專利名稱：基于數(shù)據(jù)上下文處理數(shù)據(jù)的方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體處理系統(tǒng)，尤其涉及能管理數(shù)據(jù)的半導體處理系統(tǒng)。
背景技術：
計算機通常用于控制，監(jiān)控，和初始化生產過程。對于半導體制造廠中的給定復雜度，計算機非常適于以下操作重入晶片流(reentrant wafer flows)，關鍵處理步驟，和處理的可維護性。將各種輸入/輸出(I/O)設備用于控制和監(jiān)控過程流，晶片狀態(tài)，和維護進度表。半導體制造廠存在多種工具，用于完成從諸如蝕刻的關鍵操作到批量處理和檢查的復雜步驟。多數(shù)工具的安裝是使用顯示屏完成，顯示屏是包含安裝軟件的控制計算機的圖形用戶界面(GUI)的一部分。半導體處理工具的安裝是個耗時的過程。
半導體處理設備要求持續(xù)監(jiān)控。處理條件隨著關鍵處理參數(shù)的微小變化而改變，產生不期望的結果。在蝕刻氣體的合成或壓力，處理腔體，或晶片溫度中易于產生較小變化。在很多情況下，通過僅參考所顯示的處理數(shù)據(jù)不能發(fā)現(xiàn)反映處理特性惡化的處理數(shù)據(jù)的改變。
設備控制通常由具有各種控制器的多個不同控制系統(tǒng)執(zhí)行。有些控制系統(tǒng)可能具有諸如觸摸屏的人機界面，而其它系統(tǒng)可能僅采集和顯示諸如溫度的一個變量。監(jiān)控系統(tǒng)必須能采集用于過程控制系統(tǒng)制表的數(shù)據(jù)。監(jiān)控系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集必須處理單變量和多變量數(shù)據(jù)，分析和顯示數(shù)據(jù)，并能選擇將采集的處理變量。處理中的各種條件由每個處理腔體中提供的不同傳感器監(jiān)控，監(jiān)控條件數(shù)據(jù)被傳輸并在控制計算機中匯集。

發(fā)明內容
本發(fā)明是用于在半導體處理環(huán)境中管理數(shù)據(jù)的方法。在處理期間采集原始數(shù)據(jù)。而且，接收跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)。將原始數(shù)據(jù)與跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)同步，以創(chuàng)建晶片數(shù)據(jù)。根據(jù)原始數(shù)據(jù)計算匯總數(shù)據(jù)，并創(chuàng)建包含晶片數(shù)據(jù)和匯總(summary)數(shù)據(jù)的文件。


并入并構成說明書的一部分的附圖，說明本發(fā)明的各種實施例，并與上述一般性描述和以下實施例的詳細描述一起，用于解釋本發(fā)明的原理。參照以下詳細描述，尤其與附圖一起考慮時，本發(fā)明的更完全理解及其多個相關優(yōu)點將更明確，其中圖1所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的高級過程控制(APC)半導體制造系統(tǒng)的示例方框圖；圖2所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的數(shù)據(jù)中心的示例互連圖；圖3所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的數(shù)據(jù)庫的示例數(shù)據(jù)流程圖；圖4A和4B所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，用于在半導體處理系統(tǒng)中管理數(shù)據(jù)的流程圖的簡化視圖；圖5所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于策略和計劃的示例流程圖；圖6所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于數(shù)據(jù)預處理過程的示例視圖；圖7所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于參數(shù)保存屏幕的示例流程圖；圖8所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于數(shù)據(jù)記錄器接口的示例實施例；圖9所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的用于發(fā)射光譜儀(OES)傳感器的示例流程圖；圖10所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的示例匯總數(shù)據(jù)創(chuàng)建過程；圖11所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的上下文(context)選擇屏幕的示例視圖；圖12所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的工具狀態(tài)屏幕的示例視圖；圖13所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的系統(tǒng)配置屏幕的示例視圖；圖14所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的圖表選擇屏幕的示例視圖；圖15所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的另一圖表選擇屏幕的示例視圖；圖16所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的跟蹤圖表配置屏幕的示例視圖；圖17所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的晶片匯總圖表屏幕的示例視圖；圖18A和18B所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的圖表選擇屏幕的示例視圖及所選圖表的示例視圖；
圖19A-19C所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的主元分析(principal component analysis)(PCA)計劃面板(plan panel)的示例視圖；圖20A-20C所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的部分最小二乘法(PLS)計劃面板的示例視圖；以及圖21A-21E所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的文件輸出計劃面板的示例視圖。
具體實施例方式
圖1所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的半導體制造環(huán)境中APC系統(tǒng)的示例方框圖。在所述實施例中，半導體制造系統(tǒng)環(huán)境100包含至少一個半導體處理工具110，多個處理模塊120，PM1到PM4，多個用于監(jiān)控工具，模塊和處理的傳感器130，傳感器接口140，和APC系統(tǒng)145。APC系統(tǒng)145可包括接口服務器(IS)150，APC服務器160，客戶工作站170，GUI組件180，和數(shù)據(jù)庫190。在一個實施例中，IS 150可包括一個被視為“中心(hub)”的實時內存數(shù)據(jù)庫。
APC系統(tǒng)145可包括工具級(TL)控制器(未示出)，用于控制處理工具，處理模塊，和傳感器中的至少一個。
在所示意的實施例中，1個工具110與4個處理模塊120一起顯示，但本發(fā)明并不如此要求。APC系統(tǒng)可與多個處理工具連接，而且APC系統(tǒng)可用于配置和監(jiān)控多個處理工具，其中處理工具包括具有一個或多個處理模塊的集群(cluster)工具。例如，這些工具及其相關處理模塊可用于執(zhí)行蝕刻，沉積，擴散，清洗，測量，拋光，顯影，傳輸，存儲，裝載，卸載，排列，溫度控制，光刻技術(lithography)，集成計量(IM)，光數(shù)據(jù)加工(ODP)，粒子探測及其它半導體制造處理。
在一個實施例中，處理工具110可包括工具代理(agent)(未示出)，它是運行于工具110上的軟件程序，并能提供事件信息，上下文信息，以及用于將數(shù)據(jù)采集與工具處理同步的啟動-停止定時命令。而且，APC系統(tǒng)145可包括代理客戶(未示出)，其可以是用于提供到工具代理的連接的軟件程序。例如，APC系統(tǒng)145可通過互聯(lián)網(wǎng)或企業(yè)內部網(wǎng)連接到處理工具110。
在一個實施例中，IS 150使用套接字(socket)通信。例如，可使用TCP/IP套接字通信實現(xiàn)接口。每次通信之前建立套接字。然后，將消息作為字符串發(fā)送。發(fā)送消息之后取消套接字。
可選地，接口可構造為用C/C++代碼擴展的TCL程序，或使用特定類的C/C++程序，例如分布式消息中心(DMH)客戶類。這種情況下，通過套接字連接的采集程序/工具事件的邏輯可改變?yōu)閷⑹录捌渖舷挛臄?shù)據(jù)插入到IS 150的表格中。
工具代理可發(fā)送消息從而為APC系統(tǒng)提供事件和上下文信息。例如，工具代理可發(fā)送批次啟動/停止消息，批量啟動/停止消息，晶片啟動/停止消息，配方啟動/停止消息，和/或處理啟動/停止消息。此外，工具代理可用于發(fā)送和/或接收設置點數(shù)據(jù)以及發(fā)送和/或接收維護計數(shù)器數(shù)據(jù)。
當處理工具包含內部傳感器時，處理工具可視為傳感器，并將此數(shù)據(jù)發(fā)送到APC系統(tǒng)。數(shù)據(jù)文件可用于傳輸此數(shù)據(jù)。例如，某些處理工具能創(chuàng)建跟蹤文件，跟蹤文件在創(chuàng)建時就在工具中壓縮?？蓚鬏攭嚎s和/或未壓縮文件。在處理工具中創(chuàng)建跟蹤文件時，跟蹤文件可包括或不包括終點檢測(EPD)數(shù)據(jù)。晶片處理完成之后，可更新和傳輸跟蹤數(shù)據(jù)。跟蹤文件可傳輸?shù)接糜诿總€處理的正確目錄。在一個實施例中，工具跟蹤數(shù)據(jù)，維護數(shù)據(jù)，和EPD數(shù)據(jù)可從處理工具110獲取。
圖1顯示了4個處理模塊，但在本發(fā)明中并不要求。半導體處理系統(tǒng)可包括任意數(shù)量的處理工具，其具有任意數(shù)量與之相關的處理模塊和獨立處理模塊。APC系統(tǒng)145(包括一個或多個TL控制器)可用于配置，控制和監(jiān)控任意數(shù)量的處理工具，其具有任意數(shù)量與之相關的處理模塊和獨立處理模塊。APC系統(tǒng)可采集，提供，處理，存儲和顯示來自于涉及處理工具，處理模塊和傳感器的處理的數(shù)據(jù)。
處理模塊可使用諸如ID，模塊類型，氣體參數(shù)，和維護計數(shù)器的數(shù)據(jù)來識別，此數(shù)據(jù)可存儲到數(shù)據(jù)庫中。當配置新的處理模塊時，可使用GUI組件180中的模塊配置面板/屏幕提供此數(shù)據(jù)類型。例如，APC系統(tǒng)可支持以下來自東京電子有限公司的工具類型Unity相關處理模塊，Trias相關處理模塊，Telius相關處理模塊，OES相關處理模塊，ODP相關處理模塊。可選地，APC系統(tǒng)可支持其它工具及其相關處理模塊。例如，APC系統(tǒng)145可通過互聯(lián)網(wǎng)或企業(yè)內部網(wǎng)連接到處理模塊120。
在所示意的實施例中，傳感器130和一個相關處理模塊一起顯示，但本發(fā)明并不如此要求。任意數(shù)量的傳感器可連接到一個處理模塊。傳感器130可包括ODP傳感器，OES傳感器，電壓/電流探頭(VIP)傳感器，模擬傳感器以及其它類型的包含數(shù)字探頭的半導體處理傳感器。APC數(shù)據(jù)管理應用可用于收集，處理，顯示，和輸出來自多種傳感器的數(shù)據(jù)。
在APC系統(tǒng)中，傳感器數(shù)據(jù)可由外部和內部源提供。外部源定義為使用外部數(shù)據(jù)記錄器類型；數(shù)據(jù)記錄器對象可分配到每個外部源；可使用狀態(tài)變量表示法。
傳感器配置信息組合了傳感器類型和傳感器實例參數(shù)。傳感器類型是對應于傳感器功能的通用術語。傳感器實例將傳感器類型與具體處理模塊和工具上的具體傳感器匹配。對于與工具連接的每個物理傳感器，配置至少一個傳感器實例。
例如，OES傳感器可以是一種傳感器類型；電壓/電流(VI)探頭是另一種傳感器類型，模擬傳感器可能是不同的傳感器類型。而且，存在附加的通用傳感器類型和附加的具體傳感器類型。傳感器類型包括運行時設置特定種類的傳感器的所有變量。變量可以是靜態(tài)的(所有此類型的傳感器都具有相同值)，可由實例配置(此傳感器類型的每個實例具有唯一值)，或可由數(shù)據(jù)采集計劃動態(tài)配置(每當傳感器在運行時被激活時，賦予其不同值)。
“可由實例配置”變量可以是傳感器/探頭IP地址。此地址隨實例變化(對于每個處理腔體)，但不是每次運行都變化?！翱捎蓴?shù)據(jù)采集計劃配置”變量可以是諧波頻率列表?；谏舷挛男畔?，對每個晶片進行不同配置。例如，晶片上下文信息可包括工具ID，模塊ID，槽ID，配方ID，盒ID，開始時間和結束時間?？赡艽嬖谙嗤瑐鞲衅黝愋偷亩鄠€實例。傳感器實例對應于具體硬件，將傳感器類型關聯(lián)到工具和/或處理模塊(腔體)。換言之，傳感器類型通用，傳感器實例具體。
如圖1所示，傳感器接口140可用于提供傳感器130和APC系統(tǒng)145之間的接口。例如，APC系統(tǒng)145可通過互聯(lián)網(wǎng)或企業(yè)內部網(wǎng)連接到傳感器接口140，傳感器接口140可通過互聯(lián)網(wǎng)或企業(yè)內部網(wǎng)連接到傳感器130。而且，傳感器接口140可作為協(xié)議轉換器，媒體轉換器和數(shù)據(jù)緩沖器。而且，傳感器接口140可提供諸如數(shù)據(jù)采集，點對點通信，I/O掃描的實時功能。可選地，可去掉傳感器接口140，將傳感器130直接連接到APC系統(tǒng)145。
傳感器130可以是靜態(tài)或動態(tài)傳感器。例如，動態(tài)VI傳感器可具有在運行時利用由數(shù)據(jù)采集計劃提供的參數(shù)建立的頻率范圍，采樣周期，量程，觸發(fā)和偏移量信息。傳感器130可以是靜態(tài)和/或動態(tài)模擬傳感器。例如，模擬傳感器可用于為ESC電壓提供數(shù)據(jù)，匹配器參數(shù)，氣體參數(shù)，流量，壓力，溫度，RF參數(shù)，和其它相關處理數(shù)據(jù)。傳感器130可包括以下至少一個VIP探頭，OES傳感器，模擬傳感器，數(shù)字傳感器，ODP傳感器和其它半導體處理傳感器。
在一個實施例中，傳感器接口可將數(shù)據(jù)點寫入原始數(shù)據(jù)文件。例如，IS 150可向傳感器接口發(fā)送開始命令以初始化數(shù)據(jù)采集，發(fā)送停止命令使文件關閉。于是，IS 150可讀取和分析傳感器數(shù)據(jù)文件，處理數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)值發(fā)送至內存數(shù)據(jù)表格。
可選地，傳感器接口可將數(shù)據(jù)實時輸入IS 150?？商峁╅_關以允許傳感器接口將文件寫入盤中。傳感器接口也可提供讀取文件的方法，將數(shù)據(jù)點輸入IS 150用于離線處理和分析。
如圖1所示，APC系統(tǒng)145可包括數(shù)據(jù)庫190。工具維護數(shù)據(jù)可存儲于數(shù)據(jù)庫190。而且，來自工具的原始數(shù)據(jù)和跟蹤數(shù)據(jù)可作為文件存儲于數(shù)據(jù)庫190。數(shù)據(jù)量依賴于用戶配置的數(shù)據(jù)采集計劃，處理執(zhí)行頻率和運行的處理工具。例如，可建立數(shù)據(jù)采集計劃以確定如何以及何時采集工具狀態(tài)和處理相關數(shù)據(jù)。從處理工具，處理腔體，傳感器以及APC系統(tǒng)獲取的數(shù)據(jù)存儲于表格中。
在一個實施例中，這些表格可作為內存表在IS 150中實現(xiàn)，以及作為永久存儲在數(shù)據(jù)庫190中實現(xiàn)。IS 150可使用結構化查詢語句(SQL)用于列和行的創(chuàng)建以及將數(shù)據(jù)發(fā)送到表格。表格可復制到數(shù)據(jù)庫190的永久表格中(即，可使用DB2)，可使用同樣的SQL語句填充。
在所示意的實施例中，IS 150可以是內存實時數(shù)據(jù)庫和訂閱服務器。例如，客戶程序能使用具有關系數(shù)據(jù)庫表格的熟悉編程模型的SQL執(zhí)行數(shù)據(jù)庫函數(shù)。而且，IS 150可提供數(shù)據(jù)訂閱服務，每當滿足其選擇標準的數(shù)據(jù)被插入，更新或刪除時，客戶軟件收到異步通知。訂閱使用SQL選擇語句的全部功能，以指定關心的表格的列以及使用何種行選擇標準，從而過濾未來的數(shù)據(jù)變化通知。
由于IS 150是數(shù)據(jù)庫和訂閱服務器，客戶可在初始化時打開對現(xiàn)有表格數(shù)據(jù)的“同步”訂閱。IS 150通過發(fā)布/訂閱機制，內存數(shù)據(jù)表格，和用于整理通過系統(tǒng)的事件和報警的監(jiān)督邏輯，提供數(shù)據(jù)同步。IS 150提供幾個基于TCP/IP的通信技術，包括套接字，UDP和發(fā)布/訂閱。
例如，IS 150體系可使用能提供實時數(shù)據(jù)管理和訂閱功能的多個數(shù)據(jù)中心(即SQL數(shù)據(jù)庫)。應用模塊和用戶接口使用SQL消息訪問和更新數(shù)據(jù)中心的信息。由于與發(fā)送實時數(shù)據(jù)到關系數(shù)據(jù)庫所相關的性能限制，運行時數(shù)據(jù)被發(fā)送到IS 150管理的內存數(shù)據(jù)表格。晶片處理結束時，這些表格的上下文可發(fā)送到關系數(shù)據(jù)庫。
在圖1所示的實施例中，顯示了一個客戶工作站170，但本發(fā)明并不是如此要求。APC系統(tǒng)145可支持多個客戶工作站170。在一個實施例中，客戶工作站170允許用戶配置傳感器；查看狀態(tài)，包括工具，腔體和傳感器狀態(tài)；查看處理狀態(tài)；查看歷史數(shù)據(jù)；查看故障數(shù)據(jù)和執(zhí)行建模和繪圖功能。
在圖1所示的實施例中，APC系統(tǒng)145包括可連接到IS 150的APC服務器160，客戶工作站170，GUI組件180和數(shù)據(jù)庫190，但本發(fā)明并不如此要求。APC服務器160可包括多個應用至少一個工具相關應用，至少一個模塊相關應用，至少一個傳感器相關應用，至少一個IS相關應用，至少一個數(shù)據(jù)庫相關應用，和至少一個GUI相關應用。而且，APC服務器可包括多個處理相關應用。
APC服務器160包括至少一臺計算機和支持多個處理工具的軟件；采集和同步來自工具，處理模塊，傳感器以及探頭的數(shù)據(jù)；將數(shù)據(jù)存儲于數(shù)據(jù)庫，使用戶能查看現(xiàn)有圖表；提供故障檢測。例如，APC服務器160可包括諸如來自東京電子的Ingenio軟件的操作軟件。APC服務器160允許在線系統(tǒng)配置，在線批次-批次故障檢測，在線晶片-晶片故障檢測，在線數(shù)據(jù)庫管理，以及基于歷史數(shù)據(jù)使用模型執(zhí)行匯總數(shù)據(jù)的多變量分析。而且，APC允許實時監(jiān)控處理和處理工具。
例如，APC服務器160可包括最少3GB可用磁盤空間；至少600MHz CPU(雙處理器)；最少512Mb RAM(物理內存)；RAID 5配置中9GB SCSI硬盤驅動器；最少兩倍于RAM大小的磁盤緩存；安裝的Windows2000服務器軟件；微軟Internet Explorer；TCP/IP網(wǎng)絡協(xié)議；以及至少2塊網(wǎng)卡。
APC系統(tǒng)145可包括至少一個存儲設備，存儲包含來自傳感器的原始數(shù)據(jù)的文件，和包含來自工具的跟蹤數(shù)據(jù)的文件。如果未正確處理這些文件(即，定期刪除)，存儲設備將溢出磁盤空間，并停止采集新的數(shù)據(jù)。APC系統(tǒng)145可包括數(shù)據(jù)管理應用，允許用戶刪除舊的文件，從而釋放磁盤空間，使數(shù)據(jù)采集不間斷持續(xù)進行。APC系統(tǒng)145可包括用于操作系統(tǒng)的多個表格，這些表格能存儲于數(shù)據(jù)庫190。而且，其它計算機(未示出)，例如在線或離線計算機/工作站和/或主機，可聯(lián)網(wǎng)以提供對于一個或多個工具的諸如查看數(shù)據(jù)/圖表，統(tǒng)計處理控制(SPC)繪圖，EPD分析，文件訪問的功能。
如圖1所示，APC系統(tǒng)145可包括GUI組件180。例如，GUI組件可作為應用運行于APC服務器160，客戶工作站170，和工具110上。
GUI組件180使APC系統(tǒng)用戶可執(zhí)行期望配置，數(shù)據(jù)采集，監(jiān)控，建模，和具有最少可能輸入的故障診斷任務。GUI設計遵循用于半導體制造設備SEMI人機界面標準(SEMI草案#2783B)，以及SEMATECH策略單元控制器(SCC)用戶界面風格指南1.0(技術轉讓92061179A-ENG)。本領域的技術人員將認識到GUI面板/屏幕可包括從左至右選擇標簽(selection tab)結構和/或從右至左結構，從底至頂結構，和從頂至底結構，組合結構或任何其它結構。
而且，雖然所示屏幕是英文版本，但本發(fā)明并不如此要求，可使用不同語言。
而且，GUI組件180提供了APC系統(tǒng)與用戶之間交互的方式。當GUI啟動時，顯示驗證用戶身份和密碼的登錄屏幕，提供第一級的安全。理想地，用戶在登錄之前可使用安全應用注冊。用戶身份的數(shù)據(jù)庫檢查指示授權等級，這將簡化GUI的可用功能。未授權用戶的選項可能不同或不可用。安全系統(tǒng)也允許用戶改變現(xiàn)有密碼。例如，登錄面板/屏幕可從諸如Netscape或Internet Explorer的瀏覽器工具打開。用戶可在登錄區(qū)輸入用戶ID和密碼。
授權用戶和管理員可使用GUI面板/屏幕修改系統(tǒng)配置和傳感器設置參數(shù)。GUI組件180可包括用于允許用戶配置處理工具，處理模塊，傳感器和APC系統(tǒng)的配置組件。例如，GUI配置面板/屏幕可提供至少一個處理工具，處理模塊，傳感器，傳感器實例，模塊暫停和報警。配置數(shù)據(jù)可存儲于屬性數(shù)據(jù)庫表格，并在安裝時設置為缺省配置。
GUI組件180可包括用于顯示處理工具，處理模塊，傳感器和APC系統(tǒng)的當前狀態(tài)的狀態(tài)組件。而且，狀態(tài)組件可包括繪圖組件，以使用一個或多個不同類型的圖表向用戶展示系統(tǒng)相關和處理相關數(shù)據(jù)。
而且，GUI組件180可包括實時操作組件。例如，GUI組件可連接到后臺任務，共享系統(tǒng)邏輯可提供后臺任務與GUI組件的共用功能。共享邏輯可用于確保GUI組件的返回值與后臺任務的返回值相同。而且，GUI組件180可包括APC文件管理GUI組件和安全組件。幫助面板/屏幕也是可用的。例如，以PDF(可移植文檔格式)和/或HTML格式提供幫助文件。
如圖1所示，APC系統(tǒng)145可連接到工廠系統(tǒng)105和/或電子診斷系統(tǒng)115。工廠系統(tǒng)105和/或電子診斷系統(tǒng)115可提供用于外部監(jiān)控和外部控制半導體處理系統(tǒng)中的工具，模塊，傳感器和處理的方法?？蛇x地，工廠系統(tǒng)105和/或電子診斷系統(tǒng)115可執(zhí)行工具狀態(tài)監(jiān)控。例如，用戶可使用基于網(wǎng)絡的終端訪問工具狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)，該終端通過工廠系統(tǒng)105和/或電子診斷系統(tǒng)115連接到半導體處理系統(tǒng)。
而且，APC系統(tǒng)和電子診斷系統(tǒng)可協(xié)同工作以解決實時問題。例如，當APC系統(tǒng)145檢測到故障時，診斷問題所需信息可由APC服務器打包并發(fā)送到電子診斷系統(tǒng)或存儲以便電子診斷系統(tǒng)稍后訪問。操作方法可用安全限制和/或客戶商業(yè)規(guī)則確定。
而且，APC系統(tǒng)包括用于添加傳感器，編輯上下文和/或事件驅動的數(shù)據(jù)采集計劃的方法。例如，允許下載電子診斷“探頭”和/或軟件組件，用于電子診斷系統(tǒng)進行系統(tǒng)故障診斷。APC系統(tǒng)可包括診斷工具的便攜集合，其可提供用于診斷，檢測，和/或預測問題的附加數(shù)據(jù)。例如，APC系統(tǒng)可使用該診斷工具作為附加傳感器。本地便攜診斷單元具有支持多種協(xié)議的通用傳感器接口，包括模擬輸入作為最低級，可連接到工廠系統(tǒng)，然后由APC系統(tǒng)，電子診斷系統(tǒng)和/或工廠系統(tǒng)遠程使用。
可為APC系統(tǒng)配備在工廠遠程開發(fā)，和從工廠或電子診斷系統(tǒng)下載的新應用。例如，新應用可置于本地APC服務器。APC系統(tǒng)能學習新程序和動態(tài)添加傳感器，添加應用，甚至添加客戶傳感器的GUI界面。而且，APC系統(tǒng)可執(zhí)行具體程序，例如定時分析分配，以推斷工具和/或模塊何時發(fā)生故障(即，晶片處理系統(tǒng)的發(fā)動機或驅動臂位置)。
而且，APC系統(tǒng)可基于工具性能改變采樣率。例如，數(shù)據(jù)采樣率和分析量可基于工具健康狀況改變。APC系統(tǒng)也可預測問題或檢測工具和/或模塊運行于極限條件附近。
而且，高級用戶和管理員可使用GUI屏幕以修改系統(tǒng)配置和傳感器設置參數(shù)；創(chuàng)建和編輯工具相關策略和計劃；和/或修改工具和模塊的數(shù)量。
APC系統(tǒng)使用可配置系統(tǒng)實現(xiàn)，其使客戶(終端用戶)能添加處理工具，處理模塊，和/或傳感器。APC系統(tǒng)提供開發(fā)環(huán)境和方法，使用戶能在此環(huán)境中定制監(jiān)控軟件，添加分析應用，和/或安裝和監(jiān)控新工具，模塊和傳感器。
通過向客戶提供擴展工具可消費生命期和提供潛在故障信號檢測的監(jiān)控系統(tǒng)，APC系統(tǒng)改善了設備整體效率(OEE)和處理工具的所有權成本(COO)。
APC系統(tǒng)軟件體系包括4個功能組件數(shù)據(jù)采集組件，消息系統(tǒng)組件，關系數(shù)據(jù)庫組件，和后處理組件。該體系也包括用于存儲運行時數(shù)據(jù)采集參數(shù)的內存數(shù)據(jù)表格。APC系統(tǒng)之外是工具和工具代理，工具代理提供上下文信息和用于將數(shù)據(jù)采集與工具處理同步的啟動-停止定時命令。
數(shù)據(jù)采集組件采集數(shù)據(jù)點，被調用的參數(shù)，并將其寫入文件。消息系統(tǒng)使用內存數(shù)據(jù)表格，暫存從數(shù)據(jù)采集組件接收的運行時數(shù)據(jù)。代理和/或工具客戶在數(shù)據(jù)采集周期的開始和結束時通知消息系統(tǒng)。數(shù)據(jù)采集結束時，將數(shù)據(jù)發(fā)送到關系數(shù)據(jù)庫，清空內存數(shù)據(jù)表格以用于下一個數(shù)據(jù)采集周期。消息系統(tǒng)所提供的數(shù)據(jù)的后處理(postprocessing)是在運行時執(zhí)行的；存儲于關系數(shù)據(jù)庫的數(shù)據(jù)的后處理離線執(zhí)行。
APC系統(tǒng)的目的在于使用實時和歷史數(shù)據(jù)以改善半導體處理系統(tǒng)的性能。為達到此目的，可在潛在問題出現(xiàn)之前預測和修正它們，從而減少設備停機時間和所生產的非產品的晶片數(shù)量。達到此目的可通過采集數(shù)據(jù)并將該數(shù)據(jù)輸入到模擬特定工具，處理模塊和/或傳感器的行為的軟件算法。APC系統(tǒng)輸出處理參數(shù)的調整，其隨后被前饋或反饋以維持工具性能在指定限制范圍內。此控制可在不同級別以不同形式完成。
APC系統(tǒng)的報警管理部分可提供故障檢測算法，故障分類算法，和/或故障預報算法。當工具，處理模塊，和/或傳感器可能發(fā)生故障時，APC系統(tǒng)能預測，并能確定可能的解決方案以修正故障，減少在維護和處理功能中生產的非產品的晶片數(shù)量。
故障預報是故障檢測和故障建模的組合。此方法用于優(yōu)化腔體的清潔和損耗部件的置換，其目的是在生產停滯期便于預防性維護任務的“隨機調度”。故障預報可基于復雜的多變量模型或簡單的單變量關系(例如，蝕刻中濕式清洗的APC角度)。例如，故障預報可用于預報工具，處理模塊和/或傳感器可能何時失效，以及何時在工具，處理模塊和/或傳感器上進行維護。
GUI應用使用戶能確定傳感器是否在采集數(shù)據(jù)。當數(shù)據(jù)采集計劃不要求來自傳感器的數(shù)據(jù)時，傳感器狀態(tài)提供給用戶一個指示傳感器不期望開啟。例如，數(shù)據(jù)采集計劃不要求來自傳感器的數(shù)據(jù)時，傳感器狀態(tài)應是“在線關閉”，而當用戶在系統(tǒng)級禁用傳感器時，狀態(tài)應是“離線關閉”。
工具，模塊和/或傳感器的接口可容忍故障和服務相關中斷。而且，接口提供設置和故障診斷功能。例如，當中斷發(fā)生時，工具，模塊，和/或傳感器和/或APC系統(tǒng)可檢測到中斷，初始化登錄，報警，自動恢復/分析以確定正確的行為，和將功能損失最小化。這樣，當工具，模塊，傳感器，和/或APC系統(tǒng)以減少的功能操作時，對顧客來說生產產品的風險將減小。
而且，可在服務/維護模式操作故障診斷和/或維護應用。為了故障診斷傳感器的通信，可不運行晶片而檢測傳感器。例如，可以從基于網(wǎng)絡的GUI設置，啟動和停止傳感器。此特征可廣泛應用于傳感器設置和傳感器日常維護。
圖2所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的數(shù)據(jù)中心互聯(lián)圖。如所示實施例，多個數(shù)據(jù)中心可用于具有實時數(shù)據(jù)管理和訂閱功能的集成Tcl。例如，應用模塊和用戶接口可使用SQL消息訪問和更新數(shù)據(jù)中心的信息，并通過實時訂閱與數(shù)據(jù)中心信息保持同步。消息通信使用簡單郵箱模型和Tcl應用處理。使用分布式消息中心(DMH)消息系統(tǒng)使健壯的，高性能進程間通信成為可能。
DMH系統(tǒng)支持國際字符數(shù)據(jù)交換。DMH系統(tǒng)能實現(xiàn)在一個工作站或跨工作站，或跨越多個運行時環(huán)境的進程間通信。從而能在傳感器零售商系統(tǒng)上部署DMH客戶連接或在處理工具上的本地運行。
分布式系統(tǒng)的一個問題是在整個應用中提供共享數(shù)據(jù)的一致視圖，并以有效方式實現(xiàn)?？墒褂糜嗛喐拍?。在此方案中，數(shù)據(jù)項的用戶使用訂閱服務器初始化數(shù)據(jù)項的訂閱。數(shù)據(jù)項更新時，用戶程序接收來自訂閱服務器的異步通知。此時不是輪詢——用戶程序準確跟蹤所關注的數(shù)據(jù)項。
DMH和數(shù)據(jù)中心功能的組合能執(zhí)行類似時間同步運行數(shù)據(jù)的復雜任務——當數(shù)據(jù)被插入表格中并在運行時被索引時，是時間同步的。高級，數(shù)據(jù)密集應用環(huán)境為用戶提供處理和準備匯總數(shù)據(jù)必需的工具，其由數(shù)據(jù)配置而不是固定代碼行規(guī)定。Tcl解釋器及SQL解釋器的可用性提供了用于定制參數(shù)數(shù)據(jù)公式和上下文標準動態(tài)匹配的機制。而且，解釋器能將客戶腳本顯示給終端用戶客戶。
例如，DMH消息系統(tǒng)服務器可作為配置數(shù)據(jù)，諸如策略，輸出計劃和設備設置信息的主機。啟動時從DB2讀取配置數(shù)據(jù)。系統(tǒng)運行時，GUI客戶和傳感器接口客戶可查詢或訂閱此程序所管理的配置和設置數(shù)據(jù)。在此程序中改變配置，并通過訂閱發(fā)送到系統(tǒng)其它部分。配置數(shù)據(jù)的改變也由訂閱經DB2接口程序發(fā)送到DB2數(shù)據(jù)庫。在數(shù)據(jù)中心的表格中維護狀態(tài)數(shù)據(jù)，一個數(shù)據(jù)項一行。觀看狀態(tài)屏幕時，GUI客戶打開訂閱，因此狀態(tài)視圖自動更新。存在一個表格，表示處理工具和系統(tǒng)事件及其相關上下文數(shù)據(jù)。該表格允許獨立于工具事件的處理，部署和測試工具接口的編碼。
“監(jiān)督”邏輯遍布整個系統(tǒng)。在主要的中心(HUB)部署某些事件處理。例如，處理運行啟動時，訂閱邏輯起作用，匹配預運行設備設置策略，以及更新另一表格以表明傳感器設備的當前理想配置。在主要中心執(zhí)行的至少某些事件的管理可根據(jù)異步交互結構化。
在一個實施例中，數(shù)據(jù)庫服務器(數(shù)據(jù)中心)可配置為運行Windows NT服務。例如，這允許應用隨著系統(tǒng)引導而啟動，無須用戶登錄；這允許應用在用戶登錄和退出時繼續(xù)運行；允許應用配置為不與用戶的顯示交互；允許應用使用具有異于登錄用戶安全證書的不同登錄賬戶。
數(shù)據(jù)中心可提供內存實時數(shù)據(jù)庫和訂閱服務器。數(shù)據(jù)中心可提供內存SQL數(shù)據(jù)庫，用于高性能實時數(shù)據(jù)采集，數(shù)據(jù)時間同步，和到SQL表格和文件的原始數(shù)據(jù)流的處理，用于輸入到分析和監(jiān)控應用。數(shù)據(jù)中心也可以是用于DMH的服務器。DMH能提供具有簡化，高級編程接口的進程間通信。例如，數(shù)據(jù)中心可提供數(shù)據(jù)訂閱服務，每當滿足選擇標準的數(shù)據(jù)被插入，更新和刪除時，客戶軟件就接收到異步通知。訂閱可使用SQL“選擇”語句的全部功能以指定關注哪個表格列，以及使用何種行選擇標準來過濾未來的數(shù)據(jù)變化通知。數(shù)據(jù)中心也可提供排隊管理，從而使其更易支持動態(tài)出入的諸如網(wǎng)絡應用的客戶。數(shù)據(jù)中心也能連接諸如數(shù)據(jù)采集的高速處理，以及諸如輸入的低速處理到永久數(shù)據(jù)庫。數(shù)據(jù)中心可以是結合編譯語言環(huán)境的性能和解釋環(huán)境的靈活性的應用邏輯服務器?？墒褂霉ぞ呙钫Z言(TCL)代碼執(zhí)行客戶邏輯。首次執(zhí)行時，TCL代碼可被顯式編譯為更高性能的內部字節(jié)代碼表示。例如，用于接收和執(zhí)行TCP/IP消息的TCL代碼要求少于12條編程語句。使用動態(tài)加載的C/C++代碼，也可擴展數(shù)據(jù)中心。
用戶開發(fā)程序可用Tcl編程語言書寫或用C/C++編碼，并作為DLL動態(tài)載入。運行中，可修改，刪除或添加程序。解釋器在Tcl代碼首次執(zhí)行時進行編譯以使性能最佳。用戶書寫的程序在被訂閱通知調用或被外部客戶程序發(fā)送的消息調用時執(zhí)行。Tcl程序能完全訪問應用數(shù)據(jù)庫表格，無須掛起進程間通信。而且，用戶書寫的Tcl程序可訪問Tcl的豐富命令集，包括文件系統(tǒng)和套接字IO，日歷和時間函數(shù)，ODBC數(shù)據(jù)庫訪問，DMH消息函數(shù)，以及，當然，其它應用程序。
由于數(shù)據(jù)中心可以是數(shù)據(jù)庫和訂閱服務器，客戶可在初始化時打開對現(xiàn)有表格的“同步”訂閱。例如，使用APC系統(tǒng)，新的用戶接口會話可讀取系統(tǒng)狀態(tài)數(shù)據(jù)項，向主要數(shù)據(jù)中心發(fā)送一個命令打開對將來變化的訂閱。
數(shù)據(jù)中心可以與系統(tǒng)啟動時就啟動的兩個附加程序協(xié)同工作。首先，存在SQL程序，其作用是代表DMH消息系統(tǒng)客戶提供到TELAPC永久數(shù)據(jù)庫的連接。第二個程序是批量加載程序，其作用是管理和處理包含程序運行數(shù)據(jù)的SQL語句文件。兩個程序均可編寫為如果DMH到數(shù)據(jù)中心的連接丟失則程序關閉。
數(shù)據(jù)中心能提供網(wǎng)絡客戶對模型配置和歷史數(shù)據(jù)的訪問。模型數(shù)據(jù)配置應用使用一組能進行DMH消息系統(tǒng)通信的Java類。有邏輯確保實時數(shù)據(jù)中心表格的現(xiàn)有配置與永久數(shù)據(jù)庫中的配置數(shù)據(jù)保持同步。
例如，APC服務器能自動創(chuàng)建一個大型ZIP文件，其包含解壓為一個日歷日的所有批次的數(shù)據(jù)庫表格。這樣，文件可自動創(chuàng)建——無須用戶介入；導入很快(每天數(shù)據(jù)約為3分鐘)；文件可以是服務器原始數(shù)據(jù)和匯總的完全鏡像；可存儲工具名稱——有益于多個APC服務器；每天有一個ZIP文件。
為了進行數(shù)據(jù)庫維護，對數(shù)據(jù)庫執(zhí)行每日備份，歸檔和刪除。例如，可壓縮備份和歸檔文件。此備份方法可要求磁帶安裝在系統(tǒng)內部，人機交互可要求安裝和格式化外部媒介和存儲壓縮文件。圖3所示是數(shù)據(jù)庫的示例數(shù)據(jù)流程圖。
APC系統(tǒng)的BADDR應用能將存儲于數(shù)據(jù)庫的數(shù)據(jù)自動歸檔，并將結果文件存儲于服務器的硬盤驅動器?；谑褂梦募到y(tǒng)維護GUI建立的設置，可刪除此文件。在歸檔文件被自動刪除之前將其拷貝到外部媒介是現(xiàn)場用戶和/或管理員的職責。
文件系統(tǒng)維護組件可包括文件維護屏幕以存儲和改變文件入口。例如，文件維護系統(tǒng)包括可由APC控制器存儲的5種文件類型。安裝APC控制器時，可設置每種文件類型的默認刪除周期。
文件類型是報警(Alert)——此日志包含諸如系統(tǒng)錯誤消息和事件時間戳的信息，可用于故障診斷；數(shù)據(jù)庫文檔(DbArchive)——此文件可由BADRR應用創(chuàng)建?？梢允菈嚎s文件，其包含基于由用戶配置的數(shù)據(jù)采集計劃，存儲于數(shù)據(jù)庫中的數(shù)據(jù)；事件(Event)——可基于從工具代理傳送的事件信息產生此日志；原始(Raw)——原始文件包括從工具傳輸?shù)母櫤吞幚砦募?，以及包含OES和VIP傳感器數(shù)據(jù)的文件。
原始索引(RawIndex)——此文件包含關于Apc原始數(shù)據(jù)信息。
圖4A和4B所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例，在半導體處理系統(tǒng)中管理數(shù)據(jù)流程圖的示例視圖。軟件和相關GUI屏幕提供了從系統(tǒng)的一個或多個處理工具管理數(shù)據(jù)的程序。半導體處理系統(tǒng)中的每個處理工具都可執(zhí)行程序400?？蛇x地，對于半導體處理系統(tǒng)中的一組處理工具可以執(zhí)行程序400。
程序400開始于410。程序開始之前，可配置處理工具，處理腔體和多個傳感器。程序可包括幾個不同級別的起始點和結束點。程序可為晶片，批次，批量，工具，腔體，或工具活動的組合定義一組步驟。
在412中可接收第一級開始事件(Start_Event)。例如，處理工具控制器可將第一級開始事件發(fā)送到APC系統(tǒng)?？蛇x地，另一計算機可發(fā)送第一級開始事件。
開始事件可以是處理或配方步驟開始時的時間點，可基于上下文。例如，晶片進入(Wafer_In)，配方開始(Recipe_Start)，處理開始(Process_Start)，步驟開始(Step_Start，)模塊開始(Module_Start)，以及工具開始(Tool_Start)均可以是開始事件。而且，晶片進入處理腔體時，產生第一級開始事件?？蛇x地，晶片進入傳輸室或進入處理系統(tǒng)時，產生開始事件。
在414中可執(zhí)行控制策略?？刂撇呗曰谔幚砩舷挛拇_定?？刂撇呗源_定在處理工具的一組序列期間將發(fā)生什么。策略可為一個晶片，一個工具，一個批次或工具活動的組合定義序列集合?？刂撇呗钥砂ㄌ幚砘顒樱渲?設置活動，測量活動，預定活動，預測量活動，以及后測量活動的組合。策略的每一部分(活動組)稱為計劃。上下文可由上下文元素的組合確定。例如，上下文可以是預定順序的上下文元素的排列，或者是字典形式的名稱值對的集合。
控制策略“控制”如何管理數(shù)據(jù)?？刂撇呗园ㄖ辽僖粋€數(shù)據(jù)采集(DC)計劃，DC計劃用于確定采集何種數(shù)據(jù)，如何過濾數(shù)據(jù)，以及如何存儲數(shù)據(jù)。圖5所示是策略和計劃的示例流程圖。
上下文信息用于將給定操作與另一操作關聯(lián)。特別地，上下文信息將處理步驟或配方與一個或多個策略和/或計劃關聯(lián)。上下文確定對于特定處理配方執(zhí)行何種策略和/或計劃。
在運行中，開始事件使APC系統(tǒng)查找現(xiàn)有上下文數(shù)據(jù)，確定何種策略匹配上下文，確定運行何種計劃，并調用其相應腳本?？刂撇呗杂涗洶ㄖT如運行晶片，工具，腔體，配方，槽等的上下文匹配信息。例如，APC系統(tǒng)可比較運行信息，嘗試將其與數(shù)據(jù)庫策略匹配——每個控制策略包含至少某些以下上下文信息工具號，批次號，腔體號，晶片盒號，槽號，晶片號，配方號，開始時間，結束時間，步驟號，狀態(tài)，維護計數(shù)器值，產品號和材料號。處理上下文基于所執(zhí)行的處理和所監(jiān)控的工具。例如，如果配方包含上下文術語“干式清洗(Dryclean)”，則當處理工具運行任何包含上下文術語(元素)“干式清洗”的配方的處理時，將執(zhí)行與“干式清洗”上下文術語相關的控制策略。
在上下文匹配處理中，搜索順序非常重要。例如，可使用GUI表格中的優(yōu)先順序執(zhí)行搜索?？墒褂肧QL語句實現(xiàn)搜索。策略一經確認，包括傳感器計劃，數(shù)據(jù)預處理計劃和決策計劃的數(shù)據(jù)采集計劃自動確定?？蓪?shù)據(jù)采集計劃ID，數(shù)據(jù)預處理計劃ID和決策計劃ID發(fā)送到“執(zhí)行控制策略模塊”。當執(zhí)行比較處理上下文功能時，如果匹配策略不存在，則軟件在工具狀態(tài)屏幕和彈出窗口的錯誤字段顯示錯誤消息。
可有多個控制策略匹配一個運行上下文，但對于特定時刻的特定處理工具只能執(zhí)行一種控制策略。用戶通過在列表中上下移動策略，確定特定上下文中的策略順序。在策略選擇時刻，軟件從頭至尾遍歷列表，直至找到匹配上下文所確定要求的第一個策略。
回溯至圖4A，可在416中執(zhí)行數(shù)據(jù)采集(DC)計劃。數(shù)據(jù)采集計劃是用戶配置的用于采集，過濾，存儲期望數(shù)據(jù)的可重用實體。每個控制策略具有相關數(shù)據(jù)采集計劃，其包括描述數(shù)據(jù)如何存儲，觀測參數(shù)如何格式化用以存儲，及其它數(shù)據(jù)存儲組件。APC系統(tǒng)管理組件非常靈活，允許處理工具采集數(shù)據(jù)。例如，處理工具可以在晶片運行時采集數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)存儲于跟蹤文件。每個晶片在工具上處理完成之后，可將跟蹤文件從處理工具拷貝到APC系統(tǒng)數(shù)據(jù)管理組件，在此，軟件分析文件并將數(shù)據(jù)發(fā)送到內存數(shù)據(jù)表格。然后，將內存數(shù)據(jù)發(fā)送至后處理組件，并最終發(fā)送至關系數(shù)據(jù)庫。
而且，DC計劃可包括數(shù)據(jù)預處理計劃。數(shù)據(jù)預處理計劃描述了如何處理關于數(shù)據(jù)定時和過濾的理想觀測參數(shù)(即，峰值(spike)計數(shù)，步驟刪減(trimming)，高剪切限制(clip limit)和低剪切限制)。數(shù)據(jù)預處理計劃也包括參數(shù)選擇定義，時間同步定義，步驟定義，匯總計算(刪減，剪切/門限，峰值)定義，和輸出定義。數(shù)據(jù)預處理中的參數(shù)選擇是傳感器所特有的。APC系統(tǒng)可為每個傳感器提供跟蹤參數(shù)列表，每個傳感器缺省參數(shù)列表依賴于所選工具。圖6所示是數(shù)據(jù)預處理程序的示例流程圖。
而且，DC計劃可包括傳感器設置計劃。傳感器設置計劃描述了在一個或多個獨立模塊上如何配置一個或多個傳感器。計劃也包括應由相關傳感器采集的數(shù)據(jù)參數(shù)的選擇，和保存何種數(shù)據(jù)參數(shù)。傳感器可以是設備，儀器，腔體類型，或其它實體，其采集觀測數(shù)據(jù)或請求軟件設置交互，或由系統(tǒng)軟件作為傳感器進行處理。例如，處理模塊(即蝕刻腔體)在數(shù)據(jù)采集計劃中可作為傳感器。同一傳感器類型的幾個實例可同時在工具上安裝。用戶可以為每個數(shù)據(jù)采集計劃選擇具體傳感器。
回溯至圖4A，可在418中初始化傳感器。例如，全局狀態(tài)變量可用于跟蹤與每個傳感器相關的數(shù)據(jù)記錄器的當前狀態(tài)。軟件可用數(shù)據(jù)記錄器對象和狀態(tài)變量跟蹤傳感器。傳感器狀態(tài)可以是空閑，準備和記錄?？臻e狀態(tài)出現(xiàn)在上電時。其可以是初始態(tài)，也可以是記錄停止之后的狀態(tài)。傳感器設置完畢并準備開始記錄時，進入準備狀態(tài)。傳感器發(fā)送“開始”命令并開始記錄數(shù)據(jù)時，進入記錄狀態(tài)。傳感器維持記錄狀態(tài)直至發(fā)送“停止”命令。
在420中可接收第二級開始事件。例如，處理工具控制器可發(fā)送第二級開始事件。可選地，另一計算機可發(fā)送第二級開始事件。第二級開始事件可能是晶片開始(Wafer_Start)事件，或處理開始(Process_Start)事件。晶片進入處理模塊(腔體)之后產生開始事件?？蛇x地，設置程序完成時可產生開始事件。
在422中啟動傳感器。例如，傳感器設置選項屏幕可用于配置傳感器實例和/或改變傳感器實例相關參數(shù)。參數(shù)保存屏幕說明所選數(shù)據(jù)采集計劃中所選傳感器實例的參數(shù)列表。公式(formula)信息屏幕可提供用于所選參數(shù)的用戶友好的公式編輯器。
參數(shù)保存屏幕的示例視圖如圖7所示。圖7中，所示信息面板具有選擇標簽。選擇標簽用于選擇其它GUI屏幕?？蛇x地，可使用導航樹顯示和選擇其它GUI屏幕。參數(shù)保存屏幕說明所選數(shù)據(jù)采集計劃中所選傳感器實例的參數(shù)列表。數(shù)據(jù)庫保存計劃可提供到參數(shù)保存屏幕的每個參數(shù)的鏈接。
回溯至圖4A，可在424中接收數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)可由APC系統(tǒng)管理組件使用一個或多個傳感器采集，每個傳感器使用一個數(shù)據(jù)記錄器。在運行時將該數(shù)據(jù)發(fā)送到類似于工具跟蹤文件的原始數(shù)據(jù)文件。配方結束時，可解析原始數(shù)據(jù)文件并將數(shù)據(jù)發(fā)送到由中心包含和管理的內存數(shù)據(jù)表格。為了定時，每個傳感器可由C-DLL(傳感器接口)封裝，在為每個具體類型的傳感器提供接口時，C-DLL提供到APC服務器的相容接口。傳感器接口，中心，數(shù)據(jù)庫和APC服務器之間的連接如圖1所示。
到每個傳感器的連接可由作為C-DLL執(zhí)行的傳感器接口提供。運行狀態(tài)，每個傳感器的最新數(shù)據(jù)在數(shù)據(jù)管理組件中可用，并由GUI組件提供給用戶。傳感器數(shù)據(jù)可在運行時傳輸?shù)街行?，以存儲于內存?shù)據(jù)表格。例如，上下文信息和對于數(shù)據(jù)采集及數(shù)據(jù)處理的定時可由工具代理提供并發(fā)送至代理客戶。代理客戶將定時消息發(fā)送至數(shù)據(jù)管理組件，數(shù)據(jù)管理組件將定時消息發(fā)送至中心。上下文信息可用于動態(tài)傳感器配置。晶片處理步驟結束時，中心將內存數(shù)據(jù)表格上下文發(fā)送至關系數(shù)據(jù)庫，并將表格清空用于下一個晶片處理步驟。
例如，每次開始新的記錄時，可將記錄寫入對應每個設備號(device_id)的設備運行(device_run)表格。一個傳感器可能有多個設備號。例如，由于OES傳感器所產生的數(shù)據(jù)量，OES傳感器可使用4個設備號。對于每個設備號樣本，在原始數(shù)據(jù)表格中插入一行數(shù)據(jù)。
數(shù)據(jù)記錄器接口的示例實施例如圖8所示。例如，數(shù)據(jù)記錄器接口將數(shù)據(jù)實時輸入中心?？商峁╅_關以允許數(shù)據(jù)記錄器將文件寫入磁盤。數(shù)據(jù)記錄器也可提供讀文件和將數(shù)據(jù)點輸入中心的方法，用于離線處理和分析。
可選地，數(shù)據(jù)記錄器接口可將數(shù)據(jù)點寫入原始數(shù)據(jù)文件，中心向數(shù)據(jù)記錄器發(fā)送開始命令以初始化數(shù)據(jù)采集。停止命令使文件關閉。在這種情況下，于是中心讀取和分析數(shù)據(jù)文件，處理數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)值發(fā)送到內存數(shù)據(jù)表格。
在426中可接收第二級結束事件(End_event)。例如，處理工具控制器可發(fā)送第二級結束事件?？蛇x地，另一計算機可發(fā)送第二級結束事件。第二級結束事件可以是處理或配方步驟停止時的時間點。晶片退出(Wafer_Out)，配方結束(Recipe_End)，處理結束(Process_End)，步驟結束(Step_End)，模塊結束(Module_End)，和工具結束(Tool_End)均可以是結束事件。第二級結束事件可以是晶片結束(Wafer_End)事件，晶片退出處理模塊(腔體)時，產生晶片結束事件?？蛇x地，在處理步驟結束時產生晶片結束事件。
處理配方可包括一個或多個第二級開始事件以及一個或多個第二級結束事件。例如，每個處理步驟可包括第二級開始事件和第二級結束事件。
在428中可停止傳感器。例如，記錄器的狀態(tài)可由記錄轉為準備。對于通常情況，每個數(shù)據(jù)記錄器能在傳感器啟動時打開，在晶片完成時關閉。在某些情況下，可記錄晶片之間數(shù)據(jù)(環(huán)境數(shù)據(jù)——傳輸腔體真空，溫度，濕度，...)。在這種情況，記錄器可具有多個數(shù)據(jù)輸出，將該數(shù)據(jù)與某一采樣率的晶片關聯(lián)，并與可配置的不同采樣率的機器對象關聯(lián)。
在430中可關閉原始數(shù)據(jù)采集文件。例如，記錄器狀態(tài)可由準備轉為空閑。
在432中，可從處理工具接收跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)?？蛇x地，可從另一計算機接收跟蹤文件數(shù)據(jù)和/或處理日志文件數(shù)據(jù)。
在434中可接收第一級結束事件。例如，處理工具控制器可發(fā)送第一級結束事件。可選地，另一計算機可發(fā)送第一級結束事件。結束事件可以是處理或配方步驟停止時的時間點，并可基于上下文。例如，晶片退出(Wafer_Out)，配方停止(Recipe_Stop)，處理停止(Process_Stop)，步驟停止(Step_Stop)，模塊停止(Module_Stop)，和工具停止(Tool_Stop)均可以是結束事件。晶片退出處理腔體(Wafer_Out)時，產生晶片結束事件?？蛇x地，晶片退出傳輸腔體或退出處理系統(tǒng)時，產生結束事件。
通過將原始數(shù)據(jù)與跟蹤文件和處理日志文件數(shù)據(jù)同步，可創(chuàng)建晶片數(shù)據(jù)。數(shù)據(jù)管理組件將晶片數(shù)據(jù)載入中心。例如，對于每個具有調用腳本所需信息的傳感器數(shù)據(jù)文件，可將消息發(fā)送至中心，腳本用于加載特定傳感器數(shù)據(jù)文件和鍵值變量以使晶片運行在數(shù)據(jù)庫中唯一。晶片數(shù)據(jù)包括跟蹤數(shù)據(jù)，處理日志數(shù)據(jù)，配方設置點數(shù)據(jù)，維護計時器數(shù)據(jù)和傳感器數(shù)據(jù)。
在436(圖4B)中可執(zhí)行數(shù)據(jù)預處理和/或數(shù)據(jù)匯總。例如，在數(shù)據(jù)采集中心執(zhí)行數(shù)據(jù)預處理計劃?？蛇x地，APC控制器可執(zhí)行部分數(shù)據(jù)預處理計劃。數(shù)據(jù)預處理計劃可包括幾個功能。圖9所示是OES傳感器的示例流程圖。
回溯至圖4B，可使用至少一個GUI屏幕指定執(zhí)行數(shù)據(jù)預處理計劃所需設置。設置可作為數(shù)據(jù)預處理計劃存儲于數(shù)據(jù)庫。上下文信息進入APC控制器時，“基于上下文執(zhí)行”模塊提取適當?shù)念A處理計劃?；跀?shù)據(jù)庫表格中的優(yōu)先順序只能選擇一個預處理計劃。基于提取的預處理計劃，可創(chuàng)建時間序列數(shù)據(jù)；創(chuàng)建晶片匯總數(shù)據(jù)；和/或創(chuàng)建批次匯總數(shù)據(jù)。必要時可計算客戶參數(shù)。例如，對于數(shù)據(jù)采集計劃可使用公式信息屏幕創(chuàng)建客戶參數(shù)。
創(chuàng)建時間序列數(shù)據(jù)時，可從原始數(shù)據(jù)文件創(chuàng)建并存儲于數(shù)據(jù)庫。時間同步可由數(shù)據(jù)率確定。時間同步用于將數(shù)據(jù)與配方步驟關聯(lián)，將輸出數(shù)據(jù)與文件關聯(lián)。
創(chuàng)建晶片匯總數(shù)據(jù)時，可從時間序列數(shù)據(jù)文件創(chuàng)建并存儲于數(shù)據(jù)庫。必要時可對步驟相關參數(shù)執(zhí)行數(shù)據(jù)刪減，對所選參數(shù)執(zhí)行數(shù)據(jù)剪切。此外，可根據(jù)要求對所選參數(shù)執(zhí)行峰值分析。而且，可計算統(tǒng)計值(最大值，最小值，平均值，3-sigma值)?？蓪?shù)據(jù)導出至文件，歷史時間序列數(shù)據(jù)可從數(shù)據(jù)庫載入。
創(chuàng)建批次匯總數(shù)據(jù)時，可從晶片級數(shù)據(jù)文件創(chuàng)建并存儲于數(shù)據(jù)庫。使用特定參數(shù)或步驟選擇數(shù)據(jù)。而且，可計算統(tǒng)計值(最大值，最小值，平均值，3-sigma值)?？蓪?shù)據(jù)導出至文件，歷史時間序列數(shù)據(jù)可從數(shù)據(jù)庫載入。計算晶片和批次匯總數(shù)據(jù)之后，將數(shù)據(jù)發(fā)送至適當?shù)姆治鲇媱?即，SPC圖表和/或PCA/PLS模型)。
例如，“數(shù)據(jù)預處理”應用可從“基于上下文執(zhí)行”應用接收數(shù)據(jù)預處理計劃ID。創(chuàng)建時間序列數(shù)據(jù)之前，“數(shù)據(jù)預處理”應用可提取必要設置。晶片退出(Wafer_Out)事件之后，數(shù)據(jù)采集計劃準備處理跟蹤，VIP/SCN和OES文件。于是，“數(shù)據(jù)預處理”應用可在數(shù)據(jù)中心開始創(chuàng)建時間序列數(shù)據(jù)?！皵?shù)據(jù)預處理”應用作為離線功能，可根據(jù)用戶諸如定界標簽，定界逗號的優(yōu)先選擇，創(chuàng)建時間序列數(shù)據(jù)文件。
圖10所示是示例匯總數(shù)據(jù)創(chuàng)建過程。在所述實例中，對數(shù)據(jù)點“A”“N”“O”進行刪減，因為在開始刪減步驟以前步驟中的數(shù)據(jù)點被丟棄，在結束刪減步驟以后步驟中的數(shù)據(jù)點也被丟棄。在所述實例中，對數(shù)據(jù)點“C”“M”進行剪切，因為大于剪切限制的數(shù)值被丟棄，小于門限值的數(shù)值也被丟棄。而且，由于僅剩一個大于峰值上限的數(shù)據(jù)點“G”，高峰值計數(shù)為1，由于沒有小于峰值下限的剩余數(shù)據(jù)點，低峰值計數(shù)為0。
此外，“計算統(tǒng)計值”功能可用于計算以下參數(shù)最大值，最小值，平均值，3-sigma值，并將其存儲于數(shù)據(jù)庫。在這種情況，至少需要2個點以計算參數(shù)標準差。少于2個數(shù)據(jù)點時，可輸入NULL值。
在438中可完成對于處理特定部分的數(shù)據(jù)采集。例如，可完成對于特定晶片或基板的數(shù)據(jù)采集處理?？蓪⒕瑪?shù)據(jù)輸入到SQL文件，將SQL文件輸入至數(shù)據(jù)庫加載程序隊列?？蛇x地，對于諸如晶片或基板的一組產品可完成數(shù)據(jù)采集處理。
每個數(shù)據(jù)采集計劃具有至少一個所分配的數(shù)據(jù)流類型。數(shù)據(jù)流類型定義對于所采集數(shù)據(jù)執(zhí)行何種操作。例如，DATABASE_SAVE流類型用于指定寫入數(shù)據(jù)庫的參數(shù)以及在何種頻率和條件下可寫入此參數(shù)。DATABASE_SAVE流類型可用于將數(shù)據(jù)寫入數(shù)據(jù)庫，從而可在其它數(shù)據(jù)采集計劃中使用。
可使用以下數(shù)據(jù)流類型a FILE_RAWDATA流類型定義在何種條件下可將原始數(shù)據(jù)寫入輸出文件用于外部分析。
b FILE_SUMMARIES流類型定義在何種條件下可將匯總數(shù)據(jù)寫入輸出文件用于外部分析。對于每個配方步驟，給定參數(shù)的匯總數(shù)據(jù)包括4個值平均值，3-sigma值，最大值和最小值。
c SIMCA_P_RAW流類型定義在何種條件下可將原始數(shù)據(jù)寫入輸出文件以輸入至SIMCA_P用于建模和分析。
d SIMCA_P_SUM流類型定義在何種條件下可將匯總數(shù)據(jù)寫入輸出文件以輸入至SIMCA_P用于建模和分析。
e TEL_STEP_SUM流類型 在輸出上下文方面類似于SIMCA_P_SUM流類型。但輸出文件中數(shù)據(jù)排序不同。
f SPC(統(tǒng)計過程控制)流類型定義在何種條件下可將配方步驟一個參數(shù)的匯總數(shù)據(jù)輸入SPC模塊用于單變量分析和SPC繪圖。可使用由DATABASE_SAVE計劃存儲于數(shù)據(jù)庫的數(shù)據(jù)計算步驟匯總數(shù)據(jù)。
g PCA_SPC流類型 定義在何種條件下可將步驟的一個或多個參數(shù)的匯總數(shù)據(jù)輸入PCA(主元分析)模塊用于多變量分析，然后將其發(fā)送到SPC圖表。
例如，由FILE_RAWDATA數(shù)據(jù)類型產生的文件可包括對于指定參數(shù)的原始傳感器數(shù)據(jù)?；谟媱澲兄付ǖ妮敵鰰r間，輸出文件的每一行可包括原始數(shù)據(jù)入口。如果輸出時間是1次/秒，后續(xù)每行可包括晶片處理后續(xù)每秒的原始數(shù)據(jù)。
在440中，可通過匹配現(xiàn)有上下文確定分析策略。例如，通過使用數(shù)據(jù)創(chuàng)建SPC圖表，使用數(shù)據(jù)執(zhí)行多變量分析(MVA)，使用數(shù)據(jù)執(zhí)行決策計劃，分析策略可用于數(shù)據(jù)采集之后的“分析”。數(shù)據(jù)采集結束時，將晶片上下文與分析(故障檢測分類(FDC))策略比較，確定適當?shù)牟呗院陀媱?。可選擇多個策略。使用SQL語句進行上下文查找?？墒褂弥付ǖ牟呗源_定分析計劃和決策計劃。分析策略一經確定，至少一個分析計劃和至少一個決策計劃即可自動確定。
可基于處理上下文確定分析策略。分析策略確定在處理工具的一組序列期間發(fā)生了什么。分析策略能為一個晶片，一個工具，一個批次，或工具活動的組合確定一組序列。例如，分析策略記錄可包括諸如晶片運行，工具，腔體，配方，槽等的上下文匹配信息。上下文信息用于將給定操作與另一操作關聯(lián)。尤其，上下文信息將處理步驟或配方與一個或多個策略和/或計劃關聯(lián)。上下文確定對于特定處理配方執(zhí)行何種策略和/或計劃。例如，如果配方包括上下文術語“干式清洗”，則當處理工具運行任何配方名稱為“干式清洗”的處理時，執(zhí)行具有包含“干式清洗”上下文字符串的策略記錄的分析策略。
例如，分析策略可包括以下一個或多個文件輸出計劃，SPC計劃，PCA計劃和PLS計劃。分析策略也包括可在具體時間執(zhí)行的計劃。諸如工具健康狀況，定時清洗，和陳化處理完成的公共應用可在多個分析計劃中執(zhí)行。例如，對于所有晶片運行可執(zhí)行工具健康狀況計劃；對于具體晶片運行(即，晶片盒中第一個晶片運行或偽晶片運行)可執(zhí)行定時清洗計劃；對于陳化處理(seasoning)(即，偽(dummy)晶片)運行執(zhí)行陳化處理完成計劃；對于產品晶片運行可執(zhí)行虛擬蝕刻狀態(tài)監(jiān)控計劃；對于具體晶片運行(即，第一個運行在晶片盒中的晶片或偽晶片運行)可執(zhí)行可消耗計劃；對于陳化處理(即，偽晶片)運行可執(zhí)行腔體設置檢查計劃。
在442中可執(zhí)行分析計劃。在一個實施例中，“執(zhí)行分析策略”模塊從“上下文匹配”模塊接收分析計劃ID和決策計劃ID列表，并能依次執(zhí)行分析計劃和決策計劃。例如，“執(zhí)行分析策略”模塊可包括循環(huán)結構以處理多個分析策略，其能使用中心實現(xiàn)。
在一個實施例中，“執(zhí)行分析計劃”模塊可由“執(zhí)行FDC策略”模塊調用，所使用參數(shù)可以是分析計劃ID。執(zhí)行分析計劃時，可提取分析計劃設置；可提取一個或多個PCA計劃(模型)設置；可提取一個或多個PLS計劃(模型)設置；可提取SPC計劃(圖表)設置；以及提取規(guī)則設置。
分析計劃是便攜的，可在各種客戶和非客戶站點從不同計算機導出/導入。而且，可提供動作掩碼函數(shù)，使終端用戶能禁用包含于某些分析計劃中的暫停命令。
圖11所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的上下文選擇屏幕的示例視圖。創(chuàng)建新策略時，可訪問上下文選擇屏幕。例如，可通過選擇數(shù)據(jù)管理屏幕的策略文件夾訪問上下文選擇屏幕。
如圖11所示，上下文選擇屏幕可包括顯示策略名稱的名稱字段；顯示策略類型的策略類型字段；顯示工具的工具字段；啟用或禁用特定策略的是否啟用復選框；顯示策略簡短說明的說明字段；顯示所選處理模塊數(shù)量的模塊字段。
此外，多個使用上下文說明字段允許用戶選擇策略使用上下文。用戶可選擇字段值以指定使用上下文或選擇SQL表達式指定使用上下文。而且，配方字段顯示處理配方。選擇按鈕允許用戶選擇處理配方。批次ID字段顯示批次ID。晶片ID字段顯示晶片ID。開始時間之后(Start time later than)字段用于顯示開始日期以查看所處理晶片運行。開始時間之前(Start time earlier than)字段用于顯示結束日期以查看所處理晶片運行。槽數(shù)字段用于顯示所選晶片的槽數(shù)。晶片盒數(shù)字段用于顯示所選晶片的晶片盒數(shù)。顯示SQL按鈕用于根據(jù)字段中輸入信息創(chuàng)建SQL表達式，測試SQL按鈕用于檢查根據(jù)字段中輸入信息創(chuàng)建的SQL表達式的語法。保存按鈕允許用戶保存所選策略；撤消按鈕用于清除部分SQL表達式，關閉按鈕用于不保存策略信息而退出屏幕。
上下文選擇屏幕可用于創(chuàng)建新的控制(數(shù)據(jù)采集)策略和/或分析(數(shù)據(jù)分析)策略。
在444中，使用可定義分析流或基于上下文執(zhí)行SPC計劃。例如，處理完成之后，統(tǒng)計過程控制可包括分析從工具收集的信息。統(tǒng)計過程控制可使用統(tǒng)計模型以提高產品質量及處理效率而保持較低成本。SPC可用于采集晶片數(shù)據(jù)之后監(jiān)控所選過程。監(jiān)控過程的目的在于確定整個過程中均值和分布是否改變。
數(shù)據(jù)采集之后，可計算匯總數(shù)據(jù)并繪制圖表，每個晶片作為一個點。APC軟件使用步驟匯總參數(shù)匯總數(shù)據(jù)。例如，查看歷史數(shù)據(jù)之后，工藝工程師可設置初始控制限制，并確定將何種運行規(guī)則應用于該過程。觀測過程之后，工程師在產生可定義漂移時可以重置控制限制。
SPC圖表說明了使用步驟匯總參數(shù)的數(shù)據(jù)。此信息如何輸入到SPC圖表確定了在何種條件下，配方步驟一個參數(shù)的匯總數(shù)據(jù)可輸入至SPC模塊，用于單變量分析和SPC繪圖?？墒褂糜蓴?shù)據(jù)采集計劃存儲于數(shù)據(jù)庫的數(shù)據(jù)計算步驟匯總數(shù)據(jù)。
在一個實施例中，“執(zhí)行SPC繪圖”模塊可由“執(zhí)行分析計劃”模塊調用，參數(shù)可以是圖表ID。例如“QuMAP”可用作SPC應用，執(zhí)行“QuMAP”時，其畫出T2，Q和可預測值。執(zhí)行SPC計劃時，可觸發(fā)SPC報警。
在446中可執(zhí)行PCA和PLS計劃。多變量分析涉及多個變量的同時分析以預測或理解當前現(xiàn)象。單變量分析包括一次監(jiān)控一個變量。雖然單變量分析過去用于分析各種過程，但多變量分析有很多附加優(yōu)點。多變量分析的目的在于減少必須監(jiān)控的變量個數(shù)。創(chuàng)建模型，從而可監(jiān)控模型輸出而無須同時監(jiān)控多個變量?；谶\行——運行之間，多變量分析使用模型作為說明過程變化和預測過程以及未經常測量的產品參數(shù)的方式。
主元分析(PCA)是用于檢查n維相關變量集合之間關系的數(shù)學方法。其實現(xiàn)是通過將初始組的相關參數(shù)轉變?yōu)樾碌牟幌嚓P變量。新組，也稱為主元(PC)，是變量原始集合的線性組合，其以方差重要度的降序排列。第一主元在變量原始集合中所代表的方差比例大于其在隨后集合中的比例。
部分最小二乘法使用與PCA同樣的投影技術，但部分最小二乘法將數(shù)據(jù)分為輸入和輸出。PLS使用與PCA相同的主元結構建模，從而僅根據(jù)所測輸入預測未來輸出。PLS輸出可單獨繪制于SPC圖表上。
在一個實施例中，“執(zhí)行PCA/PLS模型”模塊可由“執(zhí)行分析計劃”模塊調用，所用參數(shù)為PCA/PLS模型ID。根據(jù)模板可執(zhí)行所有PCA和PLS計劃。根據(jù)模板，可定義分析流執(zhí)行PCA/PLS模型或SPC圖表，然后使用執(zhí)行規(guī)則確定故障類別。在此可觸發(fā)SPC報警。
例如，可定義分析流通過調用子程序執(zhí)行某個PCA模型。通過調用子程序執(zhí)行PCA模型或PLS模型，子程序具有諸如模型ID和運行ID的一個或多個參數(shù)。執(zhí)行PCA子程序時，可從表中提取模型設置，計算T2和Q，將其存入表格，在Qumap中繪制點(＝T2和Q)，并將模型設置返回至可定義分析流。
在448中可執(zhí)行文件輸出計劃并存儲文件。例如，文件輸出計劃格式包括包含相對運行時的原始值的FILE_RAWDATRA文件；包含根據(jù)參數(shù)和步驟分類的匯總值的FILE_SUMMARIES文件；包含具有額外上下文數(shù)據(jù)作為每個步驟1條曲線的匯總值的RUN_STEP_SUM文件；包含具有額外上下文數(shù)據(jù)作為每個運行1條曲線的匯總值的RUN_SUM文件；包括相對運行時的原始值的SIMCA_P_RAW文件以導入至Sima-P；包含作為每個運行1條曲線的匯總值的SIMCA_P_SUM文件以導入至Sima-P；和/或包含作為每個步驟1條曲線的匯總值的TEL_STEP_SUM文件。
文件是否包含多個晶片運行的數(shù)據(jù)依賴于文件命名慣例。例如，如果文件名稱與計劃名稱相同，并選擇了添加新數(shù)據(jù)(Append NewData)選項，則文件包含多個運行數(shù)據(jù)。如果文件名稱與過程運行ID相同，則文件包含一個晶片運行數(shù)據(jù)。每行單個數(shù)據(jù)值可用定界標簽或定界逗號，因此輸出文件可導出至電子表格應用。輸出文件第一行可以是標題行，可包括文件中每個數(shù)據(jù)列的標題。輸出文件的每個后續(xù)行以運行ID開始，其后為觀測及每個參數(shù)值。運行ID可包括以下一項或多項晶片運行開始日期，序列號，處理模塊，和工具ID。輸出文件每一行可包括基于數(shù)據(jù)采集計劃中指定輸出時間的原始數(shù)據(jù)入口。例如，如果輸出時間是1次/秒，每個后續(xù)行可包括所處理晶片的每個后續(xù)秒的原始數(shù)據(jù)。
例如，由“FILE_RAWDATRA”計劃所產生的文件可包括指定參數(shù)的原始傳感器數(shù)據(jù)。由“SIMCA_P_SUM”計劃所產生的文件可包括指定參數(shù)的原始傳感器數(shù)據(jù)。該數(shù)據(jù)格式可以是Simca-P所特有。Simca-P匯總文件可設計為便于Simca-P建模。對于計劃中每個配方步驟的每個參數(shù)，Simca-P文件可包括平均值，3-sigma值，最小值，最大值，極差，或這些值的組合。
例如，由“FILE_SUMMARIES”計劃產生的文件包括指定參數(shù)的一個或多個晶片的匯總數(shù)據(jù)。參數(shù)的匯總數(shù)據(jù)可包括在晶片運行中該參數(shù)的最小值，最大值，平均值，3-sigma值。匯總輸出文件典型地包括多個晶片數(shù)據(jù)；但文件上下文基于文件名稱。例如，如果文件名稱與計劃名稱相同，并選擇了添加新數(shù)據(jù)(Append New Data)選項，則文件可包含多個運行數(shù)據(jù)。如果文件名稱與過程運行ID相同，則文件包含一個晶片數(shù)據(jù)。
根據(jù)從工具收集的原始數(shù)據(jù)進行晶片匯總計算。數(shù)據(jù)庫單獨存儲原始數(shù)據(jù)，執(zhí)行匯總計算時不修改數(shù)據(jù)庫。通常匯總統(tǒng)計從原始時間序列數(shù)據(jù)分步計算，包括以下信息最小值，最大值，平均值，極差和標準差。至少存在2個數(shù)據(jù)點時才計算標準差。若少于2個數(shù)據(jù)點，不計算標準差。
可使用3種數(shù)據(jù)類型用于源文件的原始數(shù)據(jù)類型；用于周期性數(shù)據(jù)采集的時間序列數(shù)據(jù)類型，典型地，1次/秒以創(chuàng)建匯總數(shù)據(jù)；用于匯總數(shù)據(jù)的晶片步驟數(shù)據(jù)類型。
刪減用于只需分析所采集的部分原始數(shù)據(jù)時。計算之前，去掉處理步驟的開始幾秒和最后幾秒時，進行刪減。刪減非常有用，因為其允許僅分析數(shù)據(jù)某些部分而防止了諸如瞬態(tài)的正常事件影響其它相關數(shù)據(jù)。刪減在數(shù)據(jù)采集計劃設置中指定。時間序列數(shù)據(jù)可獨立保存，不能以任何方式更改。因此通過刪減去掉的數(shù)據(jù)不用于計算匯總參數(shù)，但仍作為原始數(shù)據(jù)保存。
執(zhí)行低剪切和高剪切以刪除可疑數(shù)據(jù)(例如，流量計的負值)。低剪切和高剪切可由參數(shù)，步驟，設置點確定。大于高剪切限制的數(shù)據(jù)點不包含于匯總計算。小于低剪切限制的數(shù)據(jù)點不包含于匯總計算。
峰值計數(shù)可包含于匯總計算中。峰值計數(shù)考慮如下數(shù)據(jù)點高于峰值上限(USL)的數(shù)據(jù)點作為上限峰值；低于峰值下限(LSL)的數(shù)據(jù)點作為下限峰值。
上限峰值和/或下限峰值數(shù)據(jù)點可按步驟和參數(shù)獨立計數(shù)。數(shù)據(jù)點連續(xù)超過USL或LSL時，每個點均計為峰值。匯總計算不丟棄峰值點。“高峰值”與“低峰值”的計數(shù)值保存于數(shù)據(jù)庫并能在匯總輸出文件中提取，從而輸入到主元分析模型，部分最小二乘法模型，或SPC圖表。當由“百分比值”確定USL和LSL時，“峰值計數(shù)”函數(shù)在運行時使用配方設置點。
設置點源于處理配方。處理配方中指定的參數(shù)，例如RF_FORWARD和GAS_FLOW，可具有設置點。諸如OES傳感器和EPD傳感器的外部傳感器的參數(shù)可以或不能具有設置點。
可對每個晶片執(zhí)行一次匯總計算(刪減，低剪切，高剪切，最大值，平均值，最小值，3-sigma值，極差)和數(shù)據(jù)庫存儲。
數(shù)據(jù)流類型確定在何種條件下可將匯總數(shù)據(jù)寫入輸出文件。對于每個配方步驟，給定參數(shù)的匯總數(shù)據(jù)包括4個值平均值，3-sigma值，最大值和最小值。
匯總輸出文件的第一行可以是標題行。其包括文件中每個數(shù)據(jù)列的標題。每個后續(xù)行以運行ID開始，其后為參數(shù)名稱，數(shù)據(jù)采集開始時的配方步驟，然后是匯總值該參數(shù)的最小值，最大值，平均值，3-sigma值。
SPC計劃在圖表上顯示匯總參數(shù)。PCA和PLS計劃獲取匯總數(shù)據(jù)并將數(shù)據(jù)輸入模型。模型產生的數(shù)據(jù)顯示于SPC系列圖表中。
模型可用于查看晶片處理中產生的正常和異常漂移。發(fā)現(xiàn)異常漂移時，步驟可停止或調整過程從而將其調整至正常級別。不同于單變量監(jiān)控，檢測到故障之后，工程師將當前數(shù)據(jù)輸入模型，提供更多指導將過程導入控制之中。使用APC采集的數(shù)據(jù)可直接導入第三方建模軟件程序以使用數(shù)據(jù)建模。模型可導出至APC服務器用于故障檢測和參數(shù)預測。
匯總數(shù)據(jù)信息也可用于多變量分析。用于將匯總數(shù)據(jù)輸入模型的方法確定了何種條件下步驟的一種或多種參數(shù)的匯總數(shù)據(jù)可輸入至主元分析(PCA)模型或部分最小二乘法(PLS)模型從而進行多變量分析。然后將模型輸出參數(shù)發(fā)送到SPC圖表。
在450中可存儲數(shù)據(jù)。在一個實施例中，系統(tǒng)采集的數(shù)據(jù)流經實時傳感器采集和數(shù)據(jù)庫存儲之間的一組步驟。傳感器采集的數(shù)據(jù)首先載入數(shù)據(jù)中心。通過控制和分析策略以及腳本，根據(jù)用戶確定的不同算法，數(shù)據(jù)中心可為所處理數(shù)據(jù)提供物理位置。
數(shù)據(jù)中心可包括數(shù)據(jù)采集計劃。數(shù)據(jù)中心與APC系統(tǒng)交互，選擇所需的適當數(shù)據(jù)采集計劃。數(shù)據(jù)中心可包括數(shù)據(jù)配置計劃，基于配置計劃將數(shù)據(jù)過濾到數(shù)據(jù)庫，基于配置計劃中的規(guī)范計算匯總數(shù)據(jù)，并將匯總數(shù)據(jù)置入數(shù)據(jù)庫。數(shù)據(jù)中心可提供匯總數(shù)據(jù)的SPC圖表并在違反運行規(guī)則時發(fā)送電子郵件，可提供匯總數(shù)據(jù)的PCA和PLS模型，可將結果參數(shù)輸入SPC圖表和數(shù)據(jù)庫。
在一個實施例中，數(shù)據(jù)庫中的匯總數(shù)據(jù)可以是只讀數(shù)據(jù)，其一旦在運行時計算，就無法改變。例如，基于數(shù)據(jù)庫中原始數(shù)據(jù)和配置計劃，一個或多個連接到APC系統(tǒng)的用戶終端能重新計算數(shù)據(jù)庫中的匯總數(shù)據(jù)?？截愒紨?shù)據(jù)文件是一種使用不同刪減，剪切等重新計算匯總數(shù)據(jù)和更新數(shù)據(jù)庫的方法。
成功載入數(shù)據(jù)庫的文件可從輸入目錄轉移至文檔目錄。該文件可以是已處理和位于數(shù)據(jù)庫中的SQL文件。例如，該文件可保存直至數(shù)據(jù)庫備份。如果在每日備份之前系統(tǒng)發(fā)生故障，則將該文件置于加載程序輸入(loader_input)目錄，重載當日數(shù)據(jù)。歸檔文件可用于在機器之間傳輸數(shù)據(jù)。另一方法可使用數(shù)據(jù)準備和導出SQL文件。
例如，可通過TCL接口進行數(shù)據(jù)加載。用戶設置的計劃確定數(shù)據(jù)和數(shù)據(jù)參數(shù)，其由數(shù)據(jù)中心加載到數(shù)據(jù)庫。
錯誤數(shù)據(jù)處理也可由軟件執(zhí)行?？筛櫼鸭虞d數(shù)據(jù)的處理錯誤并在跟蹤表中作為警告報告。跟蹤日志文件可包括任何由數(shù)據(jù)中心加載所產生的錯誤。跟蹤日志文件可包括任何數(shù)據(jù)庫SQL錯誤或任何其它TCL不能處理的錯誤。如果由于文件或參數(shù)丟失導致加載失敗，可返回錯誤消息。
例如，數(shù)據(jù)中心可使用在系統(tǒng)啟動時即啟動的TCL/Tk程序。首先是SQLsrv程序，其作用是代表消息系統(tǒng)客戶提供到永久數(shù)據(jù)庫的連接。第二個程序是批量加載程序，其作用是管理和處理包含過程運行數(shù)據(jù)的SQL語句文件。程序編寫為如果到數(shù)據(jù)中心的連接丟失，程序關閉。
系統(tǒng)啟動時，數(shù)據(jù)中心(加載程序)程序可在其初始化時啟動。數(shù)據(jù)中心管理和監(jiān)控文件處理，文件包含表示過程運行數(shù)據(jù)的純文本SQL語句。每個文件可包括一個過程運行的所有數(shù)據(jù)。以此標準格式，文件數(shù)據(jù)可輸入到數(shù)據(jù)中心或任何SQL數(shù)據(jù)庫。
晶片處理之后，可調用加載程序將晶片加載到后臺數(shù)據(jù)庫。例如，對于由數(shù)據(jù)采集計劃定義的不同運行，其有所不同。在某些情況下，腳本可將所有數(shù)據(jù)寫出，而在其它情況下，腳本只寫數(shù)據(jù)子集。通過發(fā)送以文件列表作為參數(shù)的TCL代碼，告知加載程序處理具體輸入文件。執(zhí)行此命令時，加載程序執(zhí)行數(shù)據(jù)庫工具，將特定SQL數(shù)據(jù)文件載入數(shù)據(jù)庫。對于錯誤，加載程序分析工具輸出。結果可作為程序調用返回值報告，也可報告給DMH跟蹤設備。
數(shù)據(jù)管理表格可在DMH中作為內存表實現(xiàn)和在數(shù)據(jù)庫中作為永久存儲實現(xiàn)。對于行和列的創(chuàng)建及將數(shù)據(jù)發(fā)送到表格，DMH能提供SQL的有限集。在永久數(shù)據(jù)庫中可復制表格，使用同樣的SQL語句填充表格。表格的軟件接口可由TCL和SQL代碼聯(lián)合提供。
可由在后臺運行的加載程序將數(shù)據(jù)發(fā)送到數(shù)據(jù)庫，加載程序將SQL命令從文件發(fā)送到數(shù)據(jù)庫。通過將SQL寫入文件并將文件置于加載程序目錄中，完成從內存表格到永久表格的數(shù)據(jù)傳輸。執(zhí)行SQL語句之后，文件從加載程序目錄中自動刪除。
來自于諸如OES和VIP的傳感器的原始數(shù)據(jù)，以及來自于工具的數(shù)據(jù)可存儲于APC服務器中。數(shù)據(jù)量基于用戶配置的數(shù)據(jù)采集計劃以及工具運行的頻率。而且，其它數(shù)據(jù)可作為日志和后處理文件存儲于APC服務器。因此，數(shù)據(jù)管理組件的一個目的在于允許高級用戶管理APC服務器文件，從而維護所采集的數(shù)據(jù)而使服務器運行不溢出磁盤空間。文件維護在APC服務器中可用，而在與服務器連接的工作站中不可用。
在452中，可執(zhí)行備份，歸檔，刪除，恢復，和還原(BADRR)函數(shù)。例如，BADRRGUI模塊可提供接口，用于運行BADRR系列命令而不影響周期性數(shù)據(jù)庫維護操作的工作方式。BADRR配置文件可用于確定周期性數(shù)據(jù)庫維護配置如何工作，運行BADRRGUI模塊不修改BADRR配置文件中指定的參數(shù)?！癇ADRRGUI周期”模塊可提供到BADRR配置文件中建立的最常用配置參數(shù)的圖形用戶界面。“BADRRGUI周期”模塊中所作改變可修改BADRR配置文件，因此可影響隨后的周期性數(shù)據(jù)庫維護操作。BADRRGUI模塊可包括用戶交互的幾個面板以確定如何處理數(shù)據(jù)。備份函數(shù)用于確定應備份何種數(shù)據(jù)(備份僅包含配置數(shù)據(jù)而不包含晶片數(shù)據(jù))。歸檔函數(shù)確定應歸檔的數(shù)據(jù)。刪除函數(shù)可確定應刪除何種數(shù)據(jù)并一次處理一個運行ID。數(shù)據(jù)僅在歸檔之后才可刪除。還原函數(shù)可取出存儲于備份目錄的現(xiàn)有文件，將其解壓到工作目錄并根據(jù)文件名還原每個表格。檢索函數(shù)可取出存儲于文檔目錄的所選文件，單獨處理每個文件，將文件將其解壓到工作目錄并根據(jù)文件名檢索每個表格。重索引函數(shù)可收集表格和索引的當前統(tǒng)計；其能提供具有最精確信息的優(yōu)化器，從而確定檢索數(shù)據(jù)時的最佳路徑計劃。通過重建行以刪除數(shù)據(jù)碎片以及通過壓縮信息，重構函數(shù)重構表格。
在454中可顯示數(shù)據(jù)。在一個實施例中，數(shù)據(jù)顯示包括向用戶顯示狀態(tài)屏幕，向用戶顯示設置/配置屏幕，向用戶顯示圖表，向用戶顯示報警信息(干擾信息)。
使用至少一個GUI屏幕顯示狀態(tài)數(shù)據(jù)。例如，使用圖12所示GUI屏幕可顯示工具狀態(tài)數(shù)據(jù)?？蛇x地，使用其它GUI屏幕可顯示其它狀態(tài)數(shù)據(jù)。在所述實施例中，工具狀態(tài)屏幕包括標題面板，信息面板，和控制面板。在信息面板中，可在屏幕上顯示每個處理模塊的當前信息。腔體字段可包括至少一個處理模塊名稱。關于處理模塊中當前晶片的信息可顯示于批次ID，晶片盒，方法ID和計劃字段。批次ID是模塊中晶片所屬批次的ID。晶片盒是當前晶片所出自的晶片盒ID。配方ID是當前晶片的配方ID。計劃是在當前晶片上執(zhí)行的數(shù)據(jù)采集計劃名稱。處理模塊面板包括文本和圖片以表示模塊主要元素的狀態(tài)。
使用至少一個GUI屏幕可顯示設置和配置數(shù)據(jù)。例如，使用圖13所示GUI屏幕可顯示工具配置數(shù)據(jù)。可選地，使用其它GUI屏幕可顯示其它設置和配置數(shù)據(jù)。在所述實施例中，系統(tǒng)配置屏幕包括標題面板，信息面板，和導航面板。在信息面板中，可顯示工具當前信息。導航面板允許用戶選擇工具和腔體信息，用戶可使用導航面板觀看和編輯與工具相關的探頭參數(shù)。在可選實施例中，配置屏幕可包括標題面板，信息面板，和控制面板。
可使用一個或多個圖表顯示數(shù)據(jù)，繪圖函數(shù)可用于使用至少一個GUI屏幕顯示數(shù)據(jù)。例如，可使用至少一個GUI屏幕配置，編輯，和查看圖表。圖14所示是圖表選擇屏幕的示例視圖。在所述實施例中，圖表選擇屏幕包括標題面板，信息面板，和導航面板。在信息面板中，可顯示圖表的當前信息。導航面板提供顯示不同圖表類型的方式。
圖15所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的另一圖表選擇屏幕的示例視圖。用戶可訪問跟蹤圖表，OES光譜圖表，匯總圖表，或來自該圖表選擇屏幕的OES匯總圖表。
圖16所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的跟蹤圖表配置屏幕的示例視圖。用戶可從圖表選擇屏幕訪問參數(shù)標簽屏幕。參數(shù)標簽屏幕使用戶能選擇包含于圖表的參數(shù)。標志(labels)標簽屏幕使用戶能選擇包含于圖表的標志。系列(series)標簽屏幕使用戶能選擇包含于圖表的系列。著色(coloring)標簽屏幕使用戶能選擇用于圖表的顏色。
圖17所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的晶片匯總圖表屏幕的示例視圖。例如，用戶可從圖表選擇屏幕訪問晶片匯總圖表屏幕。晶片匯總圖表屏幕使用戶能查看圖表所選參數(shù)。在晶片匯總圖表屏幕上，可繪出與此前所選晶片相關的參數(shù)。使用SQL語句執(zhí)行繪圖函數(shù)?？删庉嫞瑒h除，和保存匯總圖表。而且，使用“保存為(SaveAs)”選擇可保存來自另一用戶的圖表。
圖18A和18B所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的圖表選擇屏幕的示例視圖以及所選圖表的示例視圖。
圖19A-19C所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的PCA計劃面板的示例視圖。例如，PCA SPC計劃可用于確定PCA SPC圖表中顯示何種數(shù)據(jù)，以及如何處理報警。在圖19A中，顯示了導航樹，但本發(fā)明并不如此要求?？蛇x地，可使用諸如選擇標簽，列表或按鈕的其它選擇方式。可使用下拉式列表，因為其允許用戶創(chuàng)建新的PCA SPC計劃，編輯PCA SPC計劃，保存PCA SPC計劃，刪除PCA SPC計劃，關聯(lián)PCA SPC計劃，撤消關聯(lián)PCA SPC計劃，導入PCA SPC計劃，導出PCA SPC計劃，執(zhí)行數(shù)據(jù)準備。可選地，可使用諸如選擇標簽，菜單項，復選框，或按鈕的其它選擇方式。
配置APC系統(tǒng)和APC軟件時，APC系統(tǒng)和APC軟件自動產生至少一個缺省PCA SPC計劃。自動產生的PCA SPC計劃可用于操作系統(tǒng)，或作為示例用于工藝工程師設置不同的PCA SPC計劃。
例如，PCA SPC計劃面板可包括以下至少一個計劃名稱字段，計劃說明字段，數(shù)據(jù)采集計劃名稱字段，SPC報警動作字段，導入/導出子面板，參數(shù)子面板，組件子面板，和PCA輸出子面板。
可打開諸如“PCA SPC計劃”的PCA SPC計劃文件夾，以顯示一個或多個具體SPC計劃，例如PCA計劃實例。圖19A中，顯示了一個PCA SPC計劃，選擇方式可用從而允許用戶顯示圖19B-19C所示的PCA SPC計劃設置面板。例如，可使用鼠標按鍵或一系列鍵盤按鍵顯示該面板。
圖20A-20C所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的PLS計劃面板的示例視圖。例如，PLS SPC計劃可用于確定PLS SPC圖表中顯示何種數(shù)據(jù)，以及如何處理報警。在圖20A中，顯示了導航樹，但本發(fā)明并不如此要求?？蛇x地，可使用諸如選擇標簽，列表或按鈕的其它選擇方式?？墒褂孟吕搅斜?，因為其允許用戶創(chuàng)建新的PLS SPC計劃，編輯PLS SPC計劃，保存PLS SPC計劃，刪除PLS SPC計劃，關聯(lián)PLS SPC計劃，撤消關聯(lián)PLS SPC計劃，導入PLS SPC計劃，導出PLS SPC計劃，和/或執(zhí)行數(shù)據(jù)準備。可選地，可使用諸如選擇標簽，菜單項，復選框，或按鈕的其它選擇方式。
配置APC系統(tǒng)和APC軟件時，APC系統(tǒng)和APC軟件自動產生至少一個缺省PLS SPC計劃。自動產生的PLS SPC計劃可用于操作系統(tǒng)或作為示例用于工藝工程師設置不同的PLS SPC計劃。
例如，PLS SPC計劃面板可包括以下至少一個計劃名稱字段，計劃說明字段，數(shù)據(jù)采集計劃名稱字段，SPC報警動作字段，導入/導出子面板，過濾器選項子面板，輸入?yún)?shù)子面板，模型矩陣子面板，和PLS輸出子面板。
可打開諸如“PLS SPC計劃”的PLS SPC計劃文件夾以顯示一個或多個具體SPC計劃，例如PLS計劃實例。圖20A中，顯示了一個PLS SPC計劃，選擇方式可用從而允許用戶顯示圖20B-20C所示的PLS SPC計劃設置面板。例如，可使用鼠標按鍵或一系列鍵盤按鍵顯示該面板。
圖21A-21E所示是根據(jù)本發(fā)明的一個實施例的輸出計劃面板的示例視圖。例如，文件輸出計劃可用于確定原始數(shù)據(jù)文件，匯總數(shù)據(jù)文件，和Simca-P匯總文件中顯示何種數(shù)據(jù)。圖21A中，顯示了導航樹，但本發(fā)明并不如此要求?？蛇x地，可使用諸如選擇標簽，列表或按鈕的其它選擇方式?？蛇x地，可使用諸如選擇標簽，列表或按鈕的其它方式。可使用下拉式列表，其允許用戶創(chuàng)建新的文件輸出計劃，編輯文件輸出計劃，保存文件輸出計劃，刪除文件輸出計劃，關聯(lián)文件輸出計劃，撤消關聯(lián)文件輸出計劃，導入文件輸出計劃，導出文件輸出計劃，和執(zhí)行數(shù)據(jù)準備。可選地，可使用諸如選擇標簽，菜單項，復選框，或按鈕的其它選擇方式。
配置APC系統(tǒng)和APC軟件時，APC系統(tǒng)和APC軟件自動產生至少一個缺省文件輸出計劃。自動產生的文件輸出計劃可用于操作系統(tǒng)或作為示例用于工藝工程師設置不同的文件輸出計劃。
例如，文件輸出計劃面板可包括以下至少一個計劃名稱字段，計劃說明字段，數(shù)據(jù)采集計劃名稱字段，文件格式類型字段，參數(shù)子面板，采樣率子面板，步驟子面板，匯總處理子面板，和文件輸出子面板。
可打開諸如“文件輸出計劃”的文件輸出計劃文件夾以顯示一個或多個具體SPC計劃，例如原始數(shù)據(jù)文件計劃，匯總數(shù)據(jù)文件計劃，或Simca-P匯總文件計劃。圖21A中，顯示了3個不同的文件輸出計劃，選擇方式可用從而允許用戶顯示圖21B-21D所示的文件輸出計劃設置面板。例如，可使用鼠標按鍵或一系列鍵盤按鍵顯示該面板。
由原始數(shù)據(jù)文件計劃所產生的文件包含對于指定參數(shù)的原始傳感器數(shù)據(jù)?；跀?shù)據(jù)采集計劃中指定的輸出時間，輸出文件的每一行包括原始數(shù)據(jù)入口。例如，如果輸出時間是1次/秒，后續(xù)每行將包括所處理晶片后續(xù)每秒的原始數(shù)據(jù)。
匯總數(shù)據(jù)文件計劃所產生的文件包含對于指定參數(shù)的一個或多個晶片的匯總數(shù)據(jù)。參數(shù)匯總數(shù)據(jù)包括在晶片運行的該參數(shù)的最小值，最大值，平均值，和3σ值。匯總輸出文件典型地包括多個晶片數(shù)據(jù)；但文件上下文基于給定文件名。
Simca P_raw數(shù)據(jù)計劃所產生的文件包括指定參數(shù)的原始傳感器文件。此文件格式是Simca-P所特有。基于計劃中指定輸出時間，輸出文件的每一行包括原始數(shù)據(jù)入口。例如，如果輸出時間是1次/秒，則后續(xù)每行包括所處理晶片后續(xù)每秒的數(shù)據(jù)。文件是否包含多個晶片數(shù)據(jù)運行數(shù)據(jù)基于如何命名文件。
而且，Simca-P匯總文件和文件計劃設計為便于Simca-P建模。例如，對于計劃中每個配方步驟的每個參數(shù)，Simca-P匯總文件可包括平均值，3-sigma值，最小值，最大值，極差，或這些值的組合。
如上所述，GUI基于網(wǎng)絡，并其用戶可使用網(wǎng)絡瀏覽器觀看?；谔幚砟K事件，和報警消息，數(shù)字或圖表表示的歷史數(shù)據(jù)，SPC圖表，APC系統(tǒng)日志，和報警日志，GUI允許用戶顯示實時工具和處理模塊信息。而且，GUI允許用戶打印圖形和報表，將數(shù)據(jù)保存至文件，導出數(shù)據(jù)，導入數(shù)據(jù)，設置或修改系統(tǒng)。
GUI屏幕包括至少一個標題欄，導航欄，選擇欄，控制欄，消息欄，和GUI面板。工具欄可沿GUI面板的底端或頂端定位，可包括允許用戶在屏幕和/或面板之間切換的選項，而無須遍歷一系列菜單。理想地，可在至少一個屏幕/面板上顯示退出方式。此外，數(shù)據(jù)已修改而未保存時可提供提示消息。而且，可顯示獲取幫助的方式，其可用于查看具體上下文和普通文檔以幫助用戶理解展示給用戶的數(shù)據(jù)和/或從用戶請求的數(shù)據(jù)。而且，GUI組件包括從以下組所選的至少一個屏幕英語屏幕，日語屏幕，繁體中文屏幕，簡體中文屏幕，朝鮮語屏幕，德語屏幕，和法語屏幕。程序400結束于456。
APC系統(tǒng)的數(shù)據(jù)管理組件也可執(zhí)行偽晶片數(shù)據(jù)采集和任何其它必要的處理數(shù)據(jù)采集，用于在工具在穩(wěn)定，處理監(jiān)控或在陳化處理時分析來自于工具的數(shù)據(jù)。在此類處理中可使用偽晶片以避免產品晶片損失。
本領域的技術人員將認識到從左至右的選擇標簽結構可由從右至左結構，從底至頂結構，從頂至底結構，組合結構或任何其它結構置換。本領域的技術人員將認識到選擇標簽結構可由導航樹結構或任何其它結構置換。在可選實施例中，功能按鈕可位于所有GUI屏幕的底端。數(shù)據(jù)已修改而未保存時可提供彈出提示?？墒褂脦椭聊?，查看具體上下文和普通文檔以幫助用戶理解展示給用戶的數(shù)據(jù)和/或從用戶請求的數(shù)據(jù)。
根據(jù)以上說明，本發(fā)明的多種修改和變化是可能的。因此可理解，除在此特別說明之外，可在所附權利要求書的范圍內實踐本發(fā)明。
權利要求
1.一種用于在半導體處理環(huán)境中管理數(shù)據(jù)的方法，該方法包括在處理期間采集原始數(shù)據(jù)；接收跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)；將原始數(shù)據(jù)與跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)同步以創(chuàng)建晶片數(shù)據(jù)；從原始數(shù)據(jù)中計算匯總數(shù)據(jù)；以及創(chuàng)建包含晶片數(shù)據(jù)和匯總數(shù)據(jù)的文件。
2.如權利要求1所述的方法，進一步包括執(zhí)行至少一個分析策略；以及執(zhí)行分析計劃，SPC計劃，PLS計劃，PCA計劃，原始文件輸出計劃，匯總文件輸出計劃，和決策計劃中的至少一個。
3.如權利要求2所述的方法，進一步包括將晶片數(shù)據(jù)存儲于SQL數(shù)據(jù)庫中。
4.如權利要求2所述的方法，進一步包括執(zhí)行數(shù)據(jù)備份函數(shù)，數(shù)據(jù)歸檔函數(shù)，數(shù)據(jù)刪除函數(shù)，數(shù)據(jù)恢復函數(shù)和數(shù)據(jù)還原函數(shù)中的至少一個。
5.如權利要求2所述的方法，進一步包括以下至少一個使用至少一個GUI屏幕顯示狀態(tài)數(shù)據(jù)，使用至少一個GUI屏幕顯示設置數(shù)據(jù)，使用至少一個GUI屏幕顯示配置數(shù)據(jù)；使用至少一個GUI屏幕顯示晶片數(shù)據(jù)，以及使用至少一個GUI屏幕顯示跟蹤參數(shù)數(shù)據(jù)。
6.如權利要求1所述的方法，其中所述采集原始數(shù)據(jù)包括接收上下文信息；基于上下文信息執(zhí)行數(shù)據(jù)采集策略；以及基于數(shù)據(jù)采集策略執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃。
7.如權利要求6所述的方法，其中所述執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃包括接收上下文信息；基于上下文信息執(zhí)行數(shù)據(jù)采集策略；以及基于數(shù)據(jù)采集策略執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃。
8.如權利要求1所述的方法，其中所述執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃包括接收開始事件；使用至少一個傳感器采集原始數(shù)據(jù)；存儲原始數(shù)據(jù)到原始數(shù)據(jù)采集文件中；以及接收結束事件，其中停止至少一個傳感器，并關閉原始數(shù)據(jù)采集文件。
9.如權利要求1所述的方法，其中所述將原始數(shù)據(jù)與跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)同步以創(chuàng)建晶片數(shù)據(jù)包括，使用開始事件和運行時步驟，將數(shù)據(jù)從至少一個傳感器索引到至少一個表格中，其中數(shù)據(jù)包括原始數(shù)據(jù)，跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)中的至少一種。
10.如權利要求1所述的方法，其中所述采集原始數(shù)據(jù)包括執(zhí)行數(shù)據(jù)采集計劃和數(shù)據(jù)預處理計劃；使用傳感器設置計劃初始化多個傳感器；為索引數(shù)據(jù)確定時間同步定義；啟動傳感器，其中傳感器包括處理工具，處理模塊和處理傳感器中的至少一個；從傳感器接收數(shù)據(jù)；以及使用時間同步定義將來自傳感器的數(shù)據(jù)存儲于原始數(shù)據(jù)采集文件，跟蹤文件和處理日志文件中的至少一個。
11.如權利要求10所述的方法，進一步包括停止傳感器；將數(shù)據(jù)從傳感器傳輸?shù)綌?shù)據(jù)采集中心；以及在中心處理數(shù)據(jù)。
12.如權利要求11所述的方法，其中所述在中心處理數(shù)據(jù)進一步包括計算客戶參數(shù)；使用數(shù)據(jù)采集計劃計算數(shù)據(jù)匯總；使用數(shù)據(jù)預處理計劃過濾數(shù)據(jù)；以及創(chuàng)建包含原始數(shù)據(jù)和匯總數(shù)據(jù)的SQL文件。
13.如權利要求12所述的方法，其中所述在中心過濾數(shù)據(jù)進一步包括為處理步驟刪減數(shù)據(jù)；剪切數(shù)據(jù)；以及計數(shù)峰值限制。
14.如權利要求10所述的方法，進一步包括處理數(shù)據(jù)，以及顯示至少一些處理過的數(shù)據(jù)。
15.如權利要求14所述的方法，其中所述顯示至少一些處理過的數(shù)據(jù)進一步包括創(chuàng)建跟蹤晶片圖表；以及使用GUI屏幕顯示跟蹤晶片圖表。
16.如權利要求14所述的方法，其中所述顯示至少一些處理過的數(shù)據(jù)進一步包括創(chuàng)建匯總晶片圖表；以及使用GUI屏幕顯示匯總晶片圖表。
17.如權利要求14所述的方法，其中所述顯示至少一些處理過的數(shù)據(jù)進一步包括創(chuàng)建跟蹤晶片步驟比較圖表；以及使用GUI屏幕顯示跟蹤晶片步驟比較圖表。
18.如權利要求10所述的方法，進一步包括使用參數(shù)保存屏幕以初始化至少一個傳感器，其中參數(shù)保存屏幕包括參數(shù)列表和用于保存至少一個參數(shù)的裝置。
19.如權利要求18所述的方法，其中參數(shù)保存屏幕包括多級導航樹。
20.如權利要求19所述的方法，其中多級導航樹包括英語多級導航樹，日語多級導航樹，繁體中文多級導航樹，簡體中文多級導航樹，朝鮮語多級導航樹，德語多級導航樹和法語多級導航樹中的至少一個。
21.如權利要求18所述的方法，其中參數(shù)保存屏幕包括多個選擇標簽。
22.如權利要求21所述的方法，其中多個選擇標簽包括從左至右標簽，從右至左標簽，從頂至底標簽和從底至頂標簽中的至少一個。
23.如權利要求14所述的方法，其中所述顯示至少一些處理過的數(shù)據(jù)進一步包括創(chuàng)建工具狀態(tài)數(shù)據(jù)；以及使用GUI屏幕顯示工具狀態(tài)數(shù)據(jù)。
24.如權利要求1所述的方法，進一步包括創(chuàng)建系統(tǒng)配置數(shù)據(jù)；以及使用系統(tǒng)配置屏幕顯示系統(tǒng)配置數(shù)據(jù)。
25.如權利要求24所述的方法，其中系統(tǒng)配置屏幕包括標題面板，信息面板和導航面板。
26.如權利要求1所述的方法，其中該方法包括使用英語屏幕，日語屏幕，繁體中文屏幕，簡體中文屏幕，朝鮮語屏幕，德語屏幕和法語屏幕中的至少一個。
27.如權利要求1所述的方法，其中該方法包括使用GUI屏幕，GUI屏幕包括從左至右選擇標簽，從右至左選擇標簽，從頂至底選擇標簽和從底至頂選擇標簽中的至少一個。
28.如權利要求1所述的方法，進一步包括使用數(shù)據(jù)采集中心存儲晶片數(shù)據(jù)。
29.如權利要求1所述的方法，其中包含晶片數(shù)據(jù)和匯總數(shù)據(jù)的文件是SQL文件。
全文摘要
一種用于在半導體處理環(huán)境中管理數(shù)據(jù)的方法。在處理期間采集原始數(shù)據(jù)。還接收跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)。將原始數(shù)據(jù)與跟蹤文件數(shù)據(jù)和處理日志文件數(shù)據(jù)同步以創(chuàng)建晶片數(shù)據(jù)，從原始數(shù)據(jù)中計算匯總數(shù)據(jù)，并創(chuàng)建包含晶片數(shù)據(jù)和匯總數(shù)據(jù)的文件。
文檔編號G05B15/02GK1675603SQ03819602
公開日2005年9月28日 申請日期2003年8月14日 優(yōu)先權日2002年8月20日
發(fā)明者梅里特·芬克 申請人:東京毅力科創(chuàng)株式會社