濺射靶盤透磁率檢測裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供一種濺射靶盤透磁率檢測裝置。所述濺射靶盤透磁率檢測裝置檢測盤裝置、檢測裝置、檢測結(jié)果獲取裝置及控制器，所述控制器分別與所述檢測盤裝置、所述檢測裝置及所述檢測結(jié)果獲取裝置連接，所述控制器包括探頭控制器、檢測結(jié)果控制器、移動控制器、游標卡尺控制器及檢測結(jié)果分析控制器，所述霍爾探頭與所述探頭控制器連接，所述水平數(shù)字顯示表與所述檢測結(jié)果控制器連接、所述步進電機與所述移動控制器連接，所述游標卡尺與游標卡尺控制器連接，所述檢測結(jié)果分析控制器與所述檢測結(jié)果控制器連接。本實用新型的濺射靶盤透磁率檢測裝置采用自動化控制裝置，在實現(xiàn)高精度測量的同時提高了測試效率，有效降低人工勞動強度。
【專利說明】
濺射靶盤透磁率檢測裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及濺射靶盤測試技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種濺射靶盤透磁率檢測裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前測量濺射靶盤透磁率是采用在圓形靶盤下方固定一塊標準的U型磁鐵，將靶盤固定在距離磁鐵NS極面上方一定距離位置上，通過霍爾傳感器測試靶盤上方透過的磁場數(shù)據(jù)對靶盤進行檢測；通常采用人工檢測紀錄的方法進行，通過手動控制圓形靶盤逐點通過標準磁鐵上方進行檢驗和紀錄，存在檢測效率低、勞動強度大及標定缺陷位置不準確的實際問題。檢驗一個靶盤耗時長，給靶盤的生產(chǎn)帶來了極大的人力成本消耗，生產(chǎn)效率難以提高?，F(xiàn)有檢測數(shù)據(jù)獲取過程中，一般為人眼觀察檢測數(shù)據(jù)狀況，無法對檢測結(jié)果進行分析，無法直觀了解檢測結(jié)果。另外，現(xiàn)有檢測為一個靶盤檢測一次，不能多個靶盤一次檢測，檢測效率低【實用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決現(xiàn)有濺射靶盤透磁率檢測耗時耗力，檢測結(jié)果為檢測數(shù)據(jù)而無檢測結(jié)果分析、檢測效率低的技術(shù)問題，本實用新型提供一種省時省力，檢測結(jié)果具有檢測結(jié)果分析、檢測效率高的濺射靶盤透磁率檢測裝置。
[0004]本實用新型提供的濺射靶盤透磁率檢測裝置包括檢測盤裝置、檢測裝置、檢測結(jié)果獲取裝置及控制器，所述檢測裝置設(shè)于所述檢測盤裝置，所述檢測結(jié)構(gòu)獲取裝置與所述檢測裝置連接，所述控制器分別與所述檢測盤裝置、所述檢測裝置及所述檢測結(jié)果獲取裝置連接;所述檢測盤裝置包括旋轉(zhuǎn)主盤、旋轉(zhuǎn)輔助盤、移動步進蝸桿平臺、蝸桿、步進電機及水平磁條移動手輪，所述旋轉(zhuǎn)輔助盤設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)主盤;所述旋轉(zhuǎn)輔盤包括設(shè)于其中的限位軸承、助力平面軸承、平移磁條及凹槽，所述凹槽設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔盤中間，所述檢測裝置設(shè)于所述凹槽;所述蝸桿及所述步進電機均設(shè)于所述移動步進蝸桿平臺，所述蝸桿一端與所述步進電機連接，所述蝸桿另一端與所述平移磁條連接，所述水平磁條移動手輪與所述平移磁條連接;所述檢測裝置包括磁鋼、霍爾探頭及探頭支架座，所述磁鋼設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔助盤，所述霍爾探頭設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)主盤相對上方，并與所述探頭支架座連接;所述檢測結(jié)果獲取裝置包括水平數(shù)字顯示表及游標卡尺，所述霍爾探頭與所述水平數(shù)字顯示表連接，所述游標卡尺與所述旋轉(zhuǎn)主盤連接;所述控制器包括探頭控制器、檢測結(jié)果控制器、移動控制器、游標卡尺控制器、檢測結(jié)果分析控制器及控制面板，所述霍爾探頭與所述探頭控制器連接，所述水平數(shù)字顯示表與所述檢測結(jié)果控制器連接、所述步進電機與所述移動控制器連接，所述游標卡尺與游標卡尺控制器連接，所述檢測結(jié)果分析控制器與所述檢測結(jié)果控制器連接，所述探頭控制器、所述檢測結(jié)果控制器、所述移動控制器、所述游標卡尺控制器、所述檢測結(jié)果分析控制器均與所述控制面板連接。
[0005]在本實用新型提供的濺射靶盤透磁率檢測裝置的一種較佳實施例中，所述旋轉(zhuǎn)主盤包括支撐軸及定位塊，所述支撐軸設(shè)于旋轉(zhuǎn)主盤表面，相鄰所述支撐軸之間的夾角為120度，所述支撐軸設(shè)有卡槽，所述定位塊設(shè)于所述支撐軸的所述卡槽。
[0006]在本實用新型提供的濺射靶盤透磁率檢測裝置的一種較佳實施例中，所述旋轉(zhuǎn)主盤與所述旋轉(zhuǎn)輔助盤為無軸同心盤結(jié)構(gòu)。
[0007]在本實用新型提供的濺射靶盤透磁率檢測裝置的一種較佳實施例中，所述定位塊上設(shè)有斜齒。
[0008]在本實用新型提供的濺射靶盤透磁率檢測裝置的一種較佳實施例中，所述旋轉(zhuǎn)主盤數(shù)量為多個，多個所述旋轉(zhuǎn)主盤均設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔盤，所述霍爾探頭可移動位置與多個所述旋轉(zhuǎn)主盤連接。
[0009]相對于現(xiàn)有技術(shù)，本實用新型的濺射靶盤透磁率檢測裝置具有如下的有益效果:
[0010]采用自動化控制裝置，在實現(xiàn)高精度測量的同時提高了測試效率，有效降低人工勞動強度，省時省力，且通過所述檢測結(jié)果分析控制器的設(shè)置，能對檢測結(jié)果具有檢測結(jié)果分析、檢測效率高。采用將旋轉(zhuǎn)主盤與旋轉(zhuǎn)輔盤整體固定，再通過所述移動控制器控制所述步進電機，帶動所述旋轉(zhuǎn)主盤移動，再通過所述探頭控制器控制所述霍爾探頭，完成對濺射靶盤透磁率的檢測，在實現(xiàn)高精度測量的同時，提高自動化程度，有效降低人工勞動強度；采用多個所述旋轉(zhuǎn)主盤的設(shè)置，可一次對多個靶盤進行檢測，更進一步提高了工作效率。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本實用新型實施例中的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的附圖，其中:
[0012]圖1是本實用新型提供的濺射靶盤透磁率檢測裝置一較佳實施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2是圖1所示的濺射靶盤透磁率檢測裝置的控制器一較佳實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅是本實用新型的一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├?，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其它實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0015]請一并參閱圖1及圖2，其中圖1是本實用新型提供的濺射靶盤透磁率檢測裝置一較佳實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2是圖1所示的濺射靶盤透磁率檢測裝置的控制器一較佳實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]所述濺射靶盤透磁率檢測裝置包括檢測盤裝置、檢測裝置、檢測結(jié)果獲取裝置及控制器，所述檢測裝置設(shè)于所述檢測盤裝置，所述檢測結(jié)構(gòu)獲取裝置與所述檢測裝置連接，所述控制器分別與所述檢測盤裝置、所述檢測裝置及所述檢測結(jié)果獲取裝置連接；
[0017]所述檢測盤裝置包括旋轉(zhuǎn)主盤1、旋轉(zhuǎn)輔助盤2、移動步進蝸桿平臺4、蝸桿5、步進電機10及水平磁條移動手輪13，所述旋轉(zhuǎn)輔助盤2設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)主盤I。所述旋轉(zhuǎn)主盤I與所述旋轉(zhuǎn)輔助盤2為無軸同心盤結(jié)構(gòu)。所述旋轉(zhuǎn)主盤包括支撐軸及定位塊，所述支撐軸設(shè)于旋轉(zhuǎn)主盤表面，相鄰所述支撐軸之間的夾角為120度，所述支撐軸設(shè)有卡槽，所述定位塊設(shè)于所述支撐軸的所述卡槽，所述定位塊上設(shè)有斜齒。所述旋轉(zhuǎn)輔盤2包括設(shè)于其中的限位軸承17、助力平面軸承16、平移磁條及凹槽，所述凹槽設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔盤中間，所述檢測裝置設(shè)于所述凹槽。所述蝸桿5及所述步進電機10均設(shè)于所述移動步進蝸桿平臺4，所述蝸桿5—端與所述步進電機10連接，所述蝸桿5另一端與所述平移磁條連接，所述水平磁條移動手輪13與所述平移磁條連接。
[0018]所述檢測裝置包括磁鋼15、霍爾探頭3及探頭支架座11，所述磁鋼15設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔助盤2，所述霍爾探頭3設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)主盤I相對上方，并與所述探頭支架座11連接。
[0019]所述檢測結(jié)果獲取裝置包括水平數(shù)字顯示表7及游標卡尺6，所述霍爾探頭3與所述水平數(shù)字顯示表7連接，所述游標卡尺6與所述旋轉(zhuǎn)主盤I連接。
[0020]所述控制器8包括探頭控制器81、檢測結(jié)果控制器82、移動控制器83、游標卡尺控制器84、檢測結(jié)果分析控制器85及控制面板86。所述霍爾探頭3與所述探頭控制器81連接，所述水平數(shù)字顯示表7與所述檢測結(jié)果控制器82連接、所述步進電機10與所述移動控制器83連接，所述游標卡尺6與游標卡尺控制器84連接，所述檢測結(jié)果分析控制器85與所述檢測結(jié)果控制器82連接，所述探頭控制器81、所述檢測結(jié)果控制器82、所述移動控制器83、所述游標卡尺控制器84、所述檢測結(jié)果分析控制器85均與所述控制面板86連接。
[0021]作為本實施例的進一步改進，所述旋轉(zhuǎn)主盤I數(shù)量為多個，多個所述旋轉(zhuǎn)主盤I均設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔盤2，所述霍爾探頭3可移動位置與多個所述旋轉(zhuǎn)主盤I連接。
[0022]本實用新型的濺射靶盤透磁率檢測裝置I具有如下的有益效果:
[0023]采用自動化控制裝置，在實現(xiàn)高精度測量的同時提高了測試效率，有效降低人工勞動強度，省時省力，且通過所述檢測結(jié)果分析控制器的設(shè)置，能對檢測結(jié)果具有檢測結(jié)果分析、檢測效率高。采用將旋轉(zhuǎn)主盤I與旋轉(zhuǎn)輔盤2整體固定，再通過所述移動控制器83控制所述步進電機10，帶動所述旋轉(zhuǎn)主盤I移動，再通過所述探頭控制器81控制所述霍爾探頭3，完成對濺射靶盤14透磁率的檢測，在實現(xiàn)高精度測量的同時，提高自動化程度，有效降低人工勞動強度;采用多個所述旋轉(zhuǎn)主盤I的設(shè)置，可一次對多個靶盤進行檢測，更進一步提高了工作效率。
[0024]以上所述僅為本實用新型的實施例，并非因此限制本實用新型的專利范圍，凡是利用本實用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)或等效流程變換，或直接或間接運用在其它相關(guān)的技術(shù)領(lǐng)域，均同理包括在本實用新型的專利保護范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種濺射靶盤透磁率檢測裝置，其特征在于，包括檢測盤裝置、檢測裝置、檢測結(jié)果獲取裝置及控制器，所述檢測裝置設(shè)于所述檢測盤裝置，所述檢測結(jié)構(gòu)獲取裝置與所述檢測裝置連接，所述控制器分別與所述檢測盤裝置、所述檢測裝置及所述檢測結(jié)果獲取裝置連接;所述檢測盤裝置包括旋轉(zhuǎn)主盤、旋轉(zhuǎn)輔助盤、移動步進蝸桿平臺、蝸桿、步進電機及水平磁條移動手輪，所述旋轉(zhuǎn)輔助盤設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)主盤;所述旋轉(zhuǎn)輔盤包括設(shè)于其中的限位軸承、助力平面軸承、平移磁條及凹槽，所述凹槽設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔盤中間，所述檢測裝置設(shè)于所述凹槽;所述蝸桿及所述步進電機均設(shè)于所述移動步進蝸桿平臺，所述蝸桿一端與所述步進電機連接，所述蝸桿另一端與所述平移磁條連接，所述水平磁條移動手輪與所述平移磁條連接;所述檢測裝置包括磁鋼、霍爾探頭及探頭支架座，所述磁鋼設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔助盤，所述霍爾探頭設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)主盤相對上方，并與所述探頭支架座連接;所述檢測結(jié)果獲取裝置包括水平數(shù)字顯示表及游標卡尺，所述霍爾探頭與所述水平數(shù)字顯示表連接，所述游標卡尺與所述旋轉(zhuǎn)主盤連接;所述控制器包括探頭控制器、檢測結(jié)果控制器、移動控制器、游標卡尺控制器、檢測結(jié)果分析控制器及控制面板，所述霍爾探頭與所述探頭控制器連接，所述水平數(shù)字顯示表與所述檢測結(jié)果控制器連接、所述步進電機與所述移動控制器連接，所述游標卡尺與游標卡尺控制器連接，所述檢測結(jié)果分析控制器與所述檢測結(jié)果控制器連接，所述探頭控制器、所述檢測結(jié)果控制器、所述移動控制器、所述游標卡尺控制器、所述檢測結(jié)果分析控制器均與所述控制面板連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶盤透磁率檢測裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)主盤包括支撐軸及定位塊，所述支撐軸設(shè)于旋轉(zhuǎn)主盤表面，相鄰所述支撐軸之間的夾角為120度，所述支撐軸設(shè)有卡槽，所述定位塊設(shè)于所述支撐軸的所述卡槽。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶盤透磁率檢測裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)主盤與所述旋轉(zhuǎn)輔助盤為無軸同心盤結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濺射靶盤透磁率檢測裝置，其特征在于，所述定位塊上設(shè)有斜齒O5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濺射靶盤透磁率檢測裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)主盤數(shù)量為多個，多個所述旋轉(zhuǎn)主盤均設(shè)于所述旋轉(zhuǎn)輔盤，所述霍爾探頭可移動位置與多個所述旋轉(zhuǎn)主盤連接。
【文檔編號】G01R33/07GK205484749SQ201620226176
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年3月23日
【發(fā)明人】朱逸豪
【申請人】朱逸豪