專利名稱：：一種集簇設(shè)備控制系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間通信的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工
技術(shù)領(lǐng)域：
，特別是涉及一種集簇設(shè)備控制系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間通信的方法。
背景技術(shù)：
：在半導(dǎo)體加工工藝操作過程中，通常利用工藝控制系統(tǒng)對工藝操作進(jìn)行控制，從而自動、準(zhǔn)確地完成工藝任務(wù)。這里所述的工藝控制系統(tǒng)就是安裝在如計算機(jī)等設(shè)備中的軟件系統(tǒng)，可以按照對半導(dǎo)體加工工藝操作過程的不同分為不同的系統(tǒng)。比如工藝模塊控制(PMC)系統(tǒng)、傳輸模塊控制(TMC,TransportModuleController)系統(tǒng)等等。其中，PMC系統(tǒng)主要用于對半導(dǎo)體加工過程的控制，比如對加工深度的控制；而TMC系統(tǒng)則主要用于對半導(dǎo)體加工件傳輸過程的控制，比如對實(shí)施取片、放片等操作的機(jī)械手的控制、對反應(yīng)室某個閥門打開或關(guān)閉的控制等。這里所述的半導(dǎo)體加工件通常包括晶片以及與其具有相同加工原理的其他加工件，下文所述半導(dǎo)體加工件的含義與此相同。實(shí)際應(yīng)用中，為了更好地對整個工藝操作過程進(jìn)行控制，還需要利用集蔟設(shè)備控制(CTC,ClusterToolController)系統(tǒng)對工藝控制系統(tǒng)進(jìn)行控制。這里所述的CTC系統(tǒng)也是安裝在如計算機(jī)等設(shè)備中的軟件系統(tǒng)。具體地說，CTC可以事先設(shè)置一系列的算法或命令，利用設(shè)置的算法或命令控制工藝控制系統(tǒng)實(shí)施自身的某個功能模塊的功能，從而達(dá)到實(shí)施整個工藝操作過程的目的。由于CTC系統(tǒng)需要對工藝控制系統(tǒng)進(jìn)行控制，就需要與其進(jìn)行通信?，F(xiàn)有技術(shù)中，CTC系統(tǒng)與工藝控制系統(tǒng)之間通常采用Corba體系進(jìn)行通信。Corba體系是采用遠(yuǎn)程引用的方式來調(diào)用工藝控制系統(tǒng)中功能模塊的功能，這就需要CTC系統(tǒng)啟動后對工藝控制系統(tǒng)中所有功能模塊進(jìn)行遠(yuǎn)程引用，相當(dāng)于將工藝控制系統(tǒng)中各個功能模塊備份在自身中。此后，當(dāng)CTC需要實(shí)施工藝控制系統(tǒng)某個功能模塊時，就可以直接調(diào)用事先引用的功能模塊，從而達(dá)到控制工藝控制系統(tǒng)的目的。由于CTC系統(tǒng)是采用Corba體系與工藝控制系統(tǒng)進(jìn)行通信，如果工藝控制系統(tǒng)中的功能模塊非常多，CTC系統(tǒng)在引用工藝控制系統(tǒng)中所有功能模塊后，不但會占用CTC系統(tǒng)大量的資源，還會使CTC系統(tǒng)的運(yùn)行速度和性能下降。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于此，本發(fā)明的主要目的在于提供一種集簇設(shè)備控制(CTC)系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間通信的方法，不必占用CTC系統(tǒng)大量的資源，避免使CTC系統(tǒng)的運(yùn)行速度和性能下降。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提出的技術(shù)方案為一種集簇設(shè)備控制系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間通信的方法，該方法包括以下步驟a、集簇設(shè)備控制CTC系統(tǒng)向工藝控制系統(tǒng)發(fā)送攜帶有接口信息的操作命令，所述接口信息為工藝控制系統(tǒng)事先設(shè)置的針對自身功能模塊的信息；b、工藝控制系統(tǒng)從操作命令中獲得接口信息，并根據(jù)獲得的接口信息對相應(yīng)功能模塊進(jìn)行搡作。上述方案中，所述接口信息至少包括功能模塊ID號、功能標(biāo)識信息；所述功能標(biāo)識信息為功能模塊ID號所對應(yīng)功能模塊可執(zhí)行功能的標(biāo)識信息；所述操作命令為指示功能模塊執(zhí)行功能的命令；所述步驟b包括工藝控制系統(tǒng)根據(jù)操作命令確定當(dāng)前需要功能模塊執(zhí)行自身功能，并根據(jù)功能模塊ID號和功能標(biāo)識信息調(diào)用相應(yīng)的功能模塊，被調(diào)用的功能模塊按照所述功能標(biāo)識信息執(zhí)行自身的功能。上述方案中，所述接口信息至少包括功能模塊ID號；所述操作命令為讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的命令；所述步驟b包括所述工藝控制系統(tǒng)根據(jù)操作命令確定當(dāng)前需要讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息，根據(jù)功能模塊ID號查詢保存的對應(yīng)功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息，并將查詢到的功能標(biāo)識信息返回給CTC系統(tǒng)。上述方案中，所述操作命令為基于Socket連接的操作命令，所述步驟a之前，該方法進(jìn)一步包括CTC系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間建立Socket連接。上述方案中，當(dāng)工藝控制系統(tǒng)的功能模塊檢測出故障時，該方法進(jìn)一步包括將事先為故障設(shè)置的故障標(biāo)識信息發(fā)送給CTC系統(tǒng)，CTC系統(tǒng)根據(jù)故障標(biāo)識信息調(diào)用故障處理功能進(jìn)行故障處理，所述故障處理功能為CTC系統(tǒng)事先通過遠(yuǎn)程引用方式從工藝控制系統(tǒng)中所獲得的。上述方案中，所述遠(yuǎn)程引用為利用遠(yuǎn)程remoting技術(shù)實(shí)現(xiàn)的遠(yuǎn)程引用。綜上所述，本發(fā)明提出一種集簇設(shè)備控制系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間通信的方法，可以由CTC系統(tǒng)向工藝控制系統(tǒng)發(fā)送攜帶有接口信息的操作命令，工藝控制系統(tǒng)根據(jù)獲得的接口信息對相應(yīng)功能模塊進(jìn)行操作，CTC系統(tǒng)不必事先將工藝控制系統(tǒng)中的所有功能模塊都進(jìn)行遠(yuǎn)程引用，從而無需占用CTC系統(tǒng)的大量資源，也可以避免其運(yùn)行速度和性能的下降。圖1是本發(fā)明中集簇設(shè)備控制系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間進(jìn)行通信的方法流程圖2是本發(fā)明實(shí)施例中CTC系統(tǒng)指示TMC系統(tǒng)中功能模塊執(zhí)行功能的方法流程圖3是本發(fā)明實(shí)施例中CTC系統(tǒng)讀取TMC系統(tǒng)中功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的方法流程圖。具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對本發(fā)明作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。圖1是本發(fā)明實(shí)現(xiàn)集簇設(shè)備控制(CTC)系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間進(jìn)行通信的方法流程圖。如圖l所示，本發(fā)明方法可以包括步驟101:CTC向工藝控制系統(tǒng)發(fā)送攜帶有接口信息的操作命令，所述接口信息為工藝控制系統(tǒng)事先設(shè)置的針對自身功能模塊的信息。本發(fā)明中，工藝控制系統(tǒng)可以為自身所有功能模塊設(shè)置各自的接口信息，CTC通過接口信息對相應(yīng)的功能模塊進(jìn)行操作。實(shí)際應(yīng)用中，功能模塊的接口信息可以包括功能模塊ID號、功能模塊名稱、功能模塊屬性、功能模塊標(biāo)識信息取值范圍、功能標(biāo)識信息等等。功能模塊ID是某個功能模塊在工藝控制系統(tǒng)中唯一的標(biāo)識；功能模塊名稱表示某個功能模塊自身的名稱；功能模塊屬性表示某個功能模塊自身是否可執(zhí)行功能，或者是否可向CTC系統(tǒng)提供功能標(biāo)識信息；功能模塊標(biāo)識信息取值范圍表示某個功能模塊自身所有功能標(biāo)識信息可以取值的范圍；功能標(biāo)識信息是為功能模塊可執(zhí)行功能所設(shè)置的標(biāo)識。在這里所述的接口信息中，功能模塊ID是必要的信息，而其它的信息則可以根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行選擇。當(dāng)然，接口信息還包括其它的信息，具體可由應(yīng)用本發(fā)明方案的用戶自行確定。另外，本步驟所述的操作命令可以分為兩種一種是指示功能模塊執(zhí)行功能的命令，另外一種是讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的命令。也就是說，CTC系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間的通信有兩類，一類是CTC系統(tǒng)指示工藝控制系統(tǒng)控制某個功能模塊去執(zhí)行其某個功能，另一類是CTC系統(tǒng)指示需要從工藝控制系統(tǒng)中獲得某個功能模塊最近所執(zhí)行的功能的標(biāo)識信息。具體如何執(zhí)行這兩類操作命令參見步驟102，此處不再贅述。步驟102:工藝控制系統(tǒng)從操作命令中獲得接口信息，并根據(jù)獲得的接口信息對相應(yīng)功能模塊進(jìn)行操作。實(shí)際應(yīng)用中，如果操作命令為指示工藝控制系統(tǒng)控制某個功能模塊去執(zhí)行自身某個功能的命令，那么，CTC系統(tǒng)向工藝控制系統(tǒng)所發(fā)的操作命令中的接口信息至少應(yīng)該包括功能模塊ID號和功能標(biāo)識信息，其目的是指示功能模塊ID號對應(yīng)的功能模塊執(zhí)行功能標(biāo)識信息所對應(yīng)的功能。此時，步驟102可以具體包括工藝控制系統(tǒng)根據(jù)操作命令確定當(dāng)前需要功能模塊執(zhí)行自身功能，并根據(jù)功能模塊ID號和功能標(biāo)識信息調(diào)用相應(yīng)的功能模塊，被調(diào)用的功能模塊按照所述功能標(biāo)識信息執(zhí)行自身的功能。比如工藝控制系統(tǒng)中存在一個名稱為"機(jī)械手"的功能模塊，該功能模塊ID號為"101"，可執(zhí)行"取片"、"放片"等功能。其中，"取片"功能的功能標(biāo)識信息為"1"，"放片"功能的功能標(biāo)識信息為"2"。如果CTC系統(tǒng)向工藝控制系統(tǒng)發(fā)送的操作命令中的接口信息包含值為"101"的功能模塊ID號以及值為"1"的功能標(biāo)識信息，工藝控制系統(tǒng)可以確定"機(jī)械手"這個功能模塊需要執(zhí)行"取片"功能，并根據(jù)"101"和'T'調(diào)用"機(jī)械手"功能模塊，"機(jī)械手"功能模塊按照指示的'T'執(zhí)行對應(yīng)的"取片"功能。相應(yīng)地，如果操作命令為讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的命令，那么，CTC系統(tǒng)向工藝控制系統(tǒng)所發(fā)操作命令的接口信息中至少應(yīng)該包括功能模塊ID號，其目的是指示工藝控制系統(tǒng)提供功能模塊ID號對應(yīng)的功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息。此時，步驟102可以具體包括工藝控制系統(tǒng)根據(jù)操作命令確定當(dāng)前需要讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息，根據(jù)功能模塊ID號查詢保存的對應(yīng)功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息，并將查詢到的功能標(biāo)識信息返回給CTC。比如工藝控制系統(tǒng)中"機(jī)械手"這個功能模塊最近執(zhí)行的功能是"取片"，并在執(zhí)行完畢時記錄有該功能對應(yīng)的標(biāo)識信息"1"。如果CTC系統(tǒng)向工藝控制系統(tǒng)發(fā)送的操作命令為讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的命令，并且接口信息包含值為"101"的功能模塊ID號，工藝控制系統(tǒng)8根據(jù)"101"就可以查詢保存的標(biāo)識信息，并將查詢到的"1"提供給CTC系統(tǒng)。CTC系統(tǒng)接收到值為"1"的功能標(biāo)識信息后，就可以知道"機(jī)械手"功能模塊最近執(zhí)行了"取片"功能。當(dāng)然，實(shí)際應(yīng)用中，工藝控制系統(tǒng)可以為工藝模塊控制(PMC)系統(tǒng)，也可以為傳輸模塊控制(TMC，TransportModuleController)等系統(tǒng)。不管是什么工藝控制系統(tǒng)，其中的功能模塊可以與現(xiàn)有技術(shù)中的功能模塊相同，也可以包括其它的功能模塊。至于工藝控制系統(tǒng)中到底包括哪些功能模塊則可以由應(yīng)用本發(fā)明方案的用戶自行確定，此處不再贅述。但需要強(qiáng)調(diào)的是，本發(fā)明中工藝控制系統(tǒng)需要將自身各個功能模塊的接口信息提供給CTC系統(tǒng)，CTC系統(tǒng)通過接口信息向工藝控制系統(tǒng)發(fā)送操作命令，再由工藝控制系統(tǒng)根據(jù)操作命令對相應(yīng)功能模塊進(jìn)行操作。這樣，由于是工藝控制系統(tǒng)對功能模塊進(jìn)行操作，CTC系統(tǒng)不必采用遠(yuǎn)程引用的方式獲得所有功能模塊，不會占用CTC系統(tǒng)的資源，其運(yùn)行速度和性能都不會由于遠(yuǎn)程引用而降低。實(shí)際應(yīng)用中，功能模塊在執(zhí)行自身某個功能時，可能由于功能執(zhí)行失敗而確定當(dāng)前發(fā)生了故障。在這種情況下，為了及時地將故障報告給CTC系統(tǒng)，在功能模塊檢測出故障時，TMC可以將事先為該故障設(shè)置的故障標(biāo)識信息發(fā)送給CTC系統(tǒng)，CTC系統(tǒng)根據(jù)故障標(biāo)識信息調(diào)用故障處理功能進(jìn)行故障處理，這里所述故障處理功能可以是CTC系統(tǒng)事先通過遠(yuǎn)程引用方式從工藝控制系統(tǒng)中所獲得的。需要注意的是，這里所述的故障處理與步驟102中工藝控制系統(tǒng)對功能模塊進(jìn)行操作的方式不同，是采用遠(yuǎn)程引用的方式實(shí)現(xiàn)的。故障處理采用遠(yuǎn)程引用的原因在于故障處理時CTC系統(tǒng)需要的信息量可能比較大，如果仍然由工藝控制系統(tǒng)執(zhí)行故障處理，可能很難將及時將信息傳輸給CTC系統(tǒng)，不利于故障處理。在這種情況下，CTC系統(tǒng)可以事先遠(yuǎn)程引用TMC系統(tǒng)中已有的故障處理功能，就可以在需要故障處理時直接調(diào)用被引用的故障處理功能，達(dá)到及時處理的目的。9為了更好地說明本發(fā)明方案，下面用一個較佳實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。本實(shí)施例中，假設(shè)工藝控制系統(tǒng)為傳輸模塊控制(TMC)系統(tǒng)，TMC系統(tǒng)中包括"機(jī)械手"、"壓力控制"等功能模塊。其中，"機(jī)械手"功能模塊是對刻蝕工藝中采用機(jī)械手取晶片和放置晶片等操作進(jìn)行控制的功能模塊；"壓力控制"是對刻蝕工藝中反應(yīng)室的氣壓進(jìn)行控制的功能模塊。本實(shí)施例中，假設(shè)事先為功能模塊設(shè)置了接口信息，包括功能模塊ID號、功能模塊名稱、功能模塊屬性、功能模塊標(biāo)識信息取值范圍、功能標(biāo)識信息。以"機(jī)械手"功能模塊為例，設(shè)置的接口信息可以如表一所示<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>表一其中，功能模塊名稱為"機(jī)械手"；功能模塊ID號為"101";功能屬性為"可讀、可寫"，"可讀，，表示"機(jī)械手"功能模塊可向CTC系統(tǒng)提供自身的功能標(biāo)識信息，"可寫"表示"機(jī)械手"功能模塊可執(zhí)行自身某個功能；功能模塊標(biāo)識信息的取值范圍為[O,2]，如果規(guī)定"機(jī)械手"功能模塊的功能標(biāo)識信息為整數(shù)值，則表示其值可以為"0"、"1"、"2"，其中，"0"表示"復(fù)位"功能，"1"表示"取片"功能，"2"表示"放片"功能；"功能標(biāo)識信息，，表示"機(jī)械手，，功能模塊的功能標(biāo)識信息，其初始值可以設(shè)置為空。實(shí)際應(yīng)用中，可以按照上述方式為TMC系統(tǒng)中其它功能模塊設(shè)置各自的接口信息，并提供給CTC系統(tǒng)。比如TMC系統(tǒng)可以將所有接口信息記錄在XML格式的配置文件中，并將該配置文件在TMC系統(tǒng)啟動時傳輸給CTC系統(tǒng)。本實(shí)施例中，還假設(shè)TMC系統(tǒng)中事先為各個功能模塊設(shè)置有故障相關(guān)信息，包括故障ID號、故障描述、故障處理操作選項。以"機(jī)械手，，功能模塊為例，故障相關(guān)信息的格式可以如表二所示:<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>表二其中，"故障ID號"表示"機(jī)械手"功能模塊在執(zhí)行"取片"功能失敗時故障的唯一標(biāo)識，"故障處理操作選項"表示"機(jī)械手"功能模塊在執(zhí)行"取片"功能失敗時可進(jìn)行的相應(yīng)處理。本實(shí)施例中，為了實(shí)現(xiàn)CTC系統(tǒng)和TMC系統(tǒng)之間的通信，TMC系統(tǒng)可以先將如表一所示的所有接口信息以配置文件的形式提供給CTC系統(tǒng)。并且，將TMC系統(tǒng)作為Socket連接的服務(wù)器端，將CTC系統(tǒng)作為Socket連4妄的客戶端，在CTC系統(tǒng)和TMC系統(tǒng)之間建立Socket連接。此后，CTC系統(tǒng)和TMC系統(tǒng)就可以處于偵聽狀態(tài)，接收對方發(fā)送的命令或數(shù)據(jù)。另外，為了及時地實(shí)現(xiàn)故障處理功能，TMC系統(tǒng)還可以將如表二所示的故障相關(guān)信息提供給CTC系統(tǒng)。并且，將TMC系統(tǒng)作為remoting連接的服務(wù)器端，將CTC系統(tǒng)作為remoting連接的客戶端，在CTC系統(tǒng)和TMC系統(tǒng)之間建立remoting連接。這樣，CTC系統(tǒng)可以利用remoting連接，并通過遠(yuǎn)程引用方式從TMC系統(tǒng)中獲得故障處理功能。在CTC系統(tǒng)和TMC系統(tǒng)之間建立Socket連接可以按照現(xiàn)有Socket技術(shù)實(shí)現(xiàn)，建立remoting連接也可以按照現(xiàn)有remoting技術(shù)實(shí)現(xiàn)，其具體方法不再贅述。在CTC系統(tǒng)和TMC系統(tǒng)之間建立連接之后，CTC系統(tǒng)就可以向TMC發(fā)送操作命令以實(shí)現(xiàn)通信了。本實(shí)施例中，CTC系統(tǒng)可以向TMC系統(tǒng)發(fā)送"寫命令"和"讀命令"，其中，"寫命令"是指示功能模塊執(zhí)行某個功能的命令，"讀命令，，是讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的命令。當(dāng)然，實(shí)際應(yīng)用中，CTC系統(tǒng)也可以不用"寫命令，，和"讀命令，，，只要可以ii指示功能模塊執(zhí)行功能，或者可以讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的命令即可。下面以CTC系統(tǒng)指示TMC系統(tǒng)中功能模塊執(zhí)行功能，以及CTC系統(tǒng)讀取TMC系統(tǒng)中功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息為例，詳細(xì)說明CTC系統(tǒng)和TMC系統(tǒng)進(jìn)4亍通j言的方法。圖2是本實(shí)施例中CTC系統(tǒng)指示TMC系統(tǒng)中功能模塊執(zhí)行功能的方法流程圖。如圖2所示，該方法包括步驟201:CTC系統(tǒng)向TMC系統(tǒng)發(fā)送"寫命令"，所述"寫命令"攜帶有至少包括功能模塊ID號和功能標(biāo)識信息的接口信息。本步驟中，由于CTC系統(tǒng)事先獲得如表一所示的接口信息，就可以根據(jù)接口信息向TMC發(fā)送"寫命令，，。這里所述的"寫命令"就是指示功能模塊執(zhí)行功能的命令。比如如果CTC系統(tǒng)需要TMC系統(tǒng)中"機(jī)械手"功能模塊實(shí)現(xiàn)"取片，，功能，則可以向TMC系統(tǒng)發(fā)送攜帶有功能模塊ID號為"101"、功能標(biāo)識信息為"1"的"寫命令"。步驟202:TMC系統(tǒng)根據(jù)接收到的"寫命令"確定當(dāng)前需要"機(jī)械手"功能模塊執(zhí)行"取片"功能。實(shí)際應(yīng)用中，如果TMC系統(tǒng)接收到的"寫命令"為數(shù)據(jù)包，可以先將數(shù)據(jù)包進(jìn)行解析，以確定需要哪個功能模塊執(zhí)行功能。步驟203:TMC系統(tǒng)根據(jù)功能模塊ID號和功能標(biāo)識信息調(diào)用"機(jī)械手'，功能模塊。步驟204:被調(diào)用的"機(jī)械手"功能模塊按照功能標(biāo)識信息執(zhí)行"取片"功能。實(shí)際應(yīng)用中，功能模塊可以采用多種方式實(shí)現(xiàn)其功能。比如TMC系統(tǒng)的功能模塊可以為一個函數(shù)，功能標(biāo)識信息就可以作為函數(shù)參數(shù)調(diào)用功能模塊ID號所對應(yīng)的函數(shù)。當(dāng)然，功能模塊也可以不僅僅為一個簡單的函數(shù)，至于具體如何實(shí)現(xiàn)功能可以采用現(xiàn)有技術(shù)，此處不再贅迷。實(shí)際應(yīng)用中，TMC系統(tǒng)還可以將每一個功能模塊最近執(zhí)行功能的功能標(biāo)識信息記錄下來，以供CTC系統(tǒng)后續(xù)讀取。圖3是本實(shí)施例中CTC系統(tǒng)讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的方法流程圖。如圖3所示，該方法包括步驟301:CTC系統(tǒng)向TMC系統(tǒng)發(fā)送"讀命令，，，所述"讀命令"攜帶有至少包括功能模塊ID號的接口信息。這里所述的"讀命令"就是讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的命令。比如如果CTC系統(tǒng)需要讀取TMC系統(tǒng)中"機(jī)械手"功能模塊最近執(zhí)行功能的標(biāo)識信息，則可以向TMC系統(tǒng)發(fā)送攜帶有功能模塊ID號為"101"的"讀命令"。步驟302:TMC系統(tǒng)根據(jù)操作命令確定當(dāng)前需要讀取"機(jī)械手"功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息。步驟303:TMC系統(tǒng)根據(jù)功能模塊ID號查詢"機(jī)械手"功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息，并將查詢到的功能標(biāo)識信息返回給CTC系統(tǒng)。本實(shí)施例中，如果"機(jī)械手"功能模塊最近所執(zhí)行功能為"取片"功負(fù)fe,TMC系統(tǒng)保存的功能標(biāo)識信息就應(yīng)該為"1"，那么，本實(shí)施例步驟303中，TMC系統(tǒng)就可以將"1"返回給CTC系統(tǒng)。這樣，CTC系統(tǒng)根據(jù)獲得功能標(biāo)識信息就可以明確"機(jī)械手"功能模塊剛剛執(zhí)行的功能為"取片"。實(shí)際應(yīng)用中，如果本實(shí)施例中"機(jī)械手"功能模塊在執(zhí)行"取片"功能時失敗，可以根據(jù)表二，將"01"這個故障ID號返回給CTC系統(tǒng)。此后，CTC系統(tǒng)根據(jù)"01"這個故障ID號和事先獲得的如表二所示的故障相關(guān)信息確定是執(zhí)行"取片，，功能時發(fā)生了故障，并利用事先引用的故障處理功能進(jìn)行故障處理。這里，由于CTC系統(tǒng)事先已經(jīng)通過遠(yuǎn)程引用方式從TMC系統(tǒng)中獲得了故障處理功能，可以直接調(diào)用該故障處理功能。至于故障處理功能本身則可以由應(yīng)用本發(fā)明方案的用戶自行確定，比如可以將故障信息呈現(xiàn)給用戶，并提供故障處理操作選項。此后，如果用戶根據(jù)故障處理操作選項選擇出一種，CTC系統(tǒng)還可以繼續(xù)執(zhí)行故障處理功能，進(jìn)行相應(yīng)的故障處理。13本實(shí)施例中，由于功能模塊的功能標(biāo)識信息為一個確定的整數(shù)，可以將這種功能模塊稱為離散型功能模塊。實(shí)際應(yīng)用，某些功能模塊向CTC系統(tǒng)提供的功能標(biāo)識信息可能是一個非整數(shù)的值，則可以稱為連續(xù)型功能模塊。比如TMC系統(tǒng)中的"壓力控制，，功能^=莫塊可以實(shí)時記錄反應(yīng)室中的氣壓，該氣壓值通常為一個非整數(shù)的值。如果CTC系統(tǒng)需要讀取當(dāng)前的氣壓值，TMC系統(tǒng)就可以將記錄的氣壓值作為"壓力控制"功能模塊的功能標(biāo)識信息返回給CTC系統(tǒng)。另夕卜，需要強(qiáng)調(diào)的是，本實(shí)施例說明的如何在CTC系統(tǒng)和TMC系統(tǒng)之間進(jìn)行通信，至于TMC系統(tǒng)中的功能模塊如何實(shí)現(xiàn)，CTC系統(tǒng)如何引用故障處理功能，具體如何進(jìn)行故障處理等都可以按照現(xiàn)有技術(shù)，由應(yīng)用本實(shí)施例方案的用戶自行確定，此處不再贅述。應(yīng)用本實(shí)施例方案，由于CTC系統(tǒng)與TMC系統(tǒng)建立了Socket連接，并獲得了TMC提供的接口信息。此后，CTC系統(tǒng)就直接可以利用接口信息向TMC系統(tǒng)發(fā)送操作命令，由TMC直接執(zhí)行該操作命令。這樣，由于CTC系統(tǒng)不必引用TMC系統(tǒng)中所有的功能模塊，不會占用大量資源，也不會大大降低自身的運(yùn)行速度和性能。綜上所述，以上僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非用于限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。1權(quán)利要求1、一種集簇設(shè)備控制系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間通信的方法，其特征在于，該方法包括以下步驟a、集簇設(shè)備控制CTC系統(tǒng)向工藝控制系統(tǒng)發(fā)送攜帶有接口信息的操作命令，所述接口信息為工藝控制系統(tǒng)事先設(shè)置的針對自身功能模塊的信息；b、工藝控制系統(tǒng)從操作命令中獲得接口信息，并根據(jù)獲得的接口信息對相應(yīng)功能模塊進(jìn)行操作。2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述接口信息至少包括功能模塊ID號、功能標(biāo)識信息；所述功能標(biāo)識信息為功能模塊ID號所對應(yīng)功能模塊可執(zhí)行功能的標(biāo)識信息；所述操作命令為指示功能模塊執(zhí)行功能的命令；所述步驟b包括工藝控制系統(tǒng)根據(jù)操作命令確定當(dāng)前需要功能模塊執(zhí)行自身功能，并根據(jù)功能模塊ID號和功能標(biāo)識信息調(diào)用相應(yīng)的功能模塊，被調(diào)用的功能模塊按照所述功能標(biāo)識信息執(zhí)行自身的功能。3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述接口信息至少包括功能模塊ID號；所述操作命令為讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息的命令；所述步驟b包括所述工藝控制系統(tǒng)根據(jù)操作命令確定當(dāng)前需要讀取功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息，根據(jù)功能模塊ID號查詢保存的對應(yīng)功能模塊最近所執(zhí)行功能的標(biāo)識信息，并將查詢到的功能標(biāo)識信息返回給CTC系統(tǒng)。4、根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的方法，其特征在于，所述操作命令為基于Socket連接的操作命令，所述步驟a之前，該方法進(jìn)一步包括CTC系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間建立Socket連接。5、根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項所述的方法，其特征在于，當(dāng)工藝控制系統(tǒng)的功能模塊檢測出故障時，該方法進(jìn)一步包括將事先為故障設(shè)置的故障標(biāo)識信息發(fā)送給CTC系統(tǒng)，CTC系統(tǒng)根據(jù)故障標(biāo)識信息調(diào)用故障處理功能進(jìn)行故障處理，所述故障處理功能為CTC系統(tǒng)事先通過遠(yuǎn)程引用方式從工藝控制系統(tǒng)中所獲得的。6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述遠(yuǎn)程引用為利用遠(yuǎn)程remoting技術(shù)實(shí)現(xiàn)的遠(yuǎn)程引用。全文摘要本發(fā)明提供一種集簇設(shè)備控制系統(tǒng)和工藝控制系統(tǒng)之間通信的方法，集簇設(shè)備控制(CTC)系統(tǒng)向工藝控制系統(tǒng)發(fā)送攜帶有接口信息的操作命令，所述接口信息為工藝控制系統(tǒng)事先設(shè)置的針對自身功能模塊的信息；工藝控制系統(tǒng)從操作命令中獲得接口信息，并根據(jù)獲得的接口信息對相應(yīng)功能模塊進(jìn)行操作。應(yīng)用本發(fā)明方案，由于CTC系統(tǒng)不必事先將工藝控制系統(tǒng)中的所有功能模塊都進(jìn)行遠(yuǎn)程引用，從而在與工藝控制系統(tǒng)進(jìn)行通信時不必占用CTC系統(tǒng)自身大量的資源，也可以避免運(yùn)行速度和性能的下降。文檔編號G05B19/418GK101482746SQ20081005610公開日2009年7月15日申請日期2008年1月11日優(yōu)先權(quán)日2008年1月11日發(fā)明者濤陸申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司