專利名稱：調節(jié)器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及以設定壓力調節(jié)流體的調節(jié)器。
背景技術：
以往，半導體制造裝置制造的半導體中，供給至晶片的作用氣體 的流量或壓力會使產品質量產生偏差。因此，為了以設定壓力控制供 給至晶片的作用氣體的壓力，半導體制造裝置裝載有調節(jié)器。
調節(jié)器在PCTFE制闊座中可以接觸或分離地設有提升閥體，根據(jù) 提升閥體與閥座之間的閥開度控制流入壓力室內的流體。調節(jié)閥通過 調整閥開度以使壓力室的內部壓力與設定壓力一致，從而能夠以設定 壓力調節(jié)作用氣體的壓力。提升閥體沒有設置滑動部，以便能夠應對 微小的壓力變化。
專利文獻l:日本專利公開2004 — 362036號公報 專利文獻2:日本專利公開2005—128697號公報
PCTFE與其它含氟樹脂相比，機械強度較大，因此，以往雖然考 慮到使用了 PCTFE制閥座的調節(jié)器在使用中設定壓力不易上升，但是 實際上，在使用中設定壓力有時也會上升。
發(fā)明人為了查明調節(jié)器的設定壓力上升的理由，對使用PCTFE制 閥座的調節(jié)器的密封性(耐久性)進行了調查。結果，以往的調節(jié)器 在提升閥與某一轉數(shù)的閥座接觸或分離時，會產生流體泄漏。
另外，發(fā)明人觀察了設置在設定壓力上升的調節(jié)器上的閥座的密 封面。在圖IOA和圖10B中顯示了該觀察結果。
在PCTFE制閥座的隔著閥座中心而位于相反位置處的密封面中， 其中一個密封面的寬度如圖IOA所示，為120ym，另一密封面的寬度 如圖10B所示，為28um。因此，對于PCTFE制閥座而言，提升閥體 會發(fā)生一端接觸。
提升閥體的一端接觸是由閥座磨損造成的，作為磨損的結果，密 封面會惡化，從而產生泄漏。從閥座泄漏的流體流入壓力室，從而使 設定壓力上升。
為了校正提升閥體的一端接觸，也可以考慮以機械方式改變調節(jié) 閥的結構。但是，若考慮提升閥體不具有滑動部或者以多個結構部件 形成調節(jié)器，則這種方法是較為困難的。

發(fā)明內容
本發(fā)明是為解決上述問題作出的，其目的在于提供了能夠防止設 定壓力上升的調節(jié)器。
本發(fā)明涉及的調節(jié)器具有以下結構。
(1) 在將流體控制為設定壓力的調節(jié)器中，與閥體接觸或分離的 閥座部以硬度為D70以下的含氟樹脂為材料。
(2) 在將流體控制為設定壓力的調節(jié)器中，與閥體接觸或分離的 閥座部，以溫度為23度的條件下拉伸延伸率在250%以上的含氟樹脂 為材料。
(3) 在(1)或(2)記載的發(fā)明中，所述閥座部以PFA或PTFE 為材料。
(4)在(1)或(2)記載的發(fā)明中，其為控制1Mpa以下的流體 的調節(jié)器。
發(fā)明效果
由于本發(fā)明的調節(jié)器使用了以硬度D70以下的柔軟的含氟樹脂制 成的閥座部，因此，與閥體接觸時閥座部易于變形，從而流體不易泄 漏。因此，根據(jù)本發(fā)明的調節(jié)閥，能夠防止設定壓力伴隨流體泄漏而 上升。
由于本發(fā)明的調節(jié)器使用了在溫度為23度的條件下拉伸延伸率在 250%以上的易于變形的含氟樹脂制閥座部，因此，閥座部的密封面不 易磨損，從而不易產生泄漏。因此，根據(jù)本發(fā)明的調節(jié)器，能夠防止 設定壓力伴隨流體泄漏而上升。
在本發(fā)明的調節(jié)器中，優(yōu)選閥座部采用以硬度為D70以下或以溫 度為23度時拉伸延伸率在250%以上的含氟樹脂PFA或PTFE為材料。
在本發(fā)明的調節(jié)器中，由于對1Mpa以下的流體進行控制，因此 減小閥體與閥座部接觸的力。因此，根據(jù)本發(fā)明的調節(jié)器，即使在閥 座部的強度較低或拉伸延伸率較大的情況下，閥座部也不易破損。


圖1為本發(fā)明實施例涉及的調節(jié)閥的剖面圖。
圖2顯示了用于調査閥座材料和密封性的關系的試驗的試驗方法。
圖3顯示了調查閥座材料和密封性的關系的試驗的試驗結果。縱 軸表示噴出He后的泄漏量(Pa,m3/s)，橫軸表示載荷(N)。
圖4為調查耐久性的試驗中使用的試驗電路的電路圖。
圖5為比較PCTFE、 PFA、 PTFE的材料特性的視圖。
圖6A顯示了 PFA制閥座的耐久試驗后的狀態(tài)。
圖6B顯示了 PFA制閥座的耐久試驗后的狀態(tài)。
圖7A顯示了 PTFE制閥座的耐久試驗后的狀態(tài)。
圖7B顯示了 PTFE制閥座的耐久試驗后的狀態(tài)。
圖8顯示了在顆粒評價試驗中使用的裝置的電路圖。
圖9顯示了顆粒評價試驗的試驗結果。
圖IOA顯示了在以往的調節(jié)器中使用的PCTFE制閥座的耐久試驗 后的狀態(tài)。
圖IOB顯示了在以往的調節(jié)器中使用的PCTFE制閥座的耐久試驗 后的狀態(tài)。
具體實施例方式
下面，參照附圖對本發(fā)明的調節(jié)閥的一個實施例進行說明。
圖1為本實施例涉及的調節(jié)器1的剖面圖。
調節(jié)器1形成了在流路單元2上安裝外殼3的外觀結構。外殼3 使第1筒體部4與第2筒體部5螺合連接。在第2筒體部5的上端部 可轉動地安裝調整手柄6。內置于上流路單元2中的提升閥體7形成與 膜片8分離設置的自由提升結構。提升閥體7以不銹鋼等金屬為材料。 內置于外殼3中的調整機構9與膜片8接觸。調整機構9的結構為 可以隨著調整手柄6的轉動而調節(jié)施加在膜片8上的外部壓力并設定 作用氣體的設定壓力。
調節(jié)器1分別使作用氣體供給配管和腔室與形成于流路單元2中 的第1 口 11和第2 口 12相連，并且將從第1 口 11流向第2 口 12的 作用氣體的壓力調整為設定壓力。在流路單元2中，以與第l口ll連 通的方式形成用于容納提升閥體7的第1壓力室13。在流路單元2的 上表面以圓柱狀開設有凹部14，從而使第1壓力室13與第2 口 12連 通。
流路單元2，在第l壓力室13與凹部14連通的部分設置作為"閥 座部"的一個例子的閥座15。流路單元2使閥座保持件16、膜片8、 膜片推壓件17層疊在閥座15上，并螺合連接第1筒體部4。
因此，通過使流路單元2與第1筒體部4螺合時產生的緊固力， 將閥座15壓住并保持在凹部14的底壁上。另外，膜片8被夾持在閥 座保持件16與膜片推壓件17之間并以氣密方式堵塞凹部14，從而形 成第2壓力室18。
在第1壓力室13中，以與閥座15接觸或分離的方式容納提升閥 體7。在提升閥體7上，收縮設置在第1壓力室13中的復位彈簧19的 彈力始終作用在閥座15的方向(圖中的上方)上。突出設置在提升閥 體7上的突出部7a貫穿閥座15的中央部并向第2壓力室18—側突出。
通過調整機構9對調節(jié)器1的設定壓力進行調節(jié)。調整機構9通 過調壓桿20使調壓彈簧21與調節(jié)手柄6相連。調節(jié)手柄6通過活塞 22與膜片8接觸并對膜片8施加彈力。在圖1所示的調節(jié)器1中，調 節(jié)手柄6位于最上端并且不會在膜片8上施加外部壓力。在這種狀態(tài) 下，膜片8與突出部7a分離。若使調節(jié)手柄6轉動并使其下降，則壓 縮調壓彈簧21，從而在膜片8上施加朝向闊座15方向(圖中的下方) 的力。膜片8與突出部7a接觸而施加朝向圖中的下方的力。
因此，在提升閥體7上，施加向圖中上方作用的復位彈簧19的彈 力和作用氣體的流體壓力的合力、以及向圖中下方作用的調壓彈簧21 的彈力。調節(jié)器1中，在第2壓力室18的壓力為設定壓力的情況下， 向圖中上方作用的復位彈簧19的彈力和作用氣體的流體壓力的合力與 向圖中下方作用的調壓彈簧21的彈力平衡，提升閥體7與閥座15接 觸，以阻斷流路。
與此相比，在第2壓力室18的壓力低于設定壓力的情況下，膜片8向下變形，以下壓提升閥體7。由此，閥開度增大，流入第2壓力室18的作用氣體增加，第2壓力室18的壓力升高。
另一方面，在第2壓力室18的壓力高于設定壓力的情況下，膜片 8向上變形，隨之向上推動提升閥體7。由此，閥開度變小，流入第2 壓力室18的作用氣體減少，第2壓力室18的壓力降低。
然而，如在上述發(fā)明解決的課題中說明的那樣，使用了PCTFE制 閥座的調節(jié)器存在使用中設定壓力升高的問題。在調節(jié)器1中，提升 閥體7被復位彈簧19托起并且在無滑動的狀態(tài)下容納在第1壓力室13 中。無滑動的原因在于消除提升閥體7的機械損失，使提升閥體7 能夠根據(jù)微小的壓力變化自由移動。因此，通過改變調節(jié)器的結構來 防止設定壓力上升實際上較為困難。
因此，本實施例的調節(jié)器1使用了以硬度為D70以下的含氟樹脂 或在周圍溫度為23度的條件下延伸率為250%以上的含氟樹脂為材料 的閥座15。
具體來說，使用以PFA(四氟乙烯-全氟基乙烯醚共聚物)或PTFE (聚四氟乙烯)為材料的閥座15。
另外，本實施例的調節(jié)器1用于控制流體壓力為lMPa以下的流體。
發(fā)明人制造了 PCTFE制閥座用樣品150A、 PFA制閥座用樣品 150B和PTFE制閥座用樣品150C，對各個樣品150A、 150B、 150C實施了調查密封性的試驗。在圖2中顯示了用于調查閥座材料和密封性 的關系的試驗的試驗方法。
如圖2所示，在調査閥座材料和密封性的關系的試驗中，將樣品
150A U50B、 150C)夾持在第1板31和第2板32之間。第1板31 形成用于供給試樣(在本實施例中為He)的流路34，將提升閥體7設 定在流路34上。作為復位彈簧19的變化，載荷傳感器33在提升閥體 7上施加載荷，并將提升閥體7密封在樣品150A (150B、 150C)上。 在第2板32中，在與流路34相同的軸上形成流路35，并使其與泄漏 檢測器36相連。
在試驗中，通過載荷傳感器33，以規(guī)定的載荷使提升閥體7與樣 品150A (150B、 150C)接觸。在這種狀態(tài)下，向流路34供給規(guī)定載 荷的He，并通過泄漏檢測器36測定泄漏量。 一邊逐漸增加載荷傳感器 33施加在提升閥體7上的載荷， 一邊實施一連串的測試。
圖3顯示了調查閥座材料與密封性的關系的試驗的試驗結果。在 圖3中，實線表示PCTFE制樣品150A的試驗結果，粗線表示PFA制 樣品150B的試驗結果，虛線表示PTFE制樣品150C的試驗結果。圖3 的縱軸表示噴出He后的泄漏量(Pa*m3/s)。對于圖3的泄漏量而言， 越向上，泄漏量就越大。橫軸表示載荷(N)。
若將判斷為耐久性不足的程度的設定壓力上升換算為泄漏量，則 達到lE-05Pa m3/s。將該值作為基準值L。
對于PCTFE制樣品150A而言，為了使泄漏量在基準值L以下， 必需施加大約2.5N的載荷。與此相比，對于PFA制樣品150B和PTFE 制樣品150C而言，為了使泄漏量在基準值L以下，必需施加大約0.2N 的載荷。
從該試驗結果判斷出PFA制樣品150B和PTFE制樣品150C能 夠以小到密封PCTFE制樣品150A所需的載荷的IO分之一的載荷進行 密封，以防止設定壓力上升。因此，PFA制樣品150B和PTFE制樣品 150C的密封性優(yōu)于PCTFE制樣品150A。
另外，對于PCTFE制樣品150A而言，應緩緩減少泄漏量直至施 加大約8N的載荷，若施加大約8N以上的載荷，則泄漏量大致一定。 與此相比，對于PFA制樣品150B和PTFE制樣品150C而言，在施加 大約2N的載荷之前，泄漏量急劇減少，若施加大約2N的載荷，則泄 漏量大致一定。通過該試驗結果可知PFA制樣品150B和PTFE制樣 品150C與PCTFE制樣品150A相比，提升閥體7能夠以較小的載荷在 短時間內貼緊，對壓力變化的響應性良好。從這一點也可得知，PFA 制樣品150B和PTFE制樣品150C的密封性優(yōu)于PCTFE制樣品150A。
下面，發(fā)明人對使用了樣品150A、 150B的樣品用調節(jié)器IOOA、 100B的耐久性進行了研究。圖4為在調查耐久性的試驗中使用的試驗 電路51的電路圖。
在試驗電路51中，從上游側開始串聯(lián)連接樣品用調節(jié)器100A (100B)、壓力計52、閥53以及流量調節(jié)閥54。設定樣品用調節(jié)器 100A (100B)的設定壓力，以壓力計52計測的值為0.35Mpa。另外， 流量調節(jié)閥54調節(jié)閥開度，以將試樣的流量控制在30L/min。
在試驗中，從上游供給0.5MPa的試樣，使閥53進行開閉動作。 在樣品用調節(jié)器100A (100B)中，與閥53的閥開閉動作相配合，提 升闊體7與閥座用樣品150A (150B)接觸或分離。因此，通過計測閥 53的動作次數(shù)，來調査樣品用調節(jié)器100A (100B)的耐久性。
結果，在使用PCTFE制樣品150A的樣品用調節(jié)器100A中，若 閥53進行10萬次動作，則設定壓力上升，壓力計52的測定值等于供 給壓。
另一方面，在使用PFA制樣品150B的樣品用調節(jié)器100B中，即 使閥53進行IOO萬次動作，也不會引起設定壓力的上升。
通過上述試驗結果能夠判斷出使用PFA制樣品150B的樣品用
調節(jié)器100B的耐久性優(yōu)于使用PCTFE制樣品150A的樣品用調節(jié)器 IOOA。
另外，對于使用了PTFE制樣品150C時的耐久性而言，也能獲得 與PFA相同的結果。
下面，對樣品150A、 150B、 150C的耐久試驗后的狀態(tài)進行說明。 圖6A和圖6B顯示了 PFA制樣品150B的耐久試驗后的狀態(tài)。圖7A 和圖7B顯示了 PTFE制樣品150C的耐久試驗后的狀態(tài)。圖6A、圖6B 以及圖7A、圖7B分別部分地顯示了隔著閥座15中心的相反位置的密 封面。
對于PFA制樣品150B而言，如圖6A所示，其中一個密封面的寬 度為80um，如圖6B所示，與該密封面相反一側的密封面的寬度為78 !xm。因此，對于PFA制樣品150B而言，密封面上的磨損偏差較小。 因此，對于PFA制樣品150B而言，提升閥體7不會一端接觸。
對于PTFE制閥座用樣品150C而言，如圖7A所示，其中一個密 封面的寬度為110um，如圖7B所示，與該密封面相反一側的密封面 的寬度為100um。因此，對于PTFE制閥座用樣品150C而言，密封 面上的磨損偏差較小。因此，對于PTFE制樣品150C而言，提升閥體 7不會一端接觸。
另一方面，如在本發(fā)明解決的問題中說明的那樣，對于PCTFE制 樣品150A而言，如圖10A所示，其中一個密封面的寬度為120u m， 如圖10B所示，與該密封面相反一側的密封面的寬度為28um。因此， 對于PCTFE制閥座用樣品150A而言，密封面上的磨損偏差較大。因 此，對于PCTFE制樣品150A而言，提升閥體7會發(fā)生一端接觸。
根據(jù)以上試驗結果可知，若閥座15以PFA或PTFE為材料，則與 以PCTFE為材料的情況相比，由于能夠防止提升閥體7的一端接觸， 因此能夠提高耐久性。
對使用以PFA或PTFE為材料的閥座15時密封性、耐久性提高的 原因進行了研究。
圖5為比較PCTFE、 PFA、 PTFE的材料特性的視圖。
在溫度為23t的條件下，PCTFE的拉伸延伸率為80 25%， PFA 的拉伸延伸率為250 350%， PTFE的拉伸延伸率為200 400%。因 此，由于PCTFE的拉伸延伸率小于PFA或PTFE的拉伸延伸率，因此 不易變形。
關于硬度，PCTFE為D75 D85 ， PFA為D60 D64， PTFE為D50 D55。因此，由于PCTFE的硬度大于PFA或PTFE的硬度，因此不易 變形。
以往的調節(jié)器為了提高閥座的耐久性，著眼于加大PCTFE的機械 強度，閥座的材料采用PCTFE。換句話說，考慮到機械強度較小的PFA 或PTFE制閥座容易因變形而產生流體泄漏，因此沒有使用。
但是，如調節(jié)器l那樣，在由復位彈簧19托起提升閥體7而沒有 設置滑動部的情況下，提升閥體7不穩(wěn)定并易于傾斜。
如上所述，由于PFA或PTFE制闊座15的硬度較低，因此，在與 提升閥體7接觸時易于變形。因此，提升閥體7即使傾斜并與閥座15 接觸，復位彈簧19也減額通過沿軸線的壓力來校正傾斜，從而以均勻 的力接觸密封面。因此，對于PFA或PTFE制閥座15而言，提升閥體7以均勻的力反復接觸密封面，因此密封面不易偏移變形(參見圖6A、圖6B、圖7A、圖7B)。
與此相比，由于PCTFE制閥座的硬度較高，因此與提升閥體7接 觸時不易變形。因此，若提升閥體7傾斜而與PCTFE制閥座接觸，則 即使通過復位彈簧19沿軸線方向按壓，也不能校正傾斜，從而會與密 封面一端接觸。若通過該力在PCTFE制閥座產生塑性變形時及以后持 續(xù)使提升閥體7與密封面一端接觸，則PCTFE制閥座的密封面形成單 邊磨損(參見圖IOA、 10B)。
另外，對于PFA或PTFE制閥座15而言，拉伸延伸率較大。提升 閥體7緊貼閥座15的密封面以進行密封，在與閥座15分離時，拉伸 密封面的表面。由于拉伸延伸率較大的PFA或PTFE制閥座15被提升 閥體7拉伸而變形，提升閥體7的吸附力逐漸減小，因此密封面的表 面易于與提升閥體7分離。因此，對于PFA或PTFE制閥座15而言，不易通過提升閥體7剝離密封面的表面，從而磨損進行速度緩慢。
與此相比，對于PCTFE制閥座而言，拉伸延伸率較小。因此，提 升閥體7在緊貼在PCTFE制閥座上以進行密封之后，在與PCTFE制 閥座分離時，PCTFE制閥座的密封面的表面不易變形。PCTFE制閥座 的密封面被提升閥體7有力地拉伸，容易在表面仍與提升閥體7緊貼 的狀態(tài)下剝離。因此，PCTFE制閥座的磨損進行速度加快。產生磨損 的部分的密封面會形成凹凸，從而易于產生流體泄漏。
此處，發(fā)明人利用圖8所示的試驗電路進行了顆粒評價試驗。
如圖8所示，試驗電路的結構為串聯(lián)連接調節(jié)器61、壓力計62、 濾波器63、樣品用調節(jié)器100A (或100B)、壓力計64、氣動閥65、 流量調節(jié)閥66及流量計67，使流量計67與顆粒計數(shù)器68相連。
顆粒評價試驗是通過在試驗電路中交替組裝使用PCTFE制閥座 150A的樣品用調節(jié)器100A和使用PFA制閥座150B的樣品用調節(jié)器 100B而進行的，調査PCTFE制閥座150A和PFA制閥座150B的顆粒 產生量(個數(shù))。在試驗中，調節(jié)器61將流體壓力控制在0.3Mpa,樣 品用調節(jié)器100A (或100B)將流體壓力控制在0.15Mpa，流量調節(jié)閥 66將流量控制在28L/min。
圖9顯示了顆粒評價試驗的試驗結果。
如圖9所示，對于使用PCTFE制閥座150A的樣品用調節(jié)器100A 而言，由于在動作次數(shù)少于1.E+02次時，產生500個以上顆粒，進而 在動作次數(shù)達到1.E+03次時，顆粒產生量大約增加10倍。之后，雖然顆粒產生量減少，但是可以認為是因為閥座150A的磨損加劇而不易剝落，從而導致顆粒減少。
與此相比，對于使用PFA制閥座150B的樣品用調節(jié)器IOOB而言， 在動作次數(shù)為1.E+02次時，顆粒產生量為0。之后，即使重復動作次 數(shù)，顆粒產生量也基本上為零。即使在有時產生顆粒的情況下，該顆 粒產生量也在極少的10個以下。
因此，PFA制閥座150B與PCTFE制閥座150A相比，顆粒產生量大幅減少。該試驗結果以數(shù)值形式證明PFA制閥座150B與PCTFE制閥座150A相比，磨損速度減緩，磨損減少。
另外，發(fā)明人對PTFE制閥座150C也進行了同樣的試驗，并獲得 了與PFA制閥座150B相同的結果。
如上所述，由于PFA或PTFE制閥座15與PCTFE制閥座相比， 不易因一端接觸而產生變形，因此不易產生流體泄漏，耐久性良好。
并且，由于PFA或PTFE制閥座15與PCTFE制閥座相比，磨損 速度減緩并不易磨損，因此不易產生流體泄漏，耐久性良好。
如上所述，由于本實施例的調節(jié)器1使用了硬度為D70以下的柔 軟閥座15，因此，在與提升閥體7接觸時閥座15易于變形，從而不易 發(fā)生流體泄漏。因此，根據(jù)本實施例的調節(jié)器l，能夠防止設定壓力伴 隨流體泄漏而上升。
由于本實施例的調節(jié)器1使用了在溫度為23度的條件下拉伸延伸 率達250%以上的易于變形的閥座15，因此閥座15的密封面不易磨損， 從而不易產生流體泄漏。因此，根據(jù)本實施例的調節(jié)器l，能夠防止設 定壓力伴隨流體泄漏而上升。
在本實施例的調節(jié)器1中，由于對1Mpa以下的作用氣體進行控 制，因此，能夠減小提升閥體7與閥座15接觸時的力。因此，根據(jù)本 實施例的調節(jié)器1，即使在閥座15的硬度較低或者拉伸延伸率較大的 情況下，闊座15也不易破損。
另外，本發(fā)明不限于上述實施例，其可以進行各種應用。
例如，在上述實施例中，雖然在氣體供給控制裝置中使用了調節(jié) 器1，但是也可以使第1 口 11與氣體容器相連，使第2 口 12與真空泵 相連，以用于真空抽吸時的壓力調節(jié)。
例如，在上述實施例中，將夾持在流路單元2與閥座保持件16之 間的閥座15作為"閥座部"的一個例子。與此相比，也可以將閥座15 一體設置在闊座保持件16或流路單元2上，并通過PTFE等樹脂形成 流路單元2或閥座保持件16，以便一體形成閥座部。
權利要求
1.一種將流體控制為設定壓力的調節(jié)器，其特征在于，與閥體接觸或分離的閥座部以硬度為D70以下的含氟樹脂為材料。
2. —種將流體控制為設定壓力的調節(jié)器，其特征在于，與閥體接 觸或分離的閥座部，以溫度為23度的條件下拉伸延伸率在250%以上 的含氟樹脂為材料。
3. 根據(jù)權利要求l或2所述的調節(jié)器，其特征在于，所述閥座部 以PFA或PTFE為材料。
4. 根據(jù)權利要求l或2所述的調節(jié)器，其特征在于，其為控制lMpa 以下的流體的調節(jié)器。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠防止設定壓力上升的調節(jié)器。在將流體控制為設定壓力的調節(jié)器(1)中，與閥體(7)接觸或分離的閥座部(15)的硬度為D70以下。在將流體控制為設定壓力的調節(jié)器(1)中，在溫度為23度的條件下，與閥體(7)接觸或分離的閥座部(15)的拉伸延伸率達250％以上。優(yōu)選所述閥座部以PFA或PTFE為材料。
文檔編號G05D16/00GK101206486SQ200710169330
公開日2008年6月25日 申請日期2007年11月22日 優(yōu)先權日2006年12月22日
發(fā)明者稻葉伸宏, 西田成伸 申請人:喜開理株式會社