專利名稱：集成電路用真空機(jī)組控制裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及集成電路設(shè)備真空獲得領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種集成電路用真空機(jī)組控制裝置。
背景技術(shù)：
在集成電路(IC)設(shè)備真空獲得領(lǐng)域，真空機(jī)組的控制系統(tǒng)必不可少。傳統(tǒng)的真空機(jī)組缺乏必要的控制功能，如自身保護(hù)功能、通訊及遠(yuǎn)程遙控接口等。在IC生產(chǎn)線上，主控系統(tǒng)需要依據(jù)真空機(jī)組的抽速、真空度及機(jī)組溫度、壓力等各種參數(shù)設(shè)定、調(diào)整工藝流程， 而現(xiàn)有技術(shù)中，上述參數(shù)無(wú)法獲取，沒(méi)有對(duì)真空機(jī)組在運(yùn)行過(guò)程中的安全監(jiān)控措施。

發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中存在的參數(shù)無(wú)法獲取，沒(méi)有對(duì)真空機(jī)組在運(yùn)行過(guò)程中的安全監(jiān)控措施的缺陷，本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種具備多種參數(shù)監(jiān)控的、在通訊及遠(yuǎn)程控制方面提供多種上位機(jī)接口的集成電路用真空機(jī)組控制裝置。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是本發(fā)明集成電路用真空機(jī)組控制裝置具有控制單元、人機(jī)界面、開(kāi)關(guān)量輸入輸出接口、通訊模塊以及模擬量輸入接口，其中控制單元為控制核心，其數(shù)字量輸入/輸出端通過(guò)開(kāi)關(guān)量輸入/輸出接口分別連接真空機(jī)組的工作狀態(tài)信號(hào)和真空機(jī)組的控制信號(hào)，控制單元的模擬量輸入端通過(guò)模擬量輸入接口連接各類模擬量傳感器；控制單元通過(guò)通訊模塊與上位機(jī)或本地控制盒進(jìn)行通訊連接。所述通訊模塊包括第1通訊模塊及第2通訊模塊，其中第1通訊模塊采用RS485 串口，用于一對(duì)多遠(yuǎn)程控制；第2通訊模塊采用RS232串口，用于一對(duì)一近距離控制。所述各類模擬量傳感器包括變送器、氣體流量變送器、溫度傳感器、水流量傳感器、功率變送器。還具有PLC兼容繼電器接口，控制單元的控制輸出端通過(guò)PLC兼容繼電器接口選擇性的連接PLC或繼電器。本發(fā)明具有以下有益效果及優(yōu)點(diǎn)1.接口豐富。本發(fā)明配置RS-232、RS-485、PLC兼容繼電器接口三種接口方式使， 真空機(jī)組在IC生產(chǎn)線上任意位置的遠(yuǎn)程控制得以方便實(shí)現(xiàn)。2.真實(shí)反應(yīng)真空機(jī)組實(shí)時(shí)狀態(tài)。真空機(jī)組的排氣口壓力、氮?dú)獯祾叩臍怏w流量、真空機(jī)組的泵體溫度、真空機(jī)組的冷卻水流量、真空機(jī)組功率(變送器)等各類傳感器信號(hào)的采集使真空機(jī)組本身自成體系，對(duì)真空機(jī)組的各種參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控，對(duì)故障發(fā)生可能的預(yù)見(jiàn)性大大提高，保證真空機(jī)組在健康的條件下正常運(yùn)行。3.符合IC生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)要求。真空機(jī)組的工作情況可及時(shí)反應(yīng)到上位機(jī)，便于上位機(jī)操作人員掌握整條生產(chǎn)線的工作狀況。


圖1為本發(fā)明系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明集成電路用真空機(jī)組控制裝置具有控制單元、人機(jī)界面、開(kāi)關(guān)量輸入輸出接口、通訊模塊以及模擬量輸入接口，其中控制單元為控制核心，其數(shù)字量輸入/輸出端通過(guò)開(kāi)關(guān)量輸入/輸出接口分別連接真空機(jī)組的工作狀態(tài)信號(hào)和真空機(jī)組的控制信號(hào)，控制單元的模擬量輸入端通過(guò)模擬量輸入接口連接各類模擬量傳感器；控制單元通過(guò)通訊模塊與上位機(jī)或本地控制盒進(jìn)行通訊連接。所述通訊模塊包括第1通訊模塊及第2通訊模塊，其中第1通訊模塊采用RS485 串口，用于一對(duì)多遠(yuǎn)程控制 ’第2通訊模塊采用RS232串口，用于一對(duì)一近距離控制；所述各類模擬量傳感器包括變送器、氣體流量變送器、溫度傳感器、水流量傳感器、功率變送器； 還具有PLC兼容繼電器接口，控制單元的控制輸出端通過(guò)PLC兼容繼電器接口選擇性的連接PLC或繼電器。，本實(shí)施例中，控制單元采用微控制器(MCU)，壓力變送器、氣體流量變送器、溫度傳感器、水流量傳感器、功率變送器分別為MCU提供真空機(jī)組的排氣口壓力、氮?dú)獯祾叩臍怏w流量、真空機(jī)組的泵體溫度、真空機(jī)組的冷卻水流量、真空機(jī)組功率標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)(0 5V)的采樣數(shù)據(jù)；通訊模塊的RS-232、RS-485接口、PLC兼容繼電器接口與MCU進(jìn)行雙向通訊，一方面上位機(jī)通過(guò)其中一種接口協(xié)議對(duì)MCU下達(dá)控制執(zhí)行指令，同時(shí)MCU也通過(guò)該接口向上位機(jī)返回各種狀態(tài)參數(shù)；MCU對(duì)各種開(kāi)關(guān)量執(zhí)行器件的控制及各種開(kāi)關(guān)量信號(hào)數(shù)據(jù)采集通過(guò)開(kāi)關(guān)量輸入輸出接口完成；人機(jī)界面與MCU的雙向通訊實(shí)現(xiàn)機(jī)組的本地控制。
權(quán)利要求
1.一種集成電路用真空機(jī)組控制裝置，其特征在于具有控制單元、人機(jī)界面、開(kāi)關(guān)量輸入輸出接口、通訊模塊以及模擬量輸入接口，其中控制單元為控制核心，其數(shù)字量輸入/ 輸出端通過(guò)開(kāi)關(guān)量輸入/輸出接口分別連接真空機(jī)組的工作狀態(tài)信號(hào)和真空機(jī)組的控制信號(hào)，控制單元的模擬量輸入端通過(guò)模擬量輸入接口連接各類模擬量傳感器；控制單元通過(guò)通訊模塊與上位機(jī)或本地控制盒進(jìn)行通訊連接。
2.按權(quán)利要求1所述的集成電路用真空機(jī)組控制裝置，其特征在于所述通訊模塊包括第1通訊模塊及第2通訊模塊，其中第1通訊模塊采用RS485串口， 用于一對(duì)多遠(yuǎn)程控制 ’第2通訊模塊采用RS232串口，用于一對(duì)一近距離控制。
3.按權(quán)利要求1所述的集成電路用真空機(jī)組控制裝置，其特征在于所述各類模擬量傳感器包括變送器、氣體流量變送器、溫度傳感器、水流量傳感器、功率變送器。
4.按權(quán)利要求1所述的集成電路用真空機(jī)組控制裝置，其特征在于還具有PLC兼容繼電器接口，控制單元的控制輸出端通過(guò)PLC兼容繼電器接口選擇性的連接PLC或繼電器。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種集成電路用真空機(jī)組控制裝置，具有控制單元、人機(jī)界面、開(kāi)關(guān)量輸入輸出接口、通訊模塊以及模擬量輸入接口，其中控制單元為控制核心，其數(shù)字量輸入/輸出端通過(guò)開(kāi)關(guān)量輸入/輸出接口分別連接真空機(jī)組的工作狀態(tài)信號(hào)和真空機(jī)組的控制信號(hào)，控制單元的模擬量輸入端通過(guò)模擬量輸入接口連接各類模擬量傳感器；控制單元通過(guò)通訊模塊與上位機(jī)或本地控制盒進(jìn)行通訊連接。本發(fā)明配置RS-232、RS-485、PLC兼容繼電器接口三種接口方式使，真空機(jī)組在IC生產(chǎn)線上任意位置的遠(yuǎn)程控制得以方便實(shí)現(xiàn)，對(duì)真空機(jī)組的各種參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控，對(duì)故障發(fā)生可能的預(yù)見(jiàn)性大大提高，保證真空機(jī)組在健康的條件下正常運(yùn)行。
文檔編號(hào)G05B19/418GK102269985SQ20101019180
公開(kāi)日2011年12月7日 申請(qǐng)日期2010年6月4日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月4日
發(fā)明者張利國(guó), 張振厚, 王光玉, 薛玉茹, 郭麗娟 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器研制中心有限公司