專利名稱：實(shí)驗(yàn)管理系統(tǒng)、方法與介質(zhì)的制作方法
發(fā)明
背景技術(shù)：
領(lǐng)域本發(fā)明涉及用以管理實(shí)驗(yàn)的與計(jì)算機(jī)相關(guān)的方法、系統(tǒng)與介質(zhì)。尤其涉及到管理與工藝中變化相關(guān)的實(shí)驗(yàn)，該工藝?yán)缬靡灾浒雽?dǎo)體技術(shù)制造。
背景技術(shù)：
多數(shù)工業(yè)中的機(jī)器、材料和工藝正日益變得復(fù)雜和費(fèi)用昂貴。同時(shí)，產(chǎn)生了這樣一種要求，即進(jìn)行工藝以及機(jī)器和材料質(zhì)量的持續(xù)改進(jìn)。
半導(dǎo)體和其他產(chǎn)品通常是在預(yù)定工藝的控制之下制造的。這些預(yù)定工藝相當(dāng)復(fù)雜。例如，用于生產(chǎn)半導(dǎo)體芯片的一種預(yù)定制造工藝可能包含五百至七百五十個(gè)工序。而且，每個(gè)這樣的工序都可能包括幾個(gè)變量，例如6個(gè)重要的變量。
為了改進(jìn)生產(chǎn)或測(cè)試?yán)碚?，常常需要通過改變基本制造工藝的某些小部分來進(jìn)行實(shí)驗(yàn)。例如，一位工程師可能想要使半導(dǎo)體的多層中的一層變厚10％。這可能需要額外的15秒執(zhí)行對(duì)應(yīng)于該工序的方法，而且也許要在隨后工序中進(jìn)行一些調(diào)整。典型的是，這位工程師并不新創(chuàng)建一種包括這些修改的新的基本工藝以適用于所希望的測(cè)試，因?yàn)檫@將太費(fèi)時(shí)了。
不幸的是，運(yùn)用傳統(tǒng)技術(shù)的這樣一個(gè)實(shí)驗(yàn)要求人工介入和結(jié)果的人工跟蹤。因而，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的工程師或操作員會(huì)得到多個(gè)半導(dǎo)體芯片，并且在自動(dòng)化的(例如生產(chǎn)或模擬生產(chǎn)的制造)環(huán)境之外對(duì)它們進(jìn)行處理。這樣，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的產(chǎn)品需要從自動(dòng)化環(huán)境中取出，而這既費(fèi)時(shí)，又可能會(huì)引入外部因素，并且外部因素可能最終(且并非在意料之中)影響實(shí)驗(yàn)的結(jié)果。另外，這樣取出半導(dǎo)體芯片會(huì)使得難以協(xié)調(diào)變化或?qū)嶒?yàn)記錄的人工跟蹤，且難以控制實(shí)驗(yàn)和分析所有結(jié)果。
結(jié)果是，對(duì)研究和開發(fā)工程師、在工廠設(shè)備上工作的操作員和其他使用者來說，始終有這樣一種需求對(duì)現(xiàn)有工藝作改變的實(shí)驗(yàn)應(yīng)是靈活、方便和可跟蹤的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明通過提供在自動(dòng)化的(如生產(chǎn)或模擬生產(chǎn)制造)環(huán)境中用于自動(dòng)化實(shí)驗(yàn)的系統(tǒng)、方法和介質(zhì)，而不需要從這一環(huán)境中使測(cè)試對(duì)象(如單個(gè)半導(dǎo)體芯片或多個(gè)芯片)拆分出來，緩和了上面所述的傳統(tǒng)技術(shù)的一些問題。根據(jù)本發(fā)明的至少一些實(shí)施例，一個(gè)“實(shí)驗(yàn)”是利用自動(dòng)化環(huán)境的一種已建立的(例如預(yù)先規(guī)定的)工藝的至少某一部分的一種預(yù)先計(jì)劃的偏差。
根據(jù)本發(fā)明的至少一些實(shí)施例，實(shí)驗(yàn)始于一個(gè)實(shí)驗(yàn)的命令(即請(qǐng)求啟動(dòng)實(shí)驗(yàn))，該命令最初是作為一種非正式請(qǐng)求發(fā)出的，送至一個(gè)計(jì)算機(jī)化的系統(tǒng)，路經(jīng)各個(gè)規(guī)定的使用者，也許經(jīng)過修改，而最終得到批準(zhǔn)。為便于進(jìn)行所請(qǐng)求的實(shí)驗(yàn)，實(shí)驗(yàn)管理包括四個(gè)概念上不同的階段命令管理，配置，執(zhí)行以及分析。本發(fā)明的命令管理部分有助于自動(dòng)地引導(dǎo)實(shí)驗(yàn)命令的形成(上面提到過)并且跟蹤實(shí)驗(yàn)。配置階段典型地是處理實(shí)驗(yàn)的人工或自動(dòng)轉(zhuǎn)換，把普遍的語句、請(qǐng)求或設(shè)定的結(jié)果轉(zhuǎn)換為數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)規(guī)定要被自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行的特定工藝。執(zhí)行階段包括基于該工藝數(shù)據(jù)而通過自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行該實(shí)驗(yàn)自身，還包括實(shí)驗(yàn)結(jié)果的匯總。在分析階段，報(bào)告和分析實(shí)驗(yàn)的結(jié)果。
根據(jù)本發(fā)明的至少一些實(shí)施例，在操作時(shí)接收實(shí)驗(yàn)命令，該實(shí)驗(yàn)命令至少包括一個(gè)能運(yùn)用于自動(dòng)化環(huán)境中的基本工藝的某種偏差。然后獲得對(duì)該實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)。實(shí)驗(yàn)命令的至少一部分被轉(zhuǎn)換成適合于被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行的處理數(shù)據(jù)，并且儲(chǔ)存起來。根據(jù)該處理數(shù)據(jù)，通過自動(dòng)化環(huán)境，結(jié)合所述基本工藝的至少某些部分，引發(fā)所要執(zhí)行的實(shí)驗(yàn)。
進(jìn)一步說，本發(fā)明可包括存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)規(guī)定實(shí)驗(yàn)命令、將該向?qū)嶒?yàn)命令分送給多個(gè)使用者、從其中至少一個(gè)使用者得到對(duì)該實(shí)驗(yàn)命令的變化、并從至少一個(gè)使用者處接收對(duì)該實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)。而且可將文檔附加到實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求上。
另外，可公布信息，指示實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的狀態(tài)變化，對(duì)附加到實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求上的附加文檔做出響應(yīng)，或?qū)?shí)驗(yàn)命令的狀態(tài)中的變化做出響應(yīng)。
此外，所述實(shí)驗(yàn)可產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品和至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品(即一種對(duì)照物，其例如可以是在測(cè)試產(chǎn)品之前或之后受到處理的產(chǎn)品，以及根據(jù)基本工藝受到處理的產(chǎn)品)；處理數(shù)據(jù)可包括基本工藝的指示，對(duì)該基本工藝的變化，以及一對(duì)照物組(即從屬于該實(shí)驗(yàn)的產(chǎn)品)的拆分；而拆分出的對(duì)照物組根據(jù)基本工藝可產(chǎn)生至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品，對(duì)該基本工藝的變化可產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品。實(shí)驗(yàn)的執(zhí)行結(jié)果可以被儲(chǔ)存起來。


本發(fā)明的上述的以及其他的優(yōu)點(diǎn)和特征將由附圖的詳盡描述變得更加顯而易見，其中圖1是一個(gè)計(jì)算機(jī)化的工藝控制系統(tǒng)的方框圖，該系統(tǒng)可與本發(fā)明的至少某些實(shí)施例結(jié)合使用；圖2是根據(jù)本發(fā)明的至少某些實(shí)施例的用于實(shí)驗(yàn)管理的整個(gè)方法的流程圖；圖3A和B是圖2中整個(gè)方法的命令管理方法部分的流程圖；圖4是圖2中整個(gè)方法的配置方法部分的流程圖；圖5是圖2中整個(gè)方法的執(zhí)行方法部分的流程圖；圖6是圖2中整個(gè)方法的分析方法部分的流程圖；圖7是一個(gè)表明實(shí)驗(yàn)規(guī)定的示意圖；圖8是一個(gè)用于實(shí)驗(yàn)編輯的示例性使用者界面，其與本發(fā)明的至少某些實(shí)施例結(jié)合使用；圖9是一個(gè)用于實(shí)驗(yàn)編輯的示例性使用者界面，其指明附件，與本發(fā)明結(jié)合使用；圖10是一個(gè)用于實(shí)驗(yàn)編輯的示例性使用者界面，其指明實(shí)驗(yàn)內(nèi)容，應(yīng)用于本發(fā)明的至少某些實(shí)施例；圖11是一個(gè)用于實(shí)驗(yàn)編輯的示例性使用者界面，其指明圓片級(jí)分割(wafer level split)的細(xì)節(jié)，應(yīng)用于本發(fā)明的至少某些實(shí)施例；圖12是一個(gè)實(shí)驗(yàn)的至少某些實(shí)施例的說明。
具體實(shí)施例方式
以下詳細(xì)描述包括許多特定的細(xì)節(jié)。包含這些細(xì)節(jié)只是為了說明目的，而不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明做出限制。為了參考的方便，在通篇這種討論中，在各種圖表中均以同樣的數(shù)字來表示相類似的各個(gè)部分。
如在以上發(fā)明內(nèi)容部分所指出的，根據(jù)本發(fā)明的至少某些實(shí)施例，一個(gè)“實(shí)驗(yàn)”是一種利用自動(dòng)化環(huán)境的基本工藝的至少某一部分的預(yù)先計(jì)劃的偏差。典型的是，可對(duì)諸如半導(dǎo)體芯片等材料進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，該材料是作為一種自動(dòng)化方法的結(jié)果生產(chǎn)的。同樣如上文所指出的，本發(fā)明的至少某些實(shí)施例，預(yù)見到實(shí)驗(yàn)管理包括四個(gè)概念上不同的階段命令管理，配置，執(zhí)行和分析。雖然這些階段在概念上是不同的，但它們可能會(huì)偶爾重疊。
根據(jù)本發(fā)明的至少某些實(shí)施例，報(bào)告、記錄、表格、文件和其他文檔可與整個(gè)命令管理和配置階段的特定實(shí)驗(yàn)相關(guān)聯(lián)。這些文檔可供得到允許利用本實(shí)驗(yàn)的使用者查閱。這使使用者和查閱者得以用一種用戶友好的界面、高度靈活的方式，對(duì)實(shí)驗(yàn)作出評(píng)價(jià)、提供背景信息、提供適當(dāng)?shù)谋砀?、附加相關(guān)的信息，等等。由于其靈活性，會(huì)吸引使用者提供輸入，并會(huì)導(dǎo)致更高質(zhì)量的實(shí)驗(yàn)。
現(xiàn)在參考圖1，其為一方框圖，概括說明一個(gè)計(jì)算機(jī)化的工藝控制系統(tǒng)，該系統(tǒng)可應(yīng)用于本發(fā)明的至少某些實(shí)施例。如圖所示，實(shí)驗(yàn)命令101被輸入到一個(gè)計(jì)算機(jī)化的系統(tǒng)，概括性地表示為輸入到控制器103。實(shí)驗(yàn)命令101包含所需實(shí)驗(yàn)的例如為文本形式的描述。例如，實(shí)驗(yàn)命令101可以是一個(gè)包含文字的字處理文檔。作為一種替代，它還可以從菜單輸入。在實(shí)驗(yàn)命令101中所描述的實(shí)驗(yàn)是用以產(chǎn)生結(jié)果的一種偏離現(xiàn)有自動(dòng)化工藝的偏差，雖然它被描述為偏離特定工藝的偏差，但這并非是必需的。
控制器103可存取各種存儲(chǔ)的工藝111，如半導(dǎo)體芯片的制造工藝?？刂破?03可以是通用計(jì)算機(jī)，也可以是特別編程的專用計(jì)算機(jī)，或者是其他自動(dòng)化系統(tǒng)或分布式系統(tǒng)。(一般來說，在此所用的這類計(jì)算機(jī)，或其用途明顯是來源于所討論內(nèi)容的計(jì)算機(jī)，可以是各種不同類型的計(jì)算機(jī)，包括那些包含來自美國(guó)加利福尼亞州Santa Clara的英特爾公司的處理器的計(jì)算機(jī)，其中所述計(jì)算機(jī)可包含任何數(shù)目和不同類型的存儲(chǔ)裝置，如計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)；另外，本發(fā)明的至少某些實(shí)施例設(shè)想了該計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)可以是一種傳輸介質(zhì)。)所存儲(chǔ)的工藝111包含著制造工藝中的許多自動(dòng)化工序。這些工序的內(nèi)容的實(shí)際格式是由系統(tǒng)和該系統(tǒng)中的各裝置來確定的。該工藝中的一些工序利用了存儲(chǔ)在方法數(shù)據(jù)庫(kù)113中的方法。方法可被不同的工藝所共用?？刂破?03控制著如生產(chǎn)系統(tǒng)105這樣的自動(dòng)化環(huán)境的操作，生產(chǎn)系統(tǒng)105最終產(chǎn)生生產(chǎn)產(chǎn)品107，或按實(shí)驗(yàn)的安排產(chǎn)生測(cè)試產(chǎn)品109。因此，本發(fā)明允許使用者提出實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求，產(chǎn)生基本工藝的派生工藝，并跟蹤實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的狀態(tài)。
參考圖2，這是根據(jù)本發(fā)明的至少某些實(shí)施例的用于實(shí)驗(yàn)管理的整個(gè)方法的流程圖。概念上的四個(gè)階段(如上所述)包括命令管理201，制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)配置203，執(zhí)行205，和分析207。
在下文進(jìn)一步詳細(xì)說明的命令管理階段201將定義實(shí)驗(yàn)命令。典型的是，在實(shí)驗(yàn)命令中將一個(gè)實(shí)驗(yàn)定義為一組請(qǐng)求，并將其規(guī)定為一種偏離現(xiàn)有工藝的偏差。實(shí)驗(yàn)命令在被批準(zhǔn)得以進(jìn)行下一階段之前，須經(jīng)各種人員的傳送、審閱以及變化。
在MES配置階段203，實(shí)驗(yàn)命令被轉(zhuǎn)換為實(shí)驗(yàn)配置，即特殊的工藝數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)可由生產(chǎn)系統(tǒng)中的各部分加以執(zhí)行。工藝數(shù)據(jù)采用各生產(chǎn)系統(tǒng)部分所期望的格式。在典型情況下，在基本工藝的各工序之間插入(和/或替代現(xiàn)有工序)用于進(jìn)行實(shí)驗(yàn)的數(shù)據(jù)。
在執(zhí)行階段205，基于實(shí)驗(yàn)配置來完成材料的執(zhí)行。這一階段大部分或全部都是由生產(chǎn)系統(tǒng)部分自動(dòng)完成的。在這一執(zhí)行階段203，所實(shí)施的配置中的每一工序的結(jié)果都要記錄。
在分析階段207，將報(bào)告和分析實(shí)驗(yàn)的結(jié)果。這可由計(jì)算機(jī)自動(dòng)完成，和/或可包括使用者所作分析。
參考圖3A和3B，其為圖2中整個(gè)方法的示例性命令管理階段的流程圖，如本發(fā)明的至少某些實(shí)施例所設(shè)想的。這一階段允許在實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求審閱和簽發(fā)(sign-off)后，請(qǐng)求進(jìn)行和完成實(shí)驗(yàn)。在步驟301，最初由請(qǐng)求者來定義實(shí)驗(yàn)。為便于實(shí)驗(yàn)，所設(shè)想的是，請(qǐng)求可以用任何適當(dāng)?shù)男问教岢?。一種適當(dāng)?shù)男问绞请娮游臋n形式的文字描述。請(qǐng)注意，實(shí)驗(yàn)可被非正式地描述。并不一定要以偏離現(xiàn)有工藝的偏差形式來為最初的實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求定義實(shí)驗(yàn)。
在步驟303產(chǎn)生實(shí)驗(yàn)對(duì)象(或以其他方式存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù))。收集最初的信息以標(biāo)識(shí)請(qǐng)求者和實(shí)驗(yàn)，例如以對(duì)象的形式存儲(chǔ)該信息。隨后將實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求分送給分配表中所標(biāo)識(shí)的合適的使用者。
在步驟305，接到實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求(例如用于審閱)的使用者可對(duì)該實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求附加外部文件、記錄、表格或其他文檔?？衫檬刮臋n與實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求相關(guān)聯(lián)的能力來幫助實(shí)現(xiàn)有關(guān)實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的用戶交互作用。然后，這些文檔可被其他使用者查閱。
在步驟307，使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)確定對(duì)特定基本工藝所做變化。使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)也可確定要修改的基本工藝。還有，在步驟309，使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)將確定何時(shí)從分出一批控制裝置，以及何時(shí)執(zhí)行該批特殊的事務(wù)處理。在步驟311，使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)確定哪個(gè)方法發(fā)生變化，如果有，確定需要變化的內(nèi)容。在已經(jīng)確定對(duì)基本工藝所做的特定變化時(shí)，系統(tǒng)將這些變化作為處理數(shù)據(jù)加以接收和存儲(chǔ)。在步驟313，由于實(shí)驗(yàn)已被使用者初步掌握(tweaked)，將其傳送以便簽發(fā)，如圖3B所示。在步驟315，如果實(shí)驗(yàn)已為使用者們所批準(zhǔn)，本方法在步驟317結(jié)束，而實(shí)驗(yàn)則繼續(xù)發(fā)展到概念上的下一個(gè)階段。否則，本方法回到步驟305以便做進(jìn)一步處理。
圖3B說明簽發(fā)方法的一個(gè)實(shí)施例。在步驟321，接到實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求(例如用于審閱)的使用者可對(duì)于該實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求附加外部文件、記錄、表格或其他文檔，它們可隨后被其他使用者審閱。如果在步驟323對(duì)實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求附加或刪除文檔，或者如果在步驟325對(duì)實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求有狀態(tài)變化，這些信息將在步驟327公布。一種合適的公布方式是通過電子郵件將這些信息發(fā)送給列出的使用者。例如，一種狀態(tài)變化可以包括對(duì)于實(shí)驗(yàn)(或一部分實(shí)驗(yàn))的“簽發(fā)”。在步驟329，如果沒有收到最終批準(zhǔn)的指示(或贊成而沒有批準(zhǔn))，本方法在步驟321重復(fù)進(jìn)行。如果收到最終的批準(zhǔn)，該階段在步驟331結(jié)束。
參考圖4，這是圖2整個(gè)方法的配置階段203部分的流程圖。在配置階段，使用者可設(shè)定特定的實(shí)驗(yàn)。例如，使用者可設(shè)定實(shí)驗(yàn)特定的數(shù)據(jù)，如標(biāo)線或方法的細(xì)節(jié)。在步驟401，使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)檢索并審閱實(shí)驗(yàn)命令。如上所指出的，該實(shí)驗(yàn)命令可以是一個(gè)實(shí)驗(yàn)的非正式的描述。使用者能夠確定應(yīng)該如何執(zhí)行一種工藝以影響所請(qǐng)求的實(shí)驗(yàn)，或者例如通過解析該實(shí)驗(yàn)的描述和識(shí)別出表明所請(qǐng)求內(nèi)容的特定的關(guān)鍵字或詞組，使得該工藝可自動(dòng)執(zhí)行。本發(fā)明的至少某些實(shí)施例設(shè)想到可利用(舉例來說)各種專門的系統(tǒng)技術(shù)來完成這一工作。本發(fā)明的至少某些實(shí)施例也設(shè)想了自動(dòng)執(zhí)行與使用者參與的一些組合。
同樣參考圖4，在步驟403，使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)確定要對(duì)一個(gè)特定基本工藝所做的變化。使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)還可確定要經(jīng)修改的基本工藝。同樣，在步驟405，使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)將確定何時(shí)分離出一批控制裝置，以及所要執(zhí)行的該批特定的事務(wù)處理。在步驟407，使用者(或自動(dòng)化實(shí)體)確定哪個(gè)方法發(fā)生變化，如果有，確定需要變化的內(nèi)容。在已經(jīng)確定要對(duì)基本工藝所做的特定變化時(shí)，系統(tǒng)將這些變化作為處理數(shù)據(jù)加以接收和存儲(chǔ)。
參考圖5，這是圖2整個(gè)方法的執(zhí)行階段205的流程圖。此時(shí)已經(jīng)以處理數(shù)據(jù)的方式定義了實(shí)驗(yàn)，該數(shù)據(jù)可被輸入給自動(dòng)化環(huán)境。此時(shí)即能以對(duì)該自動(dòng)化環(huán)境透明的方式處理該實(shí)驗(yàn)。在步驟501，自動(dòng)化環(huán)境接收用于修改后工藝的處理數(shù)據(jù)。在步驟503，自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行處理數(shù)據(jù)的步驟。如果有任何測(cè)試產(chǎn)品有待存儲(chǔ)，則系統(tǒng)在步驟505至507存儲(chǔ)這些測(cè)試產(chǎn)品。在步驟509，如果處理未完成，自動(dòng)化環(huán)境即返回到步驟503繼續(xù)處理。當(dāng)處理完成，這一階段在步驟511結(jié)束。
參考圖6，這是圖2整個(gè)方法的分析階段207的流程圖?？衫脤?shí)驗(yàn)歷史配置信息和歷史數(shù)據(jù)以進(jìn)行分析和報(bào)告。在步驟601，收集實(shí)驗(yàn)結(jié)果。在步驟603，可利用實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行分析。例如某個(gè)使用者可能希望進(jìn)行該結(jié)果的人工分析。在步驟605，自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行所請(qǐng)求的任何計(jì)算機(jī)化分析。在步驟607至609，如果對(duì)實(shí)驗(yàn)提出任何改變，則使用者可產(chǎn)生另一個(gè)實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求。在步驟611完成分析。
參考圖7，其為一個(gè)說明實(shí)驗(yàn)定義的視圖，其中實(shí)驗(yàn)定義如同于本發(fā)明的至少某些實(shí)施例中所設(shè)想的。具體地說，實(shí)驗(yàn)701最初與存儲(chǔ)數(shù)據(jù)相關(guān)聯(lián)，該數(shù)據(jù)包括例如由使用者所定義的屬性信息703，以及定義如何進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作的操作信息705。一個(gè)實(shí)驗(yàn)可能在最初產(chǎn)生時(shí)是無可借鑒的，或者其可由用作模板的另一個(gè)實(shí)驗(yàn)復(fù)制而來。典型的屬性可包括充分的信息，用以識(shí)別關(guān)于實(shí)驗(yàn)的有用信息，如實(shí)驗(yàn)標(biāo)識(shí)符、實(shí)驗(yàn)對(duì)象、請(qǐng)求者名字、實(shí)驗(yàn)名稱，請(qǐng)求者的電子郵箱地址。
當(dāng)實(shí)驗(yàn)被初步定義后，開始狀態(tài)將是“欠改變”狀態(tài)707(表明該實(shí)驗(yàn)可被改變)，而一旦實(shí)驗(yàn)被批準(zhǔn)，則結(jié)束階段是有效的(被分送的)711。在欠改變狀態(tài)之后而在有效的狀態(tài)之前，可能有一系列使用者定義的狀態(tài)709，它們處于使用者的控制之下。在實(shí)驗(yàn)被批準(zhǔn)并獲簽發(fā)后，就進(jìn)入有效的狀態(tài)。最好是，使用者在未獲適當(dāng)?shù)脑试S時(shí)，不能改變實(shí)驗(yàn)內(nèi)容?？梢杂衅渌褂谜叨x的屬性，以及附加的外部文檔和/或文件，及使用者定義的狀態(tài)模型。根據(jù)一種可能的實(shí)施方案，可將實(shí)驗(yàn)作為對(duì)象執(zhí)行。需指出的是，這種狀態(tài)表對(duì)應(yīng)于命令管理方法部分。
圖8-11是可結(jié)合用于本發(fā)明的至少某些實(shí)施例的可能的用戶界面的一些例子。首先參見圖8，這是用于實(shí)驗(yàn)編輯的示例性用戶界面的一種情況。用戶可在此關(guān)于提供實(shí)驗(yàn)811、實(shí)驗(yàn)屬性813及可選擇性關(guān)于實(shí)驗(yàn)類別815的信息。實(shí)驗(yàn)信息可包括概述實(shí)驗(yàn)描述的對(duì)象801。其他實(shí)驗(yàn)信息包括請(qǐng)求者標(biāo)識(shí)信息803(如名字、電子郵箱地址)；實(shí)驗(yàn)的基本工藝或狀態(tài)模型805；以及可選擇的在實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求后將到期的有效日期807。在這一初始界面所收集的信息與實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求相關(guān)聯(lián)。
參考圖9，這是用于實(shí)驗(yàn)編輯的示例性用戶界面的另一種情況，表明了與本發(fā)明的至少某些實(shí)施例結(jié)合使用的附件。在這些實(shí)施例中，諸如(但不限于是)文件、記錄、表格、Web地址這樣的文檔可附加到實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求或與其相關(guān)聯(lián)。圖9通過示例方式以文件名909列出幾個(gè)附加至實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的文檔本地文檔experiment.doc 901；另一文檔的文件路徑C\Experiment\Experiment.doc 903；一個(gè)網(wǎng)站www.consolium.com905；以及一個(gè)超鏈接文檔http//www.consolium.com/corp_events.html？phase＝ge 907。本例中的用戶界面也指出是否該文件是簡(jiǎn)單的參考文件911。
參考圖10，這是用于實(shí)驗(yàn)編輯的示例性用戶界面的另一種情況，表明了與本發(fā)明的至少某些實(shí)施例結(jié)合使用的實(shí)驗(yàn)內(nèi)容。這個(gè)示例性用戶界面允許訪問實(shí)驗(yàn)內(nèi)容1001、物理拆分細(xì)節(jié)1003和合并細(xì)節(jié)1005，該拆分對(duì)標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試材料做不同處理，而該合并則詳述在上述拆分后合并時(shí)如何處理標(biāo)準(zhǔn)和測(cè)試材料。實(shí)驗(yàn)內(nèi)容1001提供控制實(shí)驗(yàn)工藝的文件。其在此命名為實(shí)驗(yàn)工藝1007、實(shí)驗(yàn)路徑1009和實(shí)驗(yàn)操作1011。應(yīng)指出的是，尚可提供有關(guān)實(shí)驗(yàn)的更多信息，如處理是否是在拆分之前或拆分之后1013。
參考圖11，這是用于實(shí)驗(yàn)編輯的示例性用戶界面，表明與本發(fā)明結(jié)合使用的圓片級(jí)拆分細(xì)節(jié)。這里，處理數(shù)據(jù)提供在批量級(jí)、槽級(jí)或單元級(jí)上的細(xì)節(jié)，本實(shí)例涉及到槽級(jí)拆分。如圖所示，拆分細(xì)節(jié)1103提供了要拆分的槽和數(shù)量；以及與每個(gè)拆分相關(guān)聯(lián)的工藝規(guī)劃1105。
參考圖12，其表明本發(fā)明所設(shè)想的實(shí)驗(yàn)的至少某些實(shí)施例。每個(gè)實(shí)驗(yàn)命令1201可以與其各種文檔相關(guān)聯(lián)，如文件1203、表格1205、記錄1207和實(shí)驗(yàn)結(jié)果1209。使用者可將文檔附加到實(shí)驗(yàn)命令中/從實(shí)驗(yàn)命令中刪除文檔。優(yōu)選的是，將附加文檔視作一個(gè)事件，并可導(dǎo)致該事件例如通過e-mail(電子郵件)或工作流程而公布。
使用者可復(fù)制實(shí)驗(yàn)命令，連同其附加文檔、屬性和其他相關(guān)信息。
還有，根據(jù)本發(fā)明的至少某些實(shí)施例，對(duì)于實(shí)驗(yàn)命令的變化可存儲(chǔ)在歷史記錄中。所存儲(chǔ)的變化包括本機(jī)屬性(native attribute)、外部文檔增添/刪除及與其他對(duì)象相關(guān)聯(lián)的變化。
考慮一個(gè)實(shí)驗(yàn)的例子，參考圖3至圖6。在這個(gè)例子中，使用者想讓一個(gè)芯片的指定層加厚10％。這個(gè)例子中的實(shí)驗(yàn)是源于一個(gè)工程師的想法。該實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求由使用者定義，并以步驟301至步驟303提交給系統(tǒng)。它可能是一個(gè)帶有簡(jiǎn)單文字描述的非常普通的請(qǐng)求。為該實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求生成一個(gè)實(shí)驗(yàn)對(duì)象，實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求在步驟305至步驟313被路由到適當(dāng)?shù)氖褂谜咭员闩鷾?zhǔn)。批準(zhǔn)可以是自動(dòng)化的，如通過電子郵件傳送同時(shí)等待被批準(zhǔn)時(shí)的標(biāo)記。如步驟321至步驟329所示，在收到對(duì)實(shí)驗(yàn)的簽發(fā)指令之前，使用者可對(duì)于實(shí)驗(yàn)對(duì)象附加和/或刪除相關(guān)文件、記錄等。如果有附加或刪除，或如果實(shí)驗(yàn)改變了狀態(tài)，就對(duì)使用者公布事件，這展示于步驟323至327中。審閱處理將繼續(xù)到收到簽發(fā)指令為止。
一旦收到簽發(fā)指令，實(shí)驗(yàn)命令即受到審閱并被轉(zhuǎn)換成處理數(shù)據(jù)，如圖4所示。這種審閱和轉(zhuǎn)換可以是一種由具有適當(dāng)經(jīng)驗(yàn)的人員完成的人工處理。另外，它也可全部或部分地由自動(dòng)化裝置來完成。例如，在任何情況下，可在步驟403確定將成為批量中對(duì)照物的圓片1-11(即已有的步驟將不受影響)，而該批量中的其余圓片將成為測(cè)試產(chǎn)品。同樣可確定，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)基本工藝的第500次循環(huán)中的某個(gè)特定參數(shù)必須從100變?yōu)?00?？稍诓襟E405規(guī)定，對(duì)照物將被從其他處理中拆分出來。如有必要的話，將在步驟407創(chuàng)造一種新方法，或修改現(xiàn)有的方法。所有的圓片均將處于自動(dòng)控制下。兩個(gè)批量將重新被結(jié)合和保持，或傳送以用于分析。與基本工藝的各種變化、特定執(zhí)行的事務(wù)處理、和任何方法變化有關(guān)的信息將被作為處理數(shù)據(jù)而存儲(chǔ)。需指出的是，實(shí)驗(yàn)可要求收集額外的或不同的信息，作為處理結(jié)果的一部分。
然后進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，如圖5所示。在這一點(diǎn)上，實(shí)驗(yàn)處理數(shù)據(jù)所受處理與例行的控制工作沒有不同之處。亦即不需要另外的處理。在步驟501，處理數(shù)據(jù)被輸入到制造系統(tǒng)，而通過在步驟503執(zhí)行該處理數(shù)據(jù)，測(cè)試可自動(dòng)進(jìn)行。在步驟505-507存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)執(zhí)行過程中產(chǎn)生的結(jié)果。
在實(shí)驗(yàn)之后，可以依據(jù)測(cè)試材料到標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品材料將測(cè)試產(chǎn)品重新分類，若其在容差范圍內(nèi)將被運(yùn)送給客戶。可選擇的是，非標(biāo)準(zhǔn)的處理材料可被廢棄(scrappeds)，或留待進(jìn)一步分析，如圖6所示。
盡管結(jié)合上文的特定實(shí)施例描述本發(fā)明，但許多替換、修改和變化對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員來說是顯而易見的。因此，所提出的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例用意是說明性的而不是限定性的。在不脫離所附權(quán)利要求定義的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以做出各種變化。
例如，完全從頭開始定義整個(gè)一個(gè)實(shí)驗(yàn)是可能的。一個(gè)典型的半導(dǎo)體制造工藝有500到750個(gè)工序，因此，作為源自現(xiàn)有工藝的一種變例來定義一個(gè)實(shí)驗(yàn)經(jīng)常是更加有效的。
作為另一個(gè)例子，控制器可以是一個(gè)通用計(jì)算機(jī)，一個(gè)特殊編程的專用計(jì)算機(jī)；它也可作為一種分布式計(jì)算機(jī)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)，而不是一臺(tái)獨(dú)立計(jì)算機(jī)。
權(quán)利要求
1.一種與自動(dòng)處理技術(shù)有關(guān)的用于管理實(shí)驗(yàn)的計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，包括以下步驟(A)接收實(shí)驗(yàn)命令，所述實(shí)驗(yàn)命令包括偏離可在自動(dòng)化環(huán)境中操作的基本工藝的至少一個(gè)偏差；(B)獲得所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)；(C)將所述實(shí)驗(yàn)命令的至少一部分轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)為處理數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)適合于被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行；和(D)根據(jù)所述處理數(shù)據(jù)，使得所述實(shí)驗(yàn)與所述基本工藝的一部分一起被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述的獲得步驟進(jìn)一步包括以下步驟存儲(chǔ)定義所述實(shí)驗(yàn)命令的數(shù)據(jù)，向多個(gè)使用者分送所述實(shí)驗(yàn)命令，從至少一個(gè)所述使用者獲得對(duì)所述實(shí)驗(yàn)命令的變化，并且從至少一個(gè)使用者接收對(duì)于所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，進(jìn)一步包括對(duì)所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求附加文檔的步驟。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，進(jìn)一步包括以下步驟對(duì)附加到所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的文檔做出響應(yīng)，或?qū)λ鰧?shí)驗(yàn)命令的狀態(tài)中的變化做出響應(yīng)，而公布表明所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的狀態(tài)變化的信息。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述的轉(zhuǎn)換步驟進(jìn)一步包括接收所述處理數(shù)據(jù)的步驟。
6.根據(jù)權(quán)利要求5的方法，其中所述實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品和至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品；并且其中所述處理數(shù)據(jù)包括所述基本工藝的指示、對(duì)所述基本工藝的變化、和一對(duì)照物組的拆分；且其中所述對(duì)照物組的拆分根據(jù)所述基本工藝產(chǎn)生至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品，而對(duì)所述基本工藝的變化產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，進(jìn)一步包括接收和存儲(chǔ)所述實(shí)驗(yàn)的執(zhí)行結(jié)果的步驟。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中所述自動(dòng)化環(huán)境產(chǎn)生半導(dǎo)體技術(shù)。
9.一種與自動(dòng)處理技術(shù)有關(guān)的用于管理實(shí)驗(yàn)的計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的系統(tǒng)，包括(A)實(shí)驗(yàn)命令，所述實(shí)驗(yàn)命令包括偏離可在自動(dòng)化環(huán)境中操作的基本工藝的至少一個(gè)偏差；(B)所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)，它是對(duì)所述實(shí)驗(yàn)命令的接收做出響應(yīng)而獲得的；(C)適合于被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行的處理數(shù)據(jù)，它是由所述實(shí)驗(yàn)命令的至少一部分轉(zhuǎn)換而來的；并且(D)其中所述自動(dòng)化環(huán)境根據(jù)所述處理數(shù)據(jù)，使得所述實(shí)驗(yàn)與所述基本工藝的至少一部分一起被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行。
10.根據(jù)權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中所述批準(zhǔn)進(jìn)一步包括定義所述實(shí)驗(yàn)命令的被存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，所述實(shí)驗(yàn)命令向多個(gè)使用者的分送，來自至少一個(gè)所述使用者的對(duì)所述實(shí)驗(yàn)命令的被存儲(chǔ)的變化，和被接收到的來自至少一個(gè)使用者的對(duì)于所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求9的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括至少一個(gè)附加于所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的文檔。
12.根據(jù)權(quán)利要求9的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括表明所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的狀態(tài)變化的信息，該信息是對(duì)附加于所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的文檔做出響應(yīng)或?qū)λ鰧?shí)驗(yàn)命令的狀態(tài)中的變化做出響應(yīng)而公布的。
13.根據(jù)權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中所述處理數(shù)據(jù)是從一個(gè)使用者接收到的。
14.根據(jù)權(quán)利要求13的系統(tǒng)，其中所述實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品和至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品；并且其中所述處理數(shù)據(jù)包括基本工藝的指示、對(duì)所述基本工藝的變化、和一對(duì)照物組的拆分；且其中所述對(duì)照物組的拆分根據(jù)所述基本工藝產(chǎn)生至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品，而對(duì)所述基本工藝的變化產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品。
15.根據(jù)權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中所述實(shí)驗(yàn)的執(zhí)行結(jié)果被接收和存儲(chǔ)。
16.根據(jù)權(quán)利要求9的系統(tǒng)，其中所述自動(dòng)化環(huán)境產(chǎn)生半導(dǎo)體技術(shù)。
17.一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其包含可被計(jì)算機(jī)執(zhí)行的指令，所述指令包括一種與自動(dòng)處理技術(shù)有關(guān)的用于管理實(shí)驗(yàn)的計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，所述指令用于完成以下步驟(A)接收實(shí)驗(yàn)命令，所述實(shí)驗(yàn)命令包括偏離可在自動(dòng)化環(huán)境中操作的基本工藝的至少一個(gè)偏差；(B)獲得所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)；(C)將所述實(shí)驗(yàn)命令的至少一部分轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)為處理數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)適合于被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行；和(D)根據(jù)所述處理數(shù)據(jù)，使得所述實(shí)驗(yàn)與所述基本工藝的至少一部分一起被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行。
18.根據(jù)權(quán)利要求17的介質(zhì)，其中所述的獲得步驟進(jìn)一步包括以下步驟存儲(chǔ)定義所述實(shí)驗(yàn)命令的數(shù)據(jù)，向多個(gè)使用者分送所述實(shí)驗(yàn)命令，從至少一個(gè)所述使用者獲得對(duì)所述實(shí)驗(yàn)命令的變化，并且從至少一個(gè)使用者接收對(duì)于所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)。
19.根據(jù)權(quán)利要求17的介質(zhì)，其中所述計(jì)算機(jī)程序進(jìn)一步包括對(duì)所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求附加文檔的步驟。
20.根據(jù)權(quán)利要求17的介質(zhì)，其中所述計(jì)算機(jī)程序進(jìn)一步包括以下步驟對(duì)附加到所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的文檔做出響應(yīng)，或?qū)λ鰧?shí)驗(yàn)命令的狀態(tài)中的變化做出響應(yīng)，而公布表明所述實(shí)驗(yàn)請(qǐng)求的狀態(tài)變化的信息。
21.根據(jù)權(quán)利要求17的介質(zhì)，其中所述的轉(zhuǎn)換步驟進(jìn)一步包括接收所述處理數(shù)據(jù)的步驟。
22.根據(jù)權(quán)利要求21的介質(zhì)，其中所述實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品和至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品；并且其中所述處理數(shù)據(jù)包括所述基本工藝的指示、對(duì)所述基本工藝的變化、和一對(duì)照物組的拆分；且其中所述對(duì)照物組的拆分根據(jù)所述基本工藝產(chǎn)生至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品，而對(duì)所述基本工藝的變化產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品。
23.根據(jù)權(quán)利要求17的介質(zhì)，其中所述計(jì)算機(jī)程序進(jìn)一步包括接收和存儲(chǔ)所述實(shí)驗(yàn)的執(zhí)行結(jié)果的步驟。
24.根據(jù)權(quán)利要求17的介質(zhì)，其中所述自動(dòng)化環(huán)境產(chǎn)生半導(dǎo)體技術(shù)。
25.一種與自動(dòng)處理技術(shù)有關(guān)的用于管理實(shí)驗(yàn)的計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，包括以下步驟(A)接收實(shí)驗(yàn)命令，所述實(shí)驗(yàn)命令包括偏離可在自動(dòng)化環(huán)境中操作的基本工藝的至少一個(gè)偏差；(B)獲得所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)；(C)將所述實(shí)驗(yàn)命令的至少一部分轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)為處理數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)適合于被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行；(D)根據(jù)所述處理數(shù)據(jù)，使得所述與所述基本工藝的至少一部分一起被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行；(E)其中所述的獲得步驟進(jìn)一步包括以下步驟存儲(chǔ)定義所述實(shí)驗(yàn)命令的數(shù)據(jù)，向多個(gè)使用者分送所述實(shí)驗(yàn)命令，從至少一個(gè)所述使用者獲得對(duì)所述實(shí)驗(yàn)命令的變化，并且從至少一個(gè)使用者接收對(duì)于所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)；而且(F)其中所述實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品和至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品；并且其中所述處理數(shù)據(jù)包括所述基本工藝的指示、對(duì)所述基本工藝的變化、和一對(duì)照物組的拆分；且其中所述對(duì)照物組的拆分根據(jù)所述基本工藝產(chǎn)生至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品，而對(duì)所述基本工藝的變化產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品。
26.一種與自動(dòng)處理技術(shù)有關(guān)的用于管理實(shí)驗(yàn)的計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的系統(tǒng)，包括(A)實(shí)驗(yàn)命令，所述實(shí)驗(yàn)命令包括偏離可在自動(dòng)化環(huán)境中操作的基本工藝的至少一個(gè)偏差；(B)所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)，它是對(duì)所述實(shí)驗(yàn)命令的接收做出響應(yīng)而獲得的；(C)適合于被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行的處理數(shù)據(jù)，它是由所述實(shí)驗(yàn)命令的至少一部分轉(zhuǎn)換而來的；(D)其中所述自動(dòng)化環(huán)境根據(jù)所述處理數(shù)據(jù)，使得所述實(shí)驗(yàn)與所述基本工藝的至少一部分一起被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行；(E)其中所述批準(zhǔn)進(jìn)一步包括定義所述實(shí)驗(yàn)命令的被存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，所述實(shí)驗(yàn)命令向多個(gè)使用者的分送，來自至少一個(gè)使用者的對(duì)所述實(shí)驗(yàn)命令的被存儲(chǔ)的變化，和被接收到的來自至少一個(gè)使用者的對(duì)于所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)；而且(F)其中所述實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品和至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品；并且其中所述處理數(shù)據(jù)包括所述基本工藝的指示、對(duì)所述基本工藝的變化、和一對(duì)照物組的拆分；且其中所述對(duì)照物組的拆分根據(jù)所述基本工藝產(chǎn)生至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品，而對(duì)所述基本工藝的變化產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品。
27.一種計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，其包含可被計(jì)算機(jī)執(zhí)行的指令，所述指令包括一種與自動(dòng)處理技術(shù)有關(guān)的用于管理實(shí)驗(yàn)的計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法，所述指令用于完成以下步驟(A)接收實(shí)驗(yàn)命令，所述實(shí)驗(yàn)命令包括偏離可在自動(dòng)化環(huán)境中操作的基本工藝的至少一個(gè)偏差；(B)獲得所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)；(C)將所述實(shí)驗(yàn)命令的至少一部分轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)為處理數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)適合于被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行；和(D)根據(jù)所述處理數(shù)據(jù)，使得所述實(shí)驗(yàn)與所述基本工藝的至少一部分一起被所述自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行；(E)其中所述的獲得步驟進(jìn)一步包括以下步驟存儲(chǔ)定義所述實(shí)驗(yàn)命令的數(shù)據(jù)，向多個(gè)使用者分送所述實(shí)驗(yàn)命令，從至少一個(gè)所述使用者獲得對(duì)所述實(shí)驗(yàn)命令的變化，并且從至少一個(gè)使用者接收對(duì)于所述實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)；(F)其中所述實(shí)驗(yàn)產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品和至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品；并且其中所述處理數(shù)據(jù)包括所述基本工藝的指示、基本工藝的變化、和一對(duì)照物組的拆分；且其中所述對(duì)照物組的拆分根據(jù)所述基本工藝產(chǎn)生至少一個(gè)生產(chǎn)產(chǎn)品，而對(duì)所述基本工藝的變化產(chǎn)生至少一個(gè)測(cè)試產(chǎn)品。
全文摘要
在自動(dòng)化環(huán)境中為自動(dòng)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)提供系統(tǒng)、方法和介質(zhì)，而不需要拆分出這一環(huán)境中的測(cè)試對(duì)象(如半導(dǎo)體芯片或芯片)。一個(gè)“實(shí)驗(yàn)”是利用自動(dòng)化環(huán)境的已有(如預(yù)先規(guī)定的)工藝的一種預(yù)定的偏差。用于實(shí)驗(yàn)管理的計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)的方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)可讀介質(zhì)，如那些與半導(dǎo)體技術(shù)相關(guān)的方法、系統(tǒng)和介質(zhì)。實(shí)驗(yàn)命令包括能夠在自動(dòng)化環(huán)境中操作的基本工藝的某些偏差。從用戶分布列表中獲得實(shí)驗(yàn)命令的批準(zhǔn)，同時(shí)允許用戶與實(shí)驗(yàn)命令附加文檔，或可修改實(shí)驗(yàn)。將實(shí)驗(yàn)命令轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)為處理數(shù)據(jù)，該數(shù)據(jù)適合于在所述自動(dòng)化環(huán)境中執(zhí)行。根據(jù)處理數(shù)據(jù)，使得實(shí)驗(yàn)與所述基本工藝的至少一部分一起被自動(dòng)化環(huán)境執(zhí)行。
文檔編號(hào)G05B19/418GK1541348SQ02815683
公開日2004年10月27日 申請(qǐng)日期2002年8月6日 優(yōu)先權(quán)日2001年8月14日
發(fā)明者B·N·克里希納穆爾蒂, P·C·霍金斯, B N 克里希納穆爾蒂, 霍金斯 申請(qǐng)人:應(yīng)用材料有限公司