專利名稱：控制設(shè)備的運動尤其是芯片鍵合設(shè)備的放置工具的運動的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于自動化技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明涉及根據(jù)獨立權(quán)利要求的前序部分所述的控制設(shè)備的運動的方法，尤其是控制芯片鍵合設(shè)備的放置工具的運動的方法。
背景技術(shù)：
運動控制系統(tǒng)將軸運動有規(guī)律地實施為連接的三次樣條，S卩，連接的在時間上限定各運動段的三階多項式。當與低階多項式相比時，所產(chǎn)生的軌跡X(t) = (Xl(t)，...，
其中N表示待控制的運動的自由度的數(shù)量-在各處都具有有限的、受限的躍度并且限制高頻能量輸入被控系統(tǒng)。術(shù)語躍度指的是加速度相對于時間的導數(shù)。各運動段易于通過有限的計算資源計算。通常，N彡6且Xl，...，&對應(yīng)于線性坐標χ、1、ζ以及角坐標 θχ、ey、子集。在下文中，自由度又被簡稱為軸。先進的運動控制系統(tǒng)已經(jīng)被實施，它們允許對不需要從靜止狀態(tài)開始而是從一個或多個軸的當前運動狀態(tài)開始的運動進行編程。這被稱為運動混合。在軸η的靜止狀態(tài)，Vn(t)相對于時間的第一導數(shù)，即，Vn (t) =Xn' (t)，等于0，而運動狀態(tài)的特征在于 Xn' (t) Φ 0。先進的運動控制系統(tǒng)的細節(jié)可以在Rexroth NYCe400的，發(fā)布于06年10 月的1. 3版的產(chǎn)品軟件用戶手冊，以及發(fā)布于07年5月的1. 4版的產(chǎn)品硬件用戶手冊中找至Ij ；二者均由 Bosch Rexroth AG(地址為 Luchthavenweg 20,5657 EB Eindhoven, The Netherlands)出版，其全部內(nèi)容并入本文。運動混合(motion blending)已經(jīng)被用于響應(yīng)僅在以原始終點為目標的運動已經(jīng)開始之后變得可用的信息來改變單個和多個軸運動的最終位置。如果相比于整個運動， 最終位置的改變較小，那么，相比于使軸運動至原始終點并隨后進行修正運動，這種策略允許整個運動時間更短。這被稱為終點修正并且是芯片鍵合設(shè)備所特別關(guān)心的。芯片鍵合設(shè)備從支撐場所(例如晶片臺)拾取單個芯片，將被拾取的芯片放置并緊接著貼附至基底或另一個芯片上。因此由芯片鍵合設(shè)備執(zhí)行的整個過程通常被稱為芯片鍵合。這在例如WO 07118511A1中得到詳細描述，其全部內(nèi)容通過引用并入本文。多軸運動經(jīng)常需要各個軸運動之間的同步。同步需求經(jīng)常被稱為用于碰撞避免的幾何禁入?yún)^(qū)、切向速度約束或邊界條件。

發(fā)明內(nèi)容
根據(jù)本發(fā)明的一種示例性實施方式，提出了一種對設(shè)備(尤其是芯片鍵合設(shè)備的放置工具)的具有N彡2的自由度&，. . .，χΝ_ι;ζ的運動進行控制的方法。該方法包括步驟 確定近似目標X-位置‘Γ= (Xl,en；",...,X^ien；PP)；計算第一 Ζ-軌跡^⑴；計算設(shè)備從開始X-位置^cstot到近似目標X-位置Xm廣的運動的X-軌跡Xapp (t) = (Xlapp (t)，...， Χ^-α))；通過控制系統(tǒng)使設(shè)備從起點qapp(0) = (xstart, Zup(O))沿著第一軌跡qapp(t)= (xapp(t)，Zup(t))開始運動；一旦在時刻t。OT獲得被修正目標χ-位置Xend = (X1, end，...，χΝ-υ)，則確定滿足xe°"(tblend) = xapp(tblend)的到xend的被修正目標-χ軌跡xem(t)= (XlC°rr (t)，. . .，Ximc^ (t))，其中t。OT彡tblend以及對于t彡tblend,通過控制系統(tǒng)使設(shè)備沿著第二軌跡 qc°rr (t) = (xcorr (t)，zup (t))運動；確定最早時刻 t2 = min {t | Xcorr (t) = xend}，此時χ-"(t2) = xend ；計算從最大ζ-位置Zfflax到目標ζ-位置Zend的第二 ζ-軌跡Zdown(t)從而對于t < t2，Zdown (t) > ，對于給定安全高度Z2，有^ax > Z2 > Zend以及對于td。wn > tblend 的某些時刻，zd_(td_) = zup(tdown) = Zmax ；以及對于t > td_，通過控制系統(tǒng)使設(shè)備沿著第三軌跡 qfinal(t) = (xcorr(t), Zdown (t))運動。本發(fā)明的方法還可以被體現(xiàn)為設(shè)備(例如作為芯片鍵合設(shè)備的智能(單元)的一部分)，或作為計算機可讀載體(例如用于連接芯片鍵合設(shè)備的計算機可讀載體)上的計算機程序指令。


當結(jié)合附圖進行閱讀時，通過下列詳細描述，本發(fā)明被最佳地理解。應(yīng)強調(diào)，根據(jù)慣例，附圖的多種特征并沒有按比例繪制，反而是為了清楚起見被任意地擴大或縮小。下列各圖被包括在附圖中圖1示出放置工具的軌跡的示意性代表圖。圖2示出yz_平面中的軌跡的另一個示意性代表圖。圖3示出多種χ⑴_，y (t)-和ζ (t)-軌跡的示意性代表圖。
具體實施例方式根據(jù)本發(fā)明的一種示例性實施方式，提出了一種對芯片鍵合設(shè)備的放置工具的運動進行控制的方法。放置工具是芯片鍵合設(shè)備的組件，放置工具從晶片、托盤、或其它工具拾取各個芯片并將它們放置在基底上，所述芯片將要被鍵合至該基底或另一個芯片上。在通常實施中， 放置工具具有三個線性的和一個旋轉(zhuǎn)的自由度x、y、ζ和θζ。通過控制系統(tǒng)對相對于所述自由度的運動進行控制。放置工具被配置為沿著χ-軌跡x(t) = (x(t)，y(t)，θ z(t))在晶片臺、芯片托盤、 或轉(zhuǎn)移工具上將拾取芯片的拾取或轉(zhuǎn)移位置與放置位置之間運動。在下文中，假設(shè)精確的轉(zhuǎn)移位置預(yù)先已知，放置位置則通過對預(yù)先已知的位移或近似目標X-位置Xendapp和通常在放置工具已經(jīng)在拾取位置Ktot拾取芯片并已經(jīng)開始朝著近似目標X-位置Xend-運動之后變得可用的修正計算得到。然而，本發(fā)明還可以在其它情況下使用，尤其用于當拾取位置在該工具朝著拾取位置的運動已經(jīng)開始之后并且在修正值變得可用之前需要被修正時通過放置、拾取或中間工具來拾取芯片。為了結(jié)合該修正，芯片鍵合設(shè)備或者可以在運動開始之前等待，或者可以在移動至預(yù)先計算的位移X-位置Xmd-之后執(zhí)行結(jié)束于被修正目標X-位置Xmd處的修正運動。然而，優(yōu)選地，使用上面提到的運動混合原則將使該運動在空中改變。此外，放置工具被配置為沿著Z-軌跡ζ (t)運動 從行進期間的最大ζ-位置Zmax處的最大高度e到預(yù)轉(zhuǎn)移高度c+i并且從轉(zhuǎn)移高度c返回最大高度e·從最大高度e到預(yù)放置高度a+g或放置高度a并且從放置高度a返回最大高度
5
·在位于轉(zhuǎn)移高度c之上距離k處的安全高度Z1與最大高度e之間·在位于放置高度a之上距離h處的安全高度&與最大高度e之間最大高度e由ζ軸行程的上端給出，或由足以使拾取或放置與這兩處ζ-運動的相應(yīng)安全高度之間的運動時間最小化的較小高度給出，上述的ζ-運動以最大ζ-速度Z' (t) 橫穿安全高度之一并僅在最大高度^liax處停止。優(yōu)選地，e被選擇為約等于兩倍安全高度， 即，1. 5 < e/h < 2. 5或優(yōu)選地1. 5 < e/k < 2. 5，或如果將芯片1的厚度t和/或分配器 41 的厚度 BLT 考慮進去，1. 5 < (e-t-BLT) /h < 2. 5 或 1. 5 < (e_t_BLT)/k < 2. 5。所有 ζ-位置都是預(yù)先已知的。然而，運動必須停在安全高度還是在拾取或放置高度并不總是預(yù)先已知的。通常，這將在沿著X-軌跡的同步運動已經(jīng)開始之后但在ζ運動本身已經(jīng)開始之前被知道。然而，這兩種情況都不能被保證。ζ和x，y，θ z上的運動必須同步。同步需求不表示為路徑限制。相反，同步由X， 1, θ z運動在開始和結(jié)束處的行為決定，x，y，θ z運動時間上在開始處與向上ζ運動重合并在在結(jié)束處與向下ζ運動重合通常，在ζ軸到達與上面限定的安全高度Z1相對應(yīng)的最小垂直行進高度k之前，X，y，θ z軸不允許開始運動。在放置工具在向下運動期間到達安全高度h之前，x，y，92軸必須已經(jīng)停止運動。在任何情況下都必須滿足這些同步需求，不論X，y，θζ運動是否在空中被修正；Z運動結(jié)束于安全高度、拾取或放置高度處；或雖然最初以拾取或放置高度為目標但已經(jīng)被改變?yōu)樵诎踩叨忍幗Y(jié)束。如果修正運動在X，y，θζ上跟隨到達位移位置Xmd-的運動，則放置工具必須在放置位置處停在安全高度h = h處或其之上。如果芯片在能夠保證ζ運動將停在該高度處的最近時刻還沒有被清除以供轉(zhuǎn)移或放置，則放置工具還必須在轉(zhuǎn)移位置處或者在位移位置處停在安全高度處或安全高度之上。如果在軸已經(jīng)停滯不前之后執(zhí)行X，y，θζ修正， 則運動可能或者被繼續(xù)執(zhí)行或者ζ運動必須延遲，該延遲被選擇為使得滿足上述條件。所有軌跡優(yōu)選被實施為連接的三次樣條。對每個軸來說，這種形狀的時間最佳軌跡從速度、加速度和躍度的給定的各最大值計算得出。優(yōu)選地，通過允許高達七段，這七段中的每段的位置均具有關(guān)于時間t的三階多項式的形式，并求解所產(chǎn)生的等式來計算軌跡。如果通過啟動以瞬間非零的速度和加速度開始的新的時間最佳運動來在已知時刻tblmd 修改由運動距離和速度、加速度和躍度限制所限定的時間最佳三次運動曲線，則計算剩余運動時間的函數(shù)被確定。新的運動能夠由相對于原運動的終點位移(其中位移可是正數(shù)或復(fù)數(shù))和一組速度、加速度、和躍度限制、和/或其它限制指定。新運動的速度、加速度和躍度限制可不同于先前版本的速度、加速度和躍度限制。然而，優(yōu)選地，它們應(yīng)該是相同的。類似地，如果軸在指定時刻的位置跟隨被完全修正的軌跡，則提供軸在指定時刻的位置的另一個函數(shù)被確定。一旦拾取過程在ζ = Zstart處完成，ζ軸就將立即開始。與最小初始垂直運動距離 k的要求相對應(yīng)的標記X將被設(shè)置在ζ軸位置上。一旦經(jīng)過標記X，則x，y，θ z軸將朝著它們各自的終點E開始，終點E通過名義上的放置位置和過去的修正值計算得出。軸盡可能快速地開始，但不一定精確地在同一時刻開始。各軸實際開始運動的開始時間被存儲。在根據(jù)本發(fā)明的方法的優(yōu)選的實施中，控制系統(tǒng)包括控制整個芯片鍵合過程的處理邏輯和運動控制。運動控制包括一個或多個運動控制子單元，該一個或多個運動控制子單元單獨控
6制芯片鍵合設(shè)備的各個組件，尤其是放置工具，相對于一個或多個自由度的運動。處理邏輯和運動控制運行在兩個獨立的處理單元上，這兩個獨立的處理單元通過網(wǎng)絡(luò)相連，該網(wǎng)絡(luò)通常具有低等待時間，但不保證決不溢出的最大通信延遲。優(yōu)選地，運行處理邏輯的處理單元充當主機。標記X的位置在運動之前從處理邏輯被發(fā)送至運動控制。運動控制系統(tǒng)獨立地開始x，y，θ 2軸并且記錄相應(yīng)的開始時刻。開始時刻被報告回處理邏輯。一旦x，y，θ ζ修正值被知道，對于各軸，以速度和加速度的瞬時值開始的新運動被啟動。施加與x，y，θ z運動的開始的同步需求相關(guān)的相同標記，即使在不具有同步需要的情況下。再次，將這些運動被修改的時刻存儲。在優(yōu)選實施中，修正值對處理邏輯來說是已知的，處理邏輯將這些值傳送至運動控制系統(tǒng)。運動控制對運動執(zhí)行被命令的改變并且將改變的實際時刻發(fā)回處理控制。雖然導致系統(tǒng)反應(yīng)更加緩慢，但任何不可避免的通信延遲都由存儲的時間戳反映，并且不會對計算的精度造成影響。同時利用原運動和修正運動開始的時刻，前述算法被用來計算各x，y，92軸的修正運動的停止時刻、，、，、。在優(yōu)選實施中，該計算由處理邏輯執(zhí)行。當這些時刻是運動控制系統(tǒng)所報告的實際運動開始和改變的時刻時，即使處理邏輯和運動控制系統(tǒng)之間存在大量通信延遲，該結(jié)果也精確地代表放置工具的行為。取最近的值C，即tx，ty，、的最大值，并且減去ζ軸從其最高位置e運動至完全垂直向下的行進應(yīng)該開始的高度h所花的時間。如果所得到的值早于期望的向上Z運動的結(jié)束時刻，則替換向上Z運動結(jié)束的時刻。在對應(yīng)于這一計算的最終結(jié)果B的時刻td_， 向下Z運動開始，該計算確定開始向下運動并保持垂直運動限制的最早的可能時刻。這可以通過在最慢軸上設(shè)置與這一時刻相對應(yīng)的等同標記來完成。在優(yōu)選實施中，將該時刻或等同標記從處理邏輯至發(fā)送至運動控制。運動控制的軟件自動對其作出反應(yīng)。在運動控制系統(tǒng)所使用的同一時間軸上，指定時刻td_作為分別被存儲以用于開始和改變運動的時刻。類似地，當運動控制知道機械系統(tǒng)在每一情況下的位置時，即使處理邏輯不知道，位置標記將對應(yīng)于修正時刻td_。在具有不確定的通信時刻的分布式系統(tǒng)中，隨后檢查是否已經(jīng)經(jīng)過了標記以及是否已經(jīng)開始了向下的Z行程。如果已經(jīng)經(jīng)過了標記并且Z行程還未開始，則標記在過去已經(jīng)被設(shè)置并且在不需要任何進一步的同步的情況下立即開始Z軸。這是為了防止在標記由通信延遲在被設(shè)置時已經(jīng)被經(jīng)過而導致的死鎖。在這種情況下，通信延遲的確改變放置工具的運動；然而，由于向下Z運動被延遲，垂直行進距離增加，從而決不會違反最小垂直行進距離的限制。所產(chǎn)生的運動不再是從運動限制點時間最佳的，但其仍是考慮通信延遲的最佳方案。如果修正結(jié)果被充分延遲，放置工具將結(jié)束于近似目標X-位置xmdapp處，且ζ軸仍然位于最大高度e。對于某些處理，可通過首先計算變得更快以運動至安全高度、停止、進行修正、以及向下運動的時刻而進一步優(yōu)化。在這種情況下，新標記被優(yōu)選地設(shè)置以將運動觸發(fā)至安全高度，如果該修正到此時刻還沒有被收到。圖1示出了具有通常尺寸并位于yz_平面的芯片鍵合設(shè)備的放置工具(圖中未示出)的軌跡的示意性代表圖。放置工具在開始X-位置XStot從轉(zhuǎn)移工具的轉(zhuǎn)移臂2拾取芯片1。隨后芯片1沿著軌跡3朝著基底4上的放置位置運動，基底4上已經(jīng)分配有鍵合層 41?；妆槐３衷谡婵瘴P5上。運送基底4的機構(gòu)(尤其是分度器)包括在基底上方以 ζ方向延伸的分度器軌道6。沿著ζ和X，y，θζ軸的運動的同步必須確保放置工具和貼片1均不會碰撞分度器軌道6或者芯片鍵合設(shè)備的其它任何機器部分。圖2示出了軌跡在yz_平面上的另一個示意性代表圖。在拾取芯片1之后，放置工具開始沿著第一軌跡q-(t) = (xapp(t)^up(t))運動。在不進行任何終點修正的情況下， 放置工具最終將沿著結(jié)束于D'處的假定軌跡運動。在已經(jīng)獲得被修正目標X-位置Xmd并且已經(jīng)執(zhí)行必需的計算之后，放置工具沿著第二軌跡q-lt) = (Xem (t)，(t))在點A和 B之間運動。最后，放置工具沿著第三軌跡qfinal(t) = (xem(t)，、_(t))在點B和D之間運動。圖3示出多種x(t)-，y(t)-和ζ (t)-軌跡的示意性代表圖。本發(fā)明的技術(shù)可以在若干可選媒介中實施。例如，該技術(shù)能夠作為軟件被安裝至現(xiàn)有計算機系統(tǒng)/服務(wù)器(用于與芯片鍵合設(shè)備連接，或一體化的計算機系統(tǒng))。此外，該技術(shù)可以根據(jù)包括與該技術(shù)有關(guān)的計算機指令(例如計算機程序指令)的計算機可讀載體 (例如，固態(tài)存儲器、光盤、磁盤、射頻運載媒介、音頻運載媒介等)來操作。雖然文中參照具體實施方式
示出和描述本發(fā)明，但本發(fā)明不打算被限制為所示細節(jié)。相反，在不背離本發(fā)明并且在權(quán)利要求的等同范圍內(nèi)，可以進行多種修改。
權(quán)利要求
1.一種對設(shè)備，尤其是芯片鍵合設(shè)備的放置工具，具有N彡2的自由度Xl，...，X^1, ζ 的運動進行控制的方法，所述方法包括以下步驟a.)確定近似目標χ-位置 Xendapp = (X1, endapp，· · ·，Xh, endapp)，b.)計算第一ζ-軌跡^⑴，C.)計算所述設(shè)備從開始X-位置Xstot到所述近似目標X-位置xmdapp的運動的近似 X-軌跡 Xapp (t) = (XlaPP (t)，· · ·，XHapp (t))，d.)通過控制系統(tǒng)使所述設(shè)備開始從起點qapp(0)= (Xstart, Zup(O))沿著第一軌跡 Qapp (t) = (xapp (t), Zup (t))運動，e.)一旦在時刻tc。rr獲得修正的目標χ-位置xend = (X1, end，· · ·，xN_!, end)，貝丨J⑴確定滿足Xem (tblend) = xapp (tblend)的到Xend的修正的目標χ-軌跡Xetm (t)= (t),…,X^c0rr (t)),其中 tcorr 彡 tblend 以及(ii)對于t彡tblmd，通過所述控制系統(tǒng)使所述設(shè)備沿著第二軌跡cfOT(t) = (Xcorr (t), Zup (t))運動，f.)確定使Xem (t2) = Xend 的最早時刻 t2 = min {t I Xcorr (t) = XendI，g.)計算從最大ζ-位置Zmax到目標ζ-位置Zend的第二ζ-軌跡、_(t)以使⑴對于t < t2，對于給定的安全高度 有、_(t) > Z2，其中，^iax > Z2 > Zend以及(ii)對于 tdown > tblend 的某些時刻，Zdown (td0J = zup (td0J = zmax，以及h.)對于t> td_，通過所述控制系統(tǒng)使所述設(shè)備沿著第三軌跡qfinal(t) = (xcorr (t)，Zdown W)運動。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中對于速度、加速度和/或躍度的給定最大值，每個軌跡都是時間最佳的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中對于速度、加速度和/或躍度的給定最大值，每個軌跡被實施為使運動時間最小化的在時間上連接的一系列三階多項式。
4.根據(jù)前述任一項權(quán)利要求所述的方法，其中每個軌跡由所述控制系統(tǒng)確定或計算。
5.根據(jù)前述任一項權(quán)利要求所述的方法，其中所述控制系統(tǒng)是分布式控制系統(tǒng)，并包括運動控制單元和計算單元，所述運動控制單元和所述計算單元以不能預(yù)測的延遲通信。
6.根據(jù)前述任一項權(quán)利要求所述的方法，其中，在步驟g)中，^wn(t)=&。
7.根據(jù)前述任一項權(quán)利要求所述的方法，其中，在步驟g)中，所述設(shè)備在ζ方向上的速度 vd。wn(t) = Zdown" (t)在 t = t2 時具有最大絕對值 I vd。wn(t) I = vd。m,max。
8.根據(jù)前述任一項權(quán)利要求所述的方法，其中 在步驟b)中，時刻、被確定為使得對于t <、和對于滿足Zstart < Z1 < Zmax的給定安全高度Z1，有(t) < Z1 ； 在步驟c)中，計算Xapp (t)，從而使對于t <、，xapp (t) = Xstarto
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其中基于第一ζ-軌跡(t)的參數(shù)確定時刻、。
10.一種將半導體芯片鍵合至基底的芯片鍵合設(shè)備，所述芯片鍵合設(shè)備包括拾取工具或放置工具，所述拾取工具或放置工具執(zhí)行由根據(jù)權(quán)利要求1至9之一所述的方法控制的運動。
11.一種包括計算機程序指令的計算機可讀載體，所述計算機程序指令使得計算機尤其是芯片鍵合設(shè)備的控制系統(tǒng)實施對設(shè)備尤其是芯片鍵合設(shè)備的放置工具的具有N > 2的自由度X1, ...，XN-!, Z的運動進行控制的方法；所述方法包括以下步驟a.)確定近似目標X-位置 Xend- = (X1, endapp，· · ·，Xh, endapp)，b.)計算第一Z-軌跡^⑴，C.)計算所述設(shè)備從開始X-位置、 t到所述近似目標X-位置Xmd-的運動的X-軌 a Xapp ω = (Χι_α)，···，&_ ⑴)，d.)通過控制系統(tǒng)使所述設(shè)備從起點q_(0)= (xstart, Zup (0))沿著第一軌跡qapp(t)= (xapp (t), Zup (t))開始運動，e.)一旦在時亥Ij tcorr獲得被修正目標χ-位置xend = (X1,-,…，Xn-J⑴確定滿足Xem (tblend) = xapp (tblend)的到Xend的被修正目標-χ軌跡Xetm (t)= (t),…,X^c0rr (t)),其中 tcorr 彡 tblend 以及(ii)對于t彡tblmd，通過所述控制系統(tǒng)使所述設(shè)備沿著第二軌跡cfOT(t) = (Xcorr (t), Zup (t))運動，f.)確定最早時刻t2 = min {t I Xcorr (t) = XendI，此時 X。。" (t2) = Xend,g.)計算從最大ζ-位置^iax到目標ζ-位置Zend的第二ζ-軌跡、_(t)從而 ⑴對于t < t2，Zdown(t) > ，對于給定安全高度Z2，有Zmax > Z2 > Zend以及 (ii)對于 tdown > tblend 的某些時刻，Zdown (td0J = zup (td0J = zmax 以及h.)對于t> td_，通過所述控制系統(tǒng)使所述設(shè)備沿著第三軌跡qfinal(t) = (xcorr (t)，Zdown W)運動。
12.一種包括由計算機可讀媒介存儲的程序指令的計算機程序產(chǎn)品，其中所述指令適合于當在計算機尤其是芯片鍵合設(shè)備的控制系統(tǒng)上裝載和執(zhí)行時執(zhí)行根據(jù)權(quán)利要求1至9 所述的方法。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的計算機程序產(chǎn)品，其中所述計算機是設(shè)備尤其是芯片鍵合設(shè)備的處理邏輯。
全文摘要
提出了一種對設(shè)備的具有N≥2的自由度x1，...，xN-1，z的運動進行控制的方法。該方法包括步驟確定近似目標x-位置xendapp＝(x1，endapp，...，xN-1，endapp)；計算第一z-軌跡zup(t)；計算設(shè)備從開始x-位置xstart到近似目標x-位置xendapp的運動的x-軌跡xapp(t)＝(x1app(t)，...，xN-1app(t))；通過控制系統(tǒng)使設(shè)備從起點qapp(0)＝(xstart，zup(0))沿著第一軌跡qapp(t)＝(xapp(t)，zup(t))開始運動；一旦在時刻tcorr獲得被修正目標x-位置xend＝(x1，end，...，xN-1，end)，就確定滿足xcorr(tblend)＝xapp(tblend)的到xend的被修正目標-x軌跡xcorr(t)＝(x1corr(t)，...，xN-1corr(t))，其中tcorr≤tblend以及對于t≥tblend，通過控制系統(tǒng)使設(shè)備沿著第二軌跡qcorr(t)＝(xcorr(t)，zup(t))運動；確定最早時刻t2＝min{t|xcorr(t)＝xend}，此時xcorr(t2)＝xend；計算從最大z-位置zmax到目標z-位置zend的第二z-軌跡zdown(t)從而對于t＜t2，zdown(t)＞z2，對于給定安全高度z2，有zmax＞z2＞zend以及對于tdown＞tblend的某些時刻，zdown(tdown)＝zup(tdown)＝zmax；以及對于t＞tdown，通過控制系統(tǒng)使設(shè)備沿著第三軌跡qfinal(t)＝(xcorr(t)，zdown(t))運動。
文檔編號G05B19/416GK102202835SQ200980132815
公開日2011年9月28日 申請日期2009年9月8日 優(yōu)先權(quán)日2008年9月9日
發(fā)明者厄爾班·喬戈·恩斯特, 提姆·奧利弗·斯戴德爾曼 申請人:K&S芯片鍵合設(shè)備產(chǎn)業(yè)有限公司