專(zhuān)利名稱(chēng)：聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)及其控制方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種聯(lián)機(jī)(in line)設(shè)備系統(tǒng)及其控制方法，特別是涉及一種用以控制在制造半導(dǎo)體或薄膜晶體管液晶顯示器(thin film transistor liquidcrystal display；以下簡(jiǎn)稱(chēng)TFT-LCD)等微電子裝置(micro electronic device)時(shí)使用的聯(lián)機(jī)設(shè)備的系統(tǒng)及控制方法。
下面參照附圖對(duì)過(guò)去在制造TFT-LCD時(shí)使用的聯(lián)機(jī)設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。


圖1表示過(guò)去使用的由7個(gè)設(shè)備構(gòu)成的聯(lián)機(jī)設(shè)備的控制系統(tǒng)。
過(guò)去的聯(lián)機(jī)設(shè)備包括多個(gè)設(shè)備(LOADER，AP1-AP5，UNLOADER)；及用以控制各設(shè)備的控制器(CTRL-L，CTRL-1～5，CTRL-U)。
如圖1所示，聯(lián)機(jī)設(shè)備是指以一列形式連接，并且分別對(duì)基板進(jìn)行預(yù)定作業(yè)的多個(gè)設(shè)備(LOADER，AP1-AP5，UNLOADER)，工件(比如，基板)經(jīng)該多個(gè)設(shè)備而依次進(jìn)行作業(yè)。
當(dāng)為單獨(dú)設(shè)備時(shí)，因只須單獨(dú)控制一個(gè)設(shè)備即可，因此容易控制該設(shè)備，另外控制設(shè)備與設(shè)備的上一裝置之間的通訊也容易，相互交換的數(shù)據(jù)的信賴(lài)度也高。
相反，當(dāng)為聯(lián)機(jī)設(shè)備時(shí)，不僅多個(gè)設(shè)備之間的數(shù)據(jù)交換以及控制設(shè)備與設(shè)備的上一裝置之間的信息交換不容易，而且其信息的信賴(lài)度也差。
另外，當(dāng)為聯(lián)機(jī)設(shè)備時(shí)，因?yàn)橹皇菑母髟O(shè)備向下一設(shè)備傳送數(shù)據(jù)，所以難以對(duì)以前一設(shè)備和下一設(shè)備進(jìn)行雙向控制。
本發(fā)明是為了解決上述問(wèn)題而提出的。
本發(fā)明的目的是聯(lián)機(jī)設(shè)備共有設(shè)備之間的信息，從而便于聯(lián)機(jī)設(shè)備的控制，以及提高聯(lián)機(jī)設(shè)備的信賴(lài)度。
根據(jù)本發(fā)明的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)包括多個(gè)聯(lián)機(jī)設(shè)備、主機(jī)、多個(gè)設(shè)備控制器以及主控制器。多個(gè)聯(lián)機(jī)設(shè)備分別對(duì)基板依次進(jìn)行預(yù)定的作業(yè)；主機(jī)儲(chǔ)存有應(yīng)在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的基板的信息以及在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)信息；多個(gè)設(shè)備控制器根據(jù)基板的信息以及作業(yè)信息，分別控制在多個(gè)設(shè)備中的作業(yè)過(guò)程，相互之間通過(guò)通信而共有對(duì)基板的信息，主機(jī)與多個(gè)設(shè)備控制器相連接，從而控制多個(gè)設(shè)備控制器，從設(shè)備控制器接收應(yīng)在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)信息后再傳送給主機(jī)，且從主機(jī)把基板的信息及作業(yè)信息傳送給相應(yīng)的設(shè)備控制器。
主控制器和設(shè)備控制器，較佳地由可編程邏輯控制器構(gòu)成。
另外，該系統(tǒng)可進(jìn)一步包括一設(shè)備服務(wù)器，其與主機(jī)相連接，且從設(shè)備接收在設(shè)備中完成的作業(yè)信息，并經(jīng)修正(update)后傳送給主機(jī)，然后從主機(jī)接收應(yīng)在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的信息，然后判斷可否對(duì)裝載到設(shè)備上的基板進(jìn)行作業(yè)，并把該信息傳送給設(shè)備。
該系統(tǒng)還可進(jìn)一步包括一信息處理器，其連接于主控制器與設(shè)備服務(wù)器之間，并把設(shè)備服務(wù)器傳送來(lái)的信息轉(zhuǎn)換成主控制器能夠識(shí)別的信息形態(tài)，把主控制器傳送來(lái)的信息轉(zhuǎn)換成設(shè)備服務(wù)器能夠識(shí)別的信息形態(tài)。
多個(gè)設(shè)備控制器通過(guò)連接模塊(link module)相互共有從主機(jī)傳送來(lái)的基板信息，并且較佳地是，從上一設(shè)備控制器以串聯(lián)、并聯(lián)或串/并聯(lián)輸入輸出裝置接收在上一設(shè)備中完成的作業(yè)信息。
多個(gè)設(shè)備控制器之間以及上述設(shè)備與上述主控制器之間，分別以電纜相連接，并且可通過(guò)該電纜經(jīng)連接模塊傳送有關(guān)作業(yè)的信息。
本發(fā)明的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，包括一對(duì)基板分別依次進(jìn)行預(yù)定作業(yè)的多個(gè)聯(lián)機(jī)設(shè)備、分別控制上述多個(gè)設(shè)備上的多個(gè)基板的作業(yè)且通過(guò)通信相互連接的多個(gè)設(shè)備控制器以及儲(chǔ)存有在上述設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的基板信息和作業(yè)信息的主機(jī)。其控制方法包括如下步驟第一步驟，通過(guò)設(shè)備控制器向主機(jī)傳送基板已裝載至第一設(shè)備上的信息；第二步驟，從主機(jī)接收基板的信息以及在第一設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的信息，并進(jìn)行作業(yè)；第三步驟，在第一設(shè)備中完成作業(yè)后，把基板搬運(yùn)至第二設(shè)備，并把在第一設(shè)備中完成的有關(guān)基板的信息，從第一設(shè)備的設(shè)備控制器傳送給第二設(shè)備的設(shè)備控制器；及第四步驟，通過(guò)從第一設(shè)備的設(shè)備控制器接收的基板信息和從主機(jī)接收的第二設(shè)備的作業(yè)信息，控制在第二設(shè)備中的作業(yè)。
另外，該方法可進(jìn)一步包括一重復(fù)第一至第四步驟的第五步驟。這種設(shè)備系統(tǒng)進(jìn)一步包括一從主機(jī)接收基板信息和作業(yè)信息，且傳送給相應(yīng)設(shè)備控制器的主控制器，且較佳地是，多個(gè)設(shè)備控制器與主控制器通過(guò)通信網(wǎng)共有上述基板的信息。
在第三步驟中把基板搬運(yùn)至第二設(shè)備時(shí)，較佳地是包括一確認(rèn)設(shè)備中基板集合體(set)是否有開(kāi)始信號(hào)的步驟，以及一確認(rèn)設(shè)備中基板集合體是否有結(jié)束信號(hào)的步驟。
另外，把基板搬運(yùn)至第二設(shè)備，可進(jìn)一步包括，當(dāng)有基板集合體的開(kāi)始信號(hào)時(shí)，認(rèn)識(shí)基板集合體的開(kāi)始點(diǎn)，并通過(guò)并聯(lián)輸入輸出裝置傳送至下一設(shè)備的步驟，以及當(dāng)有基板集合體的結(jié)束信號(hào)時(shí)，認(rèn)識(shí)基板集合體的結(jié)束點(diǎn)，并通過(guò)并聯(lián)輸入輸出裝置傳送至下一設(shè)備的步驟。
該方法還包括當(dāng)沒(méi)有基板集合體開(kāi)始信號(hào)時(shí)，把以前完成作業(yè)的基板集合體的最后基板的下一基板認(rèn)做基板集合體的開(kāi)始，并把其通過(guò)串聯(lián)、并聯(lián)或串/并聯(lián)輸入輸出裝置傳送至下一設(shè)備的步驟，以及當(dāng)沒(méi)有集合體的結(jié)束信號(hào)時(shí)，把應(yīng)進(jìn)行下一作業(yè)的基板集合體的最初基板的以前基板認(rèn)做基板集合體的結(jié)束點(diǎn)，并把其通過(guò)并聯(lián)輸入輸出裝置傳送至下一設(shè)備的步驟。
當(dāng)沒(méi)有基板集合體的開(kāi)始信號(hào)以及基板集合體的結(jié)束信號(hào)時(shí)，較佳地是進(jìn)一步包括一以基板集合體ID和基板卡匣ID而區(qū)分基板集合體的開(kāi)始和結(jié)束的步驟。
圖1表示過(guò)去聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)；圖2表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的聯(lián)機(jī)設(shè)備控制裝置；圖3表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的主控制器與設(shè)備控制器之間的通信方法的圖；圖4表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的主控制器與設(shè)備控制器之間的超時(shí)程序的圖；圖5表示本發(fā)明實(shí)施例的并行輸入輸出裝置的詳圖；和圖6表示本發(fā)明實(shí)施例的上下流設(shè)備中認(rèn)識(shí)基板LOT的開(kāi)始和結(jié)束的過(guò)程圖。
下面參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例做詳細(xì)說(shuō)明。
圖2表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的聯(lián)機(jī)設(shè)備控制裝置。
本發(fā)明的聯(lián)機(jī)設(shè)備控制器包括多個(gè)設(shè)備(LOADER.AP11-AP15，UNRLOADER)、多個(gè)設(shè)備控制器(CTRL-L，CTRL-11～15，CTRL-U)、主控制器10、處理器20、設(shè)備服務(wù)器30及主機(jī)40。
多個(gè)設(shè)備(LOADER，AP11-AP15，UNRLOADER)分別以串聯(lián)形式連接，且對(duì)基板進(jìn)行一系列的作業(yè)。圖2中，多個(gè)設(shè)備中的第一設(shè)備是用以裝載工件的裝載器(LOADER)，最后設(shè)備是用以卸去工件的卸載器(UNLOADER)。圖2中，工件被裝載到裝載器上后，被依次搬運(yùn)到設(shè)備(AP1～AP5)，并進(jìn)行預(yù)定的作業(yè)，最后卸載器把工件卸去。在這種聯(lián)機(jī)設(shè)備中，工件只從一側(cè)，即從裝載器側(cè)移向卸載器側(cè)。多個(gè)設(shè)備控制器(CTRL-L，CTRL-1～CTRL-5，CTRL-U)分別與設(shè)備連接，并控制各設(shè)備的作業(yè)。設(shè)備控制器之間，可通過(guò)并行輸入輸出裝置(parallel input output，PIO，圖2中以虛線表示)或直聯(lián)或直/并行輸入輸出裝置相連接。另外，設(shè)備控制器之間可通過(guò)電纜或無(wú)線通信方式連接。主控制器(10)與設(shè)備控制器中的最上流和最下流的設(shè)備控制器(CTRL-L，CTRL-U)通過(guò)電纜相連接，并控制設(shè)備控制器。處理器20與主控制器10之間是通過(guò)RS-232C電纜相連接，并且也與設(shè)備服務(wù)器30相連接，并把從主控制器10和設(shè)備服務(wù)器30傳送的信息轉(zhuǎn)化成相應(yīng)形態(tài)的信息。設(shè)備服務(wù)器30與主機(jī)40，通過(guò)局域網(wǎng)(local area network，LAN)連接，主機(jī)40儲(chǔ)存有在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的信息以及有關(guān)工件的信息。
下面參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的動(dòng)作做詳細(xì)說(shuō)明。
當(dāng)基板裝載到設(shè)備上后，設(shè)備向設(shè)備服務(wù)器傳送新的基板到達(dá)的信息。另外，向設(shè)備控制器傳送有關(guān)基板信息的基板ID、基板集合體(以下稱(chēng)‘LOT’)的ID、有關(guān)設(shè)備信息的設(shè)備狀態(tài)以及設(shè)備ID等。
設(shè)備控制器把從設(shè)備傳送來(lái)的信息，通過(guò)電纜傳送給主控制器10，主控制器10把從設(shè)備控制器傳送來(lái)的信息傳送給處理器20。
為了使多個(gè)設(shè)備控制器(CTRL-L，CTRL-1～CTRL-5，CTRL-U)共有信息，主控制器10起一種集合信息的作用，主控制器與多個(gè)設(shè)備控制器之間通過(guò)光纜連接，也可通過(guò)無(wú)線通信進(jìn)行通信，且通過(guò)稱(chēng)為連接模塊的協(xié)議(protocol)進(jìn)行通信。連接模塊與主控制器10和多個(gè)設(shè)備控制器(CTRL-L，CTRL-1～CTRL-5，CTRL-U)之間的通信方法，將在后文敘述。
另外，主控制器10和設(shè)備控制器(CTRL)由可編程邏輯控制器(programmable logic controller；PLC)構(gòu)成為好。
處理器20把從主控制器10傳送來(lái)的信息轉(zhuǎn)化成設(shè)備服務(wù)器30能夠識(shí)別的信息形態(tài)。即，主控制器10把信息處理成二進(jìn)制數(shù)據(jù)(binary data)或美國(guó)信息交換標(biāo)準(zhǔn)代碼(ASCII code)形態(tài)，設(shè)備服務(wù)器把信息處理成文本(text)數(shù)據(jù)形態(tài)，處理器20把信息上載(upload)時(shí)和下載(download)時(shí)，轉(zhuǎn)化成分別適合于主控制器10和設(shè)備服務(wù)器30的信息形態(tài)。此時(shí)，主控制器10和設(shè)備服務(wù)器30處理的信息形態(tài)，也可使用其它形式的信息形態(tài)。處理器20與主控制器10通過(guò)RS-232C相連接。此時(shí)，也可通過(guò)無(wú)線通信相連接。
設(shè)備服務(wù)器30從處理器20接收在設(shè)備上的作業(yè)信息，并把該信息傳送給主機(jī)40，而主機(jī)40把儲(chǔ)存于主機(jī)40內(nèi)的作業(yè)信息傳送給設(shè)備服務(wù)器。設(shè)備服務(wù)器30分析主機(jī)4內(nèi)的作業(yè)信息和從處理器20接收的，在設(shè)備(AP)中的作業(yè)信息，并判斷等待于設(shè)備中的基板是否為可進(jìn)行作業(yè)的對(duì)象，然后決定是否開(kāi)始作業(yè)，該命令傳送給處理器20。
在處理器20中，通過(guò)分析從設(shè)備服務(wù)器30中接收的信息，轉(zhuǎn)化成適合于主控制器10的二進(jìn)制數(shù)據(jù)或美國(guó)信息交換標(biāo)準(zhǔn)代碼，然后傳送給主控制器10。
當(dāng)命令傳送至主控制器10后，因主控制器和多個(gè)設(shè)備控制器通過(guò)連接模塊而共有信息，所以相應(yīng)的設(shè)備控制器能夠認(rèn)識(shí)傳送至主控制器10上的命令。并根據(jù)該命令向設(shè)備下達(dá)作業(yè)命令。設(shè)備按照該命令進(jìn)行作業(yè)，并把其結(jié)果按照上述途徑向主機(jī)匯報(bào)。
下面對(duì)有關(guān)主控制器和多個(gè)設(shè)備控制器共有信息以及通信的方法做詳細(xì)說(shuō)明。
主控制器10和設(shè)備控制器是通過(guò)稱(chēng)做連接模塊的協(xié)議傳送信息，連接模塊是指相互間共有存儲(chǔ)器，并儲(chǔ)存在共有欲傳送的信息的存儲(chǔ)器內(nèi)，把其位置告訴對(duì)方，從而使對(duì)方從存儲(chǔ)器中讀取信息，然后傳送信息的方法。
圖3表示向主控制器和設(shè)備控制器傳送信息時(shí)的動(dòng)作原理的圖。
圖3中的(a)是表示從主控制器向設(shè)備控制器傳送命令時(shí)的主控制器的動(dòng)作，圖3中的(b)是表示從設(shè)備控制器向主控制器傳送命令時(shí)的設(shè)備控制器的動(dòng)作。
圖3中的A和C表示被傳送的信息，B和D是表示主控制器和設(shè)備控制器傳送和接收狀況的接通標(biāo)志(relay flag)動(dòng)作。
主控制器10向設(shè)備控制器下達(dá)命令時(shí)的動(dòng)作如下。
主控制器10和設(shè)備控制器(CTRL)共有存儲(chǔ)器，主控制器10把從處理器20傳送來(lái)的命令儲(chǔ)存于主控制器10的存儲(chǔ)器中。然后，如圖3(a)所示，主控制器10儲(chǔ)存從處理器20中傳送來(lái)的命令，然后接通(on)具有儲(chǔ)存器位置和信息(A)的接通標(biāo)志(relay flag)B，從而通知設(shè)備控制器(CTRL)。那么，設(shè)備控制器(CTRL)就讀取從主控制器10接收的儲(chǔ)存器的位置的信息C。然后，如圖3(b)所示，設(shè)備控制器10為了告訴已經(jīng)讀取了儲(chǔ)存于儲(chǔ)存器中的信息而接通標(biāo)志(relay flag)D。主控制器10接收到設(shè)備控制器(CTRL)的接通標(biāo)志信息后，把接通標(biāo)志信息斷開(kāi)，從而告知信息已傳送完畢。設(shè)備控制器(CTRL)接收主控制器10的接通標(biāo)志接通信息后，把通告已結(jié)束接收設(shè)備控制器信息動(dòng)作的接通標(biāo)志斷開(kāi)。
以上說(shuō)明的是從主控制器向設(shè)備控制器傳送信息時(shí)的通信方式，從設(shè)備控制器向主控制器傳送信息時(shí)也以相同的方式進(jìn)行。即，如圖3中的括號(hào)內(nèi)部分，圖3(a)中的主控制器變?yōu)樵O(shè)備控制器，圖3(b)中的設(shè)備控制器變?yōu)橹骺刂破?，其?dòng)作與上述說(shuō)明相同。
通過(guò)如上的過(guò)程相互之間進(jìn)行通信。
為了防止主控制器10與設(shè)備控制器之間進(jìn)行通信過(guò)程中發(fā)生的錯(cuò)誤動(dòng)作，而進(jìn)行超時(shí)(time out)過(guò)程(process)。
圖4表示主控制器與設(shè)備控制器之間的超時(shí)過(guò)程圖。
超時(shí)過(guò)程如下。以下以在主控制器10中，向設(shè)備控制器傳送信息為例做說(shuō)明。如圖4所示，主控制器10把信息寫(xiě)入(write)存儲(chǔ)器中后，向設(shè)備控制器傳送信息后，把主控制器10轉(zhuǎn)換成高狀態(tài)(1)；當(dāng)主控制器接通后，對(duì)時(shí)間T1進(jìn)行校對(duì)(2)；設(shè)備控制器對(duì)于主控制器10的命令傳送ACK信號(hào)(應(yīng)答信號(hào))(3)；當(dāng)在一定時(shí)間內(nèi)沒(méi)有ACK信號(hào)時(shí)，主控制器10作自動(dòng)斷開(kāi)的超時(shí)動(dòng)作或當(dāng)在一定時(shí)間內(nèi)有ACK信號(hào)時(shí)，進(jìn)行斷開(kāi)(4)；設(shè)備控制器對(duì)接通后的時(shí)間T2進(jìn)行校對(duì)，當(dāng)在一定時(shí)間內(nèi)從主控制器有ACK信號(hào)傳送，則斷開(kāi)，當(dāng)在一定時(shí)間內(nèi)沒(méi)有ACK信號(hào)傳送，則進(jìn)行超時(shí)動(dòng)作(5)。
如上所述，根據(jù)超時(shí)過(guò)程，主控制器和設(shè)備控制器中，可在因某一方面的問(wèn)題而得不到ACK信號(hào)時(shí)防止誤動(dòng)作。
下面再對(duì)設(shè)備中的作業(yè)過(guò)程做說(shuō)明。
在設(shè)備中按命令完成作業(yè)時(shí)，把完成作業(yè)的信息向設(shè)備控制器報(bào)告，設(shè)備控制器按照上述的過(guò)程向主機(jī)傳送完成作業(yè)的信息。設(shè)備服務(wù)器接收完成作業(yè)的信息后，以?xún)?chǔ)存在主機(jī)內(nèi)的信息為基礎(chǔ)進(jìn)行比較，然后向下一設(shè)備下達(dá)裝載基板的命令。
當(dāng)接收到裝載到下一設(shè)備的命令后，設(shè)備與基板一起，把有關(guān)基板以及作業(yè)信息傳送給下一設(shè)備。
設(shè)備間的信息傳送通過(guò)設(shè)備控制器傳送，設(shè)備控制器的信息傳送方式包括通過(guò)電纜的鏈接模式以及通過(guò)并聯(lián)輸入輸出裝置的傳送方式。
通過(guò)鏈接模式而傳送的信息包括基板的品種、基板LOT、ID、基板數(shù)量、開(kāi)始作業(yè)的卡匣ID、基板ID、基板的等級(jí)以及基板的種類(lèi)等有關(guān)基板的信息和開(kāi)始作業(yè)的設(shè)備號(hào)等信息。通過(guò)鏈接模式而傳送的方法與前述方法相同。
通過(guò)并聯(lián)輸入輸出裝置PIO傳送的信息包括上流層與下流層設(shè)備間的收發(fā)信息、有關(guān)工件LOT的開(kāi)始與結(jié)束的信息以及有關(guān)基板卡匣的基板數(shù)等信息。
一方面，可代替并聯(lián)輸入輸出裝置PIO而利用串聯(lián)輸入輸出裝置或串聯(lián)/并聯(lián)輸入輸出裝置。
下面參照附圖對(duì)并聯(lián)輸入輸出裝置PIO的信息傳送方法做說(shuō)明。
圖5表示并聯(lián)輸入輸出裝置的詳細(xì)圖。
如圖5所示，本實(shí)施例的并聯(lián)輸入輸出裝置包括24個(gè)管腳，并且其使上流設(shè)備和下流設(shè)備以硬件形式相對(duì)接(interface)。在此，并聯(lián)輸入輸出裝置的管腳數(shù)并不局限在此，其可根據(jù)需要變化。
如圖5所示，在本實(shí)施例中，并聯(lián)輸入輸出裝置通過(guò)管腳傳送下述信息。
通過(guò)并聯(lián)輸入輸出裝置PIO的管腳2～5從下流側(cè)向上流側(cè)傳送的信息包括，從上流側(cè)傳送基板時(shí)下流側(cè)是否能夠接收信息、停止基板排出的請(qǐng)求信號(hào)以及是否已接收基板的信號(hào)等。
通過(guò)管腳6～7從上流側(cè)向下流側(cè)傳送有關(guān)基板的品種的信息。
通過(guò)管腳14～18從上流側(cè)向下流側(cè)傳送有關(guān)基板卡匣內(nèi)的基板數(shù)。
通過(guò)管腳19～23從上流側(cè)向下流側(cè)傳送有關(guān)基板的排出以及停止排出信號(hào)，有關(guān)基板LOT的開(kāi)始和結(jié)束的信息。
在此，管腳數(shù)以及通過(guò)管腳傳送的信息，在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)可具有多種變化。
根據(jù)上述的聯(lián)機(jī)設(shè)備控制器，可提高聯(lián)機(jī)設(shè)備控制器的可信性。
下面參照附圖，對(duì)利用上述的并聯(lián)輸入輸出裝置識(shí)別在上下流設(shè)備中基板LOT的開(kāi)始以及結(jié)束的方法做說(shuō)明。
圖6表示本發(fā)明實(shí)施例的上下流設(shè)備中識(shí)別基板LOT的開(kāi)始和結(jié)束的過(guò)程圖。
聯(lián)機(jī)設(shè)備的裝載器(LOADER)與卸載器(UNLOADER)之間，設(shè)置有多個(gè)基板LOT，并進(jìn)行作業(yè)。但是，因首先進(jìn)行的基板LOT，在完成作業(yè)而卸載之前，投入下一基板LOT，所以在基板LOT的開(kāi)始以及結(jié)束的區(qū)分不夠明確時(shí)，會(huì)發(fā)生基板LOT相混的問(wèn)題。
為了解決上述問(wèn)題，進(jìn)行下述作業(yè)。
如圖6所示，從裝載器(LOADER)投入的最初的基板與LOT START(開(kāi)始)信號(hào)一起被移送到下一設(shè)備，而最后投入的基板與LOT END(結(jié)束)信號(hào)一起被移送到下一設(shè)備。在本實(shí)施例中，LOT START信號(hào)以及LOT END信號(hào)通過(guò)前述的并聯(lián)輸入輸出裝置傳送。
在本實(shí)施例中，以是否有該LOT START信號(hào)以及LOT END信號(hào)為基礎(chǔ)而區(qū)分基板LOT的開(kāi)始和結(jié)束。
在正常的情況下，在任一設(shè)備(AP-I+n)中，若有LOT START信號(hào)，則可知，在有該信號(hào)時(shí)為L(zhǎng)OT的開(kāi)始點(diǎn)，若有LOT END信號(hào)，則可知，在有該信號(hào)時(shí)為L(zhǎng)OT的結(jié)束點(diǎn)。
當(dāng)沒(méi)有LOT START信號(hào)時(shí)，首先完成作業(yè)的LOT的最后基板被認(rèn)作下一工件的LOT START。
當(dāng)沒(méi)有LOT END信號(hào)時(shí)，到達(dá)下一步進(jìn)行的LOT START時(shí)，以前完成的基板被認(rèn)作LOT END。
當(dāng)同時(shí)沒(méi)有LOT START信號(hào)的LOT END信號(hào)時(shí)，以LOT ID和卡匣ID區(qū)分識(shí)別LOT START和END。
通過(guò)以上的動(dòng)作可識(shí)別基板LOT的開(kāi)始和結(jié)束。
本發(fā)明并不局限在上述實(shí)施例，其可適用于以聯(lián)機(jī)設(shè)備制造的多種基板，并且在設(shè)備數(shù)以及在被傳送的信息的種類(lèi)中也可具有多種變化。根據(jù)本發(fā)明的聯(lián)機(jī)設(shè)備控制裝置以及控制方法，可方便地進(jìn)行聯(lián)機(jī)設(shè)備的控制，并且可提高聯(lián)機(jī)設(shè)備的可靠性。
權(quán)利要求
1.一種聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其包括分別對(duì)基板按順序進(jìn)行預(yù)定作業(yè)的多數(shù)個(gè)聯(lián)機(jī)設(shè)備；儲(chǔ)存有應(yīng)在上述設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的基板的信息以及在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的信息的主機(jī)；分別控制根據(jù)上述基板信息以及作業(yè)信息在上述多數(shù)個(gè)設(shè)備中的作業(yè)，并且相互間通過(guò)通信方式聯(lián)系而共有有關(guān)上述基板信息的多數(shù)個(gè)設(shè)備控制器；及與上述多數(shù)個(gè)設(shè)備控制器連接，并控制上述多數(shù)個(gè)設(shè)備控制器，從上述設(shè)備控制器接收在上述設(shè)備中完成的作業(yè)信息，并傳送給主機(jī)，從上述主機(jī)接收基板信息以及作業(yè)信息并傳送給相應(yīng)設(shè)備控制器的主控制器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，上述主控制器和上述設(shè)備控制器由可編程邏輯控制器構(gòu)成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括一與上述主機(jī)連接，從上述設(shè)備接收在設(shè)備中完成的作業(yè)信息，并把其修正(update)后傳送給主機(jī)，并且從主機(jī)接收在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的有關(guān)信息，從而進(jìn)行可否對(duì)裝載到設(shè)備上的基板進(jìn)行作業(yè)的判斷，并把其傳送給設(shè)備的設(shè)備服務(wù)器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，進(jìn)一步包括一連接于上述主控制器與上述設(shè)備服務(wù)器之間，且把上述設(shè)備服務(wù)器傳送的信息轉(zhuǎn)變成上述主控制器能夠識(shí)別的信息形式，并且把上述主控制器傳送的信息轉(zhuǎn)變成上述設(shè)備服務(wù)器能夠識(shí)別的信息形式的信息處理機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，上述多個(gè)設(shè)備控制器把從主機(jī)傳送的上述基板信息通過(guò)連接模式共有，并且通過(guò)并聯(lián)輸入輸出裝置從前一設(shè)備控制器接收在前一設(shè)備中完成作業(yè)的作業(yè)信息。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，上述多數(shù)個(gè)設(shè)備控制器從前一設(shè)備控制器通過(guò)并聯(lián)輸入輸出裝置接收在前一設(shè)備中完成的作業(yè)信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，上述基板信息是包括開(kāi)始作業(yè)的裝載器、卡匣、基板集合單位、基板的種類(lèi)以及等級(jí)的信息。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，上述作業(yè)信息是包括上、下流設(shè)備的基板的收信狀況、基板的信息、有關(guān)基板集合單位的開(kāi)始以及結(jié)束的信息。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，上述多數(shù)個(gè)設(shè)備控制器之間以及上述設(shè)備控制器與上述主控制器之間分別由電纜連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)，其特征在于，通過(guò)電纜與上述主控制器連接的設(shè)備控制器是最上流設(shè)備和最下流設(shè)備控制器。
11.一種聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，包括分別對(duì)基板按順序進(jìn)行預(yù)定作業(yè)的多數(shù)個(gè)聯(lián)機(jī)設(shè)備、分別控制上述多數(shù)個(gè)設(shè)備的基板的作業(yè)并且相互間通過(guò)通信方式聯(lián)系的多數(shù)個(gè)設(shè)備控制器以及儲(chǔ)存有應(yīng)在上述設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的基板的信息以及在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的作業(yè)信息的主機(jī)的聯(lián)機(jī)系統(tǒng)，其控制方法包括如下步驟通過(guò)上述設(shè)備控制器向上述主機(jī)傳送基板已裝載至第一設(shè)備的信息的第一階段；從上述主機(jī)接收上述基板信息以及在第一設(shè)備中的作業(yè)信息，并且在上述第一設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的第二階段；在上述第一設(shè)備中完成作業(yè)后把上述基板移送到第二設(shè)備，并且把有關(guān)在第一設(shè)備中完成的作業(yè)信息，從上述第一設(shè)備的設(shè)備控制器傳送給第二設(shè)備的設(shè)備控制器的第三階段；及接收從上述第一設(shè)備的設(shè)備控制器接收的基板信息和從上述主機(jī)接收的上述在第二設(shè)備的作業(yè)信息，從而控制在第二設(shè)備中的作業(yè)的第四階段。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，進(jìn)一步包括一重復(fù)上述第一階段至第四階段的第五階段。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，上述聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)進(jìn)一步包括一從上述主機(jī)接收上述基板的信息以及作業(yè)信息，并且向相應(yīng)的設(shè)備控制器傳送的主控制器；以及上述多數(shù)個(gè)設(shè)備控制器與上述主控制器是通過(guò)通信網(wǎng)而共有上述基板信息。
14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，上述基板信息是包括開(kāi)始作業(yè)的裝載器、卡匣、基板集合單位、基板的種類(lèi)以及等級(jí)的信息，并且通過(guò)連接模式傳送上述基板信息。
15.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，上述作業(yè)信息是包括上下流設(shè)備的基板的收信狀況、基板的信息、有關(guān)基板集合單位的開(kāi)始以及結(jié)束信息的信息，并且上述作業(yè)信息通過(guò)連接于上述設(shè)備控制器之間的并聯(lián)輸入輸出裝置被傳送。
16.根據(jù)權(quán)利要求11所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，在上述第三階段中把基板移送至第二設(shè)備的步驟包括在設(shè)備中確認(rèn)是否有基板集合單位的開(kāi)始信號(hào)的階段；及在設(shè)備中確認(rèn)是否有基板集合單位的結(jié)束信號(hào)的階段。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，進(jìn)一步包括如下步驟當(dāng)有基板集合單位的開(kāi)始信號(hào)時(shí)，識(shí)別出基板集合單位的開(kāi)始點(diǎn)，并且通過(guò)上述并聯(lián)輸入輸出裝置把其傳送至下一設(shè)備的階段；及當(dāng)有基板集合單位的結(jié)束信號(hào)時(shí)，識(shí)別出基板集合單位的結(jié)束點(diǎn)，并且通過(guò)上述并聯(lián)輸出入裝置把其傳送至下一設(shè)備的階段。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，進(jìn)一步包括如下步驟當(dāng)沒(méi)有基板集合單位的開(kāi)始信號(hào)時(shí)，把以前完成作業(yè)的基板集合單位的最后基板的下一基板識(shí)作基板集合單位的開(kāi)始點(diǎn)，并且通過(guò)上述并聯(lián)輸入輸出裝置把其傳送至下一設(shè)備的階段；及當(dāng)沒(méi)有基板集合單位的開(kāi)始信號(hào)時(shí)，把應(yīng)進(jìn)行下一作業(yè)的基板集合單位的最初基板的以前基板識(shí)作基板集合單位的結(jié)束點(diǎn)，并且通過(guò)上述并聯(lián)輸入輸出裝置把其傳送至下一設(shè)備的階段。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)的控制方法，其特征在于，進(jìn)一步包括一當(dāng)沒(méi)有基板集合單位的開(kāi)始信號(hào)和基板集合單位的結(jié)束信號(hào)時(shí)，以基板集合單位ID和基板卡匣ID區(qū)分基板集合單位的開(kāi)始和結(jié)束的階段。
全文摘要
一種聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng),包括:多個(gè)聯(lián)機(jī)設(shè)備,分別按順序?qū)暹M(jìn)行預(yù)定作業(yè);主機(jī),儲(chǔ)存應(yīng)在設(shè)備中進(jìn)行作業(yè)的基板的信息及作業(yè)信息;多個(gè)設(shè)備控制器,根據(jù)基板信息及作業(yè)信息分別控制基板的作業(yè),并通過(guò)相互通信連接而共有基板的信息;主控制器,與多個(gè)設(shè)備控制器連接,控制多個(gè)設(shè)備控制器并把在設(shè)備中完成的作業(yè)信息傳送給主機(jī),把基板信息及作業(yè)信息傳送給相應(yīng)設(shè)備控制器。該聯(lián)機(jī)設(shè)備系統(tǒng)方便地控制聯(lián)機(jī)設(shè)備,提高聯(lián)機(jī)設(shè)備可靠性。
文檔編號(hào)G05B19/418GK1263278SQ0010189
公開(kāi)日2000年8月16日 申請(qǐng)日期2000年2月12日 優(yōu)先權(quán)日1999年2月12日
發(fā)明者邊圣埈, 安鐘范, 許民寧, 尹亨真 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社