一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及監(jiān)測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，公開(kāi)一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，包括換向組件、第一管道、第二管道、第三管道和真空壓力計(jì)，其中:換向組件包括第一接口、第二接口和第三接口，當(dāng)換向組件處于第一工作狀態(tài)時(shí)，第一接口與第二接口連通；當(dāng)換向組件處于第二工作狀態(tài)時(shí)，第一接口與第三接口連通；第一管道的一端用于與排風(fēng)管道連通、另一端與第一接口連通；第二管道的一端與第二接口連通，真空壓力計(jì)安裝于第二管道的另一端；第三管道的一端用于與干燥氣源裝置連通、另一端與第三接口連通。該設(shè)備可改善因冷凝液體進(jìn)入監(jiān)測(cè)管道造成的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)異常，提高了排風(fēng)系統(tǒng)壓力監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確性，并改善了因壓力監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)異常造成的設(shè)備稼動(dòng)率降低的問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及監(jiān)測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)代工業(yè)中，生產(chǎn)車(chē)間內(nèi)為防止在生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的有害物或水蒸氣對(duì)生產(chǎn)過(guò)程造成影響，多采用排風(fēng)系統(tǒng)將有害物或水蒸氣排出車(chē)間。例如在目前液晶顯示面板制造業(yè)中，生產(chǎn)過(guò)程中所用的濕法刻蝕機(jī)以及濕法剝離機(jī)的藥液區(qū)間升溫后會(huì)產(chǎn)生藥液揮發(fā)氣體，而水洗區(qū)間則會(huì)產(chǎn)生水蒸氣，為減少藥液揮發(fā)氣體和水蒸氣對(duì)生產(chǎn)過(guò)程的影響，需設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)將藥液揮發(fā)氣體和水蒸氣排出。為保證生產(chǎn)工藝穩(wěn)定和減少藥液損失，要求排風(fēng)系統(tǒng)的負(fù)壓維持在一定范圍內(nèi)，需采用壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備對(duì)排風(fēng)系統(tǒng)的負(fù)壓進(jìn)行監(jiān)測(cè)，壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備中通常使用監(jiān)測(cè)管道與排風(fēng)管道相連，并在監(jiān)測(cè)管道的一端設(shè)置真空壓力計(jì)以進(jìn)行負(fù)壓進(jìn)行監(jiān)測(cè)，當(dāng)監(jiān)測(cè)到的負(fù)壓超出設(shè)定范圍時(shí)，設(shè)備會(huì)停止生產(chǎn)，以避免在此情況下繼續(xù)生產(chǎn)而造成的產(chǎn)品不良。
[0003]但是，在排風(fēng)過(guò)程中，藥液揮發(fā)氣體和水蒸氣會(huì)在真空壓力計(jì)的監(jiān)測(cè)管道上冷凝，冷凝液體會(huì)因壓力變化而進(jìn)入監(jiān)測(cè)管道并使管道堵塞，導(dǎo)致所測(cè)得的數(shù)值與實(shí)際不符，降低了排風(fēng)系統(tǒng)的壓力監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確性，不能反應(yīng)排風(fēng)系統(tǒng)的真實(shí)壓力。若此異常數(shù)值超出生產(chǎn)工藝要求的設(shè)定范圍，還會(huì)造成設(shè)備非正常停機(jī)，降低設(shè)備稼動(dòng)率。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型提供了一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，可改善因冷凝液體進(jìn)入監(jiān)測(cè)管道造成的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)異常，提高了排風(fēng)系統(tǒng)壓力監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確性，并改善了因壓力監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)異常造成的設(shè)備稼動(dòng)率降低的問(wèn)題。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下的技術(shù)方案:
[0006]一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備包括換向組件、第一管道、第二管道、第三管道和真空壓力計(jì)，其中:
[0007]所述換向組件包括第一接口、第二接口和第三接口，當(dāng)所述換向組件處于第一工作狀態(tài)時(shí)，所述第一接口與所述第三接口斷開(kāi)，所述第二接口與所述第三接口斷開(kāi)，且所述第一接口與所述第二接口連通；當(dāng)所述換向組件處于第二工作狀態(tài)時(shí)，所述第一接口與所述第二接口斷開(kāi)，所述第二接口與所述第三接口斷開(kāi)，所述第一接口與所述第三接口連通；
[0008]所述第一管道的一端用于與排風(fēng)管道連通、另一端與所述第一接口連通;所述第二管道的一端與所述第二接口連通，所述真空壓力計(jì)安裝于所述第二管道的另一端;所述第三管道的一端用于與干燥氣源裝置連通、另一端與所述第三接口連通。
[0009]本實(shí)用新型提供的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備用于監(jiān)測(cè)排風(fēng)系統(tǒng)中的排風(fēng)管道內(nèi)的壓力，在壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備進(jìn)行排風(fēng)系統(tǒng)的負(fù)壓監(jiān)測(cè)時(shí)，控制換向組件處于第一工作狀態(tài)，使第一接口與第三接口之間斷開(kāi)、第二接口與第三接口斷開(kāi)，第一接口與第二接口連通，此時(shí)真空壓力計(jì)與排風(fēng)管道之間連通，可進(jìn)行排風(fēng)管道內(nèi)的壓力監(jiān)測(cè);在需進(jìn)行第一管道除水時(shí)，控制換向組件處于第二工作狀態(tài)，使第一接口與第二之間斷開(kāi)、第二接口與第三接口斷開(kāi)，第一接口與第三接口連通，此時(shí)干燥氣源裝置與第一管道之間連通，通過(guò)干燥氣源裝置向第一管道內(nèi)輸送壓縮干燥空氣，可清除第一管道內(nèi)的冷凝液體。
[0010]該壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備可改善因冷凝液體進(jìn)入監(jiān)測(cè)管道造成的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)異常，提高了排風(fēng)系統(tǒng)壓力監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確性，并改善了因壓力監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)異常造成的設(shè)備稼動(dòng)率降低的問(wèn)題。
[0011]優(yōu)選地，所述換向組件包括:
[0012]安裝于所述換向組件內(nèi)的擋板，所述擋板的一端鉸接于所述換向、且可繞其鉸接端轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)所述擋板處于第一工位時(shí)將所述第三接口封堵，以使所述換向組件處于第一工作狀態(tài)；當(dāng)所述擋板處于第二工位時(shí)將所述第二接口封堵，以使所述換向組件處于所述第二工作狀態(tài)；
[0013]與所述擋板連接的離合機(jī)構(gòu)，在所述第三接口內(nèi)的氣壓未超過(guò)預(yù)設(shè)閾值時(shí)，所述擋板在所述離合機(jī)構(gòu)的作用下處于第一工位；
[0014]在所述第三接口內(nèi)的氣壓超過(guò)預(yù)設(shè)閾值時(shí)，所述擋板在所述第三接口內(nèi)的氣壓的作用下克服所述離合機(jī)構(gòu)的作用力運(yùn)動(dòng)至第二工位。
[0015]進(jìn)一步地，所述離合機(jī)構(gòu)包括第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件安裝于所述擋板，所述第二磁性件安裝于所述換向組件內(nèi)。
[0016]進(jìn)一步地，第二磁性件安裝于所述換向組件內(nèi)位于所述第二接口的一側(cè)或位于所述第一接口的一側(cè)，所述第一磁性件與所述第二磁性件相對(duì)的一側(cè)相斥;或，
[0017]所述第二磁性件安裝于所述換向組件內(nèi)位于所述第三接口的一側(cè)或位于所述第一接口的一側(cè)，所述第一磁性件與所述第二磁性件相對(duì)的一側(cè)相吸。
[0018]進(jìn)一步地，所述離合機(jī)構(gòu)包括與所述擋板連接的彈性件。
[0019]進(jìn)一步地，所述彈性件為與所述擋板的鉸接端連接的扭力彈簧;或，
[0020]所述彈性件為一端與所述擋板連接、另一端安裝于所述換向組件內(nèi)位于所述第三接口的一側(cè)或位于所述第一接口的一側(cè)的拉力彈簧;或，
[0021]所述彈性件為一端與所述擋板連接、另一端安裝于所述換向組件內(nèi)位于所述第二接口的一側(cè)或位于所述第一接口的一側(cè)的壓力彈簧。
[0022]進(jìn)一步地，所述第三管道設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述第三管道內(nèi)氣壓大小的調(diào)節(jié)閥。
[0023]優(yōu)選地，所述換向組件包括:
[0024]安裝于所述第二接口的第一閘閥、和安裝于所述第三接口的第二閘閥；
[0025]在所述第一閘閥打開(kāi)且所述第二閘閥關(guān)閉時(shí)，所述換向組件處于所述第一工作狀態(tài)；
[0026]在所述第一閘閥關(guān)閉且所述第二閘閥打開(kāi)時(shí)，所述換向組件處于所述第二工作狀
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【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1是本實(shí)用新型提供的一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖2a是圖1中所示的換向組件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖2b是圖1中所示的換向組件的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖3a是圖1中所示的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備在換向組件處于第一工作狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0031]圖3b是圖1中所示的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備在換向組件處于第二工作狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0032]圖4是本實(shí)用新型提供的一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。
[0033]附圖標(biāo)記:
[0034]10，第一管道;20，第二管道;30，第三管道;31，調(diào)節(jié)閥；
[0035]40，換向組件;400，殼體;41，第一接口 ； 42，第二接口 ；
[0036]43，第三接口； 44，擋板;441，鉸接端;45，離合機(jī)構(gòu)；
[0037]451，第一磁性件;452，第二磁性件;46，第一閘閥；47，第二閘閥；
[0038]50，真空壓力計(jì);60，排風(fēng)管道;70，干燥氣源裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0039]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0040]圖1為本實(shí)用新型提供的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，參見(jiàn)圖1所示，本實(shí)用新型提供的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備包括:第一管道10、第二管道20、第三管道30、換向組件40和真空壓力計(jì)50，其中:
[0041 ] 換向組件40包括第一接口 41、第二接口 42和第三接口 43 ；
[0042]第一管道10的一端用于與排風(fēng)管道60連通、另一端與第一接口41連通;第二管道20的一端與第二接口 42連通，真空壓力計(jì)50安裝于第二管道20的另一端;第三管道30的一端用于與干燥氣源裝置70連通、另一端與第三接口 43連通。
[0043]該壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備中，為實(shí)現(xiàn)排風(fēng)系統(tǒng)的壓力監(jiān)測(cè)功能和第一管道10的除水功能，換向組件40具有第一工作狀態(tài)和第二工作狀態(tài):
[0044]當(dāng)換向組件40處于第一工作狀態(tài)時(shí)，第一接口41與第三接口 43斷開(kāi)，第二接口 42與第三接口 43斷開(kāi)，且第一接口 41與第二接口 42連通；
[0045]當(dāng)換向組件處于第二工作狀態(tài)時(shí)，第一接口41與第二接口42斷開(kāi)，第二接口42與第三接口 43斷開(kāi)，第一接口 41與第三接口 43連通。
[0046]具體地，上述換向組件40可采用如下方式實(shí)現(xiàn):
[0047]實(shí)現(xiàn)方式一:參見(jiàn)圖2a和圖2b所示，圖2a和圖2b為該實(shí)現(xiàn)方式中換向組件40的結(jié)構(gòu)示意圖，換向組件40包括:
[0048]殼體400;
[0049]安裝于殼體400內(nèi)的擋板44，擋板44的一端鉸接于殼體400、且可繞其鉸接端441轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0050]結(jié)合圖3a所示，圖3a為擋板44處于第一工位時(shí)的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備的工作狀態(tài)示意圖，當(dāng)擋板44處于第一工位時(shí)將第三接口 43封堵，以使換向組件處于第一工作狀態(tài)，此時(shí)，第一接口 41與第三接口 43斷開(kāi)，第二接口 42與第三接口 43斷開(kāi)，且第一接口 41與第二接口42連通，排風(fēng)管道60與真空壓力計(jì)50連通，換向組件40內(nèi)的氣流流動(dòng)方向如圖3a中的箭頭組A所示，真空壓力計(jì)50可進(jìn)行排風(fēng)管道60內(nèi)的壓力監(jiān)測(cè)；
[0051]結(jié)合圖3b所示，圖3b為擋板44處于第二工位時(shí)的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備的工作狀態(tài)示意圖，當(dāng)擋板44處于第二工位時(shí)將第二接口 42封堵，以使換向組件處于第二工作狀態(tài)，此時(shí)，第一接口 41與第二接口 42斷開(kāi)，第二接口 42與第三接口 43斷開(kāi)，第一接口 41與第三接口 43連通，換向組件40內(nèi)的氣流流動(dòng)方向如圖3b中的箭頭組B所示，干燥氣源裝置70與第一管道10連通，通過(guò)干燥氣源裝置70向第一管道10內(nèi)輸送壓縮干燥空氣，可除去第一管道10內(nèi)的冷凝液體。
[0052]為控制擋板44在第一工位和第二工位之間切換，換向組件40還包括與擋板44連接的離合機(jī)構(gòu)45，在第三接口 43內(nèi)的氣壓未超過(guò)預(yù)設(shè)閾值時(shí)，擋板44在離合機(jī)構(gòu)45的作用下處于第一工位;在第三接口 43內(nèi)的氣壓超過(guò)預(yù)設(shè)閾值時(shí)，擋板44在第三接口 43內(nèi)的氣壓的作用下克服離合機(jī)構(gòu)45的作用力運(yùn)動(dòng)至第二工位。該離合機(jī)構(gòu)45無(wú)需通過(guò)外部設(shè)施對(duì)擋板44進(jìn)行控制即可實(shí)現(xiàn)擋板44的工位切換，簡(jiǎn)化了換向組件40的結(jié)構(gòu)。
[0053]具體實(shí)施中，該離合機(jī)構(gòu)45也可采用多種方式實(shí)現(xiàn)，如圖2a和圖2b中所示的一種實(shí)現(xiàn)方式中，離合機(jī)構(gòu)45包括第一磁性件451和第二磁性件452，第一磁性件451安裝于擋板44，第二磁性件452安裝于換向組件40內(nèi)。該實(shí)現(xiàn)方式中的離合機(jī)構(gòu)45通過(guò)第一磁性件451和第二磁性件452之間的磁力作用實(shí)現(xiàn)。
[0054]具體地，如圖2a所示，第一磁性件451與第二磁性件452相對(duì)的一側(cè)相斥，第二磁性件452安裝于殼體400內(nèi)位于第二接口 42的一側(cè)，此外也可安裝于殼體400內(nèi)位于第一接口41的一側(cè);通過(guò)第一磁性件451和第二磁性件452之間的斥力可使擋板44處于第一工位，在第三接口 43內(nèi)的氣壓對(duì)擋板44的作用力大于第一磁性件451和第二磁性件452之間的斥力時(shí)，擋板44在氣壓的作用力下克服第一磁性件451和第二磁性件452之間的斥力運(yùn)動(dòng)至第二工位；
[0055]如圖2b所示，第一磁性件451與第二磁性件452相對(duì)的一側(cè)相吸，第二磁性件452安裝于殼體400內(nèi)位于第三接口43的一側(cè)，此外也可安裝于殼體400內(nèi)位于第一接口41的一側(cè);通過(guò)第一磁性件451和第二磁性件452之間的吸力可使擋板44處于第一工位，在第三接口 43內(nèi)的氣壓對(duì)擋板44的作用力大于第一磁性件451和第二磁性件452之間的吸力時(shí)，擋板44在氣壓的作用力下克服第一磁性件451和第二磁性件452之間的斥力運(yùn)動(dòng)至第二工位。
[0056]在其他實(shí)現(xiàn)方式中，除了采用上述的磁性機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)擋板44的工位切換之外，還可采用彈性件實(shí)現(xiàn)擋板44的工位切換，則離合機(jī)構(gòu)45包括與擋板44連接的彈性件，具體地，彈性件可采用與擋板44的鉸接端441連接的扭力彈簧;或，
[0057]彈性件為一端與擋板44連接、另一端安裝于換向組件40內(nèi)位于第三接口43的一側(cè)或位于第一接口 41的一側(cè)的拉力彈簧;或，
[0058]彈性件為一端與擋板44連接、另一端安裝于換向組件40內(nèi)位于第二接口42的一側(cè)或位于第一接口 41的一側(cè)的壓力彈簧。
[0059]上述彈性件可通過(guò)其對(duì)擋板44的作用力使擋板44處于第一工位，在第三接口43內(nèi)的氣壓對(duì)擋板44的作用力大于彈性件的作用力時(shí)，擋板44在氣壓的作用力下克服彈性件的作用力運(yùn)動(dòng)至第二工位。
[0060]一種優(yōu)選方式中，為便于調(diào)節(jié)第三管道30內(nèi)的氣壓大小，以實(shí)現(xiàn)擋板44的工位切換，第三管道30設(shè)有用于調(diào)節(jié)第三管道30內(nèi)氣壓大小的調(diào)節(jié)閥31。
[0061]實(shí)現(xiàn)方式二:參見(jiàn)圖4所示，圖4為本實(shí)現(xiàn)方式中的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，換向組件40包括:
[0062]安裝于第二接口42的第一閘閥46、和安裝于第三接口 43的第二閘閥47;
[0063]在第一閘閥46打開(kāi)且第二閘閥47關(guān)閉時(shí)，換向組件處于第一工作狀態(tài)；
[0064]在第一閘閥46關(guān)閉且第二閘閥47打開(kāi)時(shí)，換向組件處于第二工作狀態(tài)。
[0065]本實(shí)用新型提供的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備用于監(jiān)測(cè)排風(fēng)系統(tǒng)中的排風(fēng)管道60內(nèi)的壓力，在壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備進(jìn)行排風(fēng)系統(tǒng)的負(fù)壓監(jiān)測(cè)時(shí)，控制換向組件40處于第一工作狀態(tài)，使第一接口 41與第三接口 43之間斷開(kāi)、第二接口 42與第三接口 43斷開(kāi)，第一接口 41與第二接口 42連通，此時(shí)真空壓力計(jì)50與排風(fēng)管道60之間連通，可進(jìn)行排風(fēng)管道60內(nèi)的壓力監(jiān)測(cè)；在需進(jìn)行第一管道10除水時(shí)，控制換向組件40處于第二工作狀態(tài)，使第一接口 41與第二之間斷開(kāi)、第二接口 42與第三接口 43斷開(kāi)，第一接口 41與第三接口 43連通，此時(shí)干燥氣源裝置70與第一管道10之間連通，通過(guò)干燥氣源裝置70向第一管道10內(nèi)輸送壓縮干燥空氣，可清除第一管道10內(nèi)的冷凝液體。
[0066]該壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備可改善因冷凝液體進(jìn)入監(jiān)測(cè)管道造成的監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)異常，提高了排風(fēng)系統(tǒng)壓力監(jiān)測(cè)準(zhǔn)確性，并改善了因壓力監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)異常造成的設(shè)備稼動(dòng)率降低的問(wèn)題。
[0067]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括換向組件、第一管道、第二管道、第三管道和真空壓力計(jì)，其中: 所述換向組件包括第一接口、第二接口和第三接口，當(dāng)所述換向組件處于第一工作狀態(tài)時(shí)，所述第一接口與所述第三接口斷開(kāi)，所述第二接口與所述第三接口斷開(kāi)，且所述第一接口與所述第二接口連通；當(dāng)所述換向組件處于第二工作狀態(tài)時(shí)，所述第一接口與所述第二接口斷開(kāi)，所述第二接口與所述第三接口斷開(kāi)，所述第一接口與所述第三接口連通； 所述第一管道的一端用于與排風(fēng)管道連通、另一端與所述第一接口連通;所述第二管道的一端與所述第二接口連通，所述真空壓力計(jì)安裝于所述第二管道的另一端;所述第三管道的一端用于與干燥氣源裝置連通、另一端與所述第三接口連通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述換向組件包括: 殼體； 安裝于所述殼體內(nèi)的擋板，所述擋板的一端鉸接于所述殼體、且可繞其鉸接端轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)所述擋板處于第一工位時(shí)將所述第三接口封堵，以使所述換向組件處于第一工作狀態(tài)；當(dāng)所述擋板處于第二工位時(shí)將所述第二接口封堵，以使所述換向組件處于所述第二工作狀態(tài)； 與所述擋板連接的離合機(jī)構(gòu)，在所述第三接口內(nèi)的氣壓未超過(guò)預(yù)設(shè)閾值時(shí)，所述擋板在所述離合機(jī)構(gòu)的作用下處于第一工位； 在所述第三接口內(nèi)的氣壓超過(guò)預(yù)設(shè)閾值時(shí)，所述擋板在所述第三接口內(nèi)的氣壓的作用下克服所述離合機(jī)構(gòu)的作用力運(yùn)動(dòng)至第二工位。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述離合機(jī)構(gòu)包括第一磁性件和第二磁性件，所述第一磁性件安裝于所述擋板，所述第二磁性件安裝于所述換向組件內(nèi)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，其特征在于，第二磁性件安裝于所述換向組件內(nèi)位于所述第二接口的一側(cè)或位于所述第一接口的一側(cè)，所述第一磁性件與所述第二磁性件相對(duì)的一側(cè)相斥;或， 所述第二磁性件安裝于所述換向組件內(nèi)位于所述第三接口的一側(cè)或位于所述第一接口的一側(cè)，所述第一磁性件與所述第二磁性件相對(duì)的一側(cè)相吸。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述離合機(jī)構(gòu)包括與所述擋板連接的彈性件。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述彈性件為與所述擋板的鉸接端連接的扭力彈簧;或， 所述彈性件為一端與所述擋板連接、另一端安裝于所述換向組件內(nèi)位于所述第三接口的一側(cè)或位于所述第一接口的一側(cè)的拉力彈簧;或， 所述彈性件為一端與所述擋板連接、另一端安裝于所述換向組件內(nèi)位于所述第二接口的一側(cè)或位于所述第一接口的一側(cè)的壓力彈簧。7.根據(jù)權(quán)利要求2-6任一項(xiàng)所述的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述第三管道設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述第三管道內(nèi)氣壓大小的調(diào)節(jié)閥。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓力監(jiān)測(cè)設(shè)備，其特征在于，所述換向組件包括: 安裝于所述第二接口的第一閘閥、和安裝于所述第三接口的第二閘閥； 在所述第一閘閥打開(kāi)且所述第二閘閥關(guān)閉時(shí)，所述換向組件處于所述第一工作狀態(tài)；在所述第一閘閥關(guān)閉且所述第二閘閥打開(kāi)時(shí)，所述換向組件處于所述第二工作狀態(tài)。
【文檔編號(hào)】G01L9/00GK205620073SQ201620490822
【公開(kāi)日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2016年5月20日
【發(fā)明人】李盛榮, 王世凱, 金童燮, 耿軍, 王華東, 石正東
【申請(qǐng)人】合肥鑫晟光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司