假片裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出了一種假片裝置，所述假片裝置包括基板和載物板，所述載物板上設(shè)有凹槽，所述基板安裝于所述凹槽內(nèi)部，所述載物板包括一底板和一鏤空板，所述鏤空板和所述底板對位黏貼，所述鏤空板上中間位置開有鏤空，所述鏤空處與底板組合形成所述凹槽，所述假片裝置外沿呈圓形。本實(shí)用新型通過此結(jié)構(gòu)為模擬晶圓片進(jìn)行基板的測試創(chuàng)造了條件。
【專利說明】
假片裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及基于探針臺的基板測試，尤其涉及一種可在探針臺實(shí)現(xiàn)測試矩形基板的假片裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，測試行業(yè)內(nèi)還沒有針對基板測試的專用設(shè)備，基板測試無法進(jìn)行批量的生產(chǎn)，如果按照基板測試的特征進(jìn)行專用設(shè)備的研發(fā)，又會存在:研發(fā)周期長，資金投入大，維護(hù)要求高，生產(chǎn)適用性低的問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型提出一種假片裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問題。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]—種假片裝置，所述假片裝置包括基板和載物板，所述載物板上設(shè)有凹槽，所述基板安裝于所述凹槽內(nèi)部。
[0006]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述載物板包括一底板和一鏤空板，所述鏤空板和所述底板對位黏貼。
[0007]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述鏤空板上中間位置開有鏤空，所述鏤空處與底板組合形成所述凹槽。
[0008]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述假片裝置外沿呈圓形。
[0009]本實(shí)用新型提出一種可在探針臺實(shí)現(xiàn)測試矩形基板的假片裝置，利用現(xiàn)有的探針臺設(shè)備進(jìn)行基板測試，降低設(shè)備投資成本，提供探針臺設(shè)備適用性。本實(shí)用新型選用符合12寸晶圓標(biāo)準(zhǔn)的圓型薄片以及設(shè)置在圓型薄片上面的鏤空圓型薄片，基板放置在凹槽，形成探針臺可以識別的假片。
[0010]與現(xiàn)有技術(shù)相比較，本實(shí)用新型的有益效果是，無需增加設(shè)備投入，利用工廠內(nèi)現(xiàn)有的探針臺設(shè)備。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1為本實(shí)用新型的假片組合順序示意圖；
[0013]圖2為本實(shí)用新型未放入基板的假片狀態(tài)示意圖；
[0014]圖3為本實(shí)用新型放入基板的假片狀態(tài)示意圖。
[0015]其中，基板I，鏤空板2，底板3，凹槽4。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0017]本實(shí)用新型的關(guān)鍵在于:探針臺無法直接測試矩形的基板。將基板放入假片上的凹槽，并使基板與假片模擬成了假片，這樣，探針臺就可以識別到假片，并且按照晶圓片的方式進(jìn)行測試。
[0018]如圖1-3所示，一種假片裝置，包括基板I和載物板，載物板上設(shè)有凹槽4，基板I安裝于所述凹槽內(nèi)部。
[0019]載物板包括一底板3和一鏤空板2，鏤空板2和底板3對位黏貼。
[0020]鏤空板2上中間位置開有鏤空，鏤空處與底板3組合形成凹槽4。假片裝置外沿呈圓形。
[0021]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種假片裝置，其特征在于，所述假片裝置包括基板和載物板，所述載物板上設(shè)有凹槽，所述基板安裝于所述凹槽內(nèi)部，所述載物板包括一底板和一鏤空板，所述鏤空板和所述底板對位黏貼。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種假片裝置，其特征在于，所述鏤空板上中間位置開有鏤空，所述鏤空處與底板組合形成所述凹槽。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種假片裝置，其特征在于，所述假片裝置外沿呈圓形。
【文檔編號】G01R1/04GK205643394SQ201521133798
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2015年12月30日
【發(fā)明人】孔曉琳
【申請人】深圳安博電子有限公司