專利名稱：一種loadlock監(jiān)控和自動復(fù)位系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種自動監(jiān)控和控制系統(tǒng)，尤其涉及是指一種L0ADL0CK監(jiān) 控和自動復(fù)位系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
目前LOADLOCK (預(yù)裝載臺)的作用是讓被搬送物體從非真空狀態(tài)到 另高真空狀態(tài)前的過渡腔體，它可以達(dá)到一定程度的真空度，它的產(chǎn)生可 以省很多從大氣到高真空的抽真空時間，它自帶的感知器也能對硅片的缺 損進(jìn)行檢測所以被廣泛運(yùn)用于批量生產(chǎn)的高真空設(shè)備。
但是，在半導(dǎo)體設(shè)備當(dāng)中的應(yīng)用，存在著LOADLOCK偏移導(dǎo)致硅片劃 傷的隱患，而此種隱患在目前的技術(shù)手段下無法事前預(yù)知和控制。 一旦發(fā) 生劃傷受害面將非常之大。
因此，在此技術(shù)領(lǐng)域中，需要一種LOADLOCK監(jiān)控和自動復(fù)位系統(tǒng)， 可以有效監(jiān)控LOADLOCK位置的偏差，同時對偏差量進(jìn)行分析和判斷并做 出報警或?qū)ζ钸M(jìn)行自動調(diào)整。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種LOADLOCK監(jiān)控和自動復(fù)位系統(tǒng) 及方法，可以檢測LOADLOCK的位置偏差，防止在操作過程中硅片的劃傷。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種LOADLOCK監(jiān)控和自動復(fù)位 系統(tǒng)，其包括設(shè)備主控制系統(tǒng)、機(jī)械手、光信號發(fā)射器、光信號接收器、 數(shù)據(jù)分析判斷模塊和L0ADL0CK，其中設(shè)備主控制系統(tǒng)，可發(fā)出信號使
LOADLOCK及機(jī)械手開始運(yùn)作；機(jī)械手，將信號反饋給設(shè)備主控制系統(tǒng)； 光信號發(fā)射器，可接收設(shè)備主控制系統(tǒng)信號，發(fā)出一列光信號；光信號接 收器，可檢測光信號發(fā)射器發(fā)來的光信號；數(shù)據(jù)分析判斷模塊，可根據(jù)光 接收信號器發(fā)來的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和判斷，并反饋到設(shè)備主控制系統(tǒng)； L0ADL0CK，可根據(jù)設(shè)備主控制系統(tǒng)給出的信號進(jìn)行調(diào)整。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明還提供了一種L0ADL0CK監(jiān)控和自動復(fù) 位方法，可運(yùn)用于上述系統(tǒng)上，包括如下步驟步驟一、設(shè)備主控制系統(tǒng)， 發(fā)出傳動信號使L0ADL0CK及機(jī)械手開始動作；步驟二、機(jī)械手，把到位 信號反饋給所述設(shè)備主控制系統(tǒng)；步驟三、光信號發(fā)射器，接收設(shè)備主控 制系統(tǒng)發(fā)出的機(jī)械手到位信號，發(fā)出一列光信號；步驟四、光信號接收器， 檢測光信號發(fā)射器發(fā)出的光信號并將數(shù)據(jù)發(fā)送給數(shù)據(jù)分析判斷模塊;步驟 五、數(shù)據(jù)分析判斷模塊，根據(jù)光接收信號器的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和判斷，并把 判斷信號反饋到設(shè)備主控制系統(tǒng)；設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出指令給L0ADL0CK; 步驟六、L0ADL0CK將根據(jù)設(shè)備主控制系統(tǒng)給出的指令進(jìn)行對應(yīng)的步進(jìn)調(diào) 整。上述步驟五判斷信號包括報警信號、正常作業(yè)信號或補(bǔ)正信號。 指令包括發(fā)出報警、正常作業(yè)或補(bǔ)正指令。上述步驟五具體指數(shù)據(jù)分 析判斷模塊，根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)，先判斷是否超過異常報警的預(yù)定值，如 超過則發(fā)出報警信號給設(shè)備主控制系統(tǒng)，設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出報警指令， 如未超過，則發(fā)出正常作業(yè)信號反饋給設(shè)備主控制系統(tǒng)，設(shè)備主控制系統(tǒng) 發(fā)出正常作業(yè)的指令；同時，數(shù)據(jù)分析判斷模塊繼續(xù)與各標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對或 運(yùn)算，并調(diào)用其它批次數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和判斷后發(fā)現(xiàn)異常時，再次發(fā)出補(bǔ)正 信號反饋給設(shè)備主控制系統(tǒng)，設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出補(bǔ)正指令。上述判斷是
否超過異常報警的預(yù)定值指l枚發(fā)生大于Zmax時，發(fā)出報警信號；或連 續(xù)5枚發(fā)生同一方向的偏差量大于Z2時，發(fā)出報警信號；或同批次中有 3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同向偏差但與前3枚是 反方向偏差時，發(fā)出報警信號；或連續(xù)5批每批都出現(xiàn)4枚或4枚以上超 過Zl且是同向偏差，而另有4枚或4枚以上超過Zl且同向偏差但與前幾 枚是反方向偏差時，發(fā)出報警信號；或如發(fā)現(xiàn)機(jī)械手的厚度與測得的值 Wrx偏差較大時，發(fā)出停機(jī)報警信號；或發(fā)現(xiàn)硅片的厚度與測得的值Wx 偏差較大時，發(fā)出停機(jī)報警信號。上述數(shù)據(jù)分析判斷模塊判斷發(fā)出補(bǔ)正信 號的標(biāo)準(zhǔn)有:如連續(xù)3批中每批都有4枚或4枚以上偏差超過Z2且是同向 偏差而其它硅片無反向偏差超Z2時，此時數(shù)據(jù)分析判斷模塊將3批中的 所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做出補(bǔ)正判斷，發(fā)出補(bǔ)正信號; 或如果20批制品中出現(xiàn)5批都有4枚或4枚以上偏差超過Z2且是同向偏 差而同批次中的其它硅片無反向偏差超Z2時，此時數(shù)據(jù)分析判斷模塊將 5批中的所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做出補(bǔ)正判斷，發(fā)出補(bǔ) 正信號;或如果連續(xù)3批中都有10枚以上發(fā)生偏差超過Zl且是同向偏差 而同批次中的其它硅片無反向偏差超Z1時，此時數(shù)據(jù)分析判斷模塊將3 批中的所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做出補(bǔ)正判斷，發(fā)出補(bǔ)正 信號。
本發(fā)明由于采用上述系統(tǒng)及方法，可有效監(jiān)控L0ADL0CK位置的偏差， 同時對偏差量進(jìn)行分析和判斷并做出報警或?qū)ζ钸M(jìn)行自動調(diào)整的補(bǔ)正 指令。


圖l是本發(fā)明一個具體實施例的工作流程圖； 圖2是圖1實施例中系統(tǒng)的工作示意圖3是圖1實施例中光信號接收器與光信號發(fā)射器與機(jī)械手的相對位 置示意圖3中1為光線號發(fā)射器、2為機(jī)械手、3為Load lock閥門、4為 光線號收器。
具體實施例方式
本發(fā)明L0ADL0CK監(jiān)控和自動復(fù)位系統(tǒng)包括設(shè)備主控制系統(tǒng)、機(jī)械手、 光信號發(fā)射器、光信號接收器、數(shù)據(jù)分析判斷模塊和LOADLOCK等，相應(yīng) 的方法可在系統(tǒng)中展開。
下面結(jié)合附圖與具體實施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
如圖1所示，是本發(fā)明一個具體實施例的工作流程圖。首先是由設(shè)備主 控制系統(tǒng)發(fā)出搬送硅片的傳動信號使LOADLOCK先位移到指定的位置后機(jī)械 手動作，等機(jī)械手伸到硅片背面時(在Z軸動作前)，反饋一個到位信號給設(shè) 備主控制系統(tǒng)，由設(shè)備主控制系統(tǒng)觸發(fā)光信號發(fā)射器發(fā)出一列光信號，如 圖2所示，此系統(tǒng)由高密度的光信號發(fā)射器和光信號接收器組成，其光信號 發(fā)射器和接收器都為柱狀，同時數(shù)據(jù)分析模塊也被觸發(fā)。光穿過L0ADL0CK 中的片盒和硅片被光信號接收器檢測到(光信號接收器與光信號發(fā)射器是 同脈沖觸發(fā)，同觸發(fā)同關(guān)閉,減少其它反射和折射光的影響)，此時數(shù)據(jù)分析 判斷模塊根據(jù)光信號接收器的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和判斷，并且所述數(shù)據(jù)分析判 斷模塊，其工作方式為'后臺運(yùn)算方式'，不影響機(jī)械手的正常工作速度。
判斷發(fā)出報警信號的標(biāo)準(zhǔn)有 ① l枚發(fā)生大于Zmax時，發(fā)出緊急停機(jī)報警信號；
② 連續(xù)5枚發(fā)生同一方向的偏差量大于Z2時，發(fā)出報警信號(此時 可能L0ADL0CK發(fā)生步進(jìn)電機(jī)偏差)；
③ 同批次中有3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同 向偏差但與前3枚是反方向偏差時，發(fā)出報警信號(如L0ADL0CK位移偏 差)；
④ 連續(xù)5批次中每批都出現(xiàn)4枚或4枚以上超過Zl且是同向偏差， 而另有4枚或4枚以上超過Zl且同向偏差但與前幾枚是反方向偏差時， 發(fā)出報警信號(如L0ADL0CK的步進(jìn)馬達(dá)有老損等)；
⑤ 如發(fā)現(xiàn)機(jī)械手的厚度與測得的值(Wrx)偏差較大時，發(fā)出停機(jī)報警
信號(如機(jī)械手變形或感知器異常)；
⑥ 如發(fā)現(xiàn)硅片的厚度與測得的值(Wx)偏差較大時，發(fā)出停機(jī)報警信 號(如硅片放錯片槽，L0ADL0CK傾斜或感知器異常等)。
判斷發(fā)出補(bǔ)正信號的標(biāo)準(zhǔn)有
① 如連續(xù)3批次中每批都有4枚或4枚以上偏差超過Z2且是同向偏 差而其它硅片無反向偏差超Z2時，此時數(shù)據(jù)分析判斷模塊將3批次中的 所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做出補(bǔ)正判斷，發(fā)出補(bǔ)正信號;
② 如20批次制品中出現(xiàn)5批都有4枚或4枚以上偏差超過Z2且是 同向偏差而同片批中的其它硅片無反向偏差超Z2時，此時數(shù)據(jù)分析判斷 模塊將5批中的所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做出補(bǔ)正判斷， 發(fā)出補(bǔ)正信號；
◎如連續(xù)3批次中都有10枚以上發(fā)生偏差超過Zl且是同向偏差而同片批中的其它硅片無反向偏差超Zl時，此時數(shù)據(jù)分析判斷模塊將3 批中的所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做出補(bǔ)正判斷，發(fā)出補(bǔ) 正信號。該數(shù)據(jù)分析判斷模塊，根據(jù)接收到的偏差量，先判斷是否超過發(fā)出異 常報警值Zmax，根據(jù)判斷把信號反饋給設(shè)備主控制系統(tǒng)，設(shè)備主控制系 統(tǒng)根據(jù)反饋得到的信號發(fā)出報警或正常作業(yè)的指令；同時，數(shù)據(jù)分析判斷 模塊繼續(xù)與各標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對或運(yùn)算，并調(diào)用其它批次數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和判斷 后發(fā)現(xiàn)異常時，再次發(fā)出補(bǔ)正信號給設(shè)備主控制系統(tǒng)，由設(shè)備主控制系統(tǒng) 發(fā)出補(bǔ)正指令。
設(shè)備主控制系統(tǒng)收到報警信號、正常作業(yè)信號或補(bǔ)正信號后，發(fā)出報 警、正常作業(yè)或補(bǔ)正指令如果根據(jù)監(jiān)控發(fā)現(xiàn)當(dāng)前批次需要調(diào)整時，設(shè)備 主控制系統(tǒng)在監(jiān)控第一枚硅片前對L0ADL0CK進(jìn)行補(bǔ)正偏差，然后由光信 號監(jiān)測器繼續(xù)檢測，確認(rèn)L0ADL0CK調(diào)整的位移量；如果發(fā)生實際調(diào)整的 位移量與需調(diào)整量的偏差較大時，機(jī)器報警(LOADLOCK的步進(jìn)馬達(dá)出現(xiàn)偏 差)；如果實際調(diào)整的位移量與需調(diào)整量的偏差正常時，繼續(xù)作業(yè)并監(jiān)控。
其中當(dāng)一批中少硅片或只有一枚時，由設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出一個不 監(jiān)控信號給數(shù)據(jù)分析判斷模塊(根據(jù)初始掃描的枚數(shù)結(jié)果，不監(jiān)控原則 缺損硅片的上一枚硅片為不監(jiān)控硅片，片槽25為非監(jiān)控片)；例如片槽 1、 2、 4、 5有硅片，片槽3、 6 25都無硅片，此時根據(jù)檢測后得出片槽 1， 4。監(jiān)控。Zrnax為最大偏差量，偏差量上限規(guī)格，達(dá)到此規(guī)格需緊急 停機(jī)；Zl為偏差量報警規(guī)格；Z2為偏差量自動控制規(guī)格；偏差量的計算 公式:Z^(Y-X)/2，其中x為實際被監(jiān)控的枚數(shù)編號；Wx為硅片的厚度；Wrx為第x枚硅片實際被監(jiān)控時，機(jī)械手厚度。
在實施本發(fā)明過程中，舉一實施例，可更加清楚地說明本發(fā)明提供的 內(nèi)容。
實施例
硅晶片在LOADLOCK的片盒中正常間距是6毫米，機(jī)械手厚度在2毫 米，Zmax二l。6毫米；Z2=l毫米；Z1=0。 5毫米；當(dāng)一切正常硅片與 機(jī)械手之間上下的距離各是2毫米。
1、 當(dāng)有制品作業(yè)時經(jīng)光信號檢測器檢測到單枚偏差量為+O。 8，數(shù)據(jù) 分析判斷模塊接收到信息,并得出偏差量小于Z2的規(guī)格，大于Zl的規(guī)格， 記入相關(guān)信息，同時反饋一個正常作業(yè)信號給設(shè)備主控制系統(tǒng)，然后設(shè)備 主控制系統(tǒng)發(fā)出正常作業(yè)指令，繼續(xù)進(jìn)行監(jiān)控。
當(dāng)此批制品發(fā)生10枚以上同向偏差大于Zl小于Z2時，數(shù)據(jù)分析判 斷模塊調(diào)出前2批制品的偏差量進(jìn)行計算，如前兩批也有10枚以上發(fā)生 同向偏差大于Zl小于Z2時，數(shù)據(jù)分析判斷模塊給出調(diào)整指令和平均偏 差量，收到信號后的設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出此批正常終了的指令，并記下偏 差量，下一批制品作業(yè)前設(shè)備主控制系統(tǒng)先發(fā)出補(bǔ)正信號，并控制 LOADLOCK作出補(bǔ)正方向的步進(jìn)位移，同時給數(shù)據(jù)分析判斷模塊發(fā)出一個 數(shù)據(jù)復(fù)位信號，當(dāng)L0ADL0CK與機(jī)械手再次動作時，繼續(xù)被監(jiān)控；如前兩 批無同向偏差時，此數(shù)據(jù)記入后反饋正常作業(yè)指令。
2、 如果檢測到單枚偏差量為+1。 8時，數(shù)據(jù)分析判斷模塊把數(shù)據(jù)與 規(guī)格進(jìn)行比較后發(fā)現(xiàn)偏差量(+1.8)大于Zmax，記入信息后反饋給設(shè)備主 控制系統(tǒng)停機(jī)和報警信號，設(shè)備主控制系統(tǒng)根據(jù)得到的反饋信號立即停機(jī)
報警，由設(shè)備人員對異常情況進(jìn)行確認(rèn)和人為修復(fù)。
另夕卜，需強(qiáng)調(diào)指出，本發(fā)明可應(yīng)用于所有機(jī)型LOADLOCK的位置監(jiān)控 和調(diào)整。
權(quán)利要求
1、一種LOADLOCK監(jiān)控和自動復(fù)位系統(tǒng)，其特征在于，包括設(shè)備主控制系統(tǒng)、機(jī)械手、光信號發(fā)射器、光信號接收器、數(shù)據(jù)分析判斷模塊和LOADLOCK，其中，所述設(shè)備主控制系統(tǒng)，可發(fā)出信號使所述LOADLOCK及機(jī)械手開始運(yùn)作；所述機(jī)械手，將信號反饋給所述設(shè)備主控制系統(tǒng)；所述光信號發(fā)射器，可接收所述設(shè)備主控制系統(tǒng)信號，發(fā)出一列光信號；所述光信號接收器，可接收所述設(shè)備主控制系統(tǒng)信號，與光信號發(fā)射器同脈沖觸發(fā)并檢測所述光信號發(fā)射器發(fā)來的光信號；所述數(shù)據(jù)分析判斷模塊，可根據(jù)所述光接收信號器發(fā)來的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和判斷，并反饋到所述設(shè)備主控制系統(tǒng)；所述LOADLOCK，可根據(jù)所述設(shè)備主控制系統(tǒng)給出的信號進(jìn)行調(diào)整。
2、 一種LOADLOCK監(jiān)控和自動復(fù)位方法，可運(yùn)用于權(quán)利要求l所述的 LOADLOCK監(jiān)控和自動復(fù)位系統(tǒng)上，其特征在于，包括如下步驟步驟一、所述設(shè)備主控制系統(tǒng)，發(fā)出傳動信號使LOADLOCK及機(jī)械手 開始動作；步驟二、所述機(jī)械手，把到位信號反饋給所述設(shè)備主控制系統(tǒng)；步驟三、所述光信號發(fā)射器，接收所述設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出的機(jī)械手 到位信號，發(fā)出一列光信號；步驟四、所述光信號接收器，檢測光信號發(fā)射器發(fā)出的光信號并將數(shù) 據(jù)發(fā)送給所述數(shù)據(jù)分析判斷模塊；步驟五、所述數(shù)據(jù)分析判斷模塊，根據(jù)所述光接收信號器的數(shù)據(jù)進(jìn)行 處理和判斷，并把判斷信號反饋到所述設(shè)備主控制系統(tǒng)；所述設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出指令給所述LOADLOCK;步驟六、所述L0ADL0CK將根據(jù)所述設(shè)備主控制系統(tǒng)給出的指令進(jìn)行 對應(yīng)的步進(jìn)調(diào)整。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的L0ADL0CK監(jiān)控和自動復(fù)位方法，其特征在 于，所述步驟五判斷信號包括報警信號、正常作業(yè)信號或補(bǔ)正信號，所 述步驟五指令包括發(fā)出報警、正常作業(yè)或補(bǔ)正指令。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的L0ADL0CK監(jiān)控和自動復(fù)位方法，其特征在 于，所述步驟五指所述數(shù)據(jù)分析判斷模塊，根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)，先判斷 是否超過異常報警的預(yù)定值，如超過則發(fā)出報警信號給所述設(shè)備主控制系 統(tǒng)，所述設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出報警指令，如未超過，則發(fā)出正常作業(yè)信號 反饋給所述設(shè)備主控制系統(tǒng)，所述設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出正常作業(yè)的指令;同時，所述數(shù)據(jù)分析判斷模塊繼續(xù)與各標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比對或運(yùn)算，并調(diào)用其它 批次數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和判斷后發(fā)現(xiàn)異常時，再次發(fā)出補(bǔ)正信號反饋給設(shè)備主 控制系統(tǒng)，所述設(shè)備主控制系統(tǒng)發(fā)出補(bǔ)正指令。
5、 根據(jù)權(quán)利要求4所述的L0ADL0CK監(jiān)控和自動復(fù)位方法，其特征 在于，所述判斷是否超過異常報警的預(yù)定值指:l枚發(fā)生大于Zmax時，發(fā) 出報警信號；或連續(xù)5枚發(fā)生同一方向的偏差量大于Z2時，發(fā)出報警信 號；或同批次中有3枚超Z2且是同向偏差，而另有3枚超Z2且也是同向 偏差但與前3枚是反方向偏差時，發(fā)出報警信號；或連續(xù)5批每批都出現(xiàn) 4枚或4枚以上超過Zl且是同向偏差，而另有4枚或4枚以上超過Zl且 同向偏差但與前幾枚是反方向偏差時，發(fā)出報警信號；或如發(fā)現(xiàn)機(jī)械手的 厚度與測得的值Wrx偏差較大時，發(fā)出停機(jī)報警信號；或發(fā)現(xiàn)硅片的厚度與測得的值Wx偏差較大時，發(fā)出停機(jī)報警信號；其中Zmax為最大偏差 量，即偏差量上限規(guī)格；Zl為偏差量報警規(guī)格；Z2為偏差量自動控制規(guī) 格；Wx為硅片的厚度；Wrx為第x枚硅片實際被監(jiān)控時機(jī)械手的厚度。
6、如權(quán)利要求4所述的L0ADL0CK監(jiān)控和自動復(fù)位方法，其特征在于， 所述數(shù)據(jù)分析判斷模塊判斷發(fā)出補(bǔ)正信號的標(biāo)準(zhǔn)有:如連續(xù)3批中每批都有 4枚或4枚以上偏差超過Z2且是同向偏差而其它硅片無反向偏差超Z2時，此 時數(shù)據(jù)分析判斷模塊將3批中的所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做 出補(bǔ)正判斷，發(fā)出補(bǔ)正信號；或如果20批制品中出現(xiàn)5批都有4枚或4枚以上 偏差超過Z2且是同向偏差而同批次中的其它硅片無反向偏差超Z2時，此時 數(shù)據(jù)分析判斷模塊將5批中的所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做出 補(bǔ)正判斷，發(fā)出補(bǔ)正信號；或如果連續(xù)3批中都有10枚以上發(fā)生偏差超過Z1 且是同向偏差而同批次中的其它硅片無反向偏差超Z1時，此時數(shù)據(jù)分析判 斷模塊將3批中的所有偏差量進(jìn)行求平均，根據(jù)平均偏差量做出補(bǔ)正判斷， 發(fā)出補(bǔ)正信號；其中Zl為偏差量報警規(guī)格；Z2為偏差量自動控制規(guī)格。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種LOADLOCK監(jiān)控和自動復(fù)位系統(tǒng)及方法，該系統(tǒng)包括設(shè)備主控制系統(tǒng)、機(jī)械手、光信號發(fā)射器、光信號接收器、數(shù)據(jù)分析判斷模塊和LOADLOCK，該設(shè)備主控制系統(tǒng)可發(fā)出信號使LOADLOCK及機(jī)械手開始運(yùn)作；機(jī)械手將信號反饋給設(shè)備主控制系統(tǒng)；光信號發(fā)射器可接收設(shè)備主控制系統(tǒng)信號，發(fā)出一列光信號；光信號接收器可檢測光信號發(fā)射器發(fā)來的光信號；數(shù)據(jù)分析判斷模塊可根據(jù)光接收信號器發(fā)來的數(shù)據(jù)進(jìn)行處理和判斷，并反饋到設(shè)備主控制系統(tǒng)；LOADLOCK可根據(jù)設(shè)備主控制系統(tǒng)給出的信號進(jìn)行調(diào)整。該方法包括六個步驟。本發(fā)明可以檢測LOADLOCK的位置偏差，防止在操作過程中硅片的劃傷。
文檔編號G05B19/048GK101178586SQ200610118218
公開日2008年5月14日 申請日期2006年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2006年11月10日
發(fā)明者堅 沈 申請人:上海華虹Nec電子有限公司