離子濺射鍍膜方式時，傳導(dǎo)線路231、232、233、234以及層疊結(jié)構(gòu)的傳導(dǎo)線路231-1、231-2、232-1、232-2、233-1、233-2、234-1、234-2，總厚度可控制在0.01?Ιμπι范圍內(nèi)，線路厚度變薄，可提高薄膜層之間的貼合力，還具有均勻且較低的電氣阻抗值；
[0051](7)采用此類型的離子濺射鍍膜方式制作傳導(dǎo)線路過程中，第一層傳導(dǎo)線路231、232、233、234需選用與基底薄膜220或絕緣涂層230結(jié)合性能良好，阻抗值盡可能低的材料；第二層傳導(dǎo)線路231-1、232-1、233-1、234-1需選用與第一層傳導(dǎo)線路231、232、233、234結(jié)合性能良好、電氣阻抗值最低的材料;第三層傳導(dǎo)線路231-2、232-2、233-2、234-2要選用和第二層的傳導(dǎo)線路231-1、232-1、233-1、234-1結(jié)合性能良好、耐腐蝕性能優(yōu)異的材料。
[0052]圖5是只有一組傳導(dǎo)線路232、233結(jié)構(gòu)的液體檢測裝置，只具有檢測可導(dǎo)電液體的泄漏與否的功能；
[0053]圖7是基底薄膜層220上無絕緣層230的液體檢測裝置，通過兩組傳導(dǎo)線路線231、232、233、234可檢測導(dǎo)電液體的泄漏與否和泄漏位置；
[0054]一般，在基底薄膜220上為提高傳導(dǎo)線路231、232、233、234間的電氣絕緣阻抗一般會設(shè)置絕緣涂層230，但為了簡化生產(chǎn)工序、降低制造成本，無需精確定位的漏液檢測裝置則可省略此類絕緣涂層230;
[0055]圖9是無絕緣涂層230的具有一雙傳導(dǎo)線路線232、233的可導(dǎo)電液體檢測裝置，只檢測可導(dǎo)電液體的泄漏與否；
[0056]圖11是具有兩組傳導(dǎo)線路、能夠檢測可導(dǎo)電液體泄漏與否并可定位液體泄漏位置的檢測裝置的電路示意圖；傳導(dǎo)線路213、232、233、234可使用直流(DC)或交流(AC)，四通路控制器290把相應(yīng)電流以脈沖方式傳輸?shù)絺鞲邢到y(tǒng)，脈沖信號電壓為I?30V，電流為數(shù)毫安;通常將傳導(dǎo)線路232、233用作感應(yīng)電路，在其相應(yīng)位置的保護(hù)膜上開設(shè)與電路方向一致的有規(guī)律排列的感應(yīng)孔241、251，但在一些特定液體檢測或需要降低感應(yīng)靈敏度的情況下，也可使用另外的一組傳導(dǎo)線路231、234作為感應(yīng)電路，并且去除保護(hù)膜層250、粘貼層240、感應(yīng)孔241、251也可作為液體檢測系統(tǒng)獨(dú)立使用；
[0057]圖12是具有一組傳導(dǎo)線路232、233的可導(dǎo)電液體泄漏檢測裝置的電路示意圖；傳導(dǎo)線路232、233可使用直流(DC)或交流(AC)，兩通路控制器280把相應(yīng)電流以脈沖方式傳輸?shù)絺鞲邢到y(tǒng)，脈沖信號電壓為I?30V，電流為數(shù)毫安，在傳導(dǎo)線路232、233相應(yīng)位置的保護(hù)膜層開設(shè)有與電路方向一致的有規(guī)律排列的感應(yīng)孔241、251，去除保護(hù)膜層250、粘貼層240、感應(yīng)孔241、251也可作為液體檢測系統(tǒng)獨(dú)立使用；
[0058]基底薄膜220的下層為粘貼層210，用于將感應(yīng)帶粘貼在墻壁、地面、管道外壁等處，一般粘貼層210使用兩面膠帶，但根據(jù)安裝的環(huán)境也可選用或同時使用其它類型的粘貼劑、固定支架等各種固定裝置(螺栓、線纜、用帶綁扎)等。
[0059]上述對實施例的描述是為了便于該技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠理解和應(yīng)用本案技術(shù)，熟悉本領(lǐng)域技術(shù)的人員顯然可輕易對這些實例做出各種修改，并把在此說明的一般原理應(yīng)用到其它實施例中而不必經(jīng)過創(chuàng)造性的勞動。因此，本案不限于以上實施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)本案的揭示，對于本案做出的改進(jìn)和修改都應(yīng)該在本案的保護(hù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，包括基底薄膜(220)、粘貼層(210)、絕緣涂層(230)、傳導(dǎo)線路(231、232、233、234)、粘貼層(240)、保護(hù)膜層(250)感應(yīng)孔(241、251)，其特征在于:所述的基底薄膜(220)下層設(shè)置了粘貼層(210)，其表面層設(shè)置絕緣涂層(230)，所述的絕緣涂層(230)內(nèi)設(shè)置了傳導(dǎo)線路(231、232、233、234)，上層設(shè)置了粘貼層(240)與保護(hù)膜層(250)粘貼，所述的傳導(dǎo)線路(232、233)與上層保護(hù)膜層(250)的對應(yīng)位置按一定間距設(shè)置有感應(yīng)孔(241、251)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，其特征在于:所述的絕緣涂層(230)內(nèi)設(shè)置的傳導(dǎo)線路(231、232、233、234)其按一定的間距以平行線的方式排列。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，其特征在于:所述的基底薄膜(220)其材質(zhì)為P1、PET、PO或PTFE。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，其特征在于:所述的傳導(dǎo)線路(231、232、233、234)分三層，還包括傳導(dǎo)線路(231-1、232-1、233-1、234-1)與傳導(dǎo)線路(231-2、232-2、233-2、234-2)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，其特征在于:所述的傳導(dǎo)線路(231、232、233、234)分三層，還包括傳導(dǎo)線路(231-1、232-1、233-1、234-1)與傳導(dǎo)線路(231-2、232-2、233-2、234-2)在真空腔(310)內(nèi)放置靶材(312)和基底薄膜(220)。6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種利用離子濺射鍍膜電路的漏液檢測傳感器，其特征在于:所述的傳導(dǎo)線路(231、232、233、234)分三層，還包括傳導(dǎo)線路(231-1、232-1、233-1、234-1)與傳導(dǎo)線路(231-2、232-2、233-2、234-2)的總厚度可控制在0.01?Ιμπι范圍內(nèi)。
【文檔編號】G01N27/00GK205426436SQ201520261182
【公開日】2016年8月3日
【申請日】2015年4月28日
【發(fā)明人】柳哲
【申請人】上海柳智科技股份有限公司