專利名稱：壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及壓電振動器、振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。
背景技術(shù)：
近年來，在便攜電話或便攜信息終端設(shè)備上，采用利用了水晶等作為時刻源或控 制信號的定時源、參考信號源等的壓電振動器。能提供各種各樣的這種壓電振動器，但眾所 周知將所謂音叉型的壓電振動片密封于封裝件(package)的壓電振動器。音叉型的壓電振動片是具有在寬度方向上排列并配置的一對振動腕部和將一對 振動腕部的長邊方向的基端側(cè)固定成一體的基部的薄板狀的水晶片。在壓電振動片的各 振動腕部的上表面及下表面這兩個表面，分別隔著既定的間隙形成有一對激振電極。此 外，在基部的上表面及下表面這兩個表面，分別形成有一對裝配電極，并且經(jīng)由一對引出電 極而與一對激振電極電連接。另一方面，在封裝件內(nèi)的內(nèi)部電極上形成由金等構(gòu)成的凸點 (bump) ο然后，壓電振動片的裝配電極安裝在封裝件的內(nèi)部電極，從而形成壓電振動器。具 體而言，通過將壓電振動片的裝配電極按壓在內(nèi)部電極上的凸點并且實施做超聲波振動而 將裝配電極和凸點超聲波接合的、所謂的倒裝片式接合來將壓電振動片安裝在封裝件內(nèi)。然而，在通過上述倒裝片式接合來將壓電振動片安裝在封裝件內(nèi)時，如果接合的 凸點的個數(shù)少，那么壓電振動片的安裝強度就不夠。再者，有撞擊負(fù)荷加到壓電振動器時， 擔(dān)心會發(fā)生壓電振動片從封裝件的安裝面脫落、停止振蕩等的不良情況。為了回避這種不 良情況，可考慮增加凸點的個數(shù)而提高壓電振動片的安裝強度的方案。在此，在專利文獻(xiàn)1中，記載了在封裝件內(nèi)的一對連接電極(相當(dāng)于本發(fā)明的迂回 電極)上，沿著壓電振動片的長邊方向各形成2個凸點，并接合各凸點與焊盤電極(相當(dāng)于 本發(fā)明的主裝配電極)的提案。在專利文獻(xiàn)1中，一共使用4個凸點來將壓電振動片安裝 在封裝件，因此，即便有撞擊負(fù)荷加到壓電振動器時，也能將加到壓電振動片的接合部的撞 擊負(fù)荷產(chǎn)生的應(yīng)力分散到多個凸點上。因而，能夠提高壓電振動片的安裝強度。專利文獻(xiàn)1 日本特開2007-96899號公報非專利文獻(xiàn)1 電氣情報通信學(xué)會論文志A，1989年11月，Vol. J72-A，No. 11， PP1736但是，在另一方面，專利文獻(xiàn)1的壓電振動片通過多個凸點來被牢固地安裝在封 裝件上，因此在使壓電振動片動作之際，擔(dān)心會發(fā)生壓電振動片的振動經(jīng)由多個凸點而泄 漏到外部的、所謂的振動泄漏。如果發(fā)生振動泄漏，就會使壓電振動片的振動能量泄漏到外 部，因此擔(dān)心會惡化壓電振動器的能量效率。此外，在電子設(shè)備等的基板安裝了發(fā)生振動泄 漏的壓電振動器時，由于焊錫量等的安裝狀態(tài)的固體不均勻，壓電振動器受限制的程度會 有所不同，故擔(dān)心在壓電振動器的振動特性上產(chǎn)生偏差。

發(fā)明內(nèi)容
于是，本發(fā)明以提供能確保壓電振動片的安裝強度的同時，抑制振動泄漏的壓電 振動器、使用該壓電振動器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘為課題。為了解決上述課題，本發(fā)明的壓電振動器，其中包括壓電振動片，其具備沿寬度 方向排列并配置的一對振動腕部和將所述一對振動腕部的長邊方向的基端側(cè)固定成一體 的基部；封裝件，其收納所述壓電振動片；以及凸點，將所述壓電振動片的所述基部安裝在 所述封裝件，所述壓電振動器的特征在于，所述凸點包括多個主凸點，在所述基部的所述 寬度方向上排列并與所述基部接合；輔助凸點，在所述基部的所述寬度方向中配置在兩端 的所述主凸點之間的區(qū)域并且在所述基部的所述長邊方向中所述主凸點與所述振動腕部 的基端部之間的區(qū)域，與所述基部接合。依據(jù)本發(fā)明，利用多個主凸點及輔助凸點來將壓電振動片的基部與封裝件進(jìn)行接 合，因此能提高壓電振動片的安裝強度。此外，輔助凸點在基部的寬度方向中配置在兩端的 主凸點之間的區(qū)域并且基部的長邊方向中主凸點與振動腕部的基端部之間的區(qū)域，與基部 接合。該區(qū)域是非專利文獻(xiàn)1中所記載的振動節(jié)點附近，壓電振動片的振動小。如此，在振 動小的振動節(jié)點附近的區(qū)域中將輔助凸點接合在基部，因此壓電振動片的振動難以經(jīng)由輔 助凸點而泄漏到外部。由此，能夠抑制壓電振動器的振動泄漏。因而，能確保壓電振動片的 安裝強度的同時，抑制壓電振動器的振動泄漏。此外，所述輔助凸點最好配置在所述基部的所述寬度方向的大致中央。依據(jù)本發(fā)明，由于輔助凸點被配置在基部的寬度方向的大致中央，所以在更靠近 振動節(jié)點的位置配置輔助凸點。因而，能確保壓電振動片的安裝強度的同時，抑制壓電振動 器的振動泄漏。此外，所述輔助凸點最好配置在從所述基部的前端朝著所述基端側(cè)、僅分離相當(dāng) 于所述振動腕部的腕寬的大致一半的距離的位置。如在非專利文獻(xiàn)1中記載的那樣，從基部的前端朝著基端側(cè)、僅分離相當(dāng)于振動 腕部的一半腕寬的距離的位置，相當(dāng)于壓電振動片的振動節(jié)點。依據(jù)本發(fā)明，由于在振動節(jié) 點配置輔助凸點，所以壓電振動片的振動難以經(jīng)由輔助凸點泄漏到外部。因而，能確保壓電 振動片的安裝強度的同時，進(jìn)一步抑制壓電振動器的振動泄漏。此外，最好在所述基部的所述寬度方向的側(cè)面形成凹部，所述凹部配置在所述長 邊方向中所述主凸點與所述輔助凸點之間。依據(jù)本發(fā)明，由于在基部的寬度方向的側(cè)面形成凹部，所以振動腕部的振動較之 凹部更難傳到基端側(cè)。此外，凹部配置在長邊方向中主凸點與輔助凸點之間，因此壓電振動 片的振動難以傳到主凸點。其結(jié)果，壓電振動片的振動難以通過主凸點而泄漏到外部。因 而，能確保壓電振動片的安裝強度的同時，進(jìn)一步抑制壓電振動器的振動泄漏。本發(fā)明的振蕩器，其特征在于，使上述的壓電振動器，作為振子電連接至集成電路。本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于，使上述的壓電振動器，電連接到計時部。本發(fā)明的電波鐘，其特征在于，使上述的壓電振動器，電連接至濾波部。依據(jù)本發(fā)明的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘，由于具備能確保壓電振動片的安裝強 度的同時，抑制振動泄漏的壓電振動器，所以能提供可靠性優(yōu)異且性能良好的振蕩器、電子 設(shè)備及電波鐘。
(發(fā)明效果)依據(jù)本發(fā)明，由于通過多個主凸點及輔助凸點來將壓電振動片的基部接合至封裝 件，所以能提高壓電振動片的安裝強度。此外，輔助凸點在基部的寬度方向中配置在兩端的 主凸點之間的區(qū)域并且基部的長邊方向中主凸點與振動腕部的基端部之間的區(qū)域，與基部 接合。該區(qū)域為非專利文獻(xiàn)1中記載的振動節(jié)點的附近，壓電振動片的振動小。如此，由于 在振動小的振動節(jié)點附近的區(qū)域中將輔助凸點接合到基部，所以壓電振動片的振動難以經(jīng) 由輔助凸點而泄漏到外部。由此，能夠抑制壓電振動器的振動泄漏。因而，能確保壓電振動 片的安裝強度的同時，抑制壓電振動器的振動泄漏。


圖1是表示第一實施方式中的壓電振動器的外觀斜視圖。圖2是圖1所示的壓電振動器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖，并且是拆下蓋基板后的狀態(tài)的平面 圖。圖3是沿圖2的A-A線的剖視圖。圖4是圖1所示的壓電振動器的分解斜視圖。圖5是壓電振動片的平面圖。圖6是壓電振動片的仰視圖。
圖7是沿圖5的B-B線的剖視圖。圖8是壓電振動器的制造方法的流程圖。圖9是圓片(wafer)體的分解斜視圖。圖10是表示振蕩器的一實施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖11是表示電子設(shè)備的一實施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖12是表示電波鐘的一實施方式的結(jié)構(gòu)圖。圖13是在基部具有3個主裝配電極的壓電振動片的仰視圖。
具體實施例方式以下，參照附圖，對本發(fā)明的實施方式的壓電振動器及壓電振動片進(jìn)行說明。此外，在以下的說明中，設(shè)基底基板中與蓋基板的接合面為上表面U、與其相反的 面為下表面L，進(jìn)行說明。此外，設(shè)壓電振動器的長邊方向為長邊方向X、振動腕部的基端側(cè)為+X方向、振動 腕部的前端側(cè)為-X方向后進(jìn)行說明。此外，設(shè)壓電振動片的寬度方向為寬度方向W后進(jìn)行 說明。圖1是本實施方式中的壓電振動器的外觀斜視圖。圖2是壓電振動器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖，并且是拆下蓋基板后的狀態(tài)的平面圖。圖3是沿圖2的A-A線的剖視圖。圖4是圖1所示的壓電振動器的分解斜視圖。此外，在圖4中為了方便圖示而省 略了后述的激振電極15、引出電極19、20、主裝配電極16、17、輔助裝配電極25及重錘金屬 膜21的圖示。如圖1至圖4所示，本實施方式的壓電振動器1是具備基底基板2及蓋基板3通過接合膜35被陽極接合的封裝件9、和被收納在封裝件9的空腔C的壓電振動片4的表面 安裝型的壓電振動器1。(壓電振動片)圖5是壓電振動片的平面圖。圖6是壓電振動片的仰視圖。圖7是沿圖5的B-B線的剖視圖。此外，在圖5至圖7中，設(shè)壓電振動片4的安裝面為下表面Q、其相反的面為上表面 P。以下，參照

壓電振動片4。如圖5至圖7所示，壓電振動片4是由水晶或鉭酸鋰、鈮酸鋰等的壓電材料形成的 音叉型振動片，在被施加既定電壓時振動。如圖5及圖6所示，本實施方式的壓電振動片4具備沿寬度方向W排列并配置的 一對振動腕部10、11 ；以及將一對振動腕部10、11的長邊方向X的基端側(cè)固定成一體的基 部12。此外，包括形成在一對振動腕部10、11的外表面上并且使一對振動腕部10、11振動 的由第一激振電極13及第二激振電極14構(gòu)成的激振電極15。在一對振動腕部10、11的上表面P及下表面Q這兩表面上，沿著長邊方向X，形成 以一定寬度縱長的一對溝部18。該溝部18從振動腕部10、11的基端側(cè)一直形成到超過中 間部的范圍。由此，一對振動腕部10、11分別如圖7所示，沿B-B線的截面形狀成為H型。如圖5及圖6所示，一對激振電極13、14形成在一對振動腕部10、11的上表面P 及下表面Q這兩表面。一對激振電極13、14是在被施加電壓時使一對振動腕部10、11沿彼 此接近或分離的方向以既定的諧振頻率振動的電極。一對激振電極13、14在一對振動腕部 IOUl的表面上以彼此電性切斷的狀態(tài)構(gòu)圖而形成。具體而言，如圖7所示，一個激振電極 13主要形成在一個振動腕部10的溝部18內(nèi)和另一振動腕部11的側(cè)面上，而另一激振電極 14主要形成在一個振動腕部10的側(cè)面上和另一振動腕部11的溝部18內(nèi)。此外，如圖5及圖6所示，在一對振動腕部10、11的前端部形成有用于進(jìn)行調(diào)整 (頻率調(diào)整)的由粗調(diào)膜21a及微調(diào)膜21b構(gòu)成的重錘金屬膜21，以使自身的振動狀態(tài)在 既定的頻率范圍內(nèi)振動。利用該重錘金屬膜21進(jìn)行頻率調(diào)整，以能使一對振動腕部10、11 的頻率落入器件的標(biāo)稱頻率的范圍內(nèi)。(基部)如圖5及圖6所示，基部12鄰接于振動腕部10、11，并支撐振動腕部10、11的基端 部。在基部12的寬度方向W的兩側(cè)面43、44形成有一對凹部41、42。在本實施方式中，夾 著凹部41、42而+X方向的基部12的寬度形成為比夾著凹部41、42而-X方向的基部12的
寬度寬。凹部41、42形成在主裝配電極16、17和輔助裝配電極25之間，以在基底基板安裝 壓電振動片4時，配置在長邊方向X中主凸點與輔助凸點之間。凹部41、42的深度形成為 與+X方向的基部12中振動腕部10、11的腕寬Wl相等，凹部41、42的底面形成為沿著中心 軸0大致平行。此外，凹部41、42從壓電振動片4的上表面P沿著下厚度方向貫通到表面 Q0如此，將+X方向的基部12的寬度形成為較寬的同時，形成凹部41、42，能確?；?2的 強度。而且，壓電振動片4的振動難以從凹部41、42向+X方向傳遞，因此壓電振動片4的振動難以傳到較之凹部41、42在+X方向的主凸點Bi。由此，能夠抑制壓電振動器的振動泄漏。(主裝配電極及輔助裝配電極)在基部12的上表面P及下表面Q這兩表面，形成有一對主裝配電極16、17及一對 引出電極19、20。主裝配電極16、17經(jīng)由引出電極19、20而與激振電極13、14分別電連接。 因而，經(jīng)由一對主裝配電極16、17及一對引出電極19、20，能對一對激振電極13、14施加電 壓。而且，在基部12的上表面P及下表面Q這兩表面，除了主裝配電極16、17及引出電極 19,20外，形成有輔助裝配電極25。通過在上表面P及下表面Q這兩表面形成主裝配電極 16、17及輔助裝配電極25，在安裝時無需區(qū)別壓電振動片4的表面和背面，能夠防止壓電振 動片4的誤組裝。此外，本實施方式的輔助裝配電極25從平面上看形成為大致矩形狀，但 是例如形成為圓形狀也可。主裝配電極16、17及輔助裝配電極25這樣形成作為基底層成膜鉻(Cr)并在其 上作為精裝層(仕上層)成膜金(Au)。通過將主裝配電極16、17及輔助裝配電極25做成 相同的結(jié)構(gòu)，能夠同時形成主裝配電極16、17及輔助裝配電極25。而且，在后述的裝配工序 中，能在將主裝配電極16、17接合到主凸點時相同的條件下，將輔助裝配電極25接合到輔 助凸點。如圖6所示，輔助裝配電極25形成在長邊方向X中主裝配電極16、17與振動腕部 IOUl的基端部之間，并且形成在寬度方向W中主裝配電極16、17間。在此，如在非專利文獻(xiàn)1中記載的那樣，壓電振動片4的振動節(jié)點G在壓電振動片 4的長邊方向X中存在于從基部12的前端朝著基端側(cè)僅分離相當(dāng)于振動腕部10、11的腕寬 Wl的1/2的距離的位置。此外，壓電振動片4的振動節(jié)點G在壓電振動片4的寬度方向W 中存在于大致中央的位置。輔助裝配電極25配置成包含上述的振動節(jié)點G。由此，能在振動小的振動節(jié)點G 附近的區(qū)域中將輔助凸點接合到基部12，因此，壓電振動片4的振動難以經(jīng)由輔助凸點泄 漏到外部。而且在本實施方式中，以使輔助裝配電極25的中心及上述的振動節(jié)點G —致的 方式配置輔助裝配電極25。由于振動節(jié)點G不振動，通過使輔助裝配電極25的中心與振動 節(jié)點G —致后接合輔助凸點，使壓電振動片4的振動更加難以泄漏到外部。因而，能確保壓 電振動片4的安裝強度的同時，進(jìn)一步抑制壓電振動器的振動泄漏。本實施方式的輔助裝配電極25以與形成在基部12的主裝配電極16、17及引出電 極19、20電性切斷的狀態(tài)形成。由此，防止電極間的短路。在此，輔助裝配電極25不與后 述的壓電振動器的外部電極電連接，因此不會有電力從外部電極供給輔助裝配電極25。因 此，在只有一個主裝配電極與輔助裝配電極25電連接的情況下，電極間不會產(chǎn)生短路。因 而，例如能夠連接輔助裝配電極25與鄰接輔助裝配電極25的一個引出電極而形成。由此， 輔助裝配電極25的周邊，無需以狹小的間隔形成電極。(壓電振動器)如圖1、圖3及圖4所示，蓋基板3是由玻璃材料例如堿石灰玻璃構(gòu)成的能陽極接 合的基板，形成為大致板狀。在蓋基板3的與基底基板2的接合面一側(cè)，形成有收納壓電振 動片4的空腔用凹部3a。該空腔用凹部3a在疊合了兩基板2、3時成為收納壓電振動片4 的空腔C。
基底基板2是由玻璃材料例如堿石灰玻璃構(gòu)成的基板，如圖1至圖4所示，以與蓋 基板3相等的外形形成為大致板狀。此外，在該基底基板2形成有沿厚度方向貫通基底基 板2的一對貫通孔30、31和一對貫通電極32、33。如圖2及圖3所示，貫通孔30、31形成為在形成了壓電振動器1時被收納于空腔 C內(nèi)。更詳細(xì)地說明，則本實施方式的貫通孔30、31中的一個貫通孔30形成在與后述的裝 配工序中被安裝的壓電振動片4的基部12側(cè)對應(yīng)的位置，而另一貫通孔31形成在與振動 腕部10、11的前端側(cè)對應(yīng)的位置。如圖3所示，貫通電極32由配置在貫通孔30的內(nèi)部的玻璃的筒體6及導(dǎo)電部件 7形成。在本實施方式中，筒體6由膏狀的玻璃料燒結(jié)而成。筒體6形成為兩端平坦且厚 度與基底基板2大致相同。在筒體6的中心以貫通筒體6的方式配置導(dǎo)電部件7。然后，對 于導(dǎo)電部件7及貫通孔30牢固地固接筒體6。筒體6及導(dǎo)電部件7完全堵塞貫通孔30而維持空腔C內(nèi)的氣密，并且承擔(dān)使后述 的迂回電極36和外部電極38導(dǎo)通的作用。此外，與貫通電極32同樣地形成貫通電極33。 此外，貫通電極33、迂回電極37及外部電極39的關(guān)系，也成為與上述的貫通電極32、迂回 電極36及外部電極39同樣的關(guān)系。(迂回電極、輔助電極及外部電極)如圖2至圖4所示，在基底基板2的上表面U側(cè)形成有一對迂回電極36、37。而 且，在基底基板2的上表面U側(cè)形成有與迂回電極36、37分離的輔助電極34。此外，迂回 電極36、37及輔助電極34由導(dǎo)電性高且耐腐蝕性高的材質(zhì)形成。在本實施方式中，作為基 底層成膜Cr，在其上作為精裝層成膜Au，從而形成迂回電極36、37及輔助電極34。通過將 與玻璃類基板的粘合性高的Cr作為基底層，迂回電極36、37及輔助電極34牢固地粘接到 由玻璃類材料構(gòu)成的基底基板用圓片40的上表面U。通過使迂回電極36、37及輔助電極 34的結(jié)構(gòu)相同，能夠同時形成迂回電極36、37及輔助電極34。而且，在后述的電極圖案形 成工序中利用引線接合形成凸點時，能夠在與迂回電極36、37上形成主凸點時相同的條件 下，將輔助凸點形成在輔助電極；34。如圖4所示，一對迂回電極36、37之中，一個迂回電極36形成為位于一個貫通電 極32的正上方。此外，另一迂回電極37形成為從鄰接于一個迂回電極36的位置沿著振動 腕部10、11迂回到所述振動腕部10、11的前端側(cè)之后，位于另一貫通電極33的正上方。此外，輔助電極34位于長邊方向X中貫通電極32、33的-X方向、且寬度方向W中 貫通電極32、33之間，并且形成在壓電振動片4的與輔助裝配電極25對應(yīng)的位置。此外， 輔助電極；34不與貫通電極32、33電連接。如圖1、圖3及圖4所示，在基底基板2的下表面L形成有一對外部電極38、39。一 對外部電極38、39形成在基底基板2的長邊方向的兩端部，對于一對貫通電極32、33分別 電連接。(主凸點及輔助凸點)在上述的一對迂回電極36、37上，形成有一對主凸點Bi。此外，在輔助電極34上 形成有輔助凸點B2。主凸點Bl及輔助凸點B2由金材料形成為細(xì)尖的形狀。在后述的裝配工序中，將壓電振動片4的一對主裝配電極16、17接合在一對主凸點Bi。通過將一對主裝配電極16、17接合在一對主凸點Bi，一個主裝配電極16經(jīng)由一個 迂回電極36而與一個貫通電極32導(dǎo)通，另一主裝配電極17經(jīng)由另一迂回電極37而與另 一貫通電極33導(dǎo)通。而且，將主裝配電極16、17接合在主凸點Bl的同時，將輔助裝配電極25接合在輔 助凸點B2。在基部12的寬度方向W中主凸點Bl之間的區(qū)域并且在基部12的長邊方向X 中主凸點Bl與振動腕部10、11的基端部之間的區(qū)域，將基部12的輔助裝配電極25接合在 輔助凸點B2。在使這樣構(gòu)成的壓電振動器1動作時，對形成在基底基板2的外部電極38、39施 加既定的驅(qū)動電壓。由此，能夠經(jīng)由主凸點Bi，對壓電振動片4的由第一激振電極13及第 二激振電極14構(gòu)成的激振電極15施加電壓，因此能夠使一對振動腕部10、11在接近/分 離的方向上以既定頻率進(jìn)行振動。然后，利用該一對振動腕部10、11的振動，能夠用作時刻 源或控制信號的定時源、參考信號源等。在本實施方式中，輔助凸點B2與上述的壓電振動片4的振動節(jié)點G接合。在壓電 振動片4振動時，由于振動節(jié)點G不振動，所以壓電振動片4的振動難以經(jīng)由輔助凸點B2泄 漏到外部。因而，能確保壓電振動片4的安裝強度的同時，抑制壓電振動器1的振動泄漏。(壓電振動器的制造方法)接著，參照流程圖，對上述壓電振動器的制造方法進(jìn)行說明。圖8是本實施方式的壓電振動器的制造方法的流程圖。圖9是圓片體的分解斜視圖。此外，圖9所示的虛線示出在后面進(jìn)行的切斷工序 中切斷的切斷線M。本實施方式的壓電振動器的制造方法主要包括壓電振動片制作工序S10、蓋基板 用圓片制作工序S20、基底基板用圓片制作工序S30、組裝工序(S50以后)。其中，壓電振動 片制作工序S10、蓋基板用圓片制作工序S20及基底基板用圓片制作工序S30能夠并行實 施。(壓電振動片制作工序)在壓電振動片制作工序SlO中，制作從圖5到圖7所示的壓電振動片4。具體而言， 首先將未加工的朗伯(Lambert)水晶以既定角度切片而做成一定厚度的圓片。接著，研磨 該圓片而進(jìn)行粗加工后，利用蝕刻除去加工變質(zhì)層，其后進(jìn)行拋光(polish)等的鏡面研磨 加工，做成既定厚度的圓片。接著，對圓片進(jìn)行清洗等的適當(dāng)處理后，利用光刻技術(shù)，以壓電 振動片4的外形形狀對該圓片進(jìn)行構(gòu)圖，并且進(jìn)行金屬膜的成膜及構(gòu)圖，形成激振電極15、 引出電極19、20、主裝配電極16、17及重錘金屬膜21。由此，能夠制作出多個壓電振動片4。 接著，進(jìn)行壓電振動片4的諧振頻率的粗調(diào)。這是通過對重錘金屬膜21的粗調(diào)膜21a照射 激光使一部分蒸發(fā)，從而改變振動腕部10、11的重量來進(jìn)行的。(蓋基板用圓片制作工序)在蓋基板用圓片制作工序S20中，如圖9所示，制作在后面成為蓋基板的蓋基板用 圓片50。首先，將由堿石灰玻璃構(gòu)成的圓板狀的蓋基板用圓片50研磨加工至既定厚度并加 以清洗后，利用蝕刻等除去最表面的加工變質(zhì)層(S21)。接著，在空腔形成工序S22中，在蓋 基板用圓片50的與基底基板用圓片40的接合面，形成多個空腔用凹部3a。利用熱壓成形 或蝕刻加工等形成空腔用凹部3a。接著，在接合面研磨工序S23中，研磨與基底基板用圓片40的接合面。接著，在接合膜形成工序S24中，在與基底基板用圓片40的接合面形成圖1、圖3 及圖4所示的接合膜35。接合膜35不僅形成在與基底基板用圓片40的接合面，而且形成 在整個空腔C的內(nèi)表面也可。由此，不需要接合膜35的構(gòu)圖，能夠減少制造成本。能夠通 過濺射法或CVD等的成膜方法來形成接合膜35。此外，在接合膜形成工序SM之前進(jìn)行接 合面研磨工序S23，因此確保接合膜35的表面的平面度，并能實現(xiàn)與基底基板用圓片40的 穩(wěn)定的接合。(基底基板用圓片制作工序)在基底基板用圓片制作工序S30中，如圖9所示，制作在后面成為基底基板的基底 基板用圓片40。首先，將由堿石灰玻璃構(gòu)成的圓板狀的基底基板用圓片40研磨加工至既定 厚度并加以清洗后，利用蝕刻等除去最表面的加工變質(zhì)層(S31)。(貫通電極形成工序)接著，進(jìn)行在基底基板用圓片40形成一對貫通電極32、33的貫通電極形成工序 S32。此外，以下說明貫通電極32的形成工序，但貫通電極33的形成工序也同樣。首先，利用壓力加工等，將貫通孔30從基底基板用圓片40的下表面L 一直成形到 上表面U。接著，將導(dǎo)電部件7插入貫通孔30內(nèi)并填充由玻璃料構(gòu)成的膏材料。接著，燒 結(jié)膏材料，使玻璃的筒體6、貫通孔30及導(dǎo)電部件7成為一體。最后，研磨基底基板用圓片 40的上表面U及下表面L這兩表面，使導(dǎo)電部件7露出于上表面U及下表面L這兩表面并 做成平坦面，從而在貫通孔30內(nèi)形成貫通電極32。通過貫通電極32，能夠確保基底基板用 圓片40的上表面U側(cè)與下表面L側(cè)的導(dǎo)電性，同時確保空腔C內(nèi)的氣密性。(電極圖案形成工序)接著，如圖4及圖9所示，進(jìn)行在基底基板用圓片40的上表面U形成迂回電極36、 37及輔助電極34的電極圖案形成工序S34。在本實施方式中，用同一材料形成迂回電極36、 37及輔助電極34，因此能同時形成迂回電極36、37及輔助電極34。迂回電極36、37及輔助 電極34，是利用光刻技術(shù)對利用濺射法或真空蒸鍍法等形成的覆蓋膜進(jìn)行構(gòu)圖而形成。然后，如圖2至圖4所示，在一對迂回電極36、37上形成一對主凸點Bi，并且在輔 助電極34上形成輔助凸點B2。具體如下。首先，利用引線接合熔化極細(xì)的金線的前端，在金線的前端形成金球。接著，在迂 回電極36、37及輔助電極34上的凸點形成位置接合金線前端的金球后，拉緊金線并切斷， 從而形成主凸點Bl及輔助凸點B2。此外，在圖9中為了方便圖示而省略了主凸點及輔助凸 點的圖示。在這時刻，結(jié)束基底基板用圓片作成工序S30。(裝配工序)接著，進(jìn)行在基底基板用圓片40的迂回電極36、37及輔助電極34上，通過主凸點 Bl及輔助凸點B2接合壓電振動片4的裝配工序S50。在本實施方式中，利用倒裝片式接合， 將壓電振動片4安裝在基底基板用圓片40。具體而言，首先，由未圖示的倒裝片式接合器的接合頭諸如真空吸附壓電振動片 4，從而拾取壓電振動片4，并將壓電振動片4移動到基底基板用圓片40上。接著，使主裝配 電極16、17壓上迂回電極36、37上形成的主凸點Bi，使輔助裝配電極25壓上形成在輔助 電極34上的輔助凸點B2。接著，使接合頭發(fā)熱，將主裝配電極16、17和迂回電極36、37的接合界面及輔助裝配電極25與輔助電極34的接合界面加熱至既定溫度。然后，使接合頭 在水平方向及垂直方向上超聲波振動。由此，能夠?qū)⒅餮b配電極16、17超聲波接合到主凸 點Bi，并將輔助裝配電極25超聲波接合到輔助凸點B2。然后，如圖3所示，使壓電振動片 4的振動腕部10、11以從基底基板用圓片40的上表面U浮上的狀態(tài)機械固接基部12、主凸 點Bl及輔助凸點B2。(疊合工序以后)在結(jié)束壓電振動片4的安裝之后，如圖9所示，進(jìn)行對基底基板用圓片40疊合蓋 基板用圓片50的疊合工序S60。具體而言，以未圖示的基準(zhǔn)標(biāo)記等為標(biāo)志，將兩圓片40、50 對準(zhǔn)到正確的位置。由此，安裝在基底基板用圓片40的壓電振動片4成為被收納于由蓋基 板用圓片50的空腔用凹部3a和基底基板用圓片40包圍的空腔C內(nèi)的狀態(tài)。在疊合工序S60之后，進(jìn)行接合工序S70，在該工序中將疊合后兩圓片40、50置于 未圖示的陽極接合裝置，在既定的溫度氣氛下施加既定電壓而進(jìn)行陽極接合。具體而言，在 接合膜35與基底基板用圓片40之間施加既定電壓。這樣，在接合膜35與基底基板用圓片 40的界面產(chǎn)生電化學(xué)反應(yīng)，使兩者分別牢固地密合而陽極接合。由此，壓電振動片4能夠 密封于空腔C內(nèi)，能夠得到接合了基底基板用圓片40與蓋基板用圓片50的，圖9所示的圓 片體60。此外，在圖9中為了方便圖示而示出圓片體60的分解狀態(tài)，而從蓋基板用圓片50 省略了接合膜35的圖示。接著，進(jìn)行在基底基板用圓片40的下表面L對導(dǎo)電材料進(jìn)行構(gòu)圖，形成多個與一 對貫通電極32、33分別電連接的一對外部電極38、39 (參照圖幻的外部電極形成工序S80。 通過該工序，壓電振動片4經(jīng)由主凸點Bi、迂回電極36、37及貫通電極32、33而與外部電極 38,39導(dǎo)通。接著，進(jìn)行在圓片體60的狀態(tài)下，微調(diào)密封在空腔C內(nèi)的各個壓電振動器的頻率， 使之落入既定范圍內(nèi)的微調(diào)工序S90。具體而言，從圖4所示的外部電極38、39持續(xù)地施加 既定電壓，一邊使壓電振動片4振動一邊測量頻率。在該狀態(tài)下，從基底基板用圓片40的 外部照射激光，使圖5及圖6所示的重錘金屬膜21的微調(diào)膜21b蒸發(fā)。由此，一對振動腕 部10、11的前端側(cè)的重量降低，因此壓電振動片4的頻率上升。從而，能夠?qū)弘娬駝悠鞯?頻率進(jìn)行微調(diào)而使之落入標(biāo)稱頻率的范圍內(nèi)。在結(jié)束頻率的微調(diào)后，進(jìn)行將所接合的圓片體60沿著圖9所示的切斷線M進(jìn)行切 斷的切斷工序S100。具體而言，首先在圓片體60的基底基板用圓片40的表面粘貼UV膠 帶。接著，沿著切斷線M從蓋基板用圓片50側(cè)照射激光(劃片)。接著，沿著切斷線M從 UV膠帶的表面壓上切斷刀，割斷(斷開)圓片體60。然后，照射UV而剝離UV膠帶。由此， 能夠?qū)A片體60分離成多個壓電振動器。再者，利用除此以外的切割(dicing)等的方法 切斷圓片體60也可。此外，在進(jìn)行切斷工序SlOO而做成各個壓電振動器之后，進(jìn)行微調(diào)工序S90的工 序順序也可。但是，如上所述，通過先進(jìn)行微調(diào)工序S90，能在圓片體60的狀態(tài)下進(jìn)行微調(diào)， 因此能更加有效率地對多個壓電振動器進(jìn)行微調(diào)。因而，能夠提高生產(chǎn)率，因此是優(yōu)選的。然后，進(jìn)行內(nèi)部的電特性檢查S110。即，測定壓電振動片4的諧振頻率、諧振電阻 值、驅(qū)動電平特性(諧振頻率及諧振電阻值的激振電力依賴性)等并加以核對。此外，將絕 緣電阻特性等一并核對。并且，最后進(jìn)行壓電振動器的外觀檢查，對尺寸或質(zhì)量等進(jìn)行最終核對。由此結(jié)束壓電振動器的制造。依據(jù)本實施方式，如圖2至圖4所示，利用多個主凸點Bl及輔助凸點B2將壓電振 動片4的基部12接合在基底基板2，因此能提高壓電振動片4的安裝強度。此外，輔助凸點 B2在基部12的寬度方向W中配置在兩端的主凸點Bl之間的區(qū)域并且在基部12的長邊方 向X中主凸點Bl與振動腕部10、11的基端部之間的區(qū)域，與基部12接合。該區(qū)域是非專 利文獻(xiàn)1中記載的振動節(jié)點G的附近，其壓電振動片4的振動小。如此，在振動小的振動節(jié) 點G附近的區(qū)域?qū)⑤o助凸點B2接合在基部12，因此壓電振動片4的振動難以經(jīng)由輔助凸 點B2泄漏到外部。由此，能抑制壓電振動器1的振動泄漏。因而，能確保壓電振動片4的 安裝強度的同時，抑制壓電振動器1的振動泄漏。此外，依據(jù)本實施方式，輔助凸點B2配置在從壓電振動片4的基部12的前端朝著 基端側(cè)+X方向僅分離振動腕部的腕寬Wl的1/2的距離的振動節(jié)點G。由于振動節(jié)點G不 振動，所以壓電振動片4的振動難以經(jīng)由輔助凸點B2而泄漏到外部。因而，能確保壓電振 動片4的安裝強度的同時，抑制壓電振動器1的振動泄漏。而且依據(jù)本實施方式，由于在基部12的寬度方向W的側(cè)面43、44形成凹部41、42， 振動腕部10、11的振動難以從凹部41、42傳到基端側(cè)。此外，凹部41、42配置在長邊方向 X中主凸點Bl與輔助凸點B2之間，因此壓電振動片4的振動難以傳到主凸點Bi。其結(jié)果， 壓電振動片4的振動難以經(jīng)由主凸點Bl而泄漏到外部。因而，能確保壓電振動片4的安裝 強度的同時，進(jìn)一步抑制壓電振動器1的振動泄漏。(振蕩器)接著，參照圖10，對本發(fā)明的振蕩器的一實施方式進(jìn)行說明。本實施方式的振蕩器110如圖10所示，將壓電振動器1構(gòu)成為電連接至集成電路 111的振子。該振蕩器Iio具備安裝了電容器等的電子元器件112的基板113。在基板113 安裝有振蕩器用的上述集成電路111，在該集成電路111的附近安裝有壓電振動器1的壓電 振動片。這些電子元器件112、集成電路111及壓電振動器1通過未圖示的布線圖案分別電 連接。此外，各構(gòu)成部件通過未圖示的樹脂來模制(mould)。 在這樣構(gòu)成的振蕩器110中，對壓電振動器1施加電壓時，壓電振動器1內(nèi)的壓電 振動片4振動。通過壓電振動片4所具有的壓電特性，將該振動轉(zhuǎn)換為電信號，以電信號方 式輸入至集成電路111。通過集成電路111對輸入的電信號進(jìn)行各種處理，以頻率信號的方 式輸出。從而，壓電振動器1作為振子起作用。此外，根據(jù)需求有選擇地設(shè)定集成電路111的結(jié)構(gòu)，例如RTC(實時時鐘)模塊等， 除了鐘表用單功能振蕩器等之外，還能夠附加控制該設(shè)備或外部設(shè)備的工作日期或時刻或 者提供時刻或日歷等的功能。如上所述，依據(jù)本實施方式的振蕩器110，由于具備能確保壓電振動片的安裝強度 的同時，抑制振動泄漏的壓電振動器1，能夠提供可靠性優(yōu)越且性能良好的振蕩器110。(電子設(shè)備)接著，參照圖11，就本發(fā)明的電子設(shè)備的一實施方式進(jìn)行說明。此外作為電子設(shè) 備，舉例說明了具有上述壓電振動器1的便攜信息設(shè)備120。最初本實施方式的便攜信息設(shè) 備120例如以便攜電話為代表，發(fā)展并改良現(xiàn)有技術(shù)中的手表。外觀類似于手表，在相當(dāng)于 文字盤的部分配有液晶顯示器，能夠在該畫面上顯示當(dāng)前的時刻等。此外，在作為通信機而利用的情況下，從手腕取下，通過內(nèi)置于表帶的內(nèi)側(cè)部分的揚聲器和麥克風(fēng)而能夠進(jìn)行與 現(xiàn)有技術(shù)的便攜電話相同的通信。然而，與現(xiàn)有的便攜電話相比較，明顯小型化且輕型化。下面，對本實施方式的便攜信息設(shè)備120的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖11所示，該便攜 信息設(shè)備120具備壓電振動器1和供電用的電源部121。電源部121例如由鋰二次電池構(gòu) 成。進(jìn)行各種控制的控制部122、進(jìn)行時刻等的計數(shù)的計時部123、與外部進(jìn)行通信的通信 部124、顯示各種信息的顯示部125、和檢測各功能部的電壓的電壓檢測部1 與該電源部 121并聯(lián)連接。而且，通過電源部121來對各功能部供電。控制部122控制各功能部，進(jìn)行聲音數(shù)據(jù)的發(fā)送及接收、當(dāng)前時刻的測量、顯示等 的整個系統(tǒng)的動作控制。此外，控制部122具備預(yù)先寫入程序的ROM、讀取寫入到該ROM的 程序并執(zhí)行的CPU、和作為該CPU的工作區(qū)使用的RAM等。計時部123具備內(nèi)置了振蕩電路、寄存器電路、計數(shù)器電路及接口電路等的集成 電路和壓電振動器1。對壓電振動器1施加電壓時壓電振動片振動，通過水晶所具有的壓 電特性，該振動被轉(zhuǎn)換為電信號，以電信號的方式輸入到振蕩電路。振蕩電路的輸出被二值 化，通過寄存器電路和計數(shù)器電路來計數(shù)。然后，通過接口電路，與控制部122進(jìn)行信號的 發(fā)送與接收，在顯示部125顯示當(dāng)前時刻或當(dāng)前日期或者日歷信息等。通信部IM具有與現(xiàn)有的便攜電話相同的功能，具備無線電部127、聲音處理部 128、切換部129、放大部130、聲音輸入/輸出部131、電話號碼輸入部132、來電音發(fā)生部 133及呼叫控制存儲器部134。通過天線135，無線電部127與基站進(jìn)行收發(fā)聲音數(shù)據(jù)等各種數(shù)據(jù)的交換。聲音處 理部1 對從無線電部127或放大部130輸入的聲音信號進(jìn)行編碼及解碼。放大部130將 從聲音處理部1 或聲音輸入/輸出部131輸入的信號放大到既定電平。聲音輸入/輸出 部131由揚聲器或麥克風(fēng)等構(gòu)成，擴大來電音或受話聲音，或者將聲音集音。此外，來電音發(fā)生部133響應(yīng)來自基站的呼叫而生成來電音。切換部1 僅在來 電時，通過將連接在聲音處理部128的放大部130切換到來電音發(fā)生部133，在來電音發(fā)生 部133中生成的來電音經(jīng)由放大部130輸出至聲音輸入/輸出部131。此外，呼叫控制存儲器部134存放與通信的呼叫及來電控制相關(guān)的程序。此外，電 話號碼輸入部132具備例如0至9的號碼鍵及其它鍵，通過按壓這些號碼鍵等，輸入通話目 的地的電話號碼等。電壓檢測部126在通過電源部121對控制部122等的各功能部施加的電壓小于既 定值時，檢測其電壓降后通知控制部122。這時的既定電壓值是作為使通信部IM穩(wěn)定動作 所需的最低限的電壓而預(yù)先設(shè)定的值，例如，3V左右。從電壓檢測部126收到電壓降的通知 的控制部122禁止無線電部127、聲音處理部128、切換部1 及來電音發(fā)生部133的動作。 特別是，停止耗電較大的無線電部127的動作是必需的。而且，顯示部125顯示通信部124 由于電池余量的不足而不能使用的提示。S卩，能夠由電壓檢測部1 和控制部122禁止通信部124的動作并在顯示部125 顯示該提示。該顯示可以是文字消息，但作為更直觀的顯示，也可以在顯示于顯示部125的 顯示面的上部的電話圖標(biāo)打“ X (叉)”標(biāo)記。此外，通過具備能夠有選擇地截斷與通信部124的功能相關(guān)的部分的電源的電源 截斷部136，能夠更加可靠地停止通信部124的功能。
依據(jù)本實施方式的便攜信息設(shè)備120，由于具備能確保壓電振動片的安裝強度 的同時，抑制振動泄漏的壓電振動器1，能夠提供可靠性優(yōu)越且性能良好的便攜信息設(shè)備 120。(電波鐘)接著，參照圖12，對本發(fā)明的電波鐘的一實施方式進(jìn)行說明。如圖12所示，本實施方式的電波鐘140具備電連接到濾波部141的壓電振動器 1，是接收包含時鐘信息的標(biāo)準(zhǔn)電波，并具有自動修正為正確的時刻并加以顯示的功能的鐘表。在日本國內(nèi)，在福島縣(40kHz)和佐賀縣(60kHz)有發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波的發(fā)送站(發(fā) 送局)，分別發(fā)送標(biāo)準(zhǔn)電波。40kHz或60kHz這樣的長波兼有沿地表傳播的性質(zhì)和在電離層 和地表邊反射邊傳播的性質(zhì)，因此其傳播范圍寬，且由上述的兩個發(fā)送站覆蓋整個日本國 內(nèi)。以下，對電波鐘140的功能性結(jié)構(gòu)進(jìn)行詳細(xì)說明。天線142接收40kHz或60kHz長波的標(biāo)準(zhǔn)電波。長波的標(biāo)準(zhǔn)電波是將被稱為定時 碼的時刻信息AM調(diào)制為40kHz或60kHz的載波。所接收的長波的標(biāo)準(zhǔn)電波由放大器143 放大，由具有多個壓電振動器1的濾波部141濾波并調(diào)諧。本實施方式中的壓電振動器1分別具備與上述載波頻率相同的40kHz及60kHz的 諧振頻率的水晶振動器部148、149。而且，濾波后的既定頻率的信號通過檢波、整流電路144來檢波并解調(diào)。接著，經(jīng)由波形整形電路145而抽出定時碼，由CPU146計數(shù)。在CPU146中，讀取 當(dāng)前的年、累積日、星期、時刻等的信息。被讀取的信息反映于RTC147，顯示出準(zhǔn)確的時刻信 肩、ο由于載波為40kHz或60kHz，所以水晶振動器部148、149優(yōu)選具有上述的音叉型結(jié) 構(gòu)的振動器。此外，雖然上述的說明由日本國內(nèi)的示例表示，但長波的標(biāo)準(zhǔn)電波的頻率在海外 是不同的。例如，在德國使用77.5KHZ的標(biāo)準(zhǔn)電波。所以，在將即使在海外也能夠?qū)?yīng)的電 波鐘140裝入便攜設(shè)備的情況下，還需要與日本的情況不同的頻率的壓電振動器1。如上所述，依據(jù)本實施方式的電波鐘140，由于具備能確保壓電振動片的安裝強度 的同時，抑制振動泄漏的壓電振動器1，能夠提供可靠性優(yōu)越且性能良好的電波鐘140。此外，本發(fā)明的并不局限于上述實施的方式。圖13是在基部具有3個主裝配電極的壓電振動片的仰視圖。在本實施方式中，在基部的寬度方向上設(shè)置一對主裝配電極，將一對主裝配電極 接合在一對主凸點而將壓電振動片安裝到基板。但是，如圖13那樣，除了本實施方式的一 對主裝配電極16、17以外，還設(shè)置主裝配電極沈，在基部的寬度方向W上形成3個主裝配電 極16、17J6也可。由此，將3個主裝配電極接合在3個主凸點而能夠?qū)弘娬駝悠惭b到 基板，因此能夠牢固地安裝壓電振動片。但是，與本實施方式相比，會增加主凸點的個數(shù)，因 此擔(dān)心壓電振動片的振動容易泄漏到外部。因而，本實施方式在抑制振動泄漏方面有優(yōu)勢。在本實施方式中，在基底基板上設(shè)置一個輔助電極及一個輔助凸點。但是，在與基 部的寬度方向的中央附近對應(yīng)的位置，設(shè)置2個輔助電極及2個輔助凸點也可。由此，更能比本實施方式提高安裝強度。但是，與本實施方式相比，由于會增加輔助凸點的個數(shù)，而且 振動片會安裝在從振動節(jié)點分離的位置，所以擔(dān)心壓電振動片的振動容易泄漏到外部。因 而，本實施方式在抑制振動泄漏方面有優(yōu)勢。在本實施方式中，在壓電振動片的基部的上表面及下表面這兩表面形成主裝配電 極及輔助裝配電極。但是，也可以僅在成為壓電振動片的安裝面的基部的下表面形成主裝 配電極及輔助裝配電極。但是，需要對壓電振動片的上表面及下表面進(jìn)行區(qū)別，因此本實施 方式在防止裝配工序中的誤組裝方面有優(yōu)勢。在本實施方式中，從壓電振動片的上表面沿厚度方向一直貫通到下表面，從而形 成凹部。但是，也可以僅在壓電振動片的基部中的寬度方向的側(cè)面設(shè)置凹部的開口部，以從 上表面沿著厚度方向沒有一直貫通到下表面的方式形成凹部。但是，較之凹部，振動更難以 傳到基端側(cè)，在這一點上本實施方式有優(yōu)勢。在本實施方式中，夾著凹部而分為基端側(cè)的基部和前端側(cè)的基部，基端側(cè)的基部 的寬度形成為比前端側(cè)的基部的寬度還寬。但是，基端側(cè)的基部的寬度及前端側(cè)的基部的 寬度以相同寬度形成也可。但是，本實施方式在加大基端側(cè)的基部的寬度而確?；康膹?度這一點上有優(yōu)勢。附圖標(biāo)記說明1...壓電振動器；4...壓電振動片；9...封裝件；10、11...振動腕部；12...基
部；41、42...凹部；43、44...基部的寬度方向的側(cè)面；110...振蕩器；120...便攜信息設(shè) 備(電子設(shè)備)；123...計時部；140...電波鐘；141...濾波部；Bi...主凸點；B2...輔助 凸點；W. · ·寬度方向；Wl. · ·腕寬；X. · ·長邊方向。
權(quán)利要求
1.一種壓電振動器，其中包括壓電振動片，其具備沿寬度方向排列并配置的一對振動腕部和將所述一對振動腕部的 長邊方向的基端側(cè)固定成一體的基部； 封裝件，其收納所述壓電振動片；以及 凸點，將所述壓電振動片的所述基部安裝在所述封裝件， 所述壓電振動器的特征在于，所述凸點包括多個主凸點，在所述基部的所述寬度方向上排列并與所述基部接合；以及 輔助凸點，在所述基部的所述寬度方向中配置在兩端的所述主凸點之間的區(qū)域并且在 所述基部的所述長邊方向中所述主凸點與所述振動腕部的基端部之間的區(qū)域，與所述基部接合。
2.如權(quán)利要求1所述的壓電振動器，其特征在于，所述輔助凸點配置在所述基部的所 述寬度方向的大致中央。
3.如權(quán)利要求1或2所述的壓電振動器，其特征在于，所述輔助凸點配置在從所述基部 的前端朝著所述基端側(cè)、僅分離相當(dāng)于所述振動腕部的腕寬的大致一半的距離的位置。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的壓電振動器，其特征在于，在所述基部的所述寬度 方向的側(cè)面形成凹部，所述凹部配置在所述長邊方向中所述主凸點與所述輔助凸點之間。
5.一種振蕩器，其特征在于，使權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓電振動器，作為振子 電連接至集成電路。
6.一種電子設(shè)備，其特征在于，使權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓電振動器電連接至 計時部。
7.一種電波鐘，其特征在于，使權(quán)利要求1至4中任一項所述的壓電振動器電連接至濾 波部。
全文摘要
本發(fā)明提供能確保壓電振動片的安裝強度的同時，抑制振動泄漏的壓電振動器、使用該壓電振動器的振蕩器、電子設(shè)備及電波鐘。壓電振動器(1)具備收納壓電振動片(4)的封裝件和將壓電振動片(4)的基部(12)安裝到封裝件的凸點，其特征在于，所述凸點具有多個主凸點(B1)，沿著基部(12)的寬度方向(W)排列并接合到基部(12)；以及輔助凸點(B2)，在基部(12)的寬度方向(W)中配置在兩端的主凸點(B1)之間并且在基部(12)的長邊方向(X)中主凸點(B1)與振動腕部(10、11)的基端部之間的區(qū)域，與基部(12)接合。
文檔編號G04C9/02GK102142826SQ20111003768
公開日2011年8月3日 申請日期2011年1月31日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月3日
發(fā)明者福田純也 申請人:精工電子有限公司