專利名稱：整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明有關(guān)一種庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，特別是有關(guān)一種整合無(wú)線射頻識(shí)別(RFID)技術(shù) 的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
關(guān)于使用RFID技術(shù)在晶片庫(kù)存或運(yùn)送的先前技術(shù)已有美國(guó)發(fā)明專利 US6330971與美國(guó)早期公開(kāi)申請(qǐng)案US20060043197以及中國(guó)臺(tái)灣發(fā)明專利TW 1267029所揭露。其中，美國(guó)發(fā)明專利US6330971揭露一種使用RFID技術(shù)以追蹤 晶片的系統(tǒng)，如圖1A所示，此系統(tǒng)IO包含承載晶片的多個(gè)載具11、 RFID讀取機(jī) 12，貼附在載具11的RFID標(biāo)簽14以及控制器13，其中RFID讀取機(jī)12通過(guò)其上 的多個(gè)天線15以讀取貼附在各載具11上的RFID標(biāo)簽14，同時(shí)RFID讀取機(jī)12并 將讀取到的標(biāo)簽信息通過(guò)RS232接口傳送至控制器13以提供目前載具11及其承載 晶片所在位置。
此外，美國(guó)早期公開(kāi)申請(qǐng)案US2006004319揭露一種使用RFID的載具以進(jìn)行晶 片運(yùn)輸?shù)南到y(tǒng)，如圖1B所示，此系統(tǒng)100包含運(yùn)輸裝置110、承載晶片的載具111、 處理機(jī)臺(tái)115、RFID讀取機(jī)116以及機(jī)臺(tái)控制器117，當(dāng)載具111通過(guò)運(yùn)輸裝置110 輸送至處理機(jī)臺(tái)115時(shí)，則安裝于處理機(jī)臺(tái)115的RFID讀取機(jī)116讀取載具本體 112的RFID標(biāo)簽114，以將RFID標(biāo)簽114記載的載具識(shí)別碼送至機(jī)臺(tái)控制器117， 以提供處理機(jī)臺(tái)115進(jìn)行此載具111內(nèi)晶片片的加工處理。
此外，中國(guó)臺(tái)灣發(fā)明專利TW 1267029揭露一種使用RFID的載具以進(jìn)行晶片運(yùn) 輸?shù)南到y(tǒng)，如圖1C所示，此運(yùn)輸系統(tǒng)1000包含晶片盒1010、 RFID標(biāo)簽1020、運(yùn) 輸裝置1030、處理機(jī)臺(tái)1040、 RFID讀取機(jī)1050、主機(jī)1060及觸發(fā)器1070，當(dāng)一 晶片盒1010的RFID標(biāo)簽1020出現(xiàn)在處理機(jī)臺(tái)1040附近時(shí)，由于RFID感應(yīng)器直 接接收到RFID標(biāo)簽1020而自動(dòng)啟動(dòng)運(yùn)輸裝置1030，可能錯(cuò)誤將晶片盒1010通過(guò) 機(jī)械手臂傳送至載卸部而誤傷操作員，但通過(guò)操作員直接操作觸發(fā)器1070以對(duì)主 機(jī)1060下達(dá)命令而控制RFID感應(yīng)器何時(shí)感應(yīng)，避免RFID感應(yīng)器不當(dāng)?shù)馗袘?yīng)RFID標(biāo)簽而使機(jī)械手臂意外被啟動(dòng)而危害操作員安全。
上述先前技術(shù)的內(nèi)容主要是利用RFID以進(jìn)行晶片輸送或追蹤，但是并沒(méi)有將 RFID技術(shù)與庫(kù)位監(jiān)控的信息系統(tǒng)有效整合在一起，以提供操作員(operator)可實(shí) 時(shí)監(jiān)控以晶片為主(wafer based)的庫(kù)位監(jiān)控，因此提供一種整合RFID技術(shù)至庫(kù)位 監(jiān)控的信息系統(tǒng)，使得操作員可在線上實(shí)時(shí)掌握半導(dǎo)體貨物的庫(kù)位管理及半導(dǎo)體測(cè) 試的調(diào)度規(guī)劃，實(shí)為業(yè)界急需解決的課題。

發(fā)明內(nèi)容
為了提供一種可實(shí)時(shí)監(jiān)控以晶片為主(wafer based)的載具或半導(dǎo)體對(duì)象的庫(kù) 位監(jiān)控，以解決上述先前技術(shù)不盡理想之處，本發(fā)明提供一具有整合RFID技術(shù)的 庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，包含有多個(gè)載具(carriers)、 一庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)用以監(jiān)控各載具或?qū)?象的庫(kù)位、多個(gè)RFID標(biāo)簽(tags)與多個(gè)RFID讀取機(jī)(RFID readers)。其中，載具 放置在廠商的預(yù)設(shè)空間(predetermined space)內(nèi)，而各載具用以承載至少一個(gè)半 導(dǎo)體對(duì)象。RFID標(biāo)簽(tags)分別設(shè)置于各載具(carrier)或?qū)ο?，而各RFID標(biāo)簽 具有一標(biāo)簽信息(tag information) 。 RFID讀取機(jī)配置于廠商的預(yù)設(shè)空間內(nèi)，通過(guò) 射頻方式自該RFID標(biāo)簽讀出或?qū)懭霕?biāo)簽信息。庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)用以監(jiān)控各載具或半 導(dǎo)體對(duì)象的庫(kù)位，包含 一數(shù)據(jù)庫(kù)(legacy database),儲(chǔ)存與該庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)有 關(guān)的數(shù)據(jù)；一RFID中介軟件，用以處理RFID讀取機(jī)與RFID標(biāo)簽之間運(yùn)作；一 web 接口 ，用以處理通過(guò)企業(yè)間(B2B)網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機(jī)(internet)的操作員下達(dá)指令與輸出對(duì) 應(yīng)的結(jié)果； 一輸出入接口，用以處理通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機(jī)(intranet)的操作員下 達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)的結(jié)果；以及一庫(kù)位控制器，處理數(shù)據(jù)庫(kù)與RFID中介軟件、web 接口、輸出入接口之間數(shù)據(jù)的存取，以執(zhí)行庫(kù)位監(jiān)控的作業(yè)，據(jù)此，半導(dǎo)體廠的操 作員可線上(on-line)管理以晶片為主(wafer based)的載具或半導(dǎo)體對(duì)象的庫(kù)位 監(jiān)控。
因此，本發(fā)明的主要目的是提供一種整合RFID技術(shù)的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，通過(guò)RFID 技術(shù)以提供操作員或系統(tǒng)線上實(shí)時(shí)監(jiān)控半導(dǎo)體對(duì)象的庫(kù)位信息。
此外，本發(fā)明的次要目的是提供一種整合RFID技術(shù)的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，可進(jìn)一 步通過(guò)RFID標(biāo)簽的編碼作為搜尋索引，以提供上下游廠商從內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)實(shí)時(shí)掌控半 導(dǎo)體對(duì)象目前所在位置、狀態(tài)、與測(cè)試結(jié)果。
此外，本發(fā)明的再一目的是提供一種整合RFID技術(shù)的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，可進(jìn)一 步通過(guò)RFID標(biāo)簽的編碼作為搜尋索引，以提供操作員從內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)可實(shí)時(shí)存取半導(dǎo)體貨物。
此外，本發(fā)明的又一目的是提供一種整合RFID技術(shù)的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，可進(jìn)一 步提供操作員從內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)以實(shí)時(shí)掌控目前半導(dǎo)體對(duì)象的測(cè)試狀況及產(chǎn)線的調(diào)度管 理。
此外，本發(fā)明的再一目的是提供一種整合RFID技術(shù)的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，可進(jìn)一 步提供進(jìn)出貨或建物空間內(nèi)的出入口門(mén)禁管制區(qū)的操作員從內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)以實(shí)時(shí)掌控 半導(dǎo)體貨物的進(jìn)出狀況。


圖1A至圖1C是先前技術(shù)的一種使用RFID的晶片系統(tǒng)的示意圖。 圖2為本發(fā)明的第一較佳實(shí)施例的一種整合RFID的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)的示意圖。 圖3為根據(jù)圖2提出的另一種整合RFID的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)的第二較佳實(shí)施例的 示意圖。
具體實(shí)施例方式
由于本發(fā)明揭露一種整合RFID技術(shù)的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，以提供操作員可實(shí)時(shí)監(jiān) 控以晶片為主(wafer based)的載具或半導(dǎo)體對(duì)象的庫(kù)位管理與產(chǎn)線控管，其中所 利用的半導(dǎo)體測(cè)試及無(wú)線射頻識(shí)別的技術(shù)原理，已為相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域具有通常知識(shí)者 所能明了，故以下文中的說(shuō)明，不再作完整描述。同時(shí)，以下文中所對(duì)照的附圖， 是表達(dá)與本發(fā)明特征有關(guān)的結(jié)構(gòu)示意，并未亦不需要依據(jù)實(shí)際尺寸完整繪制。
首先請(qǐng)參考圖2，示出本發(fā)明所提出的第一較佳實(shí)施例，為一種整合無(wú)線射頻 識(shí)別(RFID)技術(shù)的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)20，用于半導(dǎo)體廠21，此庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)20包括有 多個(gè)載具22、 一庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)26、多個(gè)RFID標(biāo)簽24與多個(gè)RFID讀取機(jī)23。其 中載具22放置在半導(dǎo)體廠21的預(yù)設(shè)空間(是指特定的廠房或作業(yè)區(qū))，用以承載至 少一個(gè)半導(dǎo)體對(duì)象220，此半導(dǎo)體對(duì)象220可以是晶片、探針卡或是掩膜，而承載 半導(dǎo)體對(duì)象220的載具22可以是晶舟盒、晶片傳送匣(FOUP)、晶片運(yùn)輸盒(FOSB)、 手推車、或探針卡盒(Probe Card Box)。此外，在此半導(dǎo)體廠21內(nèi)配置多個(gè)RFID 讀取機(jī)23，且在各載具與對(duì)象不同方位設(shè)置多個(gè)RFID標(biāo)簽24，以確保每一 RFID 標(biāo)簽24所記載的標(biāo)簽信息可在此預(yù)設(shè)空間的射頻范圍內(nèi)被RFID讀取機(jī)23所讀取 或?qū)懭?，此?biāo)簽信息包括標(biāo)簽識(shí)別碼(tag ID)、載具或晶片批號(hào)(carrier or Lot ID)、客戶編號(hào)(customer ID)、晶片型號(hào)(wafer part ID)、晶片編號(hào)(wafer ID)、晶片數(shù)量(wafer Q' ty)、良好晶粒數(shù)量(Good Die Q' ty)及探針卡編號(hào)(probe card ID)等，此外上述RFID標(biāo)簽24可以是被動(dòng)式(passive)或主動(dòng)式(active)。據(jù)此， 上述庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)26可提供操作員實(shí)時(shí)監(jiān)控載具或半導(dǎo)體對(duì)象的庫(kù)位信息。
在上述實(shí)施例中，庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)26的特點(diǎn)是包含一數(shù)據(jù)庫(kù)260、 一RFID中介 軟件261、 一web接口 262、 一庫(kù)位控制器263，以及一輸出入接口 264。其中上述 的數(shù)據(jù)庫(kù)260儲(chǔ)存與載具或半導(dǎo)體對(duì)象有關(guān)的編號(hào)、數(shù)量、狀況及位置等庫(kù)位數(shù)據(jù)， 例如載具或晶片批號(hào)、客戶編號(hào)、晶片型號(hào)、晶片編號(hào)、晶片數(shù)量、良好晶粒數(shù) 量及探針卡編號(hào)、載具或?qū)ο蟠娣盼恢?、晶片處理加工信息、晶片測(cè)試結(jié)果以及探 針卡使用記錄等相關(guān)庫(kù)位數(shù)據(jù)；RFID中介軟件261用以處理RFID讀取機(jī)23與RFID 標(biāo)簽24之間運(yùn)作，此外RFID中介軟件261并通過(guò)一數(shù)據(jù)傳輸協(xié)議與驅(qū)動(dòng)程序230， 如從RS232、 Ethernet、 USB或WLAN等各種有線或無(wú)線傳輸方式擇其一 以進(jìn)行庫(kù)位 監(jiān)控主機(jī)26與RFID讀取機(jī)23之間的數(shù)據(jù)傳輸，同時(shí)處理RFID讀取機(jī)23與RFID 標(biāo)簽24之間數(shù)據(jù)讀取與寫(xiě)入；web接口 262提供操作員通過(guò)企業(yè)間網(wǎng)絡(luò)(B2B internet)以下達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)的結(jié)果，例如操作員通過(guò)企業(yè)間網(wǎng)絡(luò)以搜尋特 定客戶所屬半導(dǎo)體對(duì)象220的庫(kù)位信息或工藝加工信息；輸出入接口 264可外接多 個(gè)輸出及輸入裝置，提供操作員下達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)結(jié)果的接口；庫(kù)位控制器263 處理數(shù)據(jù)庫(kù)260、 RFID中介軟件261、 web接口 262、輸出入接口 264之間的數(shù)據(jù) 傳輸，以執(zhí)行庫(kù)位監(jiān)控的作業(yè)。
在上述實(shí)施例中，RFID中介軟件261可進(jìn)一步提供一索引鍵(未圖標(biāo))給 上述的庫(kù)位控制器263，以使庫(kù)位控制器263根據(jù)索引鍵以進(jìn)行數(shù)據(jù)庫(kù)260的存取， 例如操作員可以載具批號(hào)及晶片編號(hào)為主索引鍵(primary index key)及次索引鍵 (secondary index key),進(jìn)行線上數(shù)據(jù)庫(kù)260的搜尋以找出此晶片目前的位置信 息，而此索引鍵系由RFID中介軟件261自標(biāo)簽信息所擷取的，也就是索引鍵可由 標(biāo)簽識(shí)別碼、載具或晶片批號(hào)、客戶編號(hào)、晶片型號(hào)、晶片編號(hào)及探針卡編號(hào)等組 合而成。此外，可在鄰近RFID讀取機(jī)23進(jìn)一步設(shè)置警示裝置25，如設(shè)置在半導(dǎo) 體廠內(nèi)21的出入門(mén)禁處，以提供操作員實(shí)時(shí)性安全監(jiān)控與追蹤半導(dǎo)體對(duì)象220與 載具22的最新?tīng)顟B(tài)。
請(qǐng)參考圖3，系本發(fā)明提出的第二較佳實(shí)施例，為另一種整合無(wú)線射頻識(shí)別 (RFID)技術(shù)的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)30。用于半導(dǎo)體廠31，此庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)30包括有多 個(gè)載具32、 一庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)36、多個(gè)RFID標(biāo)簽34、多個(gè)RFID讀取機(jī)33與測(cè)試 機(jī)臺(tái)區(qū)37。其中載具32系放置在半導(dǎo)體廠31的預(yù)設(shè)空間(系指特定的廠房或作業(yè)區(qū))，用以承載至少一個(gè)半導(dǎo)體對(duì)象320，此半導(dǎo)體對(duì)象320可以是晶片、探針卡 或是掩膜，而承載半導(dǎo)體對(duì)象320的載具32可以是晶舟盒、晶片傳送匣(FOUP)、 晶片運(yùn)輸盒(FOSB)、手推車、或探針卡盒(Probe Card Box)。此外，在此半導(dǎo)體 廠31內(nèi)配置多個(gè)RFID讀取機(jī)33，且在各載具或半導(dǎo)體對(duì)象不同方位設(shè)置多個(gè)RFID 標(biāo)簽34,以確保每一 RFID標(biāo)簽34所記載的標(biāo)簽信息可在此預(yù)設(shè)空間的射頻范圍 內(nèi)被RFID讀取機(jī)33所讀取或?qū)懭?，此?biāo)簽信息包括標(biāo)簽識(shí)別碼(tagID)、載具或 晶片批號(hào)(carrier or Lot ID)、客戶編號(hào)(customer ID)、晶片型號(hào)(wafer part ID)、 晶片編號(hào)(wafer ID)、晶片數(shù)量(waferQ' ty)、良好晶粒數(shù)量(Good Die Q' ty) 及探針卡編號(hào)(probe card ID)等，此外上述RFID標(biāo)簽34可以是被動(dòng)式(passive) 或主動(dòng)式(active)。此外，上述的庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)36進(jìn)一步連接至測(cè)試機(jī)臺(tái)區(qū)37， 而此測(cè)試機(jī)臺(tái)區(qū)37包括多個(gè)測(cè)試機(jī)臺(tái)38、一線上測(cè)試系統(tǒng)39及一測(cè)試數(shù)據(jù)庫(kù)40， 線上測(cè)試系統(tǒng)39用以提供各測(cè)試機(jī)臺(tái)38所需的測(cè)試參數(shù)及監(jiān)控晶片/探針卡的使 用狀況，測(cè)試數(shù)據(jù)庫(kù)40用以存放晶片工藝的測(cè)試參數(shù)或加工信息，以及晶片測(cè)試 結(jié)果，使得線上測(cè)試系統(tǒng)39可實(shí)時(shí)提供操作員目前測(cè)試設(shè)備的運(yùn)作狀況，同時(shí)整 合庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)36通過(guò)RFID所產(chǎn)生晶片與探針卡的實(shí)時(shí)庫(kù)位信息，可進(jìn)而產(chǎn)出一 可用資源報(bào)告366，以使得操作員可預(yù)先安排晶片測(cè)試的調(diào)度，同時(shí)完成自動(dòng)測(cè)試 架機(jī)(Setup)作業(yè)。
在上述實(shí)施例中，庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)36包含一數(shù)據(jù)庫(kù)360、 一 RFID中介軟件361、 一web接口 362、 一庫(kù)位控制器363，以及一輸出入接口 364。其中上述的數(shù)據(jù)庫(kù) 360系儲(chǔ)存與載具或半導(dǎo)體對(duì)象有關(guān)的編號(hào)、數(shù)量、狀況及位置等庫(kù)位數(shù)據(jù)，例如 載具或晶片批號(hào)、客戶編號(hào)、晶片型號(hào)、晶片編號(hào)、晶片數(shù)量、良好晶粒數(shù)量及探 針卡編號(hào)、載具或?qū)ο蟠娣盼恢?、晶片處理加工信息、晶片測(cè)試結(jié)果以及探針卡使 用記錄等相關(guān)數(shù)據(jù)。RFID中介軟件361用以處理RFID讀取機(jī)33與RFID標(biāo)簽34 之間運(yùn)作，此外RFID中介軟件361并通過(guò)一數(shù)據(jù)傳輸協(xié)議與驅(qū)動(dòng)程序330，如從 RS232、 Ethernet、 USB或WL認(rèn)等各種有線或無(wú)線傳輸方式擇其一 以進(jìn)行庫(kù)位監(jiān)控 主機(jī)36與RFID讀取機(jī)33之間的數(shù)據(jù)傳輸，同時(shí)處理RFID讀取機(jī)33與RFID標(biāo)簽 34之間數(shù)據(jù)讀取與寫(xiě)入。web接口 362提供操作員通過(guò)企業(yè)間網(wǎng)絡(luò)(B2B internet) 以下達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)的結(jié)果，例如操作員通過(guò)企業(yè)間網(wǎng)絡(luò)以搜尋特定客戶所屬 半導(dǎo)體對(duì)象320的庫(kù)位信息或工藝加工信息；輸出入接口 364可外接多個(gè)輸出及輸 入裝置，提供操作員下達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)查詢結(jié)果的接口。庫(kù)位控制器363處理數(shù) 據(jù)庫(kù)360、 RFID中介軟件361、 web接口 362、輸出入接口 364之間的數(shù)據(jù)傳輸，以執(zhí)行庫(kù)位監(jiān)控的作業(yè)。
在上述實(shí)施例中，RFID中介軟件361可進(jìn)一步提供一索引鍵(未圖標(biāo))給上述 的庫(kù)位控制器363，以使庫(kù)位控制器363根據(jù)索引鍵以進(jìn)行數(shù)據(jù)庫(kù)360的存取，例 如操作員可以載具批號(hào)及晶片編號(hào)為主索引鍵(primary index key)及次索引鍵 (secondary index key)，進(jìn)行線上數(shù)據(jù)庫(kù)360的搜尋以找出此晶片目前的庫(kù)位信 息，而此索引鍵是由RFID中介軟件361自標(biāo)簽信息所擷取的，也就是索引鍵可由 標(biāo)簽識(shí)別碼、載具或晶片批號(hào)、客戶編號(hào)、晶片型號(hào)、晶片編號(hào)及探針卡編號(hào)等組 合而成。
以上所述僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非用以限定本發(fā)明的權(quán)利范圍；同時(shí)以 上的描述，對(duì)于熟知本技術(shù)領(lǐng)域的專門(mén)人士應(yīng)可明了及實(shí)施，因此其它未脫離本發(fā) 明所揭示的精神下所完成的等效改變或修飾，均應(yīng)包含在申請(qǐng)專利范圍中。
權(quán)利要求
1.一種整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體廠，包括有多個(gè)載具，放置在該半導(dǎo)體廠對(duì)應(yīng)的預(yù)設(shè)空間，該各載具用以承載至少一個(gè)半導(dǎo)體對(duì)象；一庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)，用以監(jiān)控該載具或半導(dǎo)體對(duì)象對(duì)象的庫(kù)位；以及多個(gè)無(wú)線射頻識(shí)別標(biāo)簽與多個(gè)無(wú)線射頻識(shí)別讀取機(jī)；其特征在于該多個(gè)無(wú)線射頻識(shí)別標(biāo)簽，是分別設(shè)置于該各載具或半導(dǎo)體對(duì)象對(duì)象，而該各無(wú)線射頻識(shí)別標(biāo)簽具有一標(biāo)簽信息；該多個(gè)無(wú)線射頻識(shí)別讀取機(jī)，配置于該半導(dǎo)體廠內(nèi)，通過(guò)射頻方式自該無(wú)線射頻識(shí)別標(biāo)簽讀出或?qū)懭朐摌?biāo)簽信息；該庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)包含一數(shù)據(jù)庫(kù)，儲(chǔ)存與該載具或半導(dǎo)體對(duì)象有關(guān)的庫(kù)位信息；一無(wú)線射頻識(shí)別中介軟件，用以處理這些無(wú)線射頻識(shí)別讀取機(jī)與無(wú)線射頻識(shí)別標(biāo)簽之間運(yùn)作；一web接口，用以處理通過(guò)企業(yè)間網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機(jī)的操作員下達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)的結(jié)果；一輸出入接口，用以處理通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機(jī)的操作員下達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)的結(jié)果；以及一庫(kù)位控制器，處理該數(shù)據(jù)庫(kù)與該無(wú)線射頻識(shí)別中介軟件、web接口、輸出入接口之間數(shù)據(jù)的存取，以執(zhí)行庫(kù)位監(jiān)控的作業(yè)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該半 導(dǎo)體對(duì)象可為掩膜、晶片或探針卡(probe card),而該庫(kù)位信息包含有該載具或半 導(dǎo)體對(duì)象位于收貨站、出貨站、測(cè)試機(jī)、氮?dú)夤?、滑軌車或手推車或載具車、或建 物空間內(nèi)的位置信息。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該標(biāo) 簽信息包括標(biāo)簽識(shí)別碼、載具或晶片批號(hào)、客戶編號(hào)、晶片型號(hào)、晶片編號(hào)、晶片 數(shù)量、良好晶粒數(shù)量及探針卡編號(hào)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該無(wú)線射頻識(shí)別中介軟件進(jìn)一步包含一數(shù)據(jù)傳輸協(xié)議與驅(qū)動(dòng)程序，用以進(jìn)行該庫(kù)位監(jiān)控 主機(jī)與無(wú)線射頻識(shí)別讀取機(jī)之間的數(shù)據(jù)傳輸，而該數(shù)據(jù)傳輸協(xié)議是一選自于由RS232、 Ethernet、 USB及WLAN等傳輸方式所構(gòu)成的群組。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該無(wú) 線射頻識(shí)別標(biāo)簽可以是被動(dòng)式或主動(dòng)式，而該輸出入接口可外接多個(gè)輸出及輸入裝 置。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該無(wú) 線射頻識(shí)別中介軟件可進(jìn)一步提供一索引鍵給該庫(kù)位控制器，而該索引鍵可選自由 該標(biāo)簽識(shí)別碼、載具或晶片批號(hào)、客戶編號(hào)、晶片型號(hào)、晶片編號(hào)及探針卡編號(hào)所 組成的群組，而該庫(kù)位控制器根據(jù)該索引鍵以進(jìn)行該數(shù)據(jù)庫(kù)的存取。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該無(wú) 線射頻識(shí)別讀取機(jī)進(jìn)一步包含一警示裝置，以提供操作員實(shí)時(shí)性監(jiān)控。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該庫(kù) 位監(jiān)控主機(jī)進(jìn)一步連接至一測(cè)試機(jī)臺(tái)區(qū)，使得操作員可預(yù)先安排晶片測(cè)試的調(diào)度與 自動(dòng)測(cè)試架機(jī)作業(yè)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該載 具是一選自于由晶舟盒、晶片傳送匣、晶片運(yùn)輸盒、手推車、及探針卡盒所構(gòu)成的 群組。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的整合無(wú)線射頻識(shí)別的庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，其特征在于該 預(yù)設(shè)空間是該無(wú)線射頻識(shí)別標(biāo)簽被任一鄰近無(wú)線射頻識(shí)別讀取機(jī)可讀取到射頻信 號(hào)的范圍內(nèi)，而該載具或?qū)ο罂膳渲糜兄辽僖粋€(gè)以上的無(wú)線射頻識(shí)別標(biāo)簽。
全文摘要
一種整合無(wú)線射頻識(shí)別(RFID)技術(shù)的在庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)，用于半導(dǎo)體廠，包括有多個(gè)載具，各載具承載至少一個(gè)半導(dǎo)體對(duì)象；一庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)；以及多個(gè)RFID標(biāo)簽與RFID讀取機(jī)。多個(gè)RFID標(biāo)簽分別設(shè)置于各載具與半導(dǎo)體對(duì)象上，各RFID標(biāo)簽具有標(biāo)簽信息；RFID讀取機(jī)可自RFID標(biāo)簽讀出或?qū)懭霕?biāo)簽信息。庫(kù)位監(jiān)控主機(jī)包含一數(shù)據(jù)庫(kù)儲(chǔ)存與庫(kù)位監(jiān)控系統(tǒng)有關(guān)的數(shù)據(jù)；一RFID中介軟件，處理RFID讀取機(jī)與RFID標(biāo)簽之間運(yùn)作；一web接口，處理通過(guò)企業(yè)間網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機(jī)的操作員下達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)的結(jié)果；一輸出入接口，處理通過(guò)企業(yè)內(nèi)部網(wǎng)絡(luò)聯(lián)機(jī)的操作員下達(dá)指令與輸出對(duì)應(yīng)的結(jié)果；以及一庫(kù)位控制器，處理數(shù)據(jù)庫(kù)與RFID中介軟件、web接口、輸出入接口之間數(shù)據(jù)的存取，以執(zhí)行庫(kù)位監(jiān)控的作業(yè)。
文檔編號(hào)G05B19/418GK101551659SQ20081009095
公開(kāi)日2009年10月7日 申請(qǐng)日期2008年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月31日
發(fā)明者易繼銘, 江文祥, 紀(jì)釋棣, 范盛強(qiáng), 范賜忠, 黃睿清 申請(qǐng)人:南茂科技股份有限公司