專利名稱：石英砂自動分料的控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及石英坩堝的制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種石英砂自動分料的控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。其主要的工藝流程為:尤尼明高純石英砂一高純石墨模具一真空裝料成型一真空電弧熔制一自然冷卻脫模一石英坩堝初步檢測一冷加工噴砂、切斷、倒角一石英坩堝二次檢測一超凈清洗、超聲、高壓噴淋、自動烘干一石英坩堝三次檢驗(yàn)一真空包裝一成品入庫。目前坩堝生產(chǎn)涂層技術(shù)已被大多數(shù)廠家使用就是在普通石英砂溶制的坩堝表面涂上一層高純度石英砂使其形成致密層，其致密層能阻止單晶硅高溫拉制過程中硅與石英坩堝反應(yīng)提高成晶率。但是傳統(tǒng)的人工手動加料，往往對工人的要求很高，必須是熟練工，否則會造成加料不均勻，生產(chǎn)出的坩堝不符合質(zhì)量要求，而且人工加料還會造成生產(chǎn)效率低下，制造的坩堝重復(fù)性差，以及對人的依賴性高等缺點(diǎn)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于針對上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，實(shí)現(xiàn)方便，實(shí)現(xiàn)成本低，可靠性高，控制精度高，智能化程度高，對人的依賴性低，生產(chǎn)效率高，能夠生產(chǎn)處質(zhì)量較高的石英砂鍋，實(shí)用性強(qiáng)，推廣應(yīng)用價(jià)值高。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其特征在于:包括用于帶動錐形側(cè)壁自動分料系統(tǒng)中放置有石英坩堝模具的旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的第一電機(jī)、用于帶動錐形側(cè)壁自動分料系統(tǒng)中分料槽下模具側(cè)壁進(jìn)行分料的第二電機(jī)、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中石英坩堝模高速旋轉(zhuǎn)的第三電機(jī)、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中分料槽在Z方向做直線運(yùn)動并將分料槽送入模具內(nèi)部分料位置處的第四電機(jī)、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中分料槽做X方向運(yùn)動并進(jìn)行分料的第五電機(jī)和用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中輸送螺旋運(yùn)動的第六電機(jī)，與第一電機(jī)、第二電機(jī)、第三電機(jī)、第四電機(jī)、第五電機(jī)和第六電機(jī)相接并用于控制各電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的電機(jī)運(yùn)動控制卡，以及與電機(jī)運(yùn)動控制卡相接的工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。上述的石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述第二電機(jī)、第五電機(jī)和第六電機(jī)均為速度可調(diào)電機(jī)。上述的石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述工業(yè)控制計(jì)算機(jī)配置有工業(yè)液晶顯不器和PCI插槽。上述的石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述電機(jī)運(yùn)動控制卡通過PCI插槽與工業(yè)控制計(jì)算機(jī)相接。
本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn):1、本發(fā)明采用模塊化、集成化的設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，實(shí)現(xiàn)方便，實(shí)現(xiàn)成本低。2、本發(fā)明中的電機(jī)運(yùn)動控制卡通過PCI插槽與工業(yè)控制計(jì)算機(jī)相接，無需接線，連接方便，數(shù)據(jù)傳輸速度快、可靠性高，有助于提高控制精度。3、本發(fā)明中的工業(yè)控制計(jì)算機(jī)配置有工業(yè)液晶顯示器，能夠用于對石英砂自動分料的工作狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時顯示，方便工作人員的觀察。4、本發(fā)明的智能化程度高，對人的依賴性低，生產(chǎn)效率高，制造的坩堝重復(fù)性好。5、本發(fā)明能夠生產(chǎn)處質(zhì)量較高的石英砂鍋，實(shí)用性強(qiáng)，推廣應(yīng)用價(jià)值高。綜上所述，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，實(shí)現(xiàn)方便，實(shí)現(xiàn)成本低，可靠性高，控制精度高，智能化程度高，對人的依賴性低，生產(chǎn)效率高，能夠生產(chǎn)處質(zhì)量較高的石英砂鍋，實(shí)用性強(qiáng)，推廣應(yīng)用價(jià)值高。下面通過附圖和實(shí)施例，對本發(fā)明的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。


圖1為本發(fā)明的電路原理框圖。附圖標(biāo)記說明:1-第一電機(jī)； 2-第二電機(jī)； 3-第三電機(jī)；4-第四電機(jī)； 5-第五電機(jī)； 6-第六電機(jī)；7-電機(jī)運(yùn)動控制卡；8-工業(yè)控制計(jì)算機(jī)；9_工業(yè)液晶顯示器。
具體實(shí)施例方式如圖1所示，本發(fā)明包括用于帶動錐形側(cè)壁自動分料系統(tǒng)中放置有石英坩堝模具的旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的第一電機(jī)1、用于帶動錐形側(cè)壁自動分料系統(tǒng)中分料槽下模具側(cè)壁進(jìn)行分料的第二電機(jī)2、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中石英坩堝模高速旋轉(zhuǎn)的第三電機(jī)
3、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中分料槽在Z方向做直線運(yùn)動并將分料槽送入模具內(nèi)部分料位置處的第四電機(jī)4、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中分料槽做X方向運(yùn)動并進(jìn)行分料的第五電機(jī)5和用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中輸送螺旋運(yùn)動的第六電機(jī)6，與第一電機(jī)1、第二電機(jī)2、第三電機(jī)3、第四電機(jī)4、第五電機(jī)5和第六電機(jī)6相接并用于控制各電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的電機(jī)運(yùn)動控制卡7，以及與電機(jī)運(yùn)動控制卡7相接的工業(yè)控制計(jì)算機(jī)8。如圖1所示，本實(shí)施例中，所述第二電機(jī)2、第五電機(jī)5和第六電機(jī)6均為速度可調(diào)電機(jī)。所述工業(yè)控制計(jì)算機(jī)8配置有工業(yè)液晶顯示器9和PCI插槽。所述電機(jī)運(yùn)動控制卡7通過PCI插槽與工業(yè)控制計(jì)算機(jī)8相接。如圖1所示，本發(fā)明的工作原理及工作過程是:首先完成石英坩堝模具錐形側(cè)壁的分料系統(tǒng)，將坩堝模具置于傾斜位置的旋轉(zhuǎn)臺上，工業(yè)控制計(jì)算機(jī)8通過電機(jī)運(yùn)動控制卡7控制第一電機(jī)I和第二電機(jī)2運(yùn)轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)臺在第一電機(jī)I的帶動下做高速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，第二電機(jī)2帶動分料槽沿著側(cè)壁作直線運(yùn)動，并且向側(cè)壁進(jìn)行分料，分料槽再做高速旋轉(zhuǎn)運(yùn)動，分料后的石英砂在離心作用下可附著在側(cè)壁上；然后進(jìn)行球形底部的分料系統(tǒng)，將坩堝的位置置于水平位置，工業(yè)控制計(jì)算機(jī)8通過電機(jī)運(yùn)動控制卡7控制第三電機(jī)3、第四電機(jī)4、第五電機(jī)5和第六電機(jī)6運(yùn)轉(zhuǎn)，第三電機(jī)3帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中石英坩堝模高速旋轉(zhuǎn)，第四電機(jī)4帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中分料槽在Z方向做直線運(yùn)動并將分料槽送入模具內(nèi)部分料位置處第五電機(jī)5帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中分料槽做X方向運(yùn)動并進(jìn)行分料，第六電機(jī)6帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中輸送螺旋運(yùn)動，完成分料。其中，電機(jī)運(yùn)動控制卡7還能采集第二電機(jī)2、第五電機(jī)5和第六電機(jī)6的運(yùn)轉(zhuǎn)速度并將所采集到的速度反饋給工業(yè)控制計(jì)算機(jī)8，實(shí)現(xiàn)對第二電機(jī)2、第五電機(jī)5和第六電機(jī)6的閉環(huán)調(diào)速，實(shí)現(xiàn)對分料速度及流量的控制。同時，通過工業(yè)液晶顯示器9能夠?qū)崟r地顯示石英砂自動分料的工作狀態(tài)。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并非對本發(fā)明作任何限制，凡是根據(jù)本發(fā)明技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結(jié)構(gòu)變化，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其特征在于:包括用于帶動錐形側(cè)壁自動分料系統(tǒng)中放置有石英坩堝模具的旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的第一電機(jī)(I)、用于帶動錐形側(cè)壁自動分料系統(tǒng)中分料槽下模具側(cè)壁進(jìn)行分料的第二電機(jī)(2)、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中石英坩堝模高速旋轉(zhuǎn)的第三電機(jī)(3)、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中分料槽在Z方向做直線運(yùn)動并將分料槽送入模具內(nèi)部分料位置處的第四電機(jī)(4)、用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中分料槽做X方向運(yùn)動并進(jìn)行分料的第五電機(jī)(5)和用于帶動球形底部自動分料系統(tǒng)中輸送螺旋運(yùn)動的第六電機(jī)(6),與第一電機(jī)(I)、第二電機(jī)(2)、第三電機(jī)(3)、第四電機(jī)(4)、第五電機(jī)(5)和第六電機(jī)(6)相接并用于控制各電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的電機(jī)運(yùn)動控制卡(7)，以及與電機(jī)運(yùn)動控制卡(7)相接的工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(8)。
2.按照權(quán)利要求1所述的石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述第二電機(jī)(2)、第五電機(jī)(5)和第六電機(jī)(6)均為速度可調(diào)電機(jī)。
3.按照權(quán)利要求1或2所述的石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(8)配置有工業(yè)液晶顯示器(9)和PC I插槽。
4.按照權(quán)利要求1或2所述的石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述電機(jī)運(yùn)動控制卡(7)通過PCI插槽與工業(yè)控制計(jì)算機(jī)(8)相接。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種石英砂自動分料的控制系統(tǒng)，包括用于帶動放置有石英坩堝模具的旋轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)運(yùn)動的第一電機(jī)、用于帶動分料槽下模具側(cè)壁進(jìn)行分料的第二電機(jī)、用于帶動石英坩堝模高速旋轉(zhuǎn)的第三電機(jī)、用于帶動分料槽在Z方向做直線運(yùn)動并將分料槽送入模具內(nèi)部分料位置處的第四電機(jī)、用于帶動分料槽做X方向運(yùn)動并進(jìn)行分料的第五電機(jī)和用于帶動輸送螺旋運(yùn)動的第六電機(jī)，與各個電機(jī)相接并用于控制各電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的電機(jī)運(yùn)動控制卡，以及與電機(jī)運(yùn)動控制卡相接的工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，設(shè)計(jì)合理，實(shí)現(xiàn)成本低，可靠性高，控制精度高，智能化程度高，對人的依賴性低，生產(chǎn)效率高，能夠生產(chǎn)處質(zhì)量較高的石英砂鍋，實(shí)用性強(qiáng)，推廣應(yīng)用價(jià)值高。
文檔編號G05B19/418GK103149882SQ20111040011
公開日2013年6月12日 申請日期2011年12月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月6日
發(fā)明者王 琦, 胡煥性, 宋毅 申請人:西安金諾光電科技有限公司