專利名稱：信息管理和跟蹤系統(tǒng)(imts)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于支持和跟蹤薄工藝(thin processes)(例如，基于膜的工藝開發(fā))的系統(tǒng)，該系統(tǒng)的焦點集中在管理工藝開發(fā)活動、在其進行期間跟蹤它們、以及開發(fā)制品(artifact)(例如，掃描式電子顯微鏡(SEM)/原子力顯微鏡(AFM)圖像、測量結果、特征數據等)。
本發(fā)明提供了用于管理和跟蹤與一個或多個操作相關的一個或多個信息實體，其中本實體或每個實體能夠與本操作或每個操作交叉引用，以擴充可存儲在系統(tǒng)中并可以通過相應的應用程序訪問的信息網絡。
背景技術：
如今，來自工藝開發(fā)(例如，由模擬、試生產、測試或測量得出的CMOS工藝開發(fā))的技術信息通常非正式地和非系統(tǒng)地以書面形式、電子數據表的形式保存，或僅僅在工藝工程師的頭腦中，因此很難在將來的工藝開發(fā)項目或工藝移植(porting)活動中獲得使用。而且開發(fā)數據或開發(fā)制品(SEM圖像、測試結果、運行卡等)大多數以松散地、不相關地方式存儲，導致了再現性不足、知識增加較少、開發(fā)控制不足、統(tǒng)計數據較少等。因此，存在著對使用組織化的正式方法和商業(yè)/開發(fā)工藝來以可以檢索和重用所收集的數據/知識并且易于管理的方式存儲該數據的強烈需要。
對于這種工藝開發(fā)制品的非正式存儲的一個主要原因是難以(不太可能)限定可以用于組織數據的一般總是有效的分類。因此，有必要能夠從視圖(view)的不同點存取該工藝開發(fā)數據。為了實現此目標，需要通用和靈活的方法以允許由單一的表示法(representation)容易地創(chuàng)建這些不同視圖的方式來存儲數據。本發(fā)明提出了這種一般的存儲機構(mechanism)。
目前沒有軟件系統(tǒng)完全關注上述不足。一部分由諸如CoreDB、OperatorDB和PhoenixBV的Process Flow等產品來解決，這些產品關注所執(zhí)行處理的工藝參數和流程存儲。例如由Brooks Automation出售的Promis的其它工具更集中關注涉及生產線管理的問題，例如加工(fab)監(jiān)控、產量提高，而不是把需要許多實驗/模擬來生成用于預期器件的適當工藝流程的工藝開發(fā)作為目標。這兩個方面之間的基本區(qū)別是在開發(fā)期間，測試許多工序組合和步長參數設置以將最終的器件性能調整到操作的預期范圍。生產控制方面更多的集中在較小量的差別處理，該處理在步驟中具有更少的自由度，這里，統(tǒng)計計算和預期的與實際的性能之間的比較是首要目標。
上述的、商業(yè)上可應用的工具沒有完成將各種測量結果(例如，圖片、材料成分分析表)、開發(fā)相關文檔、因果分析結果等合并到知識庫的功能部件。因此，它們漏掉了知識保存和知識生成的主要部分，因為它們沒有提供完成這種循環(huán)并將真實結果與預計結果進行比較、以及使用差值來重新標準化知識庫的可能性。

發(fā)明內容
本發(fā)明通過引入制品管理和工藝參數以及流程跟蹤克服了上述不足。本發(fā)明的基本概念是將涉及工藝開發(fā)工作的所有制品作為可以以文件形式存儲的通過相關應用程序可見的“文檔”。因為通常由設備/廠商/用戶使用不可擴展的標準格式，所以擴展所使用的格式以增加知識存儲和檢索所需的元數據(meta data)(例如，為制品/文檔添加關鍵字或狀態(tài)信息)幾乎是不可能的。因此，本發(fā)明在本地數據周圍建立了一個外殼/包裝，提供了以靈活和用戶可擴展的方式為知識存儲(例如，關鍵字、狀態(tài)信息、相關結果、結論等)增加元數據的可能性。另外它還提供了由搜索引擎驅動的靈活的搜索機構，使得能夠執(zhí)行特別定制的搜索。
區(qū)別本發(fā)明與“已知的”文檔管理系統(tǒng)的是通過使這些制品相聯系、尤其能夠使它們與用于不同工序的參數設置的詳細捕捉以及完整工藝流程相聯系來將這些制品約束在一起的能力。這使得可以直接查看參數及其改變對結果的影響以及具體流程對結果的影響，由此獲得對在工藝開發(fā)期間的因果鏈更深入的理解。


現在將只參照附圖描述本發(fā)明的實例，在附圖中圖1是示出根據本發(fā)明的工藝設計和跟蹤環(huán)境的總體結構的示意性流程圖；圖2和圖3是示出應用在本發(fā)明實例中的總體和具體結構的示意圖；圖4是示出本發(fā)明的系統(tǒng)的更詳細的示意圖；圖5是示出由本發(fā)明的系統(tǒng)呈現給用戶的數據的示意圖；圖6是示出用戶通過系統(tǒng)訪問能夠遵循的示意圖，以及圖7是示出通過計算機網絡實現的根據本發(fā)明的系統(tǒng)的交互作用的總體示意圖。
具體實施例方式
在本發(fā)明的實例中，使用了半導體晶片制造的實例工藝，盡管應該理解本發(fā)明可以應用到其他工藝(例如，藥物開發(fā))。
為了易于理解本發(fā)明，術語“制品”是指在開發(fā)項目期間產生或使用的并且保存在某種文件或鏈接中的任何類型的硬件開發(fā)結果或參考。這包括所有文件編制，例如但不限于由用戶制作的報告、文本集(text collection)、電子表格、以及各種電子生成的具有多種格式并且通常保存為文件的測試文件、圖像、圖片的文件編制。另外，制品可以是與開發(fā)工藝或項目相關的外部源的參考?；诒景l(fā)明的系統(tǒng)能夠存儲和跟蹤關于在其他東西中的這些制品的元數據。
術語“實體”將在研究和開發(fā)過程中使用和生成的應用領域的所有相關開發(fā)維數(dimension)以及諸如關于特定維數的元數據的人工數據組集合到一起。
圖1示出了工藝設計和跟蹤環(huán)境200的總體結構和其交互作用的示意圖，其表示在大型系統(tǒng)中不同環(huán)境之間的接口、不同環(huán)境和環(huán)境功能之間的信息流動。系統(tǒng)200包括代表系統(tǒng)核心的工藝設計和開發(fā)跟蹤環(huán)境210；用于模擬工序和流程的模擬環(huán)境220；半導體制造設備環(huán)境230；以及評估環(huán)境240。當數據從步驟和流程數據線224輸入到模擬環(huán)境時，模擬結果可以經由模擬結果線222流回到工藝設計和開發(fā)跟蹤環(huán)境210。這里，可以通過例如可以對測試或測量進行評估的評估環(huán)境240經由設計的檢查線228評估模擬結果。
類似地，例如，來自包括實際的生產控制和/或實參數設置環(huán)境230的制造設施的詳情能夠經由實參數設置流程線232流動到工藝設計和開發(fā)跟蹤環(huán)境210。機器設置數據226可以從工藝設計和開發(fā)跟蹤環(huán)境210流動到半導體制造設備環(huán)境230。這種結構不限于半導體工藝環(huán)境，而是可以同樣應用到其他技術領域，例如，藥物、生物或化學工藝的成分開發(fā)。
該結構允許進行知識保存和知識生成，以將真實結果與預計結果進行比較，并使用差值來重新標準化(recalibrate)知識庫，例如如圖1所示的回線236從“測試”回到工藝設計和開發(fā)跟蹤環(huán)境210。
圖2示出了實施本發(fā)明的總體結構，其特征在于，類似的蜘蛛網100包括多個節(jié)點，其中，根據距離和關系強度，每個節(jié)點可以通過其他節(jié)點訪問另一個節(jié)點。節(jié)點本身可以為不同的維數，包含例如與產品開發(fā)相關的信息或知識。這使得能夠結合來自用戶(可以是人或可以是系統(tǒng))的不同角度/觀點(perspective)的視圖。
例如，維數1節(jié)點130可以表示對產品或樣本執(zhí)行的實驗，維數2節(jié)點135可以表示來自制藥企業(yè)的一批藥品，維數3節(jié)點140可以表示來自具體批量的個體，而這里表現為可以為圖像、摘要等的文檔的制品節(jié)點145包括制品?；诒景l(fā)明的差值系統(tǒng)能夠捕獲關于所有有用的開發(fā)維數的數據，例如在半導體工藝開發(fā)中，諸如實驗、批量(lot)、晶片和制品都被看作可以為任何類型文件的文檔。在每一項可以與所有其他項(維數內或維數外)相聯系的情況下，可以將所有收集的維數聯系在一起。圖3示出了應用到半導體工藝的源“網絡”。
本發(fā)明的管理系統(tǒng)提供了具有通過將這些制品彼此聯系以及尤其能夠將它們與應用領域的研究和開發(fā)環(huán)境的其他維數的詳細捕捉相聯系而將這些制品約束在一起的能力的系統(tǒng)。這使用戶能夠得出并查看對實驗參數及其改變的影響以及不同地執(zhí)行的實驗對結果的影響，因此有可能對研究和開發(fā)自由度的因果鏈獲得更深刻的理解。在圖2中，能夠形成的不同類型的相關性和關系由連接不同維數的線來表示，例如，線347使維數2中的節(jié)點與維數1中的節(jié)點相關聯，反之亦然。
為了快速地以盡可能少的努力將信息添加到基于本發(fā)明的系統(tǒng)，系統(tǒng)可以包含自動從文件系統(tǒng)增加制品數據庫的特征。為此，它們應該通過包括滿足已同意模式的文件和目錄的可配置的目錄結構進行讀取，并且從所發(fā)現的文件或目錄增加制品和其他維數。應該創(chuàng)建對應實體之間的附加關系以建立網絡，另外，將關鍵字附加到所創(chuàng)建的實體上。
在如圖3所示的本發(fā)明的進一步的實施例中，網絡結構300示出了半導體工業(yè)的實例，關于在產品的研究和開發(fā)工作的不同維數中信息存儲在哪里以及能夠怎樣形成相關性以得出關于其狀態(tài)的有用信息。在圖3中，第一維信息由一系列實驗310表示，第二維表示一系列大量半導體晶片320，而第三維表示單個半導體330，以及制品340表示包括例如但不限于文本注釋、圖像和類似信息的文檔。
通過沿著連接不同維數的線可以形成關系。例如，用戶能夠跟蹤晶片的工藝。它經由接口線346與半導體批量相關。該批量可以在晶片制造設施處已經經歷了一定生產步驟，并且關于這種情況的信息將存儲在該維數中的那個節(jié)點中。轉折(turn)連接在線347處，并且與特定的實驗相聯系。這告訴用戶某些實驗以特殊的方法進行。
因此，本發(fā)明的信息存儲和相關特征允許維數間相關和維數內的相關，以便顯示給用戶關于它的什么信息是可用的以及它們怎樣與處理環(huán)境的不同階段相聯系。這樣，用戶就可以識別在制造設施處在不同階段所采取的不同工序、這些批量在哪里處理及怎樣處理、對它們執(zhí)行什么試驗、例如什么圖像被存儲并可由用戶通過制品查看。
除了圖1中示出的一般概念，圖4示出體現本發(fā)明的信息管理和跟蹤系統(tǒng)(IMTS)400的環(huán)境和結構，包括數據管理單元410，用于至少管理來自設計和跟蹤環(huán)境的數據；工藝設計單元420，用于管理和存儲工藝設計信息；工藝開發(fā)跟蹤單元430；后備注釋單元450；使用/任務管理單元455；以及文檔管理單元460。
數據管理單元410還包括設計環(huán)境數據模塊411，用于處理用于工藝設計單元420的數據；工藝開發(fā)跟蹤數據模塊412，用于處理用于工藝開發(fā)跟蹤環(huán)境430和后備注釋單元450的數據；雜項數據模塊413和文件數據模塊414，分別處理用于使用/任務管理單元455和文檔管理單元460的數據。
工藝設計單元420還包括工藝流程設計模塊422；工序設計模塊421；以及導入/導出模塊423。
數據工藝過程開發(fā)跟蹤單元430還包括數據維護模塊440；檢索模塊445；以及導入/導出模塊431。如上所述，數據維護模塊440還包括至少工藝流程440a、工序440b、制品440c、晶片440d、設計440e、實驗440g、以及項目440h的維數。檢索模塊445還包括設置有至少具有搜索445a、導航445b、報告445c和統(tǒng)計評估445d能力的功能性裝置。
參考圖4，后備注釋單元450還包括導入/導出模塊451；調度模塊452；以及跟蹤總體(population)模塊453。
在工藝開發(fā)期間，根據需要，工藝設計單元420能夠與模擬單元500相互作用，以將數據提供到那里并從那里接收數據。工藝設計單元420也通過其導入/導出模塊423將適當的數據提供給外部系統(tǒng)510以及制造環(huán)境230和評估環(huán)境240。來自制造環(huán)境230和評估環(huán)境240的數據通過后備注釋單元450反饋回系統(tǒng)內，根據需要，又將信息反饋到工藝開發(fā)跟蹤單元430。
控制系統(tǒng)部件，以確保數據能夠以圖5所示形式的方式呈現給用戶。可以從該圖中看出，可以設置項目縱覽顯示器600，并且在縱覽顯示器600內，在該實例中個體實驗模塊610可以用表示特定制造批量、在那些批量中制造的晶片以及任何與為了用戶易于理解而圈入并鏈接到特定實驗的特定實驗相關的制品的數據來顯示。例如，可以將鏈接設置到與使用通常晶片或通常批量的實驗相鄰，因此，再次地，根據需要用戶可以具有對項目消息靈通的縱覽，并且理解在特定實驗、批量、晶片和制品之間的鏈接。圖6示出了用戶怎樣通過來自項目屏幕的數據而移動。
圖7示出在使用中，本發(fā)明的系統(tǒng)400怎樣與模擬或應用系統(tǒng)500相互作用，以提供和獲得適當的數據，以及怎樣與用戶呈現系統(tǒng)700相互作用，以遠距離地(或許通過基于互聯網的系統(tǒng))或在固定庫提供和接收來自用戶的輸入數據。
從上述內容將會理解，本發(fā)明提供了一種信息管理和跟蹤系統(tǒng)，其能夠從許多源接收項目數據，處理和比較數據，然后使它以確保用戶能夠獲得系統(tǒng)的適當縱覽的方式呈現給用戶，以便以先前沒有提供的方式管理開發(fā)工藝。
權利要求
1.一種信息管理和跟蹤系統(tǒng)，用于管理和跟蹤與工藝開發(fā)相關的制品數據，所述制品數據包括與開發(fā)實驗參數、結果和產品相關的數據，所述系統(tǒng)包括數據管理部件；工藝設計環(huán)境，用于保留與工藝設計相關的數據；開發(fā)跟蹤環(huán)境，用于保留包括所述制品的與所述工藝開發(fā)相關的數據；以及后備注釋環(huán)境，用于接收工藝數據并將所述工藝數據提供給所述開發(fā)跟蹤環(huán)境，其中，配置所述數據管理部件以控制所述工藝設計環(huán)境、開發(fā)跟蹤環(huán)境和后備注釋環(huán)境，使得在使用中，從其中所接收的和存儲在其中的所述數據能夠以鏈接的方式被訪問，使得在使用中，用戶可以從每個環(huán)境獲得數據并觀察其間的鏈接。
2.根據權利要求1所述的系統(tǒng)，其中，配置所述工藝設計環(huán)境，以與注釋部件通信。
3.根據權利要求1或2所述的系統(tǒng)，其中，配置所述工藝設計環(huán)境，以將數據提供到制造或評估系統(tǒng)中的至少一個。
4.根據以上任意一項權利要求所述的系統(tǒng)，還包括顯示器，用于接收由所述數據管理部件提供到那里的數據。
5.根據以上任意一項權利要求所述的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)被配置以管理與半導體制造工藝開發(fā)相關的數據。
6.根據以上任意一項權利要求所述的系統(tǒng)，其中，所述數據管理部件包括用于將元數據添加到所述制品數據，以使得能夠對其進行鏈接觀察和搜索的裝置。
7.一種管理和跟蹤信息的方法，所述信息包括與工藝開發(fā)相關的制品數據，所述制品數據包括與開發(fā)實驗參數、結果和產品相關的數據，所述方法包括以下步驟設置數據管理部件；將與工藝設計相關的數據保留在工藝設計環(huán)境中；將包括所述制品的與所述工藝開發(fā)相關的數據保留在開發(fā)跟蹤環(huán)境中；在后備注釋環(huán)境中接收工藝數據并將所述接收的工藝數據提供給所述開發(fā)跟蹤環(huán)境；以及控制所述數據管理部件以控制所述工藝設計環(huán)境、開發(fā)跟蹤環(huán)境和后備注釋環(huán)境，使得在使用中，從其中所接收的和存儲在其中的所述數據能夠以鏈接的方式被訪問，使得在使用中，用戶可以從每個環(huán)境獲得數據并且察看其間的鏈接。
8.一種計算機程序產品，包括用于控制計算機執(zhí)行權利要求7所述方法的指令。
全文摘要
一種信息管理和跟蹤系統(tǒng)，用于管理和跟蹤與工藝開發(fā)相關的制品數據，制品數據包括與開發(fā)實驗參數、結果和產品相關的數據。本系統(tǒng)包括數據管理部件和用于保留與工藝設計相關的數據的工藝設計環(huán)境。開發(fā)跟蹤環(huán)境保留包括制品的與工藝開發(fā)相關的數據。后備注釋環(huán)境接收工藝數據并將其提供到開發(fā)跟蹤環(huán)境。配置數據管理部件以控制工藝設計環(huán)境、開發(fā)跟蹤環(huán)境和后備注釋環(huán)境，使得在使用中，能夠以鏈接的方式訪問從其中接收的和存儲在其中的數據，使得在使用中，用戶能夠從每個環(huán)境獲得數據并觀察其間的鏈接。
文檔編號G05B19/418GK1922548SQ200580005557
公開日2007年2月28日 申請日期2005年3月24日 優(yōu)先權日2004年3月24日
發(fā)明者迪爾克·賴因哈德·奧特洛夫 申請人:凱文迪什動力學有限公司