專利名稱：：一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化
技術(shù)領(lǐng)域：
，尤其涉及一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理的方法。
背景技術(shù)：
：半導(dǎo)體制造業(yè)是一個(gè)高科技行業(yè)，也是一個(gè)高投資的行業(yè)。半導(dǎo)體制造工廠為了實(shí)現(xiàn)其運(yùn)營(yíng)目標(biāo)，提高生產(chǎn)力，其生產(chǎn)管理活動(dòng)的自動(dòng)化程度越來(lái)越高，其中對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備管理的自動(dòng)化尤其重要。圖l是實(shí)現(xiàn)設(shè)備管理自動(dòng)化的軟件架構(gòu)圖。如圖所示，半導(dǎo)體制造設(shè)備通常是集群設(shè)備。半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)中給集群設(shè)備所下的定義是由物理上連接在一起的，可以用來(lái)處理不同工藝模塊和傳輸模塊的集成制造系統(tǒng)。每一個(gè)工藝模塊和傳輸模塊都由相應(yīng)的控制進(jìn)行控制，而這些模塊控制器通過(guò)接口模塊連接成一個(gè)有機(jī)的整體。半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制系統(tǒng)主要包含三大子系統(tǒng)集群設(shè)備控制系統(tǒng)、傳輸控制系統(tǒng)和工藝模塊控制系統(tǒng)。其中集群設(shè)備控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)管理和協(xié)調(diào)傳輸控制系統(tǒng)和工藝模塊控制系統(tǒng)，其主要功能是執(zhí)行工藝任務(wù)，并維護(hù)與任務(wù)相關(guān)的工藝流程；一個(gè)任務(wù)就是將材料從源片盒送入一個(gè)或多個(gè)工藝反應(yīng)腔室中，經(jīng)過(guò)工藝處理，再傳送到目的片盒的過(guò)程。傳輸控制系統(tǒng)主要負(fù)責(zé)控制傳輸模塊及相關(guān)模塊的操作。工藝模塊控制系統(tǒng)主要負(fù)責(zé)控制工藝模塊的相關(guān)搡作。傳輸控制系統(tǒng)和工藝模塊控制系統(tǒng)都通過(guò)i/o通道實(shí)現(xiàn)對(duì)相連受控器件的控制。工廠自動(dòng)化系統(tǒng)通過(guò)特定的通訊協(xié)議和半導(dǎo)體制造設(shè)備的通訊，以實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體制造設(shè)備的控制。這里的通訊協(xié)議是對(duì)SEMI相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)現(xiàn)，以符合業(yè)界規(guī)范。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，工藝配方是一個(gè)重要的因素，它記錄了如何加工原材料以生產(chǎn)出工廠想要的產(chǎn)品。因此在整個(gè)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)中，對(duì)工藝配方的管理占有相當(dāng)?shù)谋戎?。從圖l可以看出，對(duì)工藝配方的管理需要由工廠自動(dòng)化系統(tǒng)和設(shè)備共同完成。而在目前的實(shí)現(xiàn)中，這兩個(gè)系統(tǒng)都在本地有獨(dú)立的工藝配方存儲(chǔ)，兩個(gè)系統(tǒng)的交互只是集中在工藝配方的傳遞上，在整體上沒(méi)有一個(gè)統(tǒng)一的策略。這就可能造成存儲(chǔ)空間浪費(fèi)、兩地工藝配方不同步，管理復(fù)雜等問(wèn)題。本發(fā)明就是為了解決上述問(wèn)題而提出的。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，在工廠自動(dòng)化系統(tǒng)和設(shè)備之間制定一個(gè)統(tǒng)一的工藝配方管理策略，提高管理效率。為了實(shí)現(xiàn)統(tǒng)一工藝配方管理的目的，首先需要在工廠自動(dòng)化系統(tǒng)和設(shè)備之間進(jìn)行明確的角色劃分。1)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)進(jìn)行工藝配方的集中管理，具體功能包括a)維護(hù)一個(gè)工藝配方的信息庫(kù)，記錄當(dāng)前與它連接的設(shè)備中含有的工藝配方，包括工藝配方的名字、存儲(chǔ)位置、版本信息，而不進(jìn)行工藝配方的實(shí)際存儲(chǔ)。工藝配方的名字和版本信息唯一標(biāo)識(shí)了整個(gè)系統(tǒng)中的一個(gè)工藝配方，而存儲(chǔ)位置指定了工藝配方具體存儲(chǔ)在哪個(gè)設(shè)備中。b)向設(shè)備請(qǐng)求一個(gè)工藝配方。c)發(fā)送一個(gè)工藝配方到設(shè)備。d)可以從設(shè)備中刪除一個(gè)工藝配方。2)設(shè)備進(jìn)行工藝配方的實(shí)際存儲(chǔ)，具體功能包括a)本地存儲(chǔ)的一個(gè)工藝配方發(fā)生變化后，通知與之相連接的工廠自動(dòng)化系統(tǒng)。b)刪除工廠自動(dòng)化系統(tǒng)要求刪除的工藝配方。c)向工廠自動(dòng)化系統(tǒng)請(qǐng)求一個(gè)工藝配方。d)接收來(lái)自工廠自動(dòng)化系統(tǒng)的一個(gè)工藝配方。e)發(fā)送一個(gè)工藝配方到工廠自動(dòng)化系統(tǒng)。在上述角色劃分的基礎(chǔ)上，制定一系列策略來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝配方有效的管理，這些策略以工廠自動(dòng)化系統(tǒng)和設(shè)備提供的功能為基礎(chǔ)。1)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)連接一個(gè)新的設(shè)備。a)根據(jù)設(shè)備的位置信息建立與該設(shè)備的連接。b)獲取該設(shè)備含有的工藝配方的列表。c)從工藝配方列表中提取工藝配方名稱、版本信息，結(jié)合設(shè)備的位置信息在工藝配方庫(kù)中添加記錄。2)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)斷開(kāi)與一個(gè)設(shè)備的連接。a)獲取斷開(kāi)連接設(shè)備的位置信息。b)從工藝配方庫(kù)中刪除所有該位置信息的工藝配方記錄。3)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)要求設(shè)備刪除其含有的一個(gè)工藝配方。a)向設(shè)備發(fā)送刪除一個(gè)工藝配方的命令。b)從工藝配方庫(kù)中刪除該工藝配方的記錄。4)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)一個(gè)工藝配方下發(fā)到設(shè)備。a)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)發(fā)送一個(gè)工藝配方到設(shè)備。b)設(shè)備接收該工藝配方并存儲(chǔ)。c)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)更新其工藝配方庫(kù)，記錄設(shè)備已經(jīng)含有該工藝配方。5)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)中的一個(gè)工藝配方發(fā)生變化。a)接收到設(shè)備關(guān)于一個(gè)工藝配方發(fā)生變化的通知。b)根據(jù)設(shè)備位置信息和工藝配方名字信息在工藝配方庫(kù)中查詢有無(wú)記錄，如果有，更新這條記錄的版本信息，如果沒(méi)有在工藝配方庫(kù)中添加記錄，版本信息賦值為版本l。6)工藝配方在多個(gè)設(shè)備之間的自動(dòng)散發(fā)。a)設(shè)備A向工廠自動(dòng)化系統(tǒng)請(qǐng)求一個(gè)工藝配方。b)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)從工藝配方庫(kù)中査詢是否有該工藝配方，如果有的話得到其的存儲(chǔ)位置，這里我們假設(shè)為設(shè)備B(可能有多個(gè))。c)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)向存儲(chǔ)該工藝配方的設(shè)備B中請(qǐng)求該工藝配方。d)設(shè)備B從本地提取該工藝配方并向工廠發(fā)送。e)工廠接收工藝配方并將其發(fā)送到設(shè)備A。f)設(shè)備A接收該工藝配方并保存。g)工廠在工藝配方庫(kù)中添加一條記錄，記錄設(shè)備A也存儲(chǔ)該工藝配方。本發(fā)明通過(guò)對(duì)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)和設(shè)備角色的明確劃分，兩個(gè)系統(tǒng)協(xié)同管理工藝配方，降低了管理的復(fù)雜性，從而提高了管理的效率。工藝配方只在設(shè)備存儲(chǔ)，減少了對(duì)存儲(chǔ)空間的要求，同時(shí)引進(jìn)版本控制策略，從而解決了同名工藝配方的同步問(wèn)題。通過(guò)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)對(duì)工藝配方的轉(zhuǎn)發(fā)功能，實(shí)現(xiàn)了工藝配方在多個(gè)設(shè)備的自動(dòng)散發(fā)。圖i為現(xiàn)有技術(shù)中的工廠自動(dòng)化系統(tǒng)架構(gòu)示意圖；圖2為工藝配方在設(shè)備間的散發(fā)流程圖；具體實(shí)施方式以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。當(dāng)前有一個(gè)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)(FA)和兩個(gè)設(shè)備(分別為DA和DB)。設(shè)備A中含有工藝配方RA1(名字)，Vl(版本號(hào))；RA2(名字)，VI(版本號(hào))。設(shè)備B中含有工藝配方Rm(名字)，VI(版本號(hào));RB2(名字)，VI(版本號(hào))。最初，F(xiàn)A和DA,DB之間沒(méi)有連接，其工藝配方庫(kù)中沒(méi)有任何記2007錄。FA和DA建立連接后，按照策略l，F(xiàn)A的工藝配方庫(kù)會(huì)發(fā)生變化，它會(huì)記錄設(shè)備A內(nèi)所有的工藝配方，如表1所示。而后FA再和DB建立連接，最終FA工藝配方庫(kù)的內(nèi)容如表2所示。上述過(guò)程中DA和DB內(nèi)存儲(chǔ)的工藝配方未發(fā)送變化。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>FA可以向DA下發(fā)一個(gè)工藝配方RA3(名字)，VI(版本)，按照策略4，成功后，DA存儲(chǔ)的工藝配方有RA1(名字)，VI(版本號(hào))；RA2(名字)，VI(版本號(hào))；RA3(名字)，VI(版本)。FA工藝配方庫(kù)的內(nèi)容如表3所示表3<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>假定某種情況下，DA的工藝配方RA3(名字)，VI(版本)發(fā)生變化，根據(jù)策略5，F(xiàn)A工藝配方庫(kù)也要做相應(yīng)的更改，其內(nèi)容如表4所示。DA存儲(chǔ)的工藝配方為RA1(名字)，VI(版本號(hào))；RA2(名字)，VI(版本號(hào))；RA3(名字)，V2(版本)表4<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>FA可以要求DA刪除工藝配方RA3(名字)，V2(版本)，按照策略3,成功后，DA存儲(chǔ)的工藝配方有RA1(名字)，Vl(版本號(hào));RA2(名字)，Vl(版本號(hào))。FA工藝配方庫(kù)的內(nèi)容如表2所示DA可以向FA請(qǐng)求一個(gè)工藝配方RB1(名字)，VI(版本)，按照策略5，F(xiàn)A首先從DB中獲取給工藝配方，然后再發(fā)送到DA，成功后，DA存儲(chǔ)的工藝配方有RA1(名字)，VI(版本號(hào))；RA2(名字)，VI(版本號(hào))；RB1(名字)，VI(版本號(hào))。FA工藝配方庫(kù)的內(nèi)容如表5所示表5<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>系統(tǒng)關(guān)閉時(shí)，F(xiàn)A斷開(kāi)與DA,DB的連接，按照策略2，F(xiàn)A將從工藝配方庫(kù)中與斷開(kāi)設(shè)備相關(guān)的工藝配方記錄，成功后工藝配方庫(kù)為空。其中工藝配方在設(shè)備間的散發(fā)流程如圖2所示，首先設(shè)備A向工廠自動(dòng)化系統(tǒng)請(qǐng)求一個(gè)工藝配方；工廠自動(dòng)化系統(tǒng)從工藝配方庫(kù)中查詢是否有該工藝配方；如果沒(méi)有則通知設(shè)備A沒(méi)有工藝配方A;如果有的話得到其的存儲(chǔ)位置，這里我們假設(shè)為設(shè)備B(可能有多個(gè))；然后工廠自動(dòng)化系統(tǒng)向設(shè)備B請(qǐng)求工藝配方A;設(shè)備B接收請(qǐng)求后從本地提取該工藝配方A并向工廠發(fā)送；然后工廠接收工藝配方并將其發(fā)送到設(shè)備A;設(shè)備A接收該工藝配方并保存，同時(shí)工廠也修改其工藝配方庫(kù)，記錄設(shè)備A也存儲(chǔ)該工藝配方。雖然本實(shí)施例表述的是半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化系統(tǒng)的工藝配方管理方法，但本領(lǐng)域技術(shù)人員可以將其應(yīng)用到其它領(lǐng)域以解決生產(chǎn)要素管理問(wèn)題，因此本領(lǐng)域技術(shù)人員在本實(shí)施例的基礎(chǔ)上進(jìn)行的所有相關(guān)的擴(kuò)展和應(yīng)用都應(yīng)落入本申請(qǐng)的保護(hù)范圍。權(quán)利要求1.一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于該方法在工廠自動(dòng)化系統(tǒng)和設(shè)備之間進(jìn)行明確的功能角色劃分的基礎(chǔ)上，依照如下策略來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝配方的管理A)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)連接一個(gè)新設(shè)備的策略；B)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)斷開(kāi)與一個(gè)設(shè)備的連接的策略；C)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)要求設(shè)備刪除其含有的一個(gè)工藝配方的策略；D)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)一個(gè)工藝配方下發(fā)到設(shè)備的策略；E)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)中的一個(gè)工藝配方發(fā)生變化的策略；F)工藝配方在多個(gè)設(shè)備之間自動(dòng)散發(fā)的策略。2、如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于對(duì)所述工廠自動(dòng)化系統(tǒng)的功能角色劃分如下a)維護(hù)一個(gè)工藝配方的信息庫(kù)，記錄當(dāng)前與它連接的設(shè)備中含有的工藝配方，包括工藝配方的名字、存儲(chǔ)位置、版本信息，而不進(jìn)行工藝配方的實(shí)際存儲(chǔ)，工藝配方的名字和版本信息唯一標(biāo)識(shí)了整個(gè)系統(tǒng)中的一個(gè)工藝配方，而存儲(chǔ)位置指定了工藝配方具體存儲(chǔ)在哪個(gè)設(shè)備中；b)向設(shè)備請(qǐng)求一個(gè)工藝配方；c)發(fā)送一個(gè)工藝配方到設(shè)備；d)可以從設(shè)備中刪除一個(gè)工藝配方。3、如權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于對(duì)所述設(shè)備功能角色劃分如下a)本地存儲(chǔ)的一個(gè)工藝配方發(fā)生變化后，通知與之相連接的工廠自動(dòng)化系統(tǒng)；b)刪除工廠自動(dòng)化系統(tǒng)要求刪除的工藝配方；c)向工廠自動(dòng)化系統(tǒng)請(qǐng)求一個(gè)工藝配方；d)接收來(lái)自工廠自動(dòng)化系統(tǒng)的一個(gè)工藝配方；e)發(fā)送一個(gè)工藝配方到工廠自動(dòng)化系統(tǒng)。4、如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于所述策略A)的具體步驟如下a)根據(jù)設(shè)備的位置信息建立與該設(shè)備的連接；b)獲取該設(shè)備含有的工藝配方的列表；c)從工藝配方列表中提取工藝配方名稱、版本信息，結(jié)合設(shè)備的位置信息在工藝配方庫(kù)中添加記錄。5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于所述策略B)的具體步驟如下a)獲取斷開(kāi)連接設(shè)備的位置信息；b)從工藝配方庫(kù)中刪除所有該位置信息的工藝配方記錄。6.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于所述策略C)的具體步驟如下a)向設(shè)備發(fā)送刪除一個(gè)工藝配方的命令；b)從工藝配方庫(kù)中刪除該工藝配方的記錄。7.如權(quán)利要求l所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于所述策略D)的具體步驟如下a)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)發(fā)送一個(gè)工藝配方到設(shè)備；b)設(shè)備接收該工藝配方并存儲(chǔ)；c)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)更新其工藝配方庫(kù)，記錄設(shè)備已經(jīng)含有該工藝配方。8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于所述策略E)的具體步驟如下a)接收到設(shè)備關(guān)于一個(gè)工藝配方發(fā)生變化的通知；b)根據(jù)設(shè)備位置信息和工藝配方名字信息在工藝配方庫(kù)中查詢有無(wú)記錄，如果有，更新這條記錄的版本信息，如果沒(méi)有在工藝配方庫(kù)中添加記錄，版本信息賦值為版本l。9、如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法，其特征在于所述策略F)的具體步驟如下a)設(shè)備A向工廠自動(dòng)化系統(tǒng)請(qǐng)求一個(gè)工藝配方；b)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)從工藝配方庫(kù)中查詢是否有該工藝配方，如果有的話得到其的存儲(chǔ)位置，這里假設(shè)為設(shè)備B;c)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)向存儲(chǔ)該工藝配方的設(shè)備B中請(qǐng)求該工藝配方；d)設(shè)備B從本地提取該工藝配方并向工廠發(fā)送；e)工廠接收工藝配方并將其發(fā)送到設(shè)備A;f)設(shè)備A接收該工藝配方并保存；g)工廠在工藝配方庫(kù)中添加一條記錄，記錄設(shè)備A也存儲(chǔ)該工藝配方。全文摘要本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工廠自動(dòng)化
技術(shù)領(lǐng)域：
，尤其涉及一種半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法。本發(fā)明的半導(dǎo)體制造工藝配方管理方法在工廠自動(dòng)化系統(tǒng)和設(shè)備之間進(jìn)行明確的功能角色劃分的基礎(chǔ)上，依照系統(tǒng)和設(shè)備之間連接、斷開(kāi)、管理等若干策略來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)工藝配方的管理。本發(fā)明通過(guò)對(duì)工廠自動(dòng)化系統(tǒng)和設(shè)備角色的明確劃分，兩個(gè)系統(tǒng)協(xié)同管理工藝配方，降低了管理的復(fù)雜性，從而提高了管理的效率。文檔編號(hào)G05B19/04GK101216698SQ20071006322公開(kāi)日2008年7月9日申請(qǐng)日期2007年1月4日優(yōu)先權(quán)日2007年1月4日發(fā)明者菅彥彬申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司