一種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置，包括：用于激光超聲聚焦的聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)1；聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)1的一側(cè)旋涂有復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2，復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2用于激光超聲增強(qiáng)以及激光超聲聚焦；復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2吸收激光器發(fā)射的激光束，首先將其轉(zhuǎn)換成聲能，然后對(duì)其聚焦，并將產(chǎn)生的超聲波信號(hào)傳導(dǎo)進(jìn)入聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)1，由聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)1進(jìn)一步聚焦。本實(shí)施例中的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置作為一種新的聲源兼具有激光超聲高頻率和聚焦超聲高指向性的優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)器件的無(wú)損探傷檢測(cè)，并具有非接觸、探傷分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，提高了檢測(cè)的效率，節(jié)省檢測(cè)時(shí)間，對(duì)比傳統(tǒng)的激光超聲檢測(cè)探傷的深度有較大提高。
【專利說(shuō)明】
一種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及光學(xué)工程和材料以及聲學(xué)的交叉技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]激光超聲技術(shù)可以用于高精度的缺陷檢測(cè)，其中，激光超聲無(wú)損檢測(cè)是其中研究最多的一個(gè)方面。激光在試樣表面通過(guò)熱彈效應(yīng)產(chǎn)生超聲，激發(fā)產(chǎn)生的聲波在試樣中傳播的時(shí)候與缺陷作用后被檢測(cè)到，通過(guò)對(duì)接收到的聲信號(hào)進(jìn)行信號(hào)處理，確定缺陷的位置信息。聚焦超聲由于能量集中，實(shí)現(xiàn)無(wú)損探傷有更好的指向性，同時(shí)能達(dá)到更高的探測(cè)深度。
[0003]高強(qiáng)度聚焦超聲(HIFU)是指能夠?qū)⒊暡ň劢褂诎薪M織，使其生熱以至消融而不影響周圍健康組織的一種治療技術(shù)，這一技術(shù)很有希望用于治療癌癥，通過(guò)超聲在聚焦的組織區(qū)域瞬間產(chǎn)生很高的溫度來(lái)殺死癌細(xì)胞而不損傷周圍的細(xì)胞，這種方式有非接觸，無(wú)創(chuàng)的特點(diǎn)，所以被廣泛研究，而現(xiàn)在所研究的高強(qiáng)度聚焦超聲大都是通過(guò)壓電換能器陣列實(shí)現(xiàn)的，壓電換能器不但結(jié)構(gòu)復(fù)雜，且價(jià)格昂貴，其需要與聲聚焦鏡頭之間的耦合劑匹配層，會(huì)對(duì)待檢測(cè)物產(chǎn)生污染。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，進(jìn)一步增強(qiáng)激光激發(fā)超聲的強(qiáng)度，提高激光超聲的檢測(cè)深度，實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度聚焦超聲，提供了一種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置，并同時(shí)提出了這種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置的制備方法，采用該裝置具有激光超聲非接觸、激光超聲強(qiáng)度高的優(yōu)點(diǎn)。
[0005]第一方面，本實(shí)用新型提供了一種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置，包括:用于激光超聲聚焦的聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I;聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的一側(cè)旋涂有復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2，復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2用于激光超聲增強(qiáng)以及激光超聲聚焦;復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2吸收激光器發(fā)射的激光束，首先將其轉(zhuǎn)換成聲能，然后對(duì)其聚焦，并將產(chǎn)生的超聲波信號(hào)傳導(dǎo)進(jìn)入聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I，由聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I進(jìn)一步聚焦。
[0006]優(yōu)選地，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)為透明結(jié)構(gòu)。
[0007]優(yōu)選地，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)由聚二甲基硅氧烷PDMS膠體固化得到。
[0008]優(yōu)選地，復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層是將碳納米管和PDMS的混合材料旋涂到聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的上，然后固化得到的。
[0009]優(yōu)選地，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)和復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層均為弧面型。
[0010]優(yōu)選地，碳納米管為強(qiáng)氧化性酸和硅烷偶聯(lián)劑改性的碳納米管。
[0011]優(yōu)選地，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)和復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層均為弧面型。
[0012]第二方面，本實(shí)用新型提供了一種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置的制備方法，包括:
[0013]SlO，制備聲聚焦晶體結(jié)構(gòu):
[0014]設(shè)計(jì)并制備所需形狀的的模具;將PDMS膠體與固化劑按一定比例混合，靜置;將靜置后的液態(tài)PDMS膠體倒入所述模具中進(jìn)行固化，得到所需聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)；
[0015]S20，制備復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層:
[0016]將PMDS材料與碳納米管按一定比例混合，靜置后旋涂到所述步驟SlO得到的聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)上，然后進(jìn)行固化，獲得復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層，得到所需激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置。
[0017]優(yōu)選地，步驟SI O中的固化溫度為80-150 °C，固化時(shí)間為I _2h。
[0018]優(yōu)選地，步驟S20中的固化溫度和固化時(shí)間與所述步驟SlO中的相同。
[0019]優(yōu)選地，碳納米管為改性碳納米管。
[0020]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型提供的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置的優(yōu)點(diǎn)和有益效果為:
[0021 ] 1、本實(shí)用新型提供的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置具有高強(qiáng)度聚焦，且不需要復(fù)雜、昂貴的高頻率壓電超聲換能器，同時(shí)也不需要壓電換能器與聲聚焦鏡頭之間的耦合劑匹配層，不會(huì)對(duì)待檢測(cè)物產(chǎn)生污染。另外，該裝置可以有更大的自由度，聲聚焦的焦點(diǎn)能更方便的調(diào)節(jié)。在聲聚焦更靈活的同時(shí)器件能微型化。
[0022]2、激發(fā)超聲的頻率較高，可以達(dá)到毫米級(jí)別的探傷精度。
[0023]3、聚焦超聲使得超聲的指向性和幅度大大增強(qiáng)，提高了探傷的深度。
[0024]4、復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層和聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的主要成分都是PDMS膠體，故其聲阻抗很相近，避免了由于聲阻抗不匹配帶來(lái)的聲能量的損失。
[0025]5、該裝置有激光超聲非接觸的優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)被檢測(cè)物體的非接觸在線檢測(cè)，提高了檢測(cè)的效率，節(jié)省檢測(cè)時(shí)間。
【附圖說(shuō)明】
[0026]以下，結(jié)合附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)用新型的實(shí)施方案，其中:
[0027]圖1為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置示意圖；
[0028]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例提供的裝置制備流程示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面通過(guò)附圖和具體的實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步的說(shuō)明，但應(yīng)當(dāng)理解為這些實(shí)施例僅僅是用于更詳細(xì)說(shuō)明之用，而不應(yīng)理解為用以任何形式限制本實(shí)用新型，即并不限制本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
[0030]本部分對(duì)本實(shí)用新型實(shí)驗(yàn)中所使用到的材料以及試驗(yàn)方法進(jìn)行一般性的描述。雖然為實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型目的所使用的許多材料和操作方法是本領(lǐng)域公知的，但是本實(shí)用新型仍然在此作盡可能詳細(xì)描述。本領(lǐng)域技術(shù)人員清楚，在上下文中，如果未特別說(shuō)明，本實(shí)用新型所用材料和操作方法是本領(lǐng)域公知的。
[0031 ]圖1示出了本實(shí)用新型一實(shí)施例激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置示意圖。
[0032]如圖1所示，該實(shí)施例的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置，包括用于激光超聲聚焦的聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I;在聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I的一側(cè)旋涂有復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2，復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2用于激光超聲增強(qiáng)以及激光超聲聚焦;復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2吸收激光器發(fā)射的激光束，首先將其轉(zhuǎn)換成聲能，然后對(duì)其聚焦，并將產(chǎn)生的超聲波信號(hào)傳導(dǎo)進(jìn)入所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I，由所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I進(jìn)一步聚焦。具體地:
[0033]激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置，是一種具有聲聚焦作用的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換結(jié)構(gòu)，又稱之為聚焦光聲轉(zhuǎn)換鏡頭，該結(jié)構(gòu)為聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I和復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2共同組成。在使用過(guò)程中，為使得產(chǎn)生的聲波聚焦的效果更好，聲波匯聚處的聲強(qiáng)能夠達(dá)到更大，即為了達(dá)到更好的聲聚焦作用，在一個(gè)示例中，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I和復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2選為弧面型。此時(shí)聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I和復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2均能起到凸透鏡的作用，對(duì)聚焦超聲焦點(diǎn)具有調(diào)節(jié)作用，除此之外，復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2還具有激光超聲增強(qiáng)的作用。
[0034]在另一個(gè)示例中，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I為透明結(jié)構(gòu)。
[0035]在又一個(gè)示例中，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I由聚二甲基硅氧烷PDMS膠體固化得到。
[0036]在再一個(gè)示例中，復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2是將碳納米管和TOMS的混合材料旋涂到聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I的一側(cè)上，然后固化得到的。此時(shí)，復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2和聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I緊密貼合在一起。
[0037]需要說(shuō)明的是，在操作過(guò)程中，為了使碳納米管在PDMS液體中分散的效果更好，優(yōu)選地，碳納米管為改性碳納米管，進(jìn)一步優(yōu)選地，碳納米管為強(qiáng)氧化性酸和硅烷偶聯(lián)劑改性的碳納米管。
[0038]本實(shí)施例中的裝置使用過(guò)程為:將脈沖激光器對(duì)準(zhǔn)復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2的一側(cè)，激光器的激光束從激光器中出來(lái)時(shí)可以經(jīng)過(guò)聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)光斑的大小從而調(diào)節(jié)激發(fā)超聲的幅度和頻率，使用時(shí)也可以調(diào)節(jié)激光功率的大小從而調(diào)節(jié)聚焦超聲功率的大小，激光光束與激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置的法線必須在一條直線上。因此激光器必須需要特定的工作臺(tái)進(jìn)行固定，防止激光器光源的抖動(dòng)。下面舉例說(shuō)明該裝置的應(yīng)用場(chǎng)景:
[0039]該裝置其應(yīng)用場(chǎng)景之一:為高鐵車輪非接觸式檢測(cè)，激光作用在這種具有聲聚焦結(jié)構(gòu)的激光超聲轉(zhuǎn)換裝置上后，會(huì)激發(fā)產(chǎn)生高頻率的聚焦超聲，聚焦的超聲具有很高的強(qiáng)度，能夠達(dá)到較大的檢測(cè)深度。聚焦超聲與車輪中的缺陷作用后會(huì)反射回來(lái)，然后被接收換能器接收到，通過(guò)對(duì)反射出來(lái)超聲的信號(hào)處理來(lái)確定缺陷的類型，位置等信息，從而實(shí)現(xiàn)聚焦超聲來(lái)對(duì)車輪的無(wú)損探傷。
[0040]由上述應(yīng)用場(chǎng)景舉例可知該裝置能實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的無(wú)損探傷檢測(cè)，相比傳統(tǒng)的激光超聲探傷檢測(cè)相比，其激發(fā)超聲的幅度較高，通過(guò)聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I和復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2使得聲能量更加集中。實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度激光超聲激發(fā)的關(guān)鍵在于弧面型的復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2，其有兩個(gè)作用，一是激光超聲增強(qiáng)作用，通過(guò)選用PDMS膠體和碳納米管混合材料，使得激光能量最大可能的轉(zhuǎn)化成熱量，高的熱膨脹系數(shù)使得受熱后質(zhì)點(diǎn)的位移振幅最大，從而最大程度的激發(fā)超聲。二是聲聚焦作用，弧面型的結(jié)構(gòu)使得激發(fā)的聲波向球面中心處聚集，達(dá)到聲聚焦的效果。另外，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I的弧面型結(jié)構(gòu)使得超聲進(jìn)一步更好的聚焦，通過(guò)控制聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)I和復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層2的弧度可以對(duì)激發(fā)超聲的聚焦點(diǎn)進(jìn)行調(diào)節(jié)，使得這種新型的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置能更好的適用不同的應(yīng)用場(chǎng)景。
[0041]本實(shí)施例中的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置作為一種新的聲源兼具有激光超聲高頻率和聚焦超聲高指向性的優(yōu)點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)器件的無(wú)損探傷檢測(cè)，并具有非接觸、探傷分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，提高了檢測(cè)的效率，節(jié)省檢測(cè)時(shí)間，對(duì)比傳統(tǒng)的激光超聲檢測(cè)探傷的深度有較大提尚O
[0042]圖2示出了激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置的制備流程示意圖，如圖2所示，制備方法包括以下步驟:
[0043]SlO，制備聲聚焦晶體結(jié)構(gòu):
[0044]SlOl，設(shè)計(jì)并制備所需形狀的的模具。
[0045]具體地，具有聲聚焦作用的激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置的聲聚焦點(diǎn)可以在制作的過(guò)程中通過(guò)調(diào)節(jié)聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)來(lái)調(diào)節(jié)，其聚焦的焦點(diǎn)位置與聚焦晶體結(jié)構(gòu)的厚度可以通過(guò)仿真得到，也可以通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)得，然后根據(jù)設(shè)計(jì)的形狀來(lái)制作相應(yīng)固化的模具，通過(guò)制作好的磨具來(lái)制作激光超聲聚焦結(jié)構(gòu)。需要說(shuō)明的是，為后續(xù)能達(dá)到更好的聲聚焦作用，在一個(gè)實(shí)施例中，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)為弧面型，模具根據(jù)聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的弧面型進(jìn)行相應(yīng)的制作。
[0046]S102，將PDMS膠體與固化劑按一定比例混合，靜置。
[0047]具體地，將PDMS膠體與固化劑按一定比例混合均勻，得到液態(tài)PDMS膠體，然后靜置除去氣泡。優(yōu)選地，PDMS膠體與固化劑按10:1的質(zhì)量比例進(jìn)行混合。為方便更快、更好的去除氣泡，靜置過(guò)程可以選擇在真空條件下進(jìn)行，也可以在負(fù)壓條件下進(jìn)行。
[0048]S103，將靜置后的液態(tài)PDMS膠體倒入模具中進(jìn)行固化，得到所需聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)。
[0049]具體地，將步驟S103中靜置得到的液態(tài)PDMS膠體倒入步驟SlOl中制作的模具中進(jìn)行固化，得到所需聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)。在固化過(guò)中，優(yōu)選地，固化溫度為80-150°C，所需固化時(shí)間為1-2小時(shí)。需要指出的是，獲得的聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)是透明的。另外，步驟SlOl中指出，為后續(xù)能達(dá)到更好的聲聚焦作用，聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)可設(shè)計(jì)為弧面型，此時(shí)固化后的PDMS膠體能起到凸透鏡的作用，對(duì)聚焦超聲焦點(diǎn)具有調(diào)節(jié)作用。
[0050]S20，制備復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層:
[0051 ] S201，將PMDS材料與碳納米管按一定比例混合，靜置。
[0052]具體地，將PMDS材料與碳納米管按一定比例混合均勻，得到PMDS混合物，然后靜置除去氣泡。優(yōu)選地，混有固化劑的PDMS材料與碳納米管按30:1的質(zhì)量比例進(jìn)行混合。為方便更快、更好的去除氣泡，靜置過(guò)程可以選擇在真空條件下進(jìn)行，也可以在負(fù)壓條件下進(jìn)行。
[0053]S202，將靜置得到的PDMS混合物旋涂到聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)上，然后進(jìn)行固化，獲得復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層，得到所需激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置。
[0054]具體地，將步驟S201中靜置得到的PDMS混合物旋涂到步驟SIO中制備的聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的一側(cè)上，然后進(jìn)行固化，獲得復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層，與步驟SlO制備的聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)緊密貼合在一起，得到所需激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置。在操作過(guò)程中，為縮短固化時(shí)間，在固化過(guò)程中應(yīng)保持溫度的穩(wěn)定性，即該步驟中的固化溫度和固化時(shí)間按與步驟SlO中的固化條件保持一致。也就是，在固化過(guò)中，優(yōu)選地，固化溫度為80-150°C，所需固化時(shí)間為1-2小時(shí)。
[0055]需要進(jìn)一步說(shuō)明的是，在操作過(guò)程中，為了使碳納米管在PDMS液體中分散的效果更好，優(yōu)選地，碳納米管為改性碳納米管，進(jìn)一步優(yōu)選地，碳納米管為強(qiáng)氧化性酸和硅烷偶聯(lián)劑改性的碳納米管。另外，為后續(xù)能達(dá)到更好的聲聚焦作用，旋涂獲得的復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層與聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)相同，也可旋涂為弧面型。
[0056]應(yīng)用上述方法制備的激光超聲轉(zhuǎn)換裝置通過(guò)使用PDMS和碳納米管復(fù)合材料來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)激光超聲高強(qiáng)度的激發(fā)以及聚焦，并通過(guò)聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)對(duì)激發(fā)超聲的進(jìn)一步聚焦。另外，復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層和聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的主要成分都是PDMS膠體，故其聲阻抗很相近，避免了由于聲阻抗不匹配帶來(lái)的聲能量的損失。
[0057]另外，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，應(yīng)用上述方法制備的激光超聲轉(zhuǎn)換裝置作為一種新的聲源兼具有激光超聲高頻率和聚焦超聲高指向性的優(yōu)點(diǎn)，通過(guò)該方式實(shí)現(xiàn)激光超聲非接觸的探傷檢測(cè)能夠達(dá)到毫米級(jí)別的探傷分辨率，同時(shí)高強(qiáng)度的聚焦超聲使得探傷的深度大大增加。
[0058]盡管本實(shí)用新型已進(jìn)行了一定程度的描述，明顯地，在不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍的條件下，可進(jìn)行各個(gè)條件的適當(dāng)變化?？梢岳斫?，本實(shí)用新型不限于所述實(shí)施方案，而歸于權(quán)利要求的范圍，其包括所述每個(gè)因素的等同替換。
[0059]以上所述的【具體實(shí)施方式】，對(duì)本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】而已，并不用于限定本實(shí)用新型的保護(hù)范圍，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種激光超聲光聲轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于，包括: 用于激光超聲聚焦的聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)(I);所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的一側(cè)旋涂有復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層(2)，所述復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層(2)用于激光超聲增強(qiáng)以及激光超聲聚焦； 所述復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層(2)吸收激光器發(fā)射的激光束，首先將其轉(zhuǎn)換成聲能，然后對(duì)其聚焦，并將產(chǎn)生的超聲波信號(hào)傳導(dǎo)進(jìn)入所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)(I)，由所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)(I)進(jìn)一步聚焦。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)為透明結(jié)構(gòu)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)由聚二甲基硅氧烷PDMS膠體固化得到。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層是將碳納米管和PDMS的混合材料旋涂到所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)的上，然后固化得到的。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述碳納米管為強(qiáng)氧化性酸和硅烷偶聯(lián)劑改性的碳納米管。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述聲聚焦晶體結(jié)構(gòu)和所述復(fù)合光聲轉(zhuǎn)換層均為弧面型。
【文檔編號(hào)】G01N21/17GK205643141SQ201620293587
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年4月11日
【發(fā)明人】鄧?yán)? 李紅浪, 孫勇, 盧孜筱, 趙宇, 趙一宇, 田亞會(huì)
【申請(qǐng)人】中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所