石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝，基座頂面固設(shè)有墊塊；工具顯微鏡底座與墊塊的頂面靠齊；工具顯微鏡的工作臺(tái)通過至少一個(gè)彈簧支撐組件支撐在基座頂面上，螺桿上套裝有調(diào)整螺母，而調(diào)整螺母支撐在基座頂面上，且螺桿下部與基座上的定位孔滑動(dòng)配合；石英撓性擺片安裝組件包括L形板和石英撓性擺片安裝盤，其中L形板的下豎直段與工具顯微鏡的工作臺(tái)固定；石英撓性擺片安裝盤為上大、下小的兩段式階梯軸結(jié)構(gòu)，其中心孔為上大、下小的兩段式階梯孔，而石英撓性擺片安裝盤的小徑段嵌入L形板上水平段的通孔中。本實(shí)用新型能方便、精確地測(cè)量石英撓性擺片中間擺兩個(gè)面的下垂量，進(jìn)而計(jì)算出石英撓性擺片的對(duì)稱度。
【專利說明】
石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本實(shí)用新型屬于石英撓性擺片生產(chǎn)制造領(lǐng)域，尤其涉及一種用于檢測(cè)石英撓性擺 片下垂量的檢測(cè)工裝。
【背景技術(shù)】
[0002] 石英撓性擺片是石英撓性加速度計(jì)的核心器件，而石英撓性加速度計(jì)最易損壞的 地方就是石英撓性擺片的撓性梁，該撓性梁的厚度極薄，且撓性梁是由石英脆性材料腐蝕 而成，容易斷裂。另外，石英撓性擺片平放時(shí)其中間擺在自身重力作用下離開平衡位置的最 大距離被稱為下垂量，而石英撓性擺片正、反面擺放時(shí)測(cè)出的下垂量相減被稱為石英撓性 擺片的對(duì)稱度，且下垂量和對(duì)稱度決定石英撓性擺片的質(zhì)量，它也是影響石英撓性加速度 計(jì)量程、靈敏度的關(guān)鍵指標(biāo)，為此我們需要設(shè)計(jì)一款檢測(cè)工裝檢測(cè)石英撓性擺片的下垂量， 并計(jì)算出對(duì)稱度。 【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003] 本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種高精度、操作方便，且不會(huì)破壞石 英撓性擺片的下垂量檢測(cè)工裝。
[0004] 本實(shí)用新型的技術(shù)方案如下：一種石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝，其特征在于:包 括基座（1)、工具顯微鏡(3)和石英撓性擺片安裝組件(G)，其中基座（1)頂面為平面，該基座 頂面固設(shè)有一個(gè)墊塊(2);所述工具顯微鏡(3)倒置，其底座(3a)與墊塊(2)的頂面靠齊，而 工具顯微鏡（3)的垂直測(cè)量頭（3b)朝上，工具顯微鏡（3)的水平測(cè)量頭(3c)在側(cè)面;所述工 具顯微鏡(3)的工作臺(tái)（3d)通過至少一個(gè)彈簧支撐組件(Z)支撐在所述基座（1)頂面上，該 工具顯微鏡的支撐臂(3e)與螺桿(4)頂面接觸，該螺桿上套裝有調(diào)整螺母(5)，而調(diào)整螺母 支撐在所述基座（1)頂面上，且螺桿(4)下部與基座（1)上的定位孔(la)滑動(dòng)配合；
[0005] 所述石英撓性擺片安裝組件(G)包括L形板(6)和石英撓性擺片安裝盤(7)，其中L 形板(6)的豎直段位于其水平段下方，其下豎直段與所述工具顯微鏡(3)的工作臺(tái)（3d)貼合 并固定，該L形板的上水平段開有一個(gè)上、下貫通的通孔;所述石英撓性擺片安裝盤(7)為上 大、下小的兩段式階梯軸結(jié)構(gòu)，其中心孔為上大、下小的兩段式階梯孔，而石英撓性擺片安 裝盤(7)的小徑段嵌入所述L形板上水平段的通孔中；所述石英撓性擺片安裝盤(7)大徑段 的定位孔與定位銷(8)緊配合;該定位銷豎直固定在所述L形板(6)的上水平段上，且石英撓 性擺片安裝盤(7)的上表面對(duì)應(yīng)定位銷(8)處沿徑向設(shè)有用于對(duì)齊中間擺的刻度凹槽(7a)。
[0006] 現(xiàn)在結(jié)合本案中所采用的石英撓性擺片來具體說明檢測(cè)過程，具體如下：
[0007] 步驟a:檢查水平測(cè)量頭(3c)的讀數(shù)是否為1.912±0.002;
[0008] 步驟b:打開工具顯微鏡(3)的照明燈，將石英撓性擺片安裝盤(7)對(duì)準(zhǔn)定位銷(8) 放在L形板(6)上；
[0009] 步驟c:調(diào)節(jié)焦距和垂直測(cè)量頭（3d)，直到工具顯微鏡（3)的水平線與石英撓性擺 片安裝盤(7)的底面水平線重合，讀取并記錄垂直測(cè)量頭(3d)的讀數(shù)，該讀數(shù)的范圍應(yīng)為a =6.944±0.005mm，若超過此范圍，需重新調(diào)試校準(zhǔn)；
[0010] 步驟d:取下石英撓性擺片安裝盤(7)，將石英撓性擺片放入石英撓性擺片安裝盤 (7)中，調(diào)整石英撓性擺片的方向，保證石英撓性擺片放平，并與石英撓性擺片安裝盤(7)貝占 合，且石英撓性擺片上的三角形記號(hào)點(diǎn)與石英撓性擺片安裝盤(7)的刻度凹槽(7a)對(duì)齊；
[0011] 步驟e:將石英撓性擺片安裝盤(7)放到L形板(6)上，并與定位銷(8)緊配合；
[0012] 步驟f:調(diào)節(jié)焦距和垂直測(cè)量頭（3d)，直到視線清晰地觀察到工具顯微鏡（3)的中 水平線與石英撓性擺片的最低點(diǎn)相切，讀取垂直測(cè)量頭讀數(shù)，記錄為b(mm)，計(jì)算石英撓性 擺片的偏擺量A X = b-a+0.5(mm);
[0013]步驟g:將石英撓性擺片安裝盤(7)取下，將石英撓性擺片翻轉(zhuǎn)180°后，再放入石英 撓性擺片安裝盤(7)中，調(diào)整石英撓性擺片的方向，保證石英撓性擺片放平，并與石英撓性 擺片安裝盤(7)貼合，且石英撓性擺片上的三角形記號(hào)點(diǎn)與石英撓性擺片安裝盤(7)的刻度 凹槽(7a)對(duì)齊；
[0014] 步驟h:重復(fù)步驟e-f?，完成對(duì)石英撓性擺片另外一個(gè)方向下垂量的檢測(cè)；
[0015] 步驟k:同一個(gè)石英撓性擺片，兩個(gè)方向的偏擺量值A(chǔ) X:(石英撓性擺片接線面朝 上）與A X2(石英撓性擺片接線面朝下）滿足以下要求時(shí)判定石英撓性擺片為合格品，否則 為不合格品： 1 < AXj < 1 Mjnm)
[0016] ' i < AX, < 1 Minin') |AXj - AXt| < 0.04(.mm)
[0017] 需要說明的是，檢測(cè)其他尺寸的石英撓性擺片時(shí)，上述具體的檢測(cè)數(shù)值會(huì)相應(yīng)地 發(fā)生變化。
[0018] 采用以上技術(shù)方案，本實(shí)用新型能方便、精確地測(cè)量石英撓性擺片中間擺兩個(gè)面 的下垂量，進(jìn)而計(jì)算出石英撓性擺片的對(duì)稱度，從而精確地判定石英撓性擺片的質(zhì)量是否 合格，從而保證大規(guī)模生產(chǎn)的順利進(jìn)行。
[0019] 作為優(yōu)化設(shè)計(jì)，所述彈簧支撐組件(Z)的數(shù)目為兩個(gè)，這兩個(gè)彈簧支撐組件擺動(dòng)在 所述工作臺(tái)（3d)的兩端，這樣就能可靠、平衡地支撐工具顯微鏡(3)的工作臺(tái)（3d)，從而使 工作臺(tái)（3d)在自然狀態(tài)下不會(huì)下掉。
[0020] 在本案中，所述彈簧支撐組件(Z)包括彈簧座(9)和導(dǎo)向套（12)，其中彈簧座(9)豎 直固定在所述基座（1)頂面上，該彈簧座內(nèi)豎直安裝有一根彈簧（10)，而彈簧（10)套裝在支 撐短軸（11)下部外面，且彈簧上端與該支撐短軸上的環(huán)形限位凸臺(tái)（11a)接觸;所述導(dǎo)向套
[12] 固定在彈簧座(9)上方，且導(dǎo)向套（12)的中心孔與所述支撐短軸（11)上部滑動(dòng)配合。
[0021] 采用以上結(jié)構(gòu)，可讓支撐短軸（11)在彈簧（10)作用下自由升降，從而很好地支撐 工具顯微鏡(3)的工作臺(tái)（3d)。
[0022] 作為優(yōu)選，所述螺桿(4)和支撐短軸（11)的上端均為球頭端。
[0023] 有益效果:本實(shí)用新型能方便、精確地測(cè)量石英撓性擺片中間擺兩個(gè)面的下垂量， 且不會(huì)破壞石英撓性擺片，進(jìn)而計(jì)算出石英撓性擺片的對(duì)稱度，從而精確地判定石英撓性 擺片的質(zhì)量是否合格，從而保證大規(guī)模生產(chǎn)的順利進(jìn)行。
【附圖說明】
[0024]圖1為本實(shí)用新型的軸測(cè)圖。
[0025]圖2為本實(shí)用新型的主視圖。
[0026] 圖3為圖2中石英撓性擺片安裝組件的軸測(cè)圖。
[0027] 圖4為圖2中石英撓性擺片安裝組件的主視圖。
[0028] 圖5為圖1中彈簧支撐組件的剖視放大圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明：
[0030] 如圖1-5所示，一種石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝，主要由基座1、墊塊2、工具顯微 鏡3、螺桿4、調(diào)整螺母5、石英撓性擺片安裝組件G和彈簧支撐組件Z構(gòu)成。其中，基座1頂面為 大平面，該基座1的頂面固設(shè)有一個(gè)墊塊2。工具顯微鏡3為外購(gòu)件，并倒置，工具顯微鏡3的 底座3a與墊塊2的頂面靠齊。工具顯微鏡3的垂直測(cè)量頭3b朝上，工具顯微鏡3的水平測(cè)量頭 3c在側(cè)面。工具顯微鏡3的工作臺(tái)3d通過至少一個(gè)彈簧支撐組件Z支撐在基座1頂面上。在本 案中，彈簧支撐組件Z的數(shù)目為兩個(gè)，這兩個(gè)彈簧支撐組件擺動(dòng)在工作臺(tái)3d的兩端。
[0031]工具顯微鏡3的支撐臂3e與螺桿4頂面接觸，該螺桿上套裝有調(diào)整螺母5,而調(diào)整螺 母5支撐在基座1頂面上，且螺桿4下部與基座1上的定位孔la滑動(dòng)配合。使用時(shí)，可通過調(diào)整 調(diào)整螺母5來調(diào)整工具顯微鏡3,從而使工具顯微鏡3的支撐臂3e與螺桿4頂面緊密接觸，從 而達(dá)到調(diào)平的目的。彈簧支撐組件Z包括彈簧座9和導(dǎo)向套12,其中：彈簧座9豎直固定在基 座1頂面上，該彈簧座9內(nèi)豎直安裝有一根彈簧10。彈簧10套裝在支撐短軸11下部外面，且彈 簧上端與該支撐短軸上的環(huán)形限位凸臺(tái)11a接觸。導(dǎo)向套12固定在彈簧座9上方，且導(dǎo)向套 12的中心孔與支撐短軸11上部滑動(dòng)配合。作為優(yōu)選，螺桿4和支撐短軸11的上端均為球頭 端。
[0032] 如圖1-5所示，石英撓性擺片安裝組件G包括L形板6和石英撓性擺片安裝盤7,其中 L形板6的豎直段位于其水平段下方，L形板6的下豎直段與所述工具顯微鏡3的工作臺(tái)3d貼 合并固定，該L形板的上水平段開有一個(gè)上、下貫通的通孔。石英撓性擺片安裝盤7為上大、 下小的兩段式階梯軸結(jié)構(gòu)，石英撓性擺片安裝盤7的中心孔為上大、下小的兩段式階梯孔， 而石英撓性擺片安裝盤7的小徑段嵌入L形板上水平段的通孔中。石英撓性擺片安裝盤7大 徑段的定位孔與定位銷8緊配合，該定位銷8豎直固定在L形板6的上水平段上，且石英撓性 擺片安裝盤7的上表面對(duì)應(yīng)定位銷8處沿徑向設(shè)有用于對(duì)齊中間擺的刻度凹槽7a。
[0033] 以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不以本實(shí)用新型為限制，凡在本 實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型 的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝，其特征在于:包括基座（I)、工具顯微鏡(3)和石 英撓性擺片安裝組件(G)，其中基座（1)頂面為平面，該基座頂面固設(shè)有一個(gè)墊塊(2);所述 工具顯微鏡（3)倒置，其底座（3a)與墊塊(2)的頂面靠齊，而工具顯微鏡（3)的垂直測(cè)量頭 (3b)朝上，工具顯微鏡（3)的水平測(cè)量頭(3c)在側(cè)面;所述工具顯微鏡（3)的工作臺(tái)（3d)通 過至少一個(gè)彈簧支撐組件(Z)支撐在所述基座（1)頂面上，該工具顯微鏡的支撐臂(3e)與螺 桿(4)頂面接觸，該螺桿上套裝有調(diào)整螺母(5)，而調(diào)整螺母支撐在所述基座（1)頂面上，且 螺桿(4)下部與基座（1)上的定位孔(Ia)滑動(dòng)配合； 所述石英撓性擺片安裝組件(G)包括L形板(6)和石英撓性擺片安裝盤(7)，其中L形板 (6) 的豎直段位于其水平段下方，其下豎直段與所述工具顯微鏡(3)的工作臺(tái)（3d)貼合并固 定，該L形板的上水平段開有一個(gè)上、下貫通的通孔;所述石英撓性擺片安裝盤(7)為上大、 下小的兩段式階梯軸結(jié)構(gòu)，其中心孔為上大、下小的兩段式階梯孔，而石英撓性擺片安裝盤 (7) 的小徑段嵌入所述L形板上水平段的通孔中；所述石英撓性擺片安裝盤(7)大徑段的定 位孔與定位銷(8)緊配合;該定位銷豎直固定在所述L形板(6)的上水平段上，且石英撓性擺 片安裝盤(7)的上表面對(duì)應(yīng)定位銷(8)處沿徑向設(shè)有用于對(duì)齊中間擺的刻度凹槽(7a)。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝，其特征在于:所述彈簧支撐組 件(Z)的數(shù)目為兩個(gè)，這兩個(gè)彈簧支撐組件擺動(dòng)在所述工作臺(tái)（3d)的兩端。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝，其特征在于:所述彈簧支撐組 件(Z)包括彈簧座(9)和導(dǎo)向套（12)，其中彈簧座(9)豎直固定在所述基座（1)頂面上，該彈 簧座內(nèi)豎直安裝有一根彈簧（10)，而彈簧（10)套裝在支撐短軸（11)下部外面，且彈簧上端 與該支撐短軸上的環(huán)形限位凸臺(tái)（Ila)接觸;所述導(dǎo)向套（12)固定在彈簧座(9)上方，且導(dǎo) 向套(12)的中心孔與所述支撐短軸(11)上部滑動(dòng)配合。4. 根據(jù)權(quán)利要求1或3所述的石英撓性擺片下垂量檢測(cè)工裝，其特征在于:所述螺桿(4) 和支撐短軸(11)的上端均為球頭端。
【文檔編號(hào)】G01B11/16GK205505986SQ201620228087
【公開日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2016年3月23日
【發(fā)明人】鄧云, 趙娟
【申請(qǐng)人】重慶天箭慣性科技有限公司