穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，包括真空室以及與所述真空室相連的機械泵，所述機械泵通過擴散泵與所述真空室相連，所述擴散泵通過閥門與所述真空室的第一接口相連，且所述真空室的第二接口與復合真空計相連。本實用新型使所述真空室內保持高的真空率，接口漏率低，滿足了穩(wěn)態(tài)湯生實驗要求的高真空度的要求。
【專利說明】
穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)
技術領域
[0001]本實用新型涉及穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的技術領域，尤其是指一種針對SF6替代氣體研究手段的穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)?！颈尘凹夹g】
[0002]六氟化硫(SF6)氣體以其優(yōu)良的絕緣性能和滅弧性能而廣泛應用于高壓電力設備中，但SF6氣體屬于高溫室效應氣體，于1997年簽訂的《京都議定書》中已將SF6列為禁止使用的高溫室效應氣體，尋找絕緣性能與SF6相當或更高而溫室效應指數(shù)低的新氣體一直是國內研究的熱門課題。特高壓以及全球能源互聯(lián)大發(fā)展，增加了 GIS(六氟化硫封閉式組合電器)和GIL(氣體絕緣管道母線)對SF6氣體的需求量，更進一步推動了 SF6替代氣體的研究需求。穩(wěn)態(tài)湯生實驗方法和實驗設備簡單，對測量回路的技術要求不高，采用合適的數(shù)據(jù)處理方法，運用計算機便可擬合出放電參數(shù)，這對于預測絕緣氣體的放電特性和耐電強度是一種簡便易行的方法，因此穩(wěn)態(tài)湯生實驗是SF6替代氣體的重要研究手段。
[0003]穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的要求是具有高真空度的電離腔體和高精度的測量系統(tǒng)，它主要是由電離腔體、真空系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、高穩(wěn)定度的直流電壓源、穩(wěn)定的光源系統(tǒng)和測量系統(tǒng)組成，穩(wěn)態(tài)湯生實驗所用氣體的純度直接影響所測得的參數(shù)的準確性，因此要保證被測量氣體的純度，必須要求腔體具有一定的真空度?，F(xiàn)有技術中通常采用真空栗來使腔體內保持真空，雖然實現(xiàn)了抽真空的目的，但是不能滿足腔體內的高真空度。【實用新型內容】
[0004]為此，本實用新型所要解決的技術問題在于克服現(xiàn)有技術中不能滿足腔體內高真空度的問題從而提供一種回路簡單且能保證穩(wěn)態(tài)湯生實驗要求的高真空度的穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型的一種穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，包括真空室以及與所述真空室相連的機械栗，所述機械栗通過擴散栗與所述真空室相連，所述擴散栗通過閥門與所述真空室的第一接口相連，且所述真空室的第二接口與復合真空計相連。
[0006]在本實用新型的一個實施例中，所述真空室的第二接口還與核質譜檢漏儀相連。
[0007]在本實用新型的一個實施例中，所述第一接口和所述第二接口的漏率均小于所述核質譜檢漏儀最小量程。
[0008]在本實用新型的一個實施例中，所述第一接口和所述第二接口的漏率均小于所述核質譜檢漏儀最小量程。
[0009]本實用新型的上述技術方案相比現(xiàn)有技術具有以下優(yōu)點:
[0010]本實用新型所述穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，不但實驗設備連接簡單，實驗裝置安裝方便，且可使所述真空室內保持高的真空率，接口漏率低，滿足了穩(wěn)態(tài)湯生實驗要求的高真空度的要求?！靖綀D說明】
[0011]為了使本實用新型的內容更容易被清楚的理解，下面根據(jù)本實用新型的具體實施例并結合附圖，對本實用新型作進一步詳細的說明，其中
[0012]圖1是本實用新型所述穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)的連接示意圖?！揪唧w實施方式】
[0013]請參考圖1所示，本實施例提供一種穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，包括真空室11 以及與所述真空室11相連的機械栗12,所述機械栗12通過擴散栗13與所述真空室11相連， 所述擴散栗13通過高真空閥14與所述真空室11的第一接口相連，且所述真空室11的第二接口與復合真空計15相連。
[0014]上述是本實用新型所述的核心技術領域，本實用新型所述穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，包括真空室11以及與所述真空室11相連的機械栗12,通過所述機械栗12對所述真空室11進行粗抽;所述機械栗12通過擴散栗13與所述真空室11相連，所述擴散栗13通過高真空閥14與所述真空室11的第一接口相連，待所述擴散栗13正常工作后(即油蒸汽射流正常噴射)，對所述真空室11進行抽氣，從而可以使所述真空室11內保持高的真空率，滿足了穩(wěn)態(tài)湯生實驗要求的高真空度的要求;所述真空室11的第二接口與復合真空計14相連，通過所述復合真空計15測量所述真空室11的真空度，從而有利于實時監(jiān)測所述真空室11的真空度，并可使所述真空室11保持氣壓恒定，進而有效提高穩(wěn)態(tài)湯生實驗用氣體的純度。
[0015]所述述真空室11的第二接口還與核質譜檢漏儀16相連，通過所述核質譜檢漏儀16 可以檢測各個接口的漏率，從而有效保證所述真空室11始終維持高的真空度。具體地，采用噴吹法檢測各個接口的漏率，包括檢測所述真空室11的第一接口和所述真空室11的第二接口的漏率，且所述真空室11的第一接口和所述真空室11的第二接口的漏率均小于所述核質譜檢漏儀16最小量程，從而有利于保持所述真空室11內的高真空度。
[0016]所述真空室11的第二接口還與充氣瓶連接口 17相連，通過充氣瓶連接口 17可以向具有高真空度的所述真空室11內輸入氣體，有利于提高穩(wěn)態(tài)湯生實驗用氣體的純度。
[0017]本實用新型所述抽氣系統(tǒng)的啟動和停止運轉時按照下述步驟進行:
[0018]步驟S1:接通所述擴散栗13的冷卻水，調整水溫繼電器的溫度設定值，然后開動所述機械栗12對所述真空室11進行粗抽;其中啟動所述機械栗12前，要檢查栗的油位是否合乎要求，所述高真空閥14及前級閥是否關閉。
[0019]步驟S2:當所述真空室11內的壓力降到lOOPa之后，可打開前級管道閥并給所述擴散栗13加熱器通電；如果所述擴散栗13已經(jīng)處于真空封閉狀態(tài)，則可同時加熱所述擴散栗 13。
[0020]步驟S3:當所述真空室11抽至5 Pa左右時開啟所述擴散栗13,經(jīng)過半小時左右，所述真空室11的壓強達到l(T2Pa，此時打開所述核質譜檢漏儀16,采用噴吹法檢測各個接口的漏率，各個接口漏率均小于儀器最小量程l(T1()Pa ? nf3/s。[〇〇21] 步驟S4:當所述真空室11抽到l(T4Pa后，關閉所述高真空閥14,切斷所述擴散栗13 加熱電源，切斷所述擴散栗13電源，并關閉所述復合真空計15。
[0022]步驟S5:半個小時或1小時后，等所述擴散栗13降溫后，關掉所述機械栗12,關掉所述擴散栗13的冷卻水。
[0023]值得注意的是:在真空系統(tǒng)停止工作時，如無特殊要求，應將系統(tǒng)各元件保持在真空狀態(tài)下封存，但所述機械栗12內應通大氣。
[0024]顯然，上述實施例僅僅是為清楚地說明所作的舉例，并非對實施方式的限定。對于所屬領域的普通技術人員來說，在上述說明的基礎上還可以做出其它不同形式變化或變動。這里無需也無法對所有的實施方式予以窮舉。而由此所引伸出的顯而易見的變化或變動仍處于本實用新型創(chuàng)造的保護范圍之中。
【主權項】
1.一種穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，包括真空室以及與所述真空室相連的機械栗， 其特征在于:所述機械栗通過擴散栗與所述真空室相連，所述擴散栗通過閥門與所述真空 室的第一接口相連，且所述真空室的第二接口與復合真空計相連。2.根據(jù)權利要求1所述的穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，其特征在于:所述真空室的 第二接口還與核質譜檢漏儀相連。3.根據(jù)權利要求2所述的穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，其特征在于:所述第一接口和 所述第二接口的漏率均小于所述核質譜檢漏儀最小量程。4.根據(jù)權利要求1所述的穩(wěn)態(tài)湯生實驗裝置的抽氣系統(tǒng)，其特征在于:所述真空室的第 二接口還與充氣瓶連接口相連。
【文檔編號】G01N33/00GK205581080SQ201620389219
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年4月29日
【發(fā)明人】張劉春, 肖登明, 李中新, 殷禹
【申請人】中國電力科學研究院, 國家電網(wǎng)公司, 上海交通大學