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用于陰極處理的自動分解激活電源的制作方法

文檔序號:6272782閱讀:758來源:國知局
專利名稱:用于陰極處理的自動分解激活電源的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本實用新型屬于工業(yè)電氣設(shè)備領(lǐng)域,特別涉及到一種用于陰極處理的自動分解激活電源。
背景技術(shù)
在真空電子行業(yè)中,對于電子器件中,尤其是微波電子器件中,所用到的陰極,要進行一系列專業(yè)性處理,包括在電子器件排氣工序過程中對陰極的分解和激活處理,處理時需要有一個穩(wěn)定、可靠、按照一定工藝曲線運行的電源,在調(diào)節(jié)電源電壓過程中,過去主要靠排氣工人手動調(diào)節(jié)電壓、電流,既費時費力,又不能保證電壓(電流)緩慢上升,其上升曲線不是光滑的,而是臺階式曲線,因而使陰極分解過程不能達到預期效果。由于人員操作的不穩(wěn)定因素,就不能保證工藝的一致性和穩(wěn)定性。
本實用新型按微波管、電子管等陰極分解工藝對其電源的要求進行設(shè)計開發(fā),較好的解決以上問題。有效減輕了排氣操作人員的勞動強度和勞動時間。對保證行波管陰極分解工藝和操作的一致性起到重要作用;發(fā)明內(nèi)容本實用新型需要解決的技術(shù)問題是,針對已有技術(shù)中,用于陰極處理的自動分解激活電源,其電壓電流的調(diào)節(jié),無法提供一種光滑曲線梯度的調(diào)節(jié),因而使分解激活過程工藝穩(wěn)定性、一致性均差,達不到預期的效果,為了滿足微波電子器件對陰極分解、激活工藝的要求,就要提供一種新的電源設(shè)計,使其既保證排氣工序操作效率,減輕勞動強度,又使電氣調(diào)節(jié)曲線平穩(wěn)光滑,滿足陰極自動分解激活的需要。本實用新型是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的,一種用于陰極處理的自動分解激活電源,包括電源機箱,供調(diào)節(jié)用的機箱前面板,其特征在于,所述電源機箱內(nèi)設(shè)有一塊電源電路板,電路板中主要包含電源開關(guān)電路及電流放大電路連接的控制儀部分M3,控制儀輸出信號通過信號整理電路連接到程控直流電源M4輸出端;電路板中還含有連接到M4輸出端的手動、自動過程選擇電路;連接到控制儀M3的控制方式選擇電路;連接控制儀M3的暫停保護功能電路及連接到前面板上選擇開關(guān)的倍數(shù)選擇電路。所述手動、自動過程選擇電路,手動方式連接到機箱前面板上電壓調(diào)節(jié)旋紐;自動方式下經(jīng)控制儀表M3連接到直流程控電源M4輸出端。所述控制方式選擇電路,該電源可以選擇被控參數(shù)為電壓的電壓運行曲線或被控參數(shù)為電流的電流運行曲線。所述暫停保護功能電路,一端連接到該電源之外的真空儀表輸出端,另一端連接到該電源電路中控制儀M3的運行或暫停。所述倍數(shù)選擇電路,它連接到機箱前面板上選擇設(shè)定電壓和輸出電壓的倍數(shù)調(diào)節(jié)旋紐。該電源電路板中還設(shè)有過壓過流保護部分;所采用的電壓電流表都含有上下限保護以及通向計算機的通信接口。
本裝置所選用的直流電源類別可以不同,如采用不同的直流電源,可以成為各種可編程的直流電源。如直流電源采用高壓電源,電壓電流采樣,采用隔離電壓電流采樣器可組成可編程高壓電源。
本實用新型的有益效果是用于陰極處理的該自動分解激活電源可以光滑漸變地自動調(diào)節(jié)電源電壓和電流參數(shù),調(diào)節(jié)精度高,電壓調(diào)節(jié)精度優(yōu)于0.01V;可設(shè)置多種陰極分解工藝曲線,滿足各類電子器件中對陰極分解激活處理工藝的要求,無須外加計算機控制。


圖1為用于陰極處理的自動分解激活電源的外貌示意圖。
圖2為所述電源機箱前面板圖。
圖3為本電源的方框圖。
圖4為電源電路布局圖。
具體實施方式
參照圖1、圖2,表示本專利所述的用于陰極處理的自動分解激活電源外貌示意圖及機箱前面板圖,圖中電源機箱為1,其前方為機箱面板2,該面板上又包含有電源開關(guān)鍵2.1,手動或自動過程選擇鍵2.2;控流或是控壓的控制方式選擇鍵2.3;暫停保護功能鍵2.4及倍數(shù)選擇鍵2.4及倍數(shù)選擇鍵2.5;在電源機箱內(nèi),設(shè)有電源電路板3,參照圖3,表示本電源的方框連接圖,圖中給出了各部分的連接關(guān)系,圖4表示該電源電路3的布局圖,圖中連接市電220V的始端部分,為電源開關(guān)電路3.1,通過接口C1向控制儀M3供電,M3還連有電流放大電路部分3.2及暫停保護電路3.3,通過信號整理電路3.4控制程控直流電源M4,通過控制儀的菜單可以設(shè)定分解(激活)運行曲線,控制儀輸出信號通過信號處理電路控制直流電源M4的輸出電壓。電流電壓表M2及M1分別測量輸出電壓和電流值,并判斷是否超壓或過流。若超壓或過流即通過繼電器切斷輸出電壓保護分解的真空器件,并通過過流過壓保護電路3.5發(fā)出聲光報警,提示操作者及時處理。
在電源電路調(diào)整過程中,可有如下選擇,手動自動過程選擇通過選擇開關(guān)選擇程控直流電源工作的手動方式或自動方式,手動方式下,可以通過面板上的電壓調(diào)節(jié)旋鈕P1,調(diào)節(jié)電源輸出電壓。自動方式下,通過溫控儀M3控制程控直流電源輸出電壓。
控壓控流控制方式選擇根據(jù)具體的真空器件陰極工藝要求,電源可選擇運行電壓曲線和電流曲線。即控制儀運行曲線的參數(shù)是電壓還是電流。當選擇控壓時,控制儀的參數(shù)表示電壓,運行得到的為電壓曲線。如為控流方式,控制儀的參數(shù)表示電流,運行得到的為電流曲線。
暫停保護功能通過外部儀器(如真空計)輸出信號,調(diào)整控制儀的暫停和運行,實現(xiàn)真空度低于設(shè)定點時,電源自動停止運行。等待真空度上升到一定程度,控制儀繼續(xù)運行。達到保護真空器件陰極的功能。
倍數(shù)選擇可以通過面板開關(guān)選擇設(shè)定電壓和輸出電壓的倍數(shù),這樣可以擴展本電源的電壓控制范圍,使其不受儀表本身輸入電壓限制。
權(quán)利要求1.一種用于陰極處理的自動分解激活電源,包括電源機箱,供調(diào)節(jié)用的機箱前面板,其特征在于,所述電源機箱內(nèi)設(shè)有一塊電源電路板,電路板中主要包含電源開關(guān)電路及電流放大電路連接的控制儀部分(M3),控制儀輸出信號通過信號整理電路連接到程控直流電源(M4)輸出端;電路板中還含有連接到(M4)輸出端的手動、自動過程選擇電路;連接到控制儀(M3)的控制方式選擇電路;連接控制儀(M3)的暫停保護功能電路及連接到前面板上選擇開關(guān)的倍數(shù)選擇電路。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于陰極處理的自動分解激活電源,其特征在于,所述手動、自動過程選擇電路,手動方式連接到機箱前面板上電壓調(diào)節(jié)旋紐;自動方式下經(jīng)控制儀表(M3)連接到直流程控電源(M4)輸出端。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于陰極處理的自動分解激活電源,其特征在于,所述控制方式選擇電路,該電源可以選擇被控參數(shù)為電壓的運行電壓曲線或被控參數(shù)為電流的運行電流曲線。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于陰極處理的自動分解激活電源,其特征在于,所述暫停保護功能電路,一端連接到該電源之外的真空儀表輸出端,另一端連接到該電源電路中控制儀(M3)的運行或暫停。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于陰極處理的自動分解激活電源,其特征在于,所述倍數(shù)選擇電路,它連接到機箱前面板上選擇設(shè)定電壓和輸出電壓的倍數(shù)調(diào)節(jié)旋紐。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于陰極處理的自動分解激活電源,其特征在于,該電源電路板中還設(shè)有過壓過流保護部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于陰極處理的自動分解激活電源,其特征在于,所采用的電壓電流表都含有上下限保護以及通向計算機的通信接口。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述用于陰極處理的自動分解激活電源,其特征在于,所選用的直流電源類別可以不同。
專利摘要一種用于陰極處理的自動分解激活電源,屬于工業(yè)電氣設(shè)備領(lǐng)域,包括電源機箱,供調(diào)節(jié)用的機箱前面板,機箱內(nèi)設(shè)有電源電路板,電路板中包含電源開關(guān)電路及電流放大電路連接的控制儀部分M3,控制儀輸出信號通過信號整理電路連接到程控直流電源M4輸出端;電路板中還含有連接到M4輸出端的手動、自動過程選擇電路;連接到控制儀M3的控制方式選擇電路;連接控制儀M3的暫停保護功能電路及連接到前面板上選擇開關(guān)的倍數(shù)選擇電路。該電源可以光滑漸變地自動調(diào)節(jié)電源電壓和電流參數(shù),調(diào)節(jié)精度高,電壓調(diào)節(jié)精度優(yōu)于0.01V;可設(shè)置多種陰極分解工藝曲線,滿足各類電子器件中對陰極分解激活處理工藝的要求,無須外加計算機控制。
文檔編號G05F1/10GK2850127SQ20052002308
公開日2006年12月20日 申請日期2005年7月8日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月8日
發(fā)明者李樹瑜 申請人:李樹瑜
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