一種無(wú)損傷檢測(cè)pss的裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，屬于PSS制程檢測(cè)領(lǐng)域，包括機(jī)架、分別安裝在機(jī)架上的樣品盒和暗室、及設(shè)置在機(jī)架外側(cè)的圖像輸出裝置；暗室內(nèi)設(shè)有承載臺(tái)、第二驅(qū)動(dòng)裝置、平行光源發(fā)生器、與平行光源發(fā)生器連接的調(diào)焦裝置、及設(shè)置在暗室內(nèi)壁上的光學(xué)收集器，樣品盒和暗室間設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)裝置，第一驅(qū)動(dòng)裝置上設(shè)有樣品傳動(dòng)裝置，第一驅(qū)動(dòng)裝置包括上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將樣品盒內(nèi)不同高度樣品取出，水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)樣品傳動(dòng)裝置將樣品送至暗室內(nèi)承載臺(tái)上。該裝置在不破壞樣本的前提下，方便、準(zhǔn)確的獲取樣本信息，具有成本低、反應(yīng)迅速，能全面監(jiān)控生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)，適用于生產(chǎn)管控。
【專利說(shuō)明】
一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種檢測(cè)裝置，具體涉及一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，屬于PSS制程檢測(cè)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]LED作為一種新型光源，具有節(jié)能、環(huán)保、壽命長(zhǎng)的優(yōu)勢(shì)，在資源日益匱乏的今天得到廣泛關(guān)注。LED的發(fā)光效率依賴于PSS襯底微觀形貌及均勻性。PSS即圖案化藍(lán)寶石襯底，可減少LED外延中的位錯(cuò)密度，改善晶體質(zhì)量，提高LED的發(fā)光效率。但是PSS的結(jié)構(gòu)受制程影響極其敏感，需要針對(duì)PSS的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行制程管控。
[0003]目前，普遍采用SEM(掃描電子顯微鏡)和AFM(原子力顯微鏡)兩種檢測(cè)方式，但是SEM需要將樣品破壞，觀察斷面，此方法耗時(shí)長(zhǎng)，成本高，不適用于生產(chǎn)管控;AFM測(cè)試通過(guò)探針探測(cè)掃描PSS表面形貌，但是其探針使用壽命短，需要經(jīng)常更換，維護(hù)費(fèi)用昂貴，同樣不適用于生產(chǎn)管控。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，檢測(cè)樣品無(wú)損傷、耗時(shí)短，可批量測(cè)試，管控方便。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，包括機(jī)架、分別安裝在機(jī)架上的樣品盒和暗室、及設(shè)置在機(jī)架外側(cè)的圖像輸出裝置；
[0006]所述暗室內(nèi)設(shè)有承載臺(tái)、第二驅(qū)動(dòng)裝置、設(shè)置在第二驅(qū)動(dòng)裝置上的平行光源發(fā)生器、與平行光源發(fā)生器連接的調(diào)焦裝置、及設(shè)置在暗室內(nèi)壁上的光學(xué)收集器，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)平行光源發(fā)生器水平移動(dòng)，所述調(diào)焦裝置調(diào)節(jié)平行光源發(fā)生器產(chǎn)生平行光束聚焦，所述光學(xué)收集器收集PSS樣品反射光束，并將反射光束信息傳遞到圖像輸出裝置，所述圖像輸出裝置接收反射光束信息并轉(zhuǎn)變成圖像信息輸出；
[0007]所述樣品盒和暗室間設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置上設(shè)有樣品傳動(dòng)裝置，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置包括上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將樣品盒內(nèi)不同高度樣品取出，所述水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)樣品傳動(dòng)裝置將樣品送至暗室內(nèi)承載臺(tái)上。
[0008]作為改進(jìn)，所述平行光源發(fā)生器設(shè)置在承載臺(tái)正上方。
[0009]作為改進(jìn)，所述調(diào)焦裝置安裝在平行光源發(fā)生器上。
[0010]作為改進(jìn)，所述樣品傳動(dòng)裝置一端與第一驅(qū)動(dòng)裝置連接，另一端延伸至暗室內(nèi)，且與承載臺(tái)配合。
[0011]作為改進(jìn)，所述暗室設(shè)置在機(jī)架上靠近圖像輸出裝置的一端。
[0012]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型裝置利用光反射性質(zhì)，發(fā)射一束入射光掃描PSS表面，該束光經(jīng)過(guò)PSS表面區(qū)域會(huì)產(chǎn)生對(duì)應(yīng)的反射光，收集該束反射光并進(jìn)行數(shù)字化處理，最終輸出PSS樣本形貌及均勻性信息。該裝置在不破壞樣本的前提下，方便、準(zhǔn)確的獲取樣本信息，具有成本低、反應(yīng)迅速，能全面監(jiān)控生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)，適用于生產(chǎn)管控。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)不意圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型在實(shí)施例一中的檢測(cè)結(jié)果；
[0015]圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例二中的檢測(cè)結(jié)果；
[0016]圖中:1、機(jī)架，2、樣品盒，3、第一驅(qū)動(dòng)裝置，4、樣品傳動(dòng)裝置，5、承載臺(tái)，6、平行光源發(fā)生器，7、調(diào)焦裝置，8、圖像輸出裝置，9、第二驅(qū)動(dòng)裝置，10、暗室，11、光學(xué)收集器。
【具體實(shí)施方式】
[0017]為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明了，下面通過(guò)附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。但是應(yīng)該理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限制本實(shí)用新型的范圍。
[0018]除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)術(shù)語(yǔ)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)與屬于本實(shí)用新型的技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員通常理解的含義相同，本文中在本實(shí)用新型的說(shuō)明書中所使用的術(shù)語(yǔ)只是為了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本實(shí)用新型。
[0019]如圖1所示，一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，包括機(jī)架1、分別安裝在機(jī)架I上的樣品盒2和暗室1、及設(shè)置在機(jī)架I外側(cè)的圖像輸出裝置8;
[0020]所述暗室10內(nèi)設(shè)有承載臺(tái)5、第二驅(qū)動(dòng)裝置9、設(shè)置在第二驅(qū)動(dòng)裝置9上的平行光源發(fā)生器6、與平行光源發(fā)生器6連接的調(diào)焦裝置7、及設(shè)置在暗室內(nèi)壁上的光學(xué)收集器11，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置9驅(qū)動(dòng)設(shè)置在承載臺(tái)5正上方的平行光源發(fā)生器6水平移動(dòng)，完成承載臺(tái)5上的PSS樣品整體形貌的掃描;所述調(diào)焦裝置7安裝在平行光源發(fā)生器6上且可調(diào)節(jié)平行光源發(fā)生器6產(chǎn)生平行光束聚焦在PSS表面;所述光學(xué)收集器11收集PSS樣品表面反射光束，并將反射光束信息傳遞到圖像輸出裝置8，所述圖像輸出裝置8接收反射光束信息并轉(zhuǎn)變成圖像信息輸出，生產(chǎn)人員通過(guò)圖像信息判斷樣品的形貌、圖案化程度；
[0021]所述樣品盒2和暗室10間設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)裝置3，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置3上設(shè)有樣品傳動(dòng)裝置4，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置3包括上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將樣品盒2內(nèi)不同高度樣品取出，所述水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)樣品傳動(dòng)裝置4將樣品送至暗室10內(nèi)承載臺(tái)5上，最后PSS樣品由第一驅(qū)動(dòng)裝置3從暗室內(nèi)的承載臺(tái)5平移到暗室外的樣品盒2上，以此完成PSS樣品的形貌及均勻性檢測(cè)。
[0022]作為實(shí)施例的改進(jìn)，所述樣品傳動(dòng)裝置4一端與第一驅(qū)動(dòng)裝置3連接，另一端延伸至暗室10內(nèi)，且與承載臺(tái)5配合，實(shí)現(xiàn)PSS樣品在樣品盒2與承載臺(tái)5間輸送更便捷。
[0023]作為實(shí)施例的改進(jìn)，所述暗室10設(shè)置在機(jī)架I上靠近圖像輸出裝置8的一端，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使用方便。
[0024]實(shí)施例一
[0025]利用本實(shí)用新型裝置來(lái)區(qū)分不同試樣，通過(guò)機(jī)臺(tái)E測(cè)試的結(jié)果進(jìn)行說(shuō)明，其中試樣I為單拋藍(lán)寶石平片、試樣2和試樣3均為PSS樣品(圖2)，試樣2和試樣3的區(qū)別在于試樣2相比于試樣3圖案顆粒小，且排布較密集。
[0026]測(cè)試過(guò)程始終保持三個(gè)樣品采用同等參數(shù)設(shè)置，實(shí)例中唯一的不同在于試樣本身，按照正常流程測(cè)試結(jié)束后，得到試樣1、試樣2、試樣3的反射值分別用數(shù)字表示為C1、C2、C3，且從數(shù)據(jù)來(lái)看有C1>C2>C3;之所以出現(xiàn)這樣的結(jié)果原因是試樣I擁有類似于鏡面反射的表面，故其反射值最大;試樣2和試樣3均比試樣I粗糙，存在散射和漫反射，故發(fā)射信息接收不完全，其反射值自然較小，然而試樣2表面圖案并沒(méi)有較大顆，所能存在的漫反射和散射不如試樣3比例多，所以介于試樣I和試樣3間。
[0027]通過(guò)三組試樣的測(cè)試可以清楚地作出判斷:測(cè)試樣品若在機(jī)臺(tái)E上得到的反射值與C1、C2、C3存在大小關(guān)系，那么該樣品的圖案化程度也會(huì)與試樣1、試樣2、試樣3存在著聯(lián)系。因此，生產(chǎn)人員可根據(jù)樣品檢測(cè)結(jié)果準(zhǔn)確判斷圖案化程度。
[0028]實(shí)施例二
[0029]本實(shí)施例測(cè)試用的機(jī)臺(tái)和方法與實(shí)例一相同，不同之處在于本實(shí)例介紹的是在PSS加工過(guò)程中出現(xiàn)異常圖案，然后利用本新型介紹的方法去判定。如圖3所示，PSS加工過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)圖中a、b和c三種情形，通過(guò)測(cè)試得到其反射值分別為Ca、Cb、Cc，且反射值間存在一種序列關(guān)系，根據(jù)這三個(gè)反射值的關(guān)系也可以得到圖2所得三種不同圖案的PSS襯底。
[0030]通過(guò)對(duì)比圖3中三組試樣的測(cè)試可以知道:測(cè)試樣品均在同等生產(chǎn)條件下進(jìn)行加工，其反射值得差異，反映了其具有的圖案也存在差異，可以根據(jù)反射值判斷當(dāng)前生產(chǎn)是否按照預(yù)期進(jìn)行。因此，本實(shí)用新型的檢測(cè)裝置，在不破壞樣本的前提下，可方便、準(zhǔn)確的獲取樣本信息，具有成本低、反應(yīng)迅速，能全面監(jiān)控生產(chǎn)的優(yōu)點(diǎn)，適用于生產(chǎn)管控。
[0031]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換或改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，其特征在于，包括機(jī)架(I)、分別安裝在機(jī)架(I)上的樣品盒(2)和暗室(10)、及設(shè)置在機(jī)架(I)外側(cè)的圖像輸出裝置(8); 所述暗室(10)內(nèi)設(shè)有承載臺(tái)(5)、第二驅(qū)動(dòng)裝置(9)、設(shè)置在第二驅(qū)動(dòng)裝置(9)上的平行光源發(fā)生器(6)、與平行光源發(fā)生器(6)連接的調(diào)焦裝置(7)、及設(shè)置在暗室內(nèi)壁上的光學(xué)收集器(11)，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置(9)驅(qū)動(dòng)平行光源發(fā)生器(6)水平移動(dòng)，所述調(diào)焦裝置(7)調(diào)節(jié)平行光源發(fā)生器(6)產(chǎn)生平行光束聚焦，所述光學(xué)收集器(11)收集PSS樣品反射光束，并將反射光束信息傳遞到圖像輸出裝置(8)，所述圖像輸出裝置(8)接收反射光束信息并轉(zhuǎn)變成圖像信息輸出； 所述樣品盒(2)和暗室(10)間設(shè)有第一驅(qū)動(dòng)裝置(3)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置(3)上設(shè)有樣品傳動(dòng)裝置(4)，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置(3)包括上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)和水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述上下驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)用于將樣品盒(2)內(nèi)不同高度樣品取出，所述水平旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過(guò)驅(qū)動(dòng)樣品傳動(dòng)裝置(4)將樣品送至暗室(10)內(nèi)承載臺(tái)(5)上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，其特征在于，所述平行光源發(fā)生器(6)設(shè)置在承載臺(tái)(5)正上方。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，其特征在于，所述調(diào)焦裝置(7)安裝在平行光源發(fā)生器(6)上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，其特征在于，所述樣品傳動(dòng)裝置(4)一端與第一驅(qū)動(dòng)裝置(3)連接，另一端延伸至暗室(10)內(nèi)，且與承載臺(tái)(5)配合。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種無(wú)損傷檢測(cè)PSS的裝置，其特征在于，所述暗室(10)設(shè)置在機(jī)架(I)上靠近圖像輸出裝置(8)的一端。
【文檔編號(hào)】G01B11/24GK205537541SQ201620262797
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年3月31日
【發(fā)明人】涂亮亮, 劉亞坤, 林建男, 魏明德
【申請(qǐng)人】徐州同鑫光電科技股份有限公司