專(zhuān)利名稱(chēng)：基于晶片的規(guī)劃方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及晶片制造方法，特別是涉及適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法與系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在集成電路(IC)制造廠(chǎng)(例如半導(dǎo)體晶片廠(chǎng))中，通常使用制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)來(lái)進(jìn)行制造控制。在一制造執(zhí)行系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)中，產(chǎn)品的制造與制造途徑對(duì)應(yīng)，其中每一者均包含多個(gè)操作。制造執(zhí)行系統(tǒng)的重要功能之一，即為將規(guī)劃數(shù)據(jù)提供給制程機(jī)臺(tái)。
例如，在一制造執(zhí)行系統(tǒng)中，規(guī)劃數(shù)據(jù)可以包含數(shù)個(gè)層級(jí)，例如操作層級(jí)、機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)、機(jī)臺(tái)群組層級(jí)、機(jī)臺(tái)層級(jí)等。其中，該操作層級(jí)包含用于IC產(chǎn)品制造的數(shù)個(gè)操作。機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)包含不同功能的機(jī)臺(tái)群組集。每一個(gè)機(jī)臺(tái)群組集可以包含多個(gè)機(jī)臺(tái)群組，而每一機(jī)臺(tái)群組則和一特定制程機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)。
在一基于批量的制程機(jī)臺(tái)中，對(duì)送達(dá)的晶片進(jìn)行處理，并歸整為批次。因此，制造執(zhí)行系統(tǒng)所提供的對(duì)應(yīng)于一基于批量的制程機(jī)臺(tái)的規(guī)劃數(shù)據(jù)也是以批次為基礎(chǔ)的。例如，若一基于批量的制程機(jī)臺(tái)在執(zhí)行操作時(shí)最多可以處理25片晶片，則使其對(duì)應(yīng)的規(guī)劃數(shù)據(jù)以批次為基礎(chǔ)記錄于一制造執(zhí)行系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)中。當(dāng)將一批包含10片晶片的制品送達(dá)到該制程機(jī)臺(tái)時(shí)，該制程機(jī)臺(tái)依據(jù)儲(chǔ)存在該制造執(zhí)行系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)中的規(guī)劃數(shù)據(jù)，驗(yàn)證該包含10片晶片的批次。
該制程機(jī)臺(tái)可以依據(jù)儲(chǔ)存在該制造執(zhí)行系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫(kù)中的規(guī)劃數(shù)據(jù)，決定該包含10片晶片的批次對(duì)應(yīng)于該制程機(jī)臺(tái)。繼而，即使該晶片批次的數(shù)量未達(dá)到該制程機(jī)臺(tái)的最大處理量，該制程機(jī)臺(tái)也能執(zhí)行操作，以處理該包含10片晶片的批次。因此造成制造資源的浪費(fèi)。
圖1a顯示了公知基于批量的制程機(jī)臺(tái)的操作方式的示意圖。如圖所示，基于批量的制程機(jī)臺(tái)106的處理量為25片晶片，而送達(dá)的包含25片晶片的晶片批次100被基于批量的制程機(jī)臺(tái)106處理。當(dāng)包含10片晶片的晶片批次102被送達(dá)時(shí)，晶片批次102直接接受基于批量的制程機(jī)臺(tái)106的處理。而當(dāng)包含2片晶片的晶片批次104送達(dá)時(shí)，其必須等候晶片批次102處理完畢。由于晶片批次102和104所包含的晶片量未達(dá)到基于批量的制程機(jī)臺(tái)106的處理量，因此減少了基于批量的制程機(jī)臺(tái)106的產(chǎn)能輸出。
依據(jù)美國(guó)專(zhuān)利第6687563號(hào)，其揭示了一種用于300mm晶片的全自動(dòng)晶片廠(chǎng)的機(jī)臺(tái)分派和排程整合方法。然而，該方法著重于短期和長(zhǎng)期生產(chǎn)計(jì)劃的整合。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法。該方法包括提供規(guī)劃數(shù)據(jù)，所述規(guī)劃數(shù)據(jù)包含操作層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組層級(jí)、一機(jī)臺(tái)層級(jí)，其中該操作層級(jí)包含至少一操作，且每一操作對(duì)應(yīng)于該機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組集、該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組、以及該機(jī)臺(tái)群組中的一基于批量的制程機(jī)臺(tái)。針對(duì)該操作層級(jí)中的每一操作，將至少一機(jī)臺(tái)群組附加于該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)，其中該附加的機(jī)臺(tái)群組的數(shù)量依據(jù)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的晶片生產(chǎn)能力來(lái)決定。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法中，其中該方法進(jìn)一步對(duì)應(yīng)于該附加的機(jī)臺(tái)群組來(lái)附加機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法中，當(dāng)晶片送達(dá)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)時(shí)，依據(jù)該晶片的數(shù)量及該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則，從該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)的該機(jī)臺(tái)群組中選取一目標(biāo)機(jī)臺(tái)群組。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法中，該規(guī)劃數(shù)據(jù)由該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的一制造執(zhí)行系統(tǒng)提供。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法中，該附加機(jī)臺(tái)群組的該規(guī)劃數(shù)據(jù)為了晶片分配而被提供給該基于批量的制程機(jī)臺(tái)。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法中，該附加的機(jī)臺(tái)群組由1到該批次制程機(jī)臺(tái)的最大晶片生產(chǎn)能力索引。
本發(fā)明還提供一種適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)，其具有一數(shù)據(jù)庫(kù)、一附加模塊。該數(shù)據(jù)庫(kù)提供規(guī)劃數(shù)據(jù)，所述規(guī)劃數(shù)據(jù)包含操作層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組層級(jí)、一機(jī)臺(tái)層級(jí)，其中該操作層級(jí)包含至少一操作，且每一操作對(duì)應(yīng)于該機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組集、該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組、以及該機(jī)臺(tái)群組中的一基于批量的制程機(jī)臺(tái)。該附加模塊與該數(shù)據(jù)庫(kù)耦接，針對(duì)該操作層級(jí)中的每一操作，將至少一機(jī)臺(tái)群組附加于該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)，其中該附加的機(jī)臺(tái)群組的數(shù)量依據(jù)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的晶片生產(chǎn)能力來(lái)決定。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)中，該附加模塊進(jìn)一步對(duì)應(yīng)于該附加的機(jī)臺(tái)群組來(lái)附加機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)中，當(dāng)晶片送達(dá)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)時(shí)，依據(jù)該晶片的數(shù)量及該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則，從該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)的該機(jī)臺(tái)群組中選取一目標(biāo)機(jī)臺(tái)群組。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)中，該數(shù)據(jù)庫(kù)由該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的一制造執(zhí)行系統(tǒng)提供。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)中，該附加機(jī)臺(tái)群組的該規(guī)劃數(shù)據(jù)為了晶片分配而被提供給該基于批量的制程機(jī)臺(tái)。
在上述適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)中，該附加的機(jī)臺(tái)群組由1到該批次制程機(jī)臺(tái)的最大晶片生產(chǎn)能力索引。
為了讓本發(fā)明的上述和其它目的、特征、和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉出較佳實(shí)施例，并配合附圖詳細(xì)說(shuō)明如下


圖1a顯示了公知基于批量的制程機(jī)臺(tái)的操作方式的示意圖。
圖1b顯示了一基于批量的制程機(jī)臺(tái)的完整操作方法。
圖2顯示了依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法的流程圖。
圖3顯示了依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)的示意圖。
圖4顯示了依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的附加機(jī)臺(tái)群組的示意圖。
其中，附圖標(biāo)記說(shuō)明如下晶片批次 100晶片批次102晶片批次 104基于批量的制程機(jī)臺(tái) 106操作層級(jí) 400操作410機(jī)臺(tái)群組集層級(jí) 402機(jī)臺(tái)群組集 412機(jī)臺(tái)群組層級(jí) 404機(jī)臺(tái)群組414機(jī)臺(tái)層級(jí) 406基于批量的制程機(jī)臺(tái) 416機(jī)臺(tái)群組 424數(shù)據(jù)庫(kù) 30附加模塊 32 規(guī)劃數(shù)據(jù)300晶片批次 110、112、114 基于批量的制程機(jī)臺(tái) 116晶片批次 118具體實(shí)施方式
為了讓本發(fā)明的目的、特征、及優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特列舉較佳實(shí)施例，并配合所附圖2到圖4，做詳細(xì)的說(shuō)明。本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)提供了不同的實(shí)施例來(lái)說(shuō)明本發(fā)明不同實(shí)施方式的技術(shù)特征。其中，實(shí)施例中的各元件的配置為說(shuō)明之用，并非用以限制本發(fā)明。且實(shí)施例中附圖標(biāo)記的部分重復(fù)，是為了簡(jiǎn)化說(shuō)明，并非意指不同實(shí)施例之間的關(guān)聯(lián)性。
圖2顯示了依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法的流程圖。該方法首先提供規(guī)劃數(shù)據(jù)(步驟S200)。該規(guī)劃數(shù)據(jù)由控制該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的一制造執(zhí)行系統(tǒng)提供。該規(guī)劃數(shù)據(jù)包含操作層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組層級(jí)、一機(jī)臺(tái)層級(jí)。其中，該操作層級(jí)包含至少一操作，且每一操作對(duì)應(yīng)于該機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組集、該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組、以及該機(jī)臺(tái)群組中的一基于批量的制程機(jī)臺(tái)。之后，針對(duì)該操作層級(jí)中的每一操作，將至少一機(jī)臺(tái)群組附加于該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)(步驟S202)。其中該附加的機(jī)臺(tái)群組的數(shù)量依據(jù)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的晶片生產(chǎn)能力來(lái)決定，并且，該附加的機(jī)臺(tái)群組由1到該批次制程機(jī)臺(tái)的最大晶片生產(chǎn)能力進(jìn)行索引。
在此，也可以進(jìn)一步對(duì)應(yīng)于該附加的機(jī)臺(tái)群組來(lái)附加機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則。當(dāng)晶片送達(dá)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)時(shí)，依據(jù)該晶片的數(shù)量及該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則，從該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)的該機(jī)臺(tái)群組中選取一目標(biāo)機(jī)臺(tái)群組。
繼而，該附加機(jī)臺(tái)群組的該規(guī)劃數(shù)據(jù)可以為了晶片分配而提供給該基于批量的制程機(jī)臺(tái)。
通過(guò)上述方法及步驟，可以產(chǎn)生一種由一適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法所制造的集成電路產(chǎn)品。
圖4顯示了依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的附加機(jī)臺(tái)群組的示意圖。參見(jiàn)圖4，由控制該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的一制造執(zhí)行系統(tǒng)提供的該規(guī)劃數(shù)據(jù)可以包含操作層級(jí)400、一機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)402、一機(jī)臺(tái)群組層級(jí)404、一機(jī)臺(tái)層級(jí)406。其中，該操作層級(jí)400包含至少一操作410，且每一操作410對(duì)應(yīng)于該機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)402中的一機(jī)臺(tái)群組集412、該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)404中的一機(jī)臺(tái)群組414、以及該機(jī)臺(tái)層級(jí)406中的一基于批量的制程機(jī)臺(tái)416。之后，針對(duì)該操作層級(jí)中的每一操作，將機(jī)臺(tái)群組-1～機(jī)臺(tái)群組-25中的一個(gè)或多個(gè)-附加于該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)404。其中該附加的機(jī)臺(tái)群組424的數(shù)量依據(jù)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的最大晶片處理量來(lái)決定，并且，該附加的機(jī)臺(tái)群組由1到該批次制程機(jī)臺(tái)的最大晶片生產(chǎn)能力進(jìn)行索引。如圖4所示，該附加的機(jī)臺(tái)群組以1到25進(jìn)行索引。
在此，也可以進(jìn)一步對(duì)應(yīng)于該附加的機(jī)臺(tái)群組來(lái)附加機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則。該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則可以包含用以執(zhí)行機(jī)臺(tái)群組選取的操作狀況。當(dāng)晶片送達(dá)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)時(shí)，依據(jù)該晶片的數(shù)量及該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則，從該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)的該機(jī)臺(tái)群組中選取一目標(biāo)機(jī)臺(tái)群組。
圖3顯示了依據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)的示意圖。適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)具有一數(shù)據(jù)庫(kù)30及一附加模塊32。
該數(shù)據(jù)庫(kù)30提供規(guī)劃數(shù)據(jù)300，規(guī)劃數(shù)據(jù)300包含操作層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組層級(jí)、一機(jī)臺(tái)層級(jí)，其中該操作層級(jí)包含至少一操作，且每一操作對(duì)應(yīng)于該機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組集、該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組、以及該機(jī)臺(tái)群組中的一基于批量的制程機(jī)臺(tái)。
該附加模塊32與該數(shù)據(jù)庫(kù)30耦接，針對(duì)該操作層級(jí)中每一操作，將至少一機(jī)臺(tái)群組附加于該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)。
其中該附加的機(jī)臺(tái)群組的數(shù)量依據(jù)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的晶片生產(chǎn)能力來(lái)決定。并且，該附加的機(jī)臺(tái)群組由1到該批次制程機(jī)臺(tái)的最大晶片生產(chǎn)能力進(jìn)行索引。
在此，也可以進(jìn)一步對(duì)應(yīng)于該附加的機(jī)臺(tái)群組來(lái)附加機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則。該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則可以包含用以執(zhí)行機(jī)臺(tái)群組選取的操作狀況。例如，當(dāng)晶片批次送達(dá)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)時(shí)，可以依據(jù)晶片數(shù)量和該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則，從該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)的該機(jī)臺(tái)群組中選取一目標(biāo)機(jī)臺(tái)群組。
圖1b顯示了一基于批量的制程機(jī)臺(tái)的完整操作方法。一基于批量的制程機(jī)臺(tái)的最大晶片處理量為25片晶片，且分別包含有13片、10片、及2片晶片的晶片批次110、112及114被送達(dá)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)。通過(guò)本發(fā)明的方法將該基于批量的規(guī)劃數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為基于晶片的數(shù)據(jù)。因此，具有該基于批量的制程機(jī)臺(tái)116的最大晶片處理量的晶片批次118被處理。
針對(duì)圖1a及圖1b進(jìn)行比較，通過(guò)本發(fā)明的方法，基于批量的制程機(jī)臺(tái)用于處理完整的晶片批次，因此解決了傳統(tǒng)方法中的資源浪費(fèi)問(wèn)題。本發(fā)明方法也可以使用于產(chǎn)品輸出時(shí)間預(yù)測(cè)(product-out date prediction)，進(jìn)而提供其正確性。
雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然而其并非用以限定本發(fā)明。任何本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，可做一些變化與修飾。因此本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以后附的權(quán)利要求書(shū)所限定的范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法，其包括提供規(guī)劃數(shù)據(jù)，該規(guī)劃數(shù)據(jù)包含操作層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組層級(jí)、一機(jī)臺(tái)層級(jí)，其中該操作層級(jí)包含至少一操作，且每一操作對(duì)應(yīng)于該機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組集、該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組、以及該機(jī)臺(tái)群組中的一基于批量的制程機(jī)臺(tái)；以及針對(duì)該操作層級(jí)中的每一操作，將至少一機(jī)臺(tái)群組附加于該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)，其中該附加的機(jī)臺(tái)群組的數(shù)量依據(jù)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的晶片生產(chǎn)能力來(lái)決定。
2.如權(quán)利要求1所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法，其中該方法進(jìn)一步對(duì)應(yīng)于該附加的機(jī)臺(tái)群組來(lái)附加機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則。
3.如權(quán)利要求2所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法，其中當(dāng)晶片送達(dá)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)時(shí)，依據(jù)該晶片的數(shù)量及該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則，從該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)的該機(jī)臺(tái)群組中選取一目標(biāo)機(jī)臺(tái)群組。
4.如權(quán)利要求1所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法，其中該規(guī)劃數(shù)據(jù)由該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的一制造執(zhí)行系統(tǒng)提供。
5.如權(quán)利要求1所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法，其中該附加機(jī)臺(tái)群組的該規(guī)劃數(shù)據(jù)為了晶片分配而被提供給該基于批量的制程機(jī)臺(tái)。
6.如權(quán)利要求1所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法，其中該附加的機(jī)臺(tái)群組由1到該批次制程機(jī)臺(tái)的最大晶片生產(chǎn)能力進(jìn)行索引。
7.一種適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)，其包括一數(shù)據(jù)庫(kù)，其提供規(guī)劃數(shù)據(jù)，該規(guī)劃數(shù)據(jù)包含操作層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組層級(jí)、一機(jī)臺(tái)層級(jí)，其中該操作層級(jí)包含至少一操作，且每一操作對(duì)應(yīng)于該機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組集、該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組、以及該機(jī)臺(tái)群組中的一基于批量的制程機(jī)臺(tái)；以及一附加模塊，其與該數(shù)據(jù)庫(kù)耦接，并針對(duì)該操作層級(jí)中的每一操作，將至少一機(jī)臺(tái)群組附加于該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)，其中該附加的機(jī)臺(tái)群組的數(shù)量依據(jù)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的晶片生產(chǎn)能力來(lái)決定。
8.如權(quán)利要求7所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)，其中該附加模塊進(jìn)一步對(duì)應(yīng)于該附加的機(jī)臺(tái)群組來(lái)附加機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則。
9.如權(quán)利要求8所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)，其中當(dāng)晶片送達(dá)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)時(shí)，依據(jù)該晶片的數(shù)量及該機(jī)臺(tái)群組選取規(guī)則，從該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)的該機(jī)臺(tái)群組中選取一目標(biāo)機(jī)臺(tái)群組。
10.如權(quán)利要求7所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)，其中該數(shù)據(jù)庫(kù)由該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的一制造執(zhí)行系統(tǒng)提供。
11.如權(quán)利要求7所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)，其中該附加機(jī)臺(tái)群組的該規(guī)劃數(shù)據(jù)為了晶片分配而被提供給該基于批量的制程機(jī)臺(tái)。
12.如權(quán)利要求7所述的適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的基于晶片的規(guī)劃系統(tǒng)，其中該附加的機(jī)臺(tái)群組由1到該批次制程機(jī)臺(tái)的最大晶片生產(chǎn)能力進(jìn)行索引。
全文摘要
一種適用于基于批量的制程機(jī)臺(tái)的、計(jì)算機(jī)執(zhí)行的基于晶片的規(guī)劃方法。該方法包括提供規(guī)劃數(shù)據(jù)，所述規(guī)劃數(shù)據(jù)包含操作層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)、一機(jī)臺(tái)群組層級(jí)、一機(jī)臺(tái)層級(jí)，其中該操作層級(jí)包含至少一操作，且每一操作對(duì)應(yīng)于該機(jī)臺(tái)群組集層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組集、該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)中的一機(jī)臺(tái)群組、以及該機(jī)臺(tái)群組中的一基于批量的制程機(jī)臺(tái)。針對(duì)該操作層級(jí)中每一操作，將至少一機(jī)臺(tái)群組附加于該機(jī)臺(tái)群組層級(jí)，其中該附加的機(jī)臺(tái)群組的數(shù)量依據(jù)該基于批量的制程機(jī)臺(tái)的晶片生產(chǎn)能力決定。
文檔編號(hào)G05B19/418GK1975616SQ20061007191
公開(kāi)日2007年6月6日 申請(qǐng)日期2006年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月29日
發(fā)明者歐名峰, 方國(guó)強(qiáng), 張?jiān)t帆, 陳儒寬, 吳文斌 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司