極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及低溫技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，包括氦腔、制冷機(jī)以及與制冷機(jī)相連的壓縮機(jī)；所述氦腔內(nèi)部呈中空狀形成用于容納氦氣的腔室，氦腔的一端與制冷機(jī)的冷頭相連，另一端與樣品安裝座相連，待測(cè)試樣品固定安裝在樣品安裝座上。通過設(shè)置氦腔，制冷機(jī)停機(jī)后，利用氦腔中的低溫氦氣向樣品提供冷量而不影響被冷卻樣品溫度狀態(tài)，主要振源消失，振動(dòng)大大降低，使得被冷卻樣品位置的穩(wěn)定性滿足測(cè)試要求，同時(shí)，該系統(tǒng)使用普通的制冷機(jī)即可，無需使用低振動(dòng)的制冷機(jī)，也無需采用柔性傳熱結(jié)構(gòu)，大大降低了成本。
【專利說明】
極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及低溫技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的不斷深入發(fā)展，極端條件下(如超低溫、極低振動(dòng)條件)的科學(xué)研究越來越受到科研人員的重視。目前市場(chǎng)上存在成熟的4K G-M制冷機(jī)以及脈沖管制冷機(jī)，使得將樣品冷卻至4.2K相比使用液氦變得更加簡(jiǎn)單，然而，不管是G-M制冷機(jī)還是脈沖管制冷機(jī)，自身的振動(dòng)都不可避免地對(duì)冷卻樣品的位置產(chǎn)生影響，這些振動(dòng)一般來源于四個(gè)方面:(I)制冷機(jī)冷頭電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶來振動(dòng)；(2)制冷機(jī)冷頭氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶來振動(dòng)；(3)壓縮機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)帶來振動(dòng)；(4)壓縮機(jī)與冷頭之間的氦管由于氣體流動(dòng)帶來振動(dòng)。脈沖管制冷機(jī)相比較G-M制冷機(jī)而言，由于低溫部分沒有運(yùn)動(dòng)部件，其振動(dòng)相對(duì)較小。
[0003]在采用X射線對(duì)冷凍靶球進(jìn)行相襯表征的慣性約束核聚變系統(tǒng)中，要求冷凍靶球位置穩(wěn)定性在I微米甚至更小，如果采用G-M制冷機(jī)或脈沖管制冷機(jī)對(duì)冷凍靶球進(jìn)行降溫，無法達(dá)到如此低的振幅要求。為了避免上述問題，現(xiàn)有的做法一般有兩種:其一，采用柔性傳熱結(jié)構(gòu)，定制合適結(jié)構(gòu)的制冷機(jī)，減小制冷機(jī)振動(dòng)對(duì)靶球位置穩(wěn)定性的影響；其二，采用比G-M制冷機(jī)和脈沖管制冷機(jī)振動(dòng)小的制冷機(jī)，比如J-T循環(huán)制冷機(jī)或逆布雷頓循環(huán)制冷機(jī)。前面一個(gè)方案中，定制型制冷機(jī)和柔性傳熱結(jié)構(gòu)會(huì)帶來成本的大幅增加；后一個(gè)方案中，J-T循環(huán)制冷機(jī)或逆布雷頓循環(huán)制冷機(jī)的價(jià)格非常高，也會(huì)導(dǎo)致系統(tǒng)成本的增加。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的首要目的在于提供一種極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，滿足極低振動(dòng)需求下的樣品檢測(cè)。
[0005]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:一種極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，包括氦腔、制冷機(jī)以及與制冷機(jī)相連的壓縮機(jī);所述氦腔內(nèi)部呈中空狀形成用于容納氦氣的腔室，氦腔的一端與制冷機(jī)的冷頭相連，另一端與樣品安裝座相連，待測(cè)試樣品固定安裝在樣品安裝座上。
[0006]進(jìn)一步地，包括充氣管，充氣管的一端與氦腔的腔室連通，另一端通過減壓閥與高純氦氣瓶相連或者通過流量調(diào)節(jié)器與制冷機(jī)和壓縮機(jī)之間的管道相連。
[0007]進(jìn)一步地，所述的制冷機(jī)包括一級(jí)冷頭和二級(jí)冷頭，氦腔與二級(jí)冷頭相連;所述的充氣管為不銹鋼管，充氣管沿著一級(jí)冷頭的換熱器布置并環(huán)繞二級(jí)冷頭的氣缸多圈后再與氦腔相連。
[0008]進(jìn)一步地，所述的氦腔包括呈圓管狀的氦腔本體，氦腔本體的兩端通過盲蓋密封形成所述腔室，氦腔本體和盲蓋均為無氧銅材質(zhì)制成;其中一個(gè)盲蓋與制冷機(jī)的二級(jí)冷頭固定連接，樣品安裝座通過熱阻墊片固定在另一個(gè)盲蓋上。
[0009]進(jìn)一步地，所述的樣品安裝座上設(shè)置有第一薄膜加熱器用于對(duì)樣品的溫度進(jìn)行控制，二級(jí)冷頭上設(shè)置有第二薄膜加熱器用于調(diào)節(jié)制冷量;所述的樣品安裝座上還設(shè)置有溫度傳感器，控制單元接收溫度傳感器采集到的實(shí)際溫度信息并將實(shí)際溫度與設(shè)定溫度對(duì)比后控制第一薄膜加熱器工作。
[0010]進(jìn)一步地，所述充氣管的另一端通過減壓閥與高純氦氣瓶相連;一級(jí)冷頭遠(yuǎn)離二級(jí)冷頭的一端設(shè)置有第一連接法蘭，二級(jí)冷頭、氦腔、樣品安裝座和樣品外側(cè)套設(shè)有第一防輻射屏，一級(jí)冷頭和第一防輻射屏外側(cè)包扎有單面鍍鋁薄膜，單面鍍鋁薄膜外側(cè)套設(shè)有外殼，外殼呈一端開口的桶裝且其開口一端固定在第一連接法蘭上。
[0011]進(jìn)一步地，所述充氣管的另一端通過流量調(diào)節(jié)器與制冷機(jī)和壓縮機(jī)之間的管道相連;二級(jí)冷頭靠近一級(jí)冷頭的一端設(shè)置有第二連接法蘭，二級(jí)冷頭、氦腔、樣品安裝座以及樣品外側(cè)套設(shè)有第二防輻射屏，第二防輻射屏固定在第二連接法蘭上，流量調(diào)節(jié)器、制冷機(jī)以及第二防輻射屏均置于恒溫器中。
[0012]進(jìn)一步地，與高純氦氣瓶相連的充氣管依次經(jīng)過減壓閥、流量計(jì)、壓力變送器、安全閥后通過第一連接法蘭順延到一級(jí)冷頭的換熱器上;控制單元采集流量計(jì)、壓力變送器輸出的信息并處理后控制安全閥動(dòng)作。
[0013]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型存在以下技術(shù)效果:通過設(shè)置氦腔，制冷機(jī)停機(jī)后，利用氦腔中的低溫氦氣向樣品提供冷量而不影響被冷卻樣品溫度狀態(tài)，主要振源消失，振動(dòng)大大降低，使得被冷卻樣品位置的穩(wěn)定性滿足測(cè)試要求，同時(shí)，該系統(tǒng)使用普通的制冷機(jī)即可，無需使用低振動(dòng)的制冷機(jī)，也無需采用柔性傳熱結(jié)構(gòu)，大大降低了成本。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖，其中由于連線較多，圖中第一、二薄膜加熱器以及溫度傳感器和控制單元的連接關(guān)系未示出；
[0015]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖，其中省略了控制單元以及控制單元與其他部件的連線。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合圖1至圖2，對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)敘述。
[0017]參閱圖1、圖2，一種極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，包括氦腔10、制冷機(jī)20以及與制冷機(jī)20相連的壓縮機(jī)30;所述氦腔10內(nèi)部呈中空狀形成用于容納氦氣的腔室，氦腔10的一端與制冷機(jī)20的冷頭相連，另一端與樣品安裝座41相連，待測(cè)試樣品42固定安裝在樣品安裝座41上。這里通過設(shè)置氦腔10，氦腔10中容納有氦氣，制冷機(jī)20首先對(duì)氦腔10內(nèi)的氦氣進(jìn)行冷卻，當(dāng)氦氣冷卻到設(shè)定溫度后，將制冷機(jī)20停機(jī)，通過冷卻的氦氣對(duì)待測(cè)試樣品42進(jìn)行冷卻，使得待測(cè)試樣品42滿足測(cè)試時(shí)的極低溫，同時(shí)，由于制冷機(jī)20已經(jīng)停機(jī)，主要振動(dòng)源已經(jīng)去除，待測(cè)試樣品42在檢測(cè)時(shí)能夠保證位移穩(wěn)定在I微米范圍內(nèi)。更重要的是，這里無需使用極低振動(dòng)的、成本極高的J-T循環(huán)制冷機(jī)或者逆布雷頓循環(huán)制冷機(jī)，成本也能得到很好的控制。
[0018]這里之所以設(shè)置氦腔10，其內(nèi)容納有氦氣作為冷卻介質(zhì)，主要是因?yàn)樵?-10K溫區(qū)，高純氦氣的比熱比絕大多數(shù)物質(zhì)都要高，因此相比選擇其他物質(zhì)，使用的氦氣量是很小的，從而減輕設(shè)備重量。以銅為例，6K的氦氣在15atm條件下的比熱為3.914X103J/Kg.K，而導(dǎo)熱性能較好的材料純銅在6K時(shí)的比熱僅為0.091J/Kg.K，當(dāng)需要相同蓄冷能力的兩種材料時(shí)，所需銅的質(zhì)量將是液氦質(zhì)量的I萬倍，因此，選擇氦氣作為冷卻介質(zhì)是非常好的。
[0019]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，包括充氣管61，充氣管61的一端與氦腔10的腔室連通，另一端通過減壓閥65與高純氦氣瓶66相連或者通過流量調(diào)節(jié)器67與制冷機(jī)20和壓縮機(jī)30之間的管道相連。由于制冷機(jī)20本身的循環(huán)介質(zhì)就是氦氣，故本系統(tǒng)中的氦氣有兩種方式取得:實(shí)施例一如圖1所示，氦氣由高純氦氣瓶66中取得，氦腔10內(nèi)的氦氣壓力通過減壓閥來調(diào)節(jié);實(shí)施例二如圖2所示，氦氣由制冷機(jī)20自身的循環(huán)系統(tǒng)中取得，氦腔10中的氦氣壓力通過流量調(diào)節(jié)器67來調(diào)節(jié)。實(shí)施例一中，對(duì)于氦氣的流量、壓力都能夠很方便地進(jìn)行控制，但是系統(tǒng)相對(duì)復(fù)雜一點(diǎn)；對(duì)于實(shí)施例二而言，氦氣取得方便，無需增加額外的其他氣源和管路，系統(tǒng)簡(jiǎn)便。再具體使用時(shí)，用戶可以根據(jù)自己的選擇來選用合適的實(shí)施方式。
[0020]優(yōu)選地，所述的制冷機(jī)20包括一級(jí)冷頭21和二級(jí)冷頭22，氦腔10與二級(jí)冷頭22相連;所述的充氣管61為不銹鋼管，充氣管61沿著一級(jí)冷頭21的換熱器布置并環(huán)繞二級(jí)冷頭22的氣缸多圈后再與氦腔10相連。制冷機(jī)20包括兩級(jí)冷頭，對(duì)氦氣的冷卻效果更佳。在一級(jí)冷頭21的換熱器上布置充氣管61，使得氦氣先經(jīng)過安裝在制冷機(jī)20—級(jí)冷頭上的帶有狹窄通道無氧銅換熱器，利用制冷機(jī)20—級(jí)冷頭21對(duì)高純氦氣預(yù)冷降溫，以減小二級(jí)冷頭22的熱負(fù)載，從而提高了降溫速率和充氣速率。充氣管61在二級(jí)冷頭22上環(huán)繞多圈的目的是增加管道柔性，補(bǔ)償?shù)蜏厥湛s。
[0021]進(jìn)一步地，所述的氦腔10包括呈圓管狀的氦腔本體11，氦腔本體11的兩端通過盲蓋12密封形成所述腔室，氦腔本體11和盲蓋12均為無氧銅材質(zhì)制成，無氧銅的熱導(dǎo)率很高，氦腔10在這里有兩個(gè)作用，一方面作為冷量傳遞介質(zhì)，將制冷機(jī)20的二級(jí)冷頭22冷量傳遞給樣品安裝座41，另一方面作為一個(gè)容器來存儲(chǔ)高壓高純氦氣。選擇大直徑銅管作為氦腔10的目的是為了增強(qiáng)氦氣傳熱面，盲蓋12通過電子束焊接在氦腔10的兩端。盲蓋12上朝向氦腔10的空腔一側(cè)設(shè)置若干銅管以保證氦氣與氦腔10的傳熱面積與氦腔10總面積的比值超過0.68，這樣對(duì)樣品安裝座41的冷卻效果較佳。
[0022]進(jìn)一步地，其中一個(gè)盲蓋12與制冷機(jī)20的二級(jí)冷頭22固定連接，樣品安裝座41通過熱阻墊片43固定在另一個(gè)盲蓋12上，設(shè)置熱阻墊片43，使得樣品安裝座41的溫度不會(huì)隨著氦腔10的溫度變化太快。熱阻墊片43可以用厚度均勻的黃銅片來制作，黃銅片的厚度根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)置。
[0023]為了實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)試樣品42溫度的精確控制，所述的樣品安裝座41上設(shè)置有第一薄膜加熱器411，氦腔10可以對(duì)待測(cè)試樣品42進(jìn)行降溫，第一薄膜加熱器411可以對(duì)待測(cè)試樣品42進(jìn)行加熱，這樣就能根據(jù)需要維持待測(cè)試樣品42在設(shè)定的溫度上。進(jìn)一步地，考慮到制冷機(jī)20的制冷能力不一樣，二級(jí)冷頭22上設(shè)置有第二薄膜加熱器221用于調(diào)節(jié)制冷量。所述的樣品安裝座41上還設(shè)置有溫度傳感器412，控制單元50接收溫度傳感器412采集到的實(shí)際溫度信息并將實(shí)際溫度與設(shè)定溫度對(duì)比后控制第一薄膜加熱器411工作，設(shè)置溫度傳感器412后，就能對(duì)待測(cè)試樣品42的溫度進(jìn)行監(jiān)測(cè)，方便后續(xù)進(jìn)行溫度的自動(dòng)調(diào)節(jié)。
[0024]另外，當(dāng)有需要模擬熱負(fù)載時(shí)，可以在待測(cè)試樣品42上設(shè)置一個(gè)薄膜加熱器，對(duì)待測(cè)試樣品42進(jìn)行加熱。也可以在制冷機(jī)一級(jí)冷頭21、二級(jí)冷頭22以及氦腔10的兩端均設(shè)置溫度傳感器，用于監(jiān)測(cè)各點(diǎn)溫度值。其中，氦腔10兩端和樣品安裝座41上的的溫度傳感器可以試用標(biāo)定cernox溫度傳感器，因?yàn)槠錅y(cè)量精度高，可達(dá)到±5mK，其余的采用標(biāo)準(zhǔn)娃二極管溫度傳感器即可，其測(cè)量精度為±0.25K。當(dāng)然用戶也可以根據(jù)需要在其他位置設(shè)置溫度傳感器或者設(shè)置薄膜加熱器，這里就不一一舉例。
[0025]優(yōu)選地，在實(shí)施例一中，所述充氣管61的另一端通過減壓閥65與高純氦氣瓶66相連;一級(jí)冷頭21遠(yuǎn)離二級(jí)冷頭22的一端設(shè)置有第一連接法蘭23，二級(jí)冷頭22、氦腔10、樣品安裝座41和樣品42外側(cè)套設(shè)有第一防輻射屏71，一級(jí)冷頭21和第一防輻射屏71外側(cè)包扎有單面鍍鋁薄膜，單面鍍鋁薄膜外側(cè)套設(shè)有外殼80，外殼80呈一端開口的桶裝且其開口一端固定在第一連接法蘭23上。第一防輻射屏71可以采用銅材料制作，第一防輻射屏71、單面鍍鋁薄膜以及外殼80的設(shè)置，都是為了保證氦腔10的輻射漏熱。
[0026]在實(shí)施例二中，采用了另外一種方式來保證氦腔10的輻射漏熱，具體結(jié)構(gòu)如下:所述充氣管61的另一端通過流量調(diào)節(jié)器67與制冷機(jī)20和壓縮機(jī)30之間的管道相連;二級(jí)冷頭22靠近一級(jí)冷頭21的一端設(shè)置有第二連接法蘭24，二級(jí)冷頭22、氦腔10、樣品安裝座41以及樣品42外側(cè)套設(shè)有第二防輻射屏72，第二防輻射屏72固定在第二連接法蘭24上，流量調(diào)節(jié)器67、制冷機(jī)20以及第二防輻射屏72均置于恒溫器90中。需要注意的是，這里的防輻射屏、單面鍍鋁薄膜、外殼、恒溫器可以根據(jù)實(shí)際情況選擇使用，實(shí)施例二中也能使用實(shí)施例一中的結(jié)構(gòu)，只要保證制冷機(jī)20停機(jī)后，氦腔10內(nèi)的氦氣與外界的熱交換低即可。
[0027]實(shí)施例一中優(yōu)選地，與高純氦氣瓶66相連的充氣管61依次經(jīng)過減壓閥65、流量計(jì)64、壓力變送器63、安全閥62后通過第一連接法蘭23順延到一級(jí)冷頭21的換熱器上;控制單元50采集流量計(jì)64、壓力變送器63輸出的信息并處理后控制安全閥62動(dòng)作?？刂茊卧?0采集流量計(jì)64的信息后，可以方便的采集流量，并能當(dāng)流量出現(xiàn)異常時(shí)啟動(dòng)安全閥62，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行保護(hù)。
[0028]本實(shí)用新型中還提供了一種極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)的控制方法，包括如下步驟:(A)將待檢測(cè)樣品42放置在樣品安裝座41上；(B)啟動(dòng)制冷機(jī)20，對(duì)氦腔10內(nèi)的氦氣進(jìn)行冷卻，直到設(shè)定溫度后關(guān)閉制冷機(jī)20; (C)氦腔10內(nèi)的低溫氦氣將樣品42維持在預(yù)定溫度下，同時(shí)完成樣品42檢測(cè)。該步驟中，通過分時(shí)啟停制冷機(jī)20，即制冷機(jī)20冷卻的時(shí)候，不進(jìn)行待測(cè)試樣品42的檢測(cè)，對(duì)待檢測(cè)樣品42進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，不啟動(dòng)制冷機(jī)20，這樣就能滿足測(cè)試時(shí)的低振動(dòng)需求。步驟B中，設(shè)定溫度可以是待測(cè)試樣品42可接受的最低溫度。
[0029]優(yōu)選地，所述的步驟B中，氦腔10內(nèi)的氦氣可以從制冷機(jī)20本身的循環(huán)系統(tǒng)中取得，也可以從獨(dú)立的氦氣瓶中取得，這個(gè)前面已經(jīng)很詳細(xì)的闡述過了，這里就不再贅述。所述的步驟C中，同時(shí)對(duì)溫度進(jìn)行監(jiān)測(cè)，如果采集到的溫度高于預(yù)定溫度，說明此時(shí)的溫度較高，不滿足待測(cè)試樣品42的檢測(cè)需求，則暫停檢測(cè)并重復(fù)步驟B，繼續(xù)將氦腔10中的氦氣冷卻到設(shè)定溫度后再停機(jī)進(jìn)行檢測(cè)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，其特征在于:包括氦腔(10)、制冷機(jī)(20)以及與制冷機(jī)(20)相連的壓縮機(jī)(30);所述氦腔(10)內(nèi)部呈中空狀形成用于容納氦氣的腔室，氦腔(10)的一端與制冷機(jī)(20)的冷頭相連，另一端與樣品安裝座(41)相連，待測(cè)試樣品(42)固定安裝在樣品安裝座(41)上。2.如權(quán)利要求1所述的極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，其特征在于:包括充氣管(61)，充氣管(61)的一端與氦腔(10)的腔室連通，另一端通過減壓閥(65)與高純氦氣瓶(66)相連或者通過流量調(diào)節(jié)器(67)與制冷機(jī)(20)和壓縮機(jī)(30)之間的管道相連。3.如權(quán)利要求2所述的極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，其特征在于:所述的制冷機(jī)(20)包括一級(jí)冷頭(21)和二級(jí)冷頭(22)，氦腔(10)與二級(jí)冷頭(22)相連;所述的充氣管(61)為不銹鋼管，充氣管(61)沿著一級(jí)冷頭(21)的換熱器布置并環(huán)繞二級(jí)冷頭(22)的氣缸多圈后再與氦腔(10)相連。4.如權(quán)利要求3所述的極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，其特征在于:所述的氦腔(10)包括呈圓管狀的氦腔本體(11)，氦腔本體(11)的兩端通過盲蓋(12)密封形成所述腔室，氦腔本體(11)和盲蓋(12)均為無氧銅材質(zhì)制成;其中一個(gè)盲蓋(12)與制冷機(jī)(20)的二級(jí)冷頭(22)固定連接，樣品安裝座(41)通過熱阻墊片(43)固定在另一個(gè)盲蓋(12)上。5.如權(quán)利要求4所述的極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，其特征在于:所述的樣品安裝座(41)上設(shè)置有第一薄膜加熱器(411)用于對(duì)樣品(42)的溫度進(jìn)行控制，二級(jí)冷頭(22)上設(shè)置有第二薄膜加熱器(221)用于調(diào)節(jié)制冷量；所述的樣品安裝座(41)上還設(shè)置有溫度傳感器(412)，控制單元(50)接收溫度傳感器(412)采集到的實(shí)際溫度信息并將實(shí)際溫度與設(shè)定溫度對(duì)比后控制第一薄膜加熱器(411)工作。6.如權(quán)利要求5所述的極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，其特征在于:所述充氣管(61)的另一端通過減壓閥(65)與高純氦氣瓶(66)相連;一級(jí)冷頭(21)遠(yuǎn)離二級(jí)冷頭(22)的一端設(shè)置有第一連接法蘭(23)，二級(jí)冷頭(22)、氦腔(10)、樣品安裝座(41)和樣品(42)外側(cè)套設(shè)有第一防輻射屏(71)，一級(jí)冷頭(21)和第一防輻射屏(71)外側(cè)包扎有單面鍍鋁薄膜，單面鍍鋁薄膜外側(cè)套設(shè)有外殼(80)，外殼(80)呈一端開口的桶裝且其開口一端固定在第一連接法蘭(23)上。7.如權(quán)利要求5所述的極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，其特征在于:所述充氣管(61)的另一端通過流量調(diào)節(jié)器(67)與制冷機(jī)(20)和壓縮機(jī)(30)之間的管道相連;二級(jí)冷頭(22)靠近一級(jí)冷頭(21)的一端設(shè)置有第二連接法蘭(24)，二級(jí)冷頭(22)、氦腔(10)、樣品安裝座(41)以及樣品(42)外側(cè)套設(shè)有第二防輻射屏(72)，第二防輻射屏(72)固定在第二連接法蘭(24)上，流量調(diào)節(jié)器(67)、制冷機(jī)(20)以及第二防輻射屏(72)均置于恒溫器(90)中。8.如權(quán)利要求6所述的極低振動(dòng)氦氣蓄冷系統(tǒng)，其特征在于:與高純氦氣瓶(66)相連的充氣管(61)依次經(jīng)過減壓閥(65)、流量計(jì)(64)、壓力變送器(63)、安全閥(62)后通過第一連接法蘭(23)順延到一級(jí)冷頭(21)的換熱器上;控制單元(50)采集流量計(jì)(64)、壓力變送器(63)輸出的信息并處理后控制安全閥(62)動(dòng)作。
【文檔編號(hào)】G01N1/42GK205449636SQ201620207523
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年3月16日
【發(fā)明人】何超峰, 丁先庚, 郁歡強(qiáng), 董相文, 孫興中, 戴建彪, 張海峰, 卞榮耀, 李陽, 陳耀鋒, 張俊峰, 武義鋒, 章學(xué)華
【申請(qǐng)人】安徽萬瑞冷電科技有限公司