專利名稱：流控制器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種流控制器，該流控制器能夠檢測流經(jīng)通道的流體的流速并且能夠控制流速。
背景技術(shù)：
迄今為止，如日本專利No. 2784154的說明書所述，流控制器由用于測量流體的流速的流速檢測器，和平行于流速檢測器而設(shè)置的比例閥組成。主要流動通道延伸經(jīng)過流速檢測器的內(nèi)部。在主要流動通道的內(nèi)壁上，管道入口和管道出口被打開，該管道入口和管道出口分別被連接到管道。一對熱敏線圈被纏繞在管道上，該管道被連接到放大器上。另外， 可以利用熱敏線圈之間產(chǎn)生的溫度差所導致的電阻變化來估計流經(jīng)管道的流體的流速。另夕卜，在比例閥中，隔板(diaphragm)被設(shè)置在中空的比例閥體的中心，隔板的外圍被固定到比例閥體?；ハ噙B接隔板和閥體的閥桿被連接到隔板的中心。此外，回位彈簧被設(shè)置在隔板的上部分上。隔板被回位彈簧正常地向下推，同時，在供應電磁閥的切換作用下氣壓被供應到隔板下的室內(nèi)，或者在排出電磁閥的切換作用下室內(nèi)的氣壓被排出到外部。隔板克服回位彈簧的彈力向上移動，從而閥體與閥座分離，流體能夠流經(jīng)閥體和閥座之間。此時，流體的流速被流速檢測器檢測，并且根據(jù)流速檢測器檢測到的檢測結(jié)果， 通過操作供應電磁閥和排出電磁閥的控制，從而流速被反饋。通常，采用以上流控制器，因為其的結(jié)構(gòu)復雜并且設(shè)備的尺寸相對較大，所以目前，仍需要一種簡單且尺寸更小的結(jié)構(gòu)。另一方面，采用根據(jù)日本專利N0.27841M的常規(guī)技術(shù)，在上述的流速控制器中， 雖然采取將熱敏線圈纏繞到薄金屬管道的毛細管加熱系統(tǒng)，但是因為當熱量被從熱敏線圈轉(zhuǎn)移時會產(chǎn)生時間延遲，所以響應時間也會延遲。另外，當流速檢測器被裝配時，由于需要將熱敏線圈纏繞在管道上并且需要將管道焊接到本體上，所以裝配操作會復雜，同時會存在加工成本將會增大的憂慮。另外，比例閥被構(gòu)造成通過隔板執(zhí)行閥體的打開和閉合操作，為了使得比例閥置于閥體被安置在閥座上的閥閉合狀態(tài)中，回位彈簧需要大的彈力。結(jié)果，回位彈簧有必要被增大尺寸，從而會導致產(chǎn)品尺寸的增大。另外，在回位彈簧的彈力變大時，最小操作壓力同樣必須變大，從而存在不能在低壓下操作比例閥的憂慮。另外，例如，在由控制信號操作的電磁閥被設(shè)置在比例閥中而代替由氣壓操作的隔板并且提供通過操作電磁閥而打開和閉合閥體的結(jié)構(gòu)的情況下，能量浪費會增大，并且由于電磁閥的電磁作用被轉(zhuǎn)移到流速檢測器而產(chǎn)生的熱量，所以不能獲得精確的檢測結(jié)構(gòu)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種流控制器，該流控制器能夠被制造地尺寸較小并且結(jié)構(gòu)簡單，并且當流體的流速被控制時，該流控制器能夠減小能量浪費并且能以低壓操作，同時該流控制器能夠快速地控制流速。本發(fā)明的特征在于一種流速控制器，該流速控制器包括本體，該本體具有設(shè)置在上游側(cè)的第一通道、設(shè)置在該第一通道的下游側(cè)的第二通道、和設(shè)置在該第一通道和該第二通道之間的節(jié)流部，流體流動經(jīng)過該第一通道。流速檢測器，該流速檢測器被設(shè)置在該本體上，并且具有檢測單元，該檢測單元能夠檢測從該第一通道流到該第二通道的流體的流速。流速控制器，該流速控制器用于控制流經(jīng)閥體的流體的流速并且被設(shè)置成平行于該流速檢測器，該流速控制器包括隔板組件、該閥體和彈簧，該隔板組件通過被供應的控制氣流被位移，該閥體通過桿被連接到該隔板組件，該彈簧在使該閥體被容納在閥座中的方向上推動該閥體，該閥座形成在該本體中。該檢測單元由MEMS傳感器組成，該流速控制器進一步包括平衡結(jié)構(gòu)，該平衡結(jié)構(gòu)用于平衡從該隔板組件施加到該閥體的按壓力和從該彈簧施加到該閥體的按壓力。根據(jù)本發(fā)明，通過提供包含檢測單元的流速檢測單元，和通過在檢測單元中利用 MEMS傳感器，能夠縮短檢測流體的流速的檢測時間并且該裝置的尺寸能夠被制造地更小， 其中該檢測單元能夠檢測流體的流速，并且在本體中具有第一和第二通道和流體流經(jīng)的節(jié)流部。同時，由于能夠在低氣流下操作該裝置，所以能夠減小能量消耗。另外，因為設(shè)置平衡結(jié)構(gòu)以用于平衡從隔板組件作用于閥體的按壓力和從彈簧作用于閥體的按壓力，所以能夠在低壓的控制氣流下簡單地操作閥體。同時，彈簧能夠被設(shè)定為具有較小的彈力，從而能夠快速地操作閥體并且使得流速控制單元縮小，而且能夠使得流控制器尺寸縮小。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的實施例的流控制器的整體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的流速控制單元的放大截面圖；和圖3是包含圖1的流控制器的流速控制系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式以下，將參考

根據(jù)本發(fā)明的流控制器的優(yōu)選實施例。在圖1中，附圖標記10表示根據(jù)本發(fā)明的實施例的流控制器。如圖1至3所示，流控制器10包括流速檢測單元14和流速控制單元(流速控制器)18，該流速檢測單元14配備有用于檢測流體的流速的檢測單元12，該流速控制單元18 通過適配器(adapter) 16被連接到流速檢測單元14并且能夠調(diào)節(jié)流體的流速。從未顯示的流體供應源供應的流體(例如，空氣)在從流速控制單元14的一側(cè)被供應之后，流到流速控制單元18。另外，流速檢測單元14和流速控制單元18可以被直接地相互連接，而不需要上述的適配器16。流速檢測單元14由第一體22、檢測單元12、控制單元M和顯示單元沈組成。第一體22具有第一通道20，流體經(jīng)過該第一通道20，檢測單元12被設(shè)置成面對第一通道且用于檢測流體的流速，該控制單元M被設(shè)置在檢測單元12的上部并且由檢測單元12檢測的檢測結(jié)果被輸出到該控制單元24，該顯示單元沈能夠顯示由控制單元M計算的結(jié)果。第一體22包括第一通道20，該第一通道20在水平方向上穿透其內(nèi)部。流體經(jīng)過安裝構(gòu)件28a被供應到管(未顯示)，該管被連接到第一體22的一端，組成流速控制單元18的第二體30被連接到第一體22的另一端，同時適配器16被夾持在第二體30和第一體 22之間。另外，從未顯示的管被供應的流體經(jīng)過第一體22的第一通道20之后，經(jīng)過適配器 16的內(nèi)部，被供應到流速控制單元18。在徑向向內(nèi)方向上直徑減小的節(jié)流部32被包含在第一通道20中，并位于第一通道2的沿著縱向方向的中心附近。檢測單元12被設(shè)置在第一通道20的上部分，從而面向節(jié)流部32。另外，在第一通道20中，在節(jié)流部32的上游側(cè)上，或者更具體地，在第一通道20 相對于節(jié)流部32的一個端側(cè)的位置上，多個流整流器34被設(shè)置用于校正流體的流動(見圖1)。流整流器34由具有流體能夠流動經(jīng)過的孔的平板組成，流整流器34沿著流體的流動方向平行地設(shè)置，從而可以校正經(jīng)過孔的流體，并且除去流體內(nèi)的灰塵。檢測單元12包括檢測通道36和檢測傳感器38，該檢測通道36在第一通道20的節(jié)流部32的上游側(cè)和下游側(cè)之間連通，從而繞開第一通道20，該檢測傳感器38被設(shè)置成面向檢測通道36。檢測傳感器38被設(shè)置在腔體40中，該腔體40位于第一體22的外周表面上。檢測傳感器38包括利用MEMS (微機電系統(tǒng))技術(shù)的熱流量傳感器，并且包括設(shè)置成繞著熱產(chǎn)生元件的一對溫度測量元件，其中，基于溫度測量元件中的電阻值變化可以檢測流經(jīng)檢測通道36的流體的流速。另外，流體的流速被通過被連接到檢測傳感器38的傳感器基板42被輸出到控制單元M作為檢測信號?？刂茊卧狹被安裝在第一體22的面向檢測單元12的上部，電連接到檢測傳感器 38的控制器基板44被容納在第一殼體46的內(nèi)部，能夠被從外部連接到連接器的連接器連接單元48被設(shè)置在第一殼體46的側(cè)部分上。顯示單元沈包括顯示基板52和顯示器54，該顯示基板52被安裝在組成控制單元 24的第一殼體46的上部分上，并且經(jīng)由導線50被電連接到控制器基板44上，該顯示器M 能夠顯示由檢測單元12等檢測的流體的流速。顯示基板52和顯示器M被容納在第二殼體56的內(nèi)部，顯示器M被設(shè)置成能夠從外部可視觀察。顯示基板52同樣通過導線50被電連接到連接器連接單元48。流速控制單元18包括第二體30、控制閥58和切換單元60。該第二體30被連接到流速檢測單元14。該控制閥58被設(shè)置在第二體30的內(nèi)部，并能夠調(diào)節(jié)流經(jīng)第二體30的內(nèi)部的流體的流速。該切換單元60被設(shè)置在第二體30的上部并且用于切換控制閥58的打開和閉合狀態(tài)。第二體30基本沿著直線與第一體22連接，并且形成有第二通道62，其中流體流經(jīng)該第二通道62的內(nèi)部。閥座66被形成在第二通道62的中間，組成后述的控制閥58的閥體64能夠被容納在該閥座66上。閥座66形成面向下的環(huán)形形狀。另外，未顯示的管等通過安裝構(gòu)件28b被連接到第二體30的另一端?？刂崎y58包括腔體68、隔板組件72、桿74、閥體64和彈簧78。該腔體68被形成在第二體30的上部。該隔板組件72被設(shè)置在形成在腔體68和覆蓋腔體68的蓋構(gòu)件70 之間的空間中。該桿74被連接到隔板組件72并且被設(shè)置成沿著垂直于第二通道62的方向移動。該閥體64被連接到桿74的下端，該彈簧78被插入閥體64和塞76之間，該塞76 被連接到第二體30的下部。隔板組件72由柔性薄膜隔板80和保持構(gòu)件82a、82b組成，該柔性薄膜隔板80被夾持在第二體30和蓋構(gòu)件70之間，該保持構(gòu)件82a、82b夾持隔板80的中心部分的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)取Ａ硗猓ㄟ^限定在隔膜組件72和蓋構(gòu)件70之間的空間產(chǎn)生供應室84，控制氣流在組成切換單元(切換閥)60的供應電磁閥(供應閥)92的切換作用下被供應到供應室84。供應室84與供應通道86連通，該供應通道86從控制閥58被設(shè)置在第二通道62 中的位置處被連接到上游側(cè)，從而流經(jīng)供應通道86的流體被從第二通道62供應到供應室 84。桿74被連接從而從保持構(gòu)件82a、82b的中心向下延伸，并且被引導從而沿著形成在第二體30中的引導孔88移動。引導孔88被形成為穿透閥座66的中心。閥座64形成大致U形的橫截面，并且具有形成在其上部的容納部90和垂直于容納部90向下延伸的筒狀部91。桿74通過螺栓97被連接到容納部90的中心，彈簧78被插入在筒狀部91的內(nèi)部。另外，多個連通孔93被形成在容納部90中，該連通孔93在閥體 64的徑向方向上穿透直到筒狀部91的徑向內(nèi)側(cè)，從而容納部90的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)韧ㄟ^連通孔93保持持續(xù)連通。此外，閥體64被彈簧78的彈力正常地向上按壓，從而閥體64通過按壓力被容納到閥座66上，該閥座66被形成在閥體64的上方。因而，第二通道62的上游側(cè)和下游側(cè)之間的連通在控制閥58的中心位置處被阻斷。此時，閥體64的下游側(cè)上的第二通道62中的空氣通過連通孔93被導入到設(shè)置彈簧78的空間95的內(nèi)部，因此，閥體64處于平衡狀態(tài)， 在該平衡狀態(tài)中，基本相同的壓力被等同地施加在容納部90的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)鹊纳舷路较蛏?。因而，例如，通過閥體64與閥座66分離，閥體64進入閥打開狀態(tài)，因為按壓力可能被作用在閥體64上，所以閥體64能夠被快速地且在低壓下啟動，其中按壓力只需要足以克服彈簧78的彈力。切換單元60包括供應電磁閥92和排出電磁閥94，該供應電磁閥92用于將流經(jīng)第二通道62的流體供應到供應室84，該排出電磁閥94用于將供應到供應室84的流體排出到外部。根據(jù)來自流速檢測單元14的控制單元M的控制信號輸出，激發(fā)供應電磁閥92和排出電磁閥94，從而可以相對于供應室84切換流體的供應和排出狀態(tài)。更具體地，通過操作供應電磁閥92，從第二通道62流到供應通道86的流體被供應到供應室84，從而隔板構(gòu)件72被流體按壓并且向下移動。結(jié)果，閥體64通過桿74克服彈簧74的彈力向下移動，從而閥體64與閥座66分離并且與第二通道62的連通被建立。相反地，通過操作排出電磁閥94，供應室84中的流體被排出到外部，從而對隔板組件72的向下的按壓力被消散。因而，閥體64被彈簧78的彈力向上(在箭頭A所示的方向)按壓，并且通過在閥座66上密封閥體64，阻斷與第二通道62的連通。另外，輸出到上述供應電磁閥92和排出電磁閥94的控制信號例如是PWM(脈沖寬度調(diào)制)信號或者PFM(脈沖頻率調(diào)制)信號，從而根據(jù)這樣的控制信號而間歇地操作供應電磁閥92和排出電磁閥94。更具體地，根據(jù)PWM控制或者PFM控制，因為供應電磁閥92和排出電磁閥94不能被連續(xù)地操作，所以供應電磁閥92和排出電磁閥94能夠被控制從而抑制從其發(fā)射的熱量的量。另外，供應電磁閥92和排出電磁閥94由能夠通過分別的電信號被電切換的雙向閥組成，從而通過輸入上述控制信號，供應室84被置于與供應通道86或者與外部連通的狀態(tài)。供應電磁閥92和排出電磁閥94不限于由兩個雙向閥構(gòu)成。例如，代替兩個雙向閥，供應電磁閥92和排出電磁閥94可以由一個三向閥或者一個五向閥構(gòu)成。根據(jù)本發(fā)明的流控制器10如上述構(gòu)造。以下，將說明流控制器10的操作和優(yōu)勢。 在以下說明中，如圖1和2所示，將閥閉合狀態(tài)稱為初始情況，在該初始情況中無任何控制信號被從控制單元M輸出到供應電磁閥92和排出電磁閥94，閥體64通過彈簧78的彈力被容納在閥座66上，并且阻斷與第二通道62的連通。首先，流體(例如，空氣)經(jīng)過未顯示的管被供應到流速檢測單元14的第一通道 20，流體流經(jīng)第一通道20中的多個流整流器34的孔并且流到下游側(cè)。此時，流體中的灰塵被第一通道20中的流整流器34捕獲并且移除，流體流被校正，并且流體流動到下游側(cè)。同時，控制信號被從控制單元M輸出到供應電磁閥92，并且通過激發(fā)供應電磁閥 92，供應通道86處于與第二通道62連通的狀態(tài)。因而，導入到第二通道62的流體的一部分被供應到供應室84作為控制氣流，隔板組件72和桿74被控制氣流向下按壓。此外，閥體64克服彈簧78的彈力向下移動，并且由于閥體64與閥座66分離從而第一通道20和第二通道62處于連通狀態(tài)，所以流體從流速檢測單元14的第一通道20流到流速控制單元18 的第二通道62。此時，因為在閥閉合狀態(tài)中，閥體64處于平衡狀態(tài)，在該平衡狀態(tài)中閥體64的下游側(cè)的空氣分別平衡地按壓容納部90的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)龋词构焦?4的控制氣流處于低壓，隔板組件72仍然能夠立即向下移動，以產(chǎn)生閥打開狀態(tài)。此外，在流速檢測單元14中，流體流經(jīng)直徑減小的節(jié)流部32和流動到流速控制單元18的第二通道62。同時，流體的一部分從節(jié)流部32的上游側(cè)流到檢測通道36，從節(jié)流部 32的下游側(cè)又流到第一通道20，并且與其中的流匯合。對于導入到檢測通道36內(nèi)的流體， 根據(jù)由一對溫度測量元件產(chǎn)生的電阻差，檢測傳感器38檢測流體的流速，并且檢測結(jié)果作為檢測信號經(jīng)由傳感器基板42被輸出到控制器基板44。另外，例如，流體的流速被輸出并且顯示在顯示單元沈的顯示器上。另外，檢測單元12檢測的流速與控制單元M中預先設(shè)置的設(shè)定流速進行比較，并且判斷流速是否等于設(shè)定流速。例如，在流體的流速小于設(shè)定流速的情況下，由于必須先增大流速，所以控制信號被從控制單元M輸出到供應電磁閥92，并且供應到供應室84的流體的供應量就會增大。結(jié)果，隔板組件72進一步向下移動，從而增大流經(jīng)第二通道62的流體的流速，從而可以控制流體的流速以獲得設(shè)定流速。另一方面，在流體的流速大于設(shè)定流速的情況下，執(zhí)行控制以減小控制閥打開的量從而減小流速。在這種情況下，控制信號被從控制單元M單獨地和分別地輸出到供應電磁閥92和排出電磁閥94。此外，供應電磁閥92處于OFF狀態(tài)，從而通過切換供應電磁閥 92來停止流體至供應室84的供應，同時，通過切換排出電磁閥94，供應室84中的流體被排出到外部。結(jié)果，向下按壓隔板組件72的按壓力被消散，從而閥體64、桿74和隔板組件72 通過彈簧72的彈力而向上移動，并且可以節(jié)流和減小在閥體64和閥座66之間流動的流體的流速。結(jié)果，流經(jīng)第二通道62的流體的流速減小，流體的流速被控制達到設(shè)定流速。在以上實施例中，雖然提供的構(gòu)造為用于將流體導入到供應室84的供應通道86
7被設(shè)置在流速檢測單元14的下游側(cè)上，但是本發(fā)明不限于此特征。例如，供應通道86可以被設(shè)置在流速檢測單元14的上游側(cè)上，從而流經(jīng)第一通道20的流體被供應到供應室84。 在這種情況下，由于作為用于操作流速控制單元18的控制氣流的流體不會被檢測作為流速檢測單元14中的流速，但是在流速控制單元18的下游側(cè)上流動的流體的流速和由流速檢測單元14檢測的流速能夠高精度地相互匹配。另外，流速控制單元18不限于被設(shè)置在流速檢測單元14的下游側(cè)上，而可以被設(shè)置在流速檢測單元14的上游側(cè)上。而且，代替將組成切換單元60的供應電磁閥92和排出電磁閥94直接相對于流速控制單元18的第二體30設(shè)置，而供應電磁閥92和排出電磁閥94可以被配置在遠離流速控制單元18的位置上，并且流速控制單元18可以被遙控操作，從而控制流體的流速。以上述方式中，根據(jù)本發(fā)明，在流速檢測單元14的檢測單元12中，因為使用利用 MEMS技術(shù)的熱流傳感器，所以當檢測流體的流速時，能夠縮短檢測時間，并且由于在低電流下操作檢測單元12，所以能夠減少能量損耗。另外，在能夠控制流體流速的流速控制信號18中，控制閥58在流體的供應作用下移動，并且因為提供了一種從隔板組件72相對于閥體64作用的按壓力與從彈簧78相對于閥體64作用的按壓力相等的平衡結(jié)構(gòu)，所以當按壓隔板組件72時，隔板組件72能夠利用具有低壓的控制氣流而移動，并且能夠快速地操作閥體64。因而，可以提供一種能夠在低壓下被操作的流控制器10。另外，小彈簧78被設(shè)置在其中，所以包含上述彈簧78的流速控制單元18的尺寸能夠被制造地較小，同時可以便于整體上減小流控制器10的尺寸。 另外，在上述流控制器中，例如，在進行100公升/分的大流速控制的情況下，第二通道62的有效面積必須增大以對應于流經(jīng)的大流速，而且還必須將閥體設(shè)定為具有大活塞面積，同時，必須利用具有大彈力的彈簧，以便克服從流體施加的按壓力并且將閥體容納在閥座上。在這種情況下，會引起彈簧的尺寸增大，并且由于彈簧的大彈力，當閥體克服彈力被移動時操作力必須增大，結(jié)果難以在低壓下操作閥體。與此相反，在本發(fā)明的結(jié)構(gòu)中，采用了具有上述平衡結(jié)構(gòu)的控制閥58，由于各個按壓力通常被相等地作用于閥體64的上表面?zhèn)群拖卤砻鎮(zhèn)?，所以即使在第二通?2的有效面積和閥體64的活塞面積增大從而進行大流速控制時，活塞的尺寸不一定要增大，并且能夠快速地在低壓下進行操作。更具體地，與包含不具有這種平衡結(jié)構(gòu)的流速控制單元的流控制器相比，在本發(fā)明的流控制器中，例如，能夠進行等于或者大于1000公升/分的大流速控制。進一步，因為輸出到組成切換單元60的供應電磁閥92和排出電磁閥94的控制信號是PWM(脈沖寬度調(diào)制)信號或者PFM(脈沖頻率調(diào)制)信號，根據(jù)這些信號，間歇地操作供應電磁閥92和排出電磁閥94，與連續(xù)地操作供應電磁閥92和排出電磁閥94的情況相比，能夠抑制產(chǎn)生的熱量，并且能夠避免由于切換單元60發(fā)射的熱量被傳送到流速檢測單元14所引起的檢測精度降低。另外，能夠減小切換單元60的能量損耗。另外，在流速控制單元18中，因為當流體的流速穩(wěn)定時不需要操作供應電磁閥92 和排出電磁閥94，能夠增大供應電磁閥92和排出電磁閥94的耐久性，并且能夠降低能量損
^^ ο根據(jù)本發(fā)明的流控制器不限于上述實施例，當然在不背離本發(fā)明的實質(zhì)和主旨的范圍內(nèi)可以采用各種修改的或者額外的結(jié)構(gòu)。
權(quán)利要求
1.一種流控制器，其特征在于，包含本體02，30)，所述本體(22，30)具有設(shè)置在上游側(cè)的第一通道(20)、設(shè)置在所述第一通道00)的下游側(cè)的第二通道(6 、和設(shè)置在所述第一通道00)和所述第二通道(62)之間的節(jié)流部(32)，流體流動經(jīng)過所述第一通道OO)；流速檢測器(14)，所述流速檢測器(14)被設(shè)置在所述本體(22，30)上，并且具有檢測單元(12)，所述檢測單元(1 能夠檢測從所述第一通道OO)流到所述第二通道(6 的流體的流速；流速控制器(18)，所述流速控制器(18)用于控制流經(jīng)閥體(64)的流體的流速并且被設(shè)置成平行于所述流速檢測器(14)，所述流速控制器(18)包括隔板組件(72)、所述閥體 (64)和彈簧(78)，所述隔板組件(7 通過被供應的控制氣流被位移，所述閥體(64)通過桿(74)被連接到所述隔板組件(72)，所述彈簧(7 在使所述閥體(64)被容納在閥座(66) 中的方向上推動所述閥體(64)，所述閥座(66)形成在所述本體O2，30)中；其中，所述檢測單元(1 由MEMS傳感器組成，所述流速控制器(18)進一步包括平衡結(jié)構(gòu)，所述平衡結(jié)構(gòu)用于平衡從所述隔板組件(72)施加到所述閥體(64)的按壓力和從所述彈簧(78)施加到所述閥體(64)的按壓力。
2.如權(quán)利要求1所述的流控制器，其特征在于，其中，所述流速控制單元(18)進一步包括切換閥(60)，所述切換閥(60)用于切換所述控制氣流的供應狀態(tài)，并且通過從控制單元 (24)輸出的控制信號來操作所述切換閥(60)，其中，所述控制信號是PWM信號或者PFM信號。
3.如權(quán)利要求2所述的流控制器，其特征在于，其中，所述切換閥(60)由供應閥(92) 和排出閥(94)組成，所述供應閥(9 供應所述控制氣流以操作所述隔板組件(72)，所述排出閥(94)排出所述控制氣流以使所述隔板組件(7 返回，所述供應閥(9 和所述排出閥 (94)包括由所述控制信號操作的雙向閥。
4.如權(quán)利要求1所述的流控制器，其特征在于，其中，所述彈簧(78)的彈性力在與所述流體的流動方向相同的方向上被施加到所述閥體(64)。
5.如權(quán)利要求1所述的流控制器，其特征在于，其中，所述控制氣流被從所述流速檢測器(14)的上游側(cè)供應到所述隔板組件(72)。
6.如權(quán)利要求1所述的流控制器，其特征在于，其中，用于校正所述流體的流動的流整流器(34)被設(shè)置在所述第一通道00)中，位于所述節(jié)流部(3 的上游側(cè)。
7.如權(quán)利要求1所述的流控制器，其特征在于，其中，所述檢測單元(12)包括檢測通道(36)和檢測傳感器(38)，所述檢測通道(36)連通所述節(jié)流部(3 的上游側(cè)和下游側(cè)， 所述檢測傳感器(38)被設(shè)置成面對所述檢測通道(36)。
8.如權(quán)利要求3所述的流控制器，其特征在于，其中，所述供應閥(92)和所述排出閥 (94)中的每一個包括由控制信號進行電切換的雙向閥。
全文摘要
一種流控制器(10)，其包括流速檢測單元(14)和流速控制單元(18)，該流速檢測單元(14)具有用于檢測流體的流速的檢測單元(12)，該流速控制單元(18)被聯(lián)接到流速檢測單元(14)并且能夠調(diào)節(jié)流體的流速。組成檢測單元(12)的檢測傳感器(18)包括利用MEMS技術(shù)的熱流量傳感器，由檢測傳感器(18)檢測的流體的流速被輸出到控制單元(24)。另外，在流速控制單元(18)中，空氣至供應室(84)的供應狀態(tài)通過供應電磁閥(92)和排出電磁閥(94)中其中一個被切換，并且根據(jù)空氣的供應狀態(tài)，打開和閉合控制閥(58)。
文檔編號G05D7/06GK102576230SQ20108004732
公開日2012年7月11日 申請日期2010年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月20日
發(fā)明者大島裕太, 酒瀨川剛 申請人:Smc株式會社