專利名稱：基于fpga的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電子系統(tǒng)/嵌入式系統(tǒng)領(lǐng)域，具體涉及一種基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
集成電路具有體積小、功能強(qiáng)、可靠性高、壽命長(zhǎng)、成本低等優(yōu)點(diǎn)，已廣泛應(yīng)用于科技、工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)和人民生活的各個(gè)方面。一個(gè)國(guó)家的綜合實(shí)力在一定程度上可以通過(guò)集成電路特別是超大規(guī)模集成電路的制造能力反映出來(lái)，在這方面，我們國(guó)家高端集成電路生產(chǎn)設(shè)備和制造技術(shù)基本上依靠國(guó)外進(jìn)口，先進(jìn)生產(chǎn)設(shè)備和尖端的技術(shù)面臨著禁運(yùn)。因此國(guó)家決定發(fā)展自己的高端芯片制造技術(shù)，國(guó)家在“十一五”、“十二五”期間部署和實(shí)施了一系列重大科技攻關(guān)項(xiàng)目，其中包括“核心電子器件、高端通用芯片及基礎(chǔ)軟件產(chǎn)品專項(xiàng)”(簡(jiǎn)稱 01專項(xiàng))和“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)”(簡(jiǎn)稱02專項(xiàng))。這些舉措就是要提高我國(guó)高端集成電路的研發(fā)、制造芯片生產(chǎn)設(shè)備的能力，打破技術(shù)受制于人的局面。光刻是集成電路制造過(guò)程中的核心步驟，提高光刻分辨力，研發(fā)相應(yīng)的光刻設(shè)備是超大規(guī)模集成電路發(fā)展的前提，對(duì)整個(gè)信息產(chǎn)業(yè)進(jìn)步也具有重要的影響。紫外激光因其波長(zhǎng)短、光子能量大而廣泛應(yīng)用于光刻、醫(yī)療、材料制備等領(lǐng)域。隨著光刻對(duì)光源輸出功率和線寬控制要求的提高，單腔體結(jié)構(gòu)在功率和線寬方面不能兼顧而使光源供應(yīng)商尋求新的結(jié)構(gòu)。MOPA (Master Oscillator Power Amplifier)結(jié)構(gòu)提高輸出功率并不斷改良其輸出性能。在這個(gè)結(jié)構(gòu)中使用了兩個(gè)獨(dú)立的激光腔，MO腔提供后一級(jí)激光器所需的極窄線寬的優(yōu)質(zhì)激光脈沖，PA腔放大來(lái)自MO腔激光的能量，從而獲得線寬窄功率高的高能激光。這種結(jié)構(gòu)的激光器要獲得穩(wěn)定的能量輸出，兩個(gè)激光腔單元的出光時(shí)刻必須精密同步，這是因?yàn)榧す饷}沖能量輸出對(duì)這種同步定時(shí)極其敏感。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種擁有一套自制的同步機(jī)制，不需要CPU參與的情況下能夠完成所有的同步控制操作的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)。本發(fā)明采用的技術(shù)方案是
基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，包括有激光器、光/磁電傳感器、 信號(hào)發(fā)生器、核心板、外電路板，所述核心板為FPGA運(yùn)行的最小系統(tǒng)，所述激光器包括有PA 腔、MO腔，其特征在于所述核心板包括有NIOS II處理器、按鍵去抖模塊、觸發(fā)選擇模塊、信號(hào)同步模塊、UART通信模塊、波形整形模塊，所述觸發(fā)選擇模塊為二選一觸發(fā)選擇器，所述 NIOS II處理器通過(guò)SPI核與信號(hào)發(fā)生器通信，所述信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生的方波信號(hào)通過(guò)內(nèi)觸發(fā)方式輸入到二選一觸發(fā)選擇器的一個(gè)信號(hào)輸入端，所述二選一觸發(fā)選擇器的另一個(gè)信號(hào)輸入端連接外部觸發(fā)信號(hào)，所述二選一觸發(fā)選擇器還與NIOS II處理器控制連接，所述二選一觸發(fā)選擇器輸出的標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)一分為二分別接入信號(hào)同步模塊，所述信號(hào)同步模塊包括有可預(yù)置延時(shí)模塊、粗調(diào)延時(shí)模塊、細(xì)調(diào)延時(shí)模塊、偏置模塊和控制模塊；一路標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)經(jīng)過(guò)可預(yù)置延時(shí)模塊延時(shí)后，再經(jīng)波形整形模塊整形后接外電路板中的隔離芯片、反相器隔離放大后輸出的信號(hào)再一分為二，第一路信號(hào)通過(guò)放大后輸出為(T15V的電信號(hào)，輸出到BNC插頭，第二路信號(hào)驅(qū)動(dòng)一個(gè)光纖發(fā)射頭，輸出為光信號(hào)，所述的電信號(hào)或光信號(hào)輸入到激光器MO腔的電源，所述激光器MO腔外接有光電傳感器，所述光電傳感器依次接外電路板上的BNC插頭、比較器、隔離芯片、單穩(wěn)態(tài)電路的處理后接入偏置模塊，所述偏置模塊連接FPGA的控制器模塊；另一路標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)經(jīng)過(guò)粗調(diào)延時(shí)模塊和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊延時(shí)之后，再經(jīng)波形整形模塊整形后接外電路中的隔離芯片、反相器輸出的信號(hào)再一分為二，第一路信號(hào)通過(guò)放大后輸出為(T15V的電信號(hào)，輸出到BNC插頭，第二路信號(hào)驅(qū)動(dòng)一個(gè)光纖發(fā)射頭，輸出為光信號(hào)，所述的電信號(hào)或光信號(hào)輸入到激光器PA腔的電源，所述激光器PA腔外接有磁電傳感器，所述磁電傳感器依次接外電路板上的BNC插頭、比較器、隔離芯片、單穩(wěn)態(tài)電路的處理后接入FPGA的控制器模塊，所述控制器模塊還分別與粗調(diào)延時(shí)模塊和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊反饋連接；所述NIOS II處理器還與按鍵去抖模塊、UART通信模塊控制連接，所述按鍵去抖模塊外接用戶按鍵，所述UART通信模塊通過(guò)RS232總線與主機(jī)進(jìn)行通信。 所述的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，其特征在于所述的信號(hào)同步模塊、波形整形模塊、觸發(fā)選擇模塊、按鍵去抖模塊、NIOS II處理器、UART通信模塊是使用FPGA設(shè)計(jì)完成的。所述的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，其特征在于所述信號(hào)同步模塊能夠重新配置以適應(yīng)不同參數(shù)的準(zhǔn)分子激光器的環(huán)境，信號(hào)同步抖動(dòng)不大于士3· 3ns0所述的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，其特征在于所述比較器為ADCMP601，隔離芯片為IL710，單穩(wěn)態(tài)電路為74F123。所述的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，其特征在于所述的信號(hào)發(fā)生器為廣4000Hz頻率連續(xù)可調(diào)的方波信號(hào)發(fā)生器，芯片為AD9833。本發(fā)明的工作原理是本發(fā)明將標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)一分為二，一路經(jīng)過(guò)可預(yù)置延時(shí)模塊延時(shí)后輸出到激光器MO腔的電源，使之放電發(fā)光，檢測(cè)MO腔體發(fā)光時(shí)刻，送給控制器模塊；另一路經(jīng)過(guò)粗調(diào)延時(shí)模塊和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊延時(shí)之后輸出到激光器PA腔的電源，使之放電發(fā)光，檢測(cè)PA腔的放電時(shí)刻，送給控制器模塊，控制器模塊比較兩路激光器的發(fā)光時(shí)刻的先后情況，從而調(diào)節(jié)粗/細(xì)兩個(gè)延時(shí)可以調(diào)節(jié)的模塊改變延時(shí)，以使得兩個(gè)激光器同時(shí)發(fā)光(允許有士3. 3ns的偏差)，即同步狀態(tài)，處于同步狀態(tài)時(shí)給出一個(gè)指示信號(hào)?？深A(yù)置延時(shí)模塊是用來(lái)平衡激光器MO腔和PA腔兩者從觸發(fā)到放電時(shí)間差的差別，使用粗調(diào)延時(shí)模塊和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊一方面可以用少的硬件資源獲得大的調(diào)節(jié)能力，另一方面，保證大的調(diào)節(jié)范圍的同時(shí)有保證調(diào)節(jié)的粒度。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是本發(fā)明采用核心板和外圍電路分立的設(shè)計(jì)，當(dāng)其中一者改動(dòng)/ 失效，不會(huì)影響其余部分的正常使用；本發(fā)明采用了隔離設(shè)計(jì)，保證系統(tǒng)在有強(qiáng)干擾環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行。


圖1為本發(fā)明的總體結(jié)構(gòu)示意框圖。
圖2為本發(fā)明的信號(hào)同步模塊的結(jié)構(gòu)示意框圖。圖3為本發(fā)明的輸出信號(hào)隔離和放大驅(qū)動(dòng)電路。圖4為本發(fā)明的輸入信號(hào)的外圍電路。
具體實(shí)施例方式如圖1、圖2所示，基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，包括有激光器、光/磁電傳感器、信號(hào)發(fā)生器3、核心板1、外電路板2，核心板1為FPGA運(yùn)行的最小系統(tǒng)，激光器包括有PA腔15、M0腔14，核心板1包括有MOS II處理器4、按鍵去抖模塊9、觸發(fā)選擇模塊8、信號(hào)同步模塊6、UART通信模塊5、波形整形模塊7，觸發(fā)選擇模塊8為二選一觸發(fā)選擇器，NIOS II處理器4通過(guò)SPI核10與信號(hào)發(fā)生器3通信，信號(hào)發(fā)生器3產(chǎn)生的方波信號(hào)通過(guò)內(nèi)觸發(fā)方式輸入到二選一觸發(fā)選擇器的一個(gè)信號(hào)輸入端，二選一觸發(fā)選擇器的另一個(gè)信號(hào)輸入端連接外部觸發(fā)信號(hào)，二選一觸發(fā)選擇器還與MOS II處理器4控制連接， 二選一觸發(fā)選擇器輸出的標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)一分為二分別接入信號(hào)同步模塊6，所述信號(hào)同步模塊6包括有可預(yù)置延時(shí)模塊16、粗調(diào)延時(shí)模塊19、細(xì)調(diào)延時(shí)模塊20、偏置模塊17和控制器模塊18 ；—路標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)經(jīng)過(guò)可預(yù)置延時(shí)模塊16延時(shí)后，再經(jīng)波形整形模塊7整形后接外電路板2中的隔離芯片、反相器隔離放大后輸出的信號(hào)再一分為二，第一路信號(hào)通過(guò)放大后輸出為0 15V的電信號(hào)，輸出到BNC插頭，第二路信號(hào)驅(qū)動(dòng)一個(gè)光纖發(fā)射頭，輸出為光信號(hào)，電信號(hào)或光信號(hào)輸入到激光器MO腔14的電源，所述激光器MO腔14外接有光電傳感器，光電傳感器依次接外電路板上的BNC插頭、比較器、隔離芯片、單穩(wěn)態(tài)電路的處理后接入偏置模塊17，偏置模塊17連接FPGA的控制器模塊18 ；另一路標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)經(jīng)過(guò)粗調(diào)延時(shí)模塊19和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊20延時(shí)之后，再經(jīng)波形整形模塊7整形后接外電路中的隔離芯片、反相器輸出的信號(hào)再一分為二，第一路信號(hào)通過(guò)放大后輸出為0 15V的電信號(hào)，輸出到BNC插頭，第二路信號(hào)驅(qū)動(dòng)一個(gè)光纖發(fā)射頭，輸出為光信號(hào)，電信號(hào)或光信號(hào)輸入到激光器PA腔15的電源，激光器PA腔15外接有磁電傳感器，磁電傳感器依次接外電路板2上的 BNC插頭、比較器、隔離芯片、單穩(wěn)態(tài)電路的處理后接入FPGA的控制器模塊18，所述控制器模塊18還分別與粗調(diào)延時(shí)模塊19和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊20反饋連接；所述NIOS II處理器4還與按鍵去抖模塊9、UART通信模塊5控制連接，所述按鍵去抖模塊9外接用戶按鍵12，所述 UART通信模塊5通過(guò)RS232總線與主機(jī)13進(jìn)行通信。信號(hào)同步模塊6、波形整形模塊7、觸發(fā)選擇模塊8、按鍵去抖模塊9、NI0S II處理器4、UART通信模塊5是使用FPGA設(shè)計(jì)完成的。信號(hào)同步模塊6能夠重新配置以適應(yīng)不同參數(shù)的準(zhǔn)分子激光器的環(huán)境，信號(hào)同步抖動(dòng)不大于士 3. 3ns。比較器為ADCMP601，隔離芯片為IL710，單穩(wěn)態(tài)電路為74F123。所述的信號(hào)發(fā)生器3為廣4000Hz頻率連續(xù)可調(diào)的方波信號(hào)發(fā)生器，芯片為 AD9833。如圖2所示，信號(hào)同步模塊6由可預(yù)置延時(shí)16、偏置模塊17、粗調(diào)延時(shí)19、細(xì)調(diào)延時(shí)20、和控制器模塊18五部分組成?？深A(yù)置延時(shí)16和偏置模塊17由用戶根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行設(shè)置，粗調(diào)延時(shí)模塊19和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊20為延時(shí)可調(diào)節(jié)的延時(shí)模塊，區(qū)別在于一次調(diào)節(jié)改變的延時(shí)大小不同，控制器模塊通過(guò)改變粗調(diào)延時(shí)19和細(xì)調(diào)延時(shí)20兩模塊改變延時(shí)，使可預(yù)置延時(shí)值、MO腔延時(shí)值與偏置值之和和粗調(diào)延時(shí)、細(xì)調(diào)延時(shí)與PA腔延時(shí)值之和保持動(dòng)態(tài)相等。 可預(yù)置延時(shí)模塊16是用來(lái)平衡Μ0、ΡΑ兩路激光器從觸發(fā)到放電時(shí)刻延時(shí)之差D。 根據(jù)經(jīng)驗(yàn)D值一般不超過(guò)lus，為方便調(diào)試和調(diào)節(jié)有足夠的裕量，可預(yù)置延時(shí)模塊設(shè)定調(diào)節(jié)范圍為(1-255) *10ns，一般設(shè)置為Ius即可。偏置模塊17用于設(shè)置MO腔出光時(shí)刻超前于PA腔出光時(shí)刻的差值，設(shè)置范圍為 (3. 3 50)ns。粗調(diào)延時(shí)模塊19擴(kuò)大了延時(shí)調(diào)節(jié)范圍，用于快速補(bǔ)償激光器等外界延時(shí)時(shí)間變化，調(diào)節(jié)以IOns為基本步進(jìn)/退單位，可調(diào)節(jié)范圍為30niT2. 55us。細(xì)調(diào)延時(shí)模，20用于抵消激光器等外界延時(shí)時(shí)間變化和抖動(dòng)，延時(shí)調(diào)節(jié)可以以 3. 3ns為單位連續(xù)變化?？烧{(diào)節(jié)范圍為(TlOOns?？刂破?8通過(guò)ctrlC (粗調(diào)控制信號(hào))和ctrlF (細(xì)調(diào)控制信號(hào))兩控制信號(hào)分別反饋給粗調(diào)延時(shí)和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊，調(diào)節(jié)它們?cè)黾踊蛘邷p少延時(shí)，以滿足同步的要求?？刂颇K比較兩路輸入信號(hào)din_s (從偏置模塊輸出的信號(hào))與din_v (從激光器PA腔輸出的信號(hào))的先后到達(dá)順序以及兩信號(hào)之間的時(shí)間差給出輸出控制信號(hào)。計(jì)數(shù)值η為內(nèi)部的輔助信號(hào)，以同步時(shí)鐘周期3. 3ns為單位進(jìn)行計(jì)數(shù)。當(dāng)din_v超前于din_s信號(hào)到達(dá)時(shí)輸出控制信號(hào)”01”，否則當(dāng)din_v滯后于din_s信號(hào)到達(dá)時(shí)輸出” 10”。如果兩個(gè)信號(hào)相差超過(guò)10 個(gè)時(shí)鐘周期，控制信號(hào)由ctrlC輸出，如果兩信號(hào)相差2-9個(gè)時(shí)鐘周期，控制信號(hào)由ctrlF 輸出，如果兩信號(hào)相差一個(gè)時(shí)鐘周期，則兩路信號(hào)已經(jīng)同步。如果兩個(gè)信號(hào)同時(shí)到達(dá)，則兩路信號(hào)已經(jīng)同步。如圖3所示，為輸出信號(hào)隔離和放大驅(qū)動(dòng)電路。信號(hào)由tig_in_mo信號(hào)引入，經(jīng)過(guò) IL710數(shù)字信號(hào)隔離芯片之后，經(jīng)過(guò)一個(gè)反相器增強(qiáng)信號(hào)的驅(qū)動(dòng)能力，然后一分為二，一路經(jīng)過(guò)反相之后通過(guò)放大輸出到BNC插頭為0 15V的電輸出信號(hào)；另一路經(jīng)過(guò)反向之后驅(qū)動(dòng)一個(gè)光纖發(fā)射頭，輸出為光信號(hào)。如圖4所示，為輸入信號(hào)的外圍電路，通過(guò)BNC插頭接收一個(gè)(T15V的模擬信號(hào)，通過(guò)比較器ADCMP601芯片轉(zhuǎn)換成等價(jià)的TTL數(shù)字信號(hào)，經(jīng)過(guò)隔離芯片IL710隔離之后， 通過(guò)74F123單穩(wěn)態(tài)電路對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理，過(guò)濾掉主波形之后的一系列因振蕩產(chǎn)生的干擾波形，然后安全地輸出給FPGA芯片。
權(quán)利要求
1.一種基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，包括有激光器、光/磁電傳感器、信號(hào)發(fā)生器、核心板、外電路板，所述核心板為FPGA運(yùn)行的最小系統(tǒng)，所述激光器包括有PA腔、MO腔，其特征在于所述核心板包括有NIOS II處理器、按鍵去抖模塊、觸發(fā)選擇模塊、信號(hào)同步模塊、UART通信模塊、波形整形模塊，所述觸發(fā)選擇模塊為二選一觸發(fā)選擇器，所述NIOS II處理器通過(guò)SPI核與信號(hào)發(fā)生器通信，所述信號(hào)發(fā)生器產(chǎn)生的方波信號(hào)通過(guò)內(nèi)觸發(fā)方式輸入到二選一觸發(fā)選擇器的一個(gè)信號(hào)輸入端，所述二選一觸發(fā)選擇器的另一個(gè)信號(hào)輸入端連接外部觸發(fā)信號(hào)，所述二選一觸發(fā)選擇器還與NIOS II處理器控制連接，所述二選一觸發(fā)選擇器輸出的標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)一分為二分別接入信號(hào)同步模塊，所述信號(hào)同步模塊包括有可預(yù)置延時(shí)模塊、粗調(diào)延時(shí)模塊、細(xì)調(diào)延時(shí)模塊、偏置模塊和控制模塊；一路標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)經(jīng)過(guò)可預(yù)置延時(shí)模塊延時(shí)后，再經(jīng)波形整形模塊整形后接外電路板中的隔離芯片、反相器隔離放大后輸出的信號(hào)再一分為二，第一路信號(hào)通過(guò)放大后輸出為(T15V的電信號(hào)，輸出到BNC插頭，第二路信號(hào)驅(qū)動(dòng)一個(gè)光纖發(fā)射頭，輸出為光信號(hào)，所述的電信號(hào)或光信號(hào)輸入到激光器MO腔的電源，所述激光器MO腔外接有光電傳感器，所述光電傳感器依次接外電路板上的BNC插頭、比較器、隔離芯片、單穩(wěn)態(tài)電路的處理后接入偏置模塊，所述偏置模塊連接FPGA的控制器模塊；另一路標(biāo)準(zhǔn)觸發(fā)信號(hào)經(jīng)過(guò)粗調(diào)延時(shí)模塊和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊延時(shí)之后，再經(jīng)波形整形模塊整形后接外電路中的隔離芯片、反相器輸出的信號(hào)再一分為二，第一路信號(hào)通過(guò)放大后輸出為(T15V的電信號(hào)，輸出到BNC插頭，第二路信號(hào)驅(qū)動(dòng)一個(gè)光纖發(fā)射頭，輸出為光信號(hào)，所述的電信號(hào)或光信號(hào)輸入到激光器PA腔的電源，所述激光器PA腔外接有磁電傳感器，所述磁電傳感器依次接外電路板上的BNC插頭、比較器、隔離芯片、單穩(wěn)態(tài)電路的處理后接入FPGA的控制器模塊，所述控制器模塊還分別與粗調(diào)延時(shí)模塊和細(xì)調(diào)延時(shí)模塊反饋連接；所述NIOS II處理器還與按鍵去抖模塊、UART通信模塊控制連接，所述按鍵去抖模塊外接用戶按鍵，所述UART通信模塊通過(guò)RS232總線與主機(jī)進(jìn)行通信。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，其特征在于所述的信號(hào)同步模塊、波形整形模塊、觸發(fā)選擇模塊、按鍵去抖模塊、NIOS II處理器、 UART通信模塊是使用FPGA設(shè)計(jì)完成的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，其特征在于所述信號(hào)同步模塊能夠重新配置以適應(yīng)不同參數(shù)的準(zhǔn)分子激光器的環(huán)境，信號(hào)同步抖動(dòng)不大于士 3. 3ns。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，其特征在于所述比較器為ADCMP601，隔離芯片為IL710，單穩(wěn)態(tài)電路為74F123。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，其特征在于所述的信號(hào)發(fā)生器為廣4000Hz頻率連續(xù)可調(diào)的方波信號(hào)發(fā)生器，芯片為AD9833。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基于FPGA的準(zhǔn)分子激光器全固化電源的同步系統(tǒng)，包括有激光器、光/磁電傳感器、信號(hào)發(fā)生器、核心板、外電路板，采用可編程邏輯器件FPGA實(shí)現(xiàn)核心邏輯，提供兩路信號(hào)的同步控制，信號(hào)同步抖動(dòng)不大于±3.3ns，信號(hào)延時(shí)時(shí)間和MO腔超前PA腔發(fā)光時(shí)間可以針對(duì)不同激光器進(jìn)行設(shè)置。本發(fā)明采用核心板和外圍電路分立的設(shè)計(jì)，當(dāng)其中一者改動(dòng)/失效，不會(huì)影響其余部分的正常使用；本發(fā)明采用了隔離設(shè)計(jì)，保證系統(tǒng)在有強(qiáng)干擾環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行；本發(fā)明可以使兩臺(tái)準(zhǔn)分子激光器同步工作，從而獲得可用于集成電路光刻的窄線寬高功率的準(zhǔn)分子激光。
文檔編號(hào)G05B19/04GK102447214SQ20111043206
公開日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
發(fā)明者尹洪虎, 方曉東, 李友布, 梁勖, 游利兵, 王慶勝, 王效順, 趙家敏, 鮑健 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所