專利名稱：顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置及顯影控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置及顯影控制系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域，特別是涉及一種顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置， 還涉及一種顯影控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
傳統(tǒng)的顯影機(jī)的廢液箱直接通過一根管連接到顯影腔室，顯影腔室里的顯影液廢液、漂洗液廢液直接排到廢液箱里面，廢液箱里面的液滿之后操作員再去把顯影機(jī)停下，將廢液箱里面的廢液放完之后再重新繼續(xù)顯影。然而，這種結(jié)構(gòu)的主要缺點(diǎn)是需要操作員不定時(shí)地去查看廢液箱是否已滿，會(huì)出現(xiàn)操作員由于忙于做其它工作而忘記查看，引起廢液溢出的情況。因?yàn)轱@影液、漂洗液是較刺鼻的化學(xué)試劑，吸入后會(huì)影響人的健康，所以每次廢液溢出之后車間所有的員工都需要疏散出去，待溢出的廢液處理完成后再返回車間工作。每次都至少會(huì)影響1個(gè)小時(shí)的生產(chǎn)。

實(shí)用新型內(nèi)容為了解決廢液溢出的問題，有必要提供一種顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置。一種顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，包括報(bào)警控制子模塊，所述報(bào)警控制子模塊包括液位傳感器，用于在廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)向繼電器線圈發(fā)送上電信號(hào)；繼電器， 包括所述繼電器線圈及繼電器觸點(diǎn)組；所述繼電器線圈連接所述液位傳感器，接收到所述上電信號(hào)后上電；繼電器觸點(diǎn)組的第一常開觸點(diǎn)一端連接地線，另一端在所述繼電器線圈上電時(shí)向顯影機(jī)輸出停止顯影的控制信號(hào)；提醒單元，與所述繼電器觸點(diǎn)組的第二常開觸點(diǎn)串聯(lián)，在所述繼電器線圈上電時(shí)第二常開觸點(diǎn)閉合使提醒單元得電進(jìn)行提醒。優(yōu)選的，所述報(bào)警控制子模塊的數(shù)量為三個(gè)以上。優(yōu)選的，所述提醒單元是指示燈。優(yōu)選的，所述顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置還包括蜂鳴器，所述報(bào)警控制子模塊還包括用于控制蜂鳴器工作的控制開關(guān)，所述控制開關(guān)包括相互串聯(lián)的開關(guān)和繼電器觸點(diǎn)組中的第三常開觸點(diǎn)，所述控制開關(guān)一端連接所述蜂鳴器的一端，另一端與蜂鳴器的另一端分別連接電源的正/負(fù)極。優(yōu)選的，所述液位傳感器安裝于所述廢液箱上。還有必要提供一種顯影控制系統(tǒng)。 一種顯影控制系統(tǒng)，包括顯影機(jī)，還包括顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，所述顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置包括報(bào)警控制子模塊，所述報(bào)警控制子模塊包括液位傳感器，用于在廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)向繼電器線圈發(fā)送上電信號(hào)；繼電器，包括所述繼電器線圈及繼電器觸點(diǎn)組；所述繼電器線圈連接所述液位傳感器，接收到所述上電信號(hào)后上電；繼電器觸點(diǎn)組的第一常開觸點(diǎn)一端連接地線，另一端在所述繼電器線圈上電時(shí)向所述顯影機(jī)輸出停止顯影的控制信號(hào)；提醒單元，與所述繼電器觸點(diǎn)組的第二常開觸點(diǎn)串聯(lián)，在所述繼電器線圈上電時(shí)第二常開觸點(diǎn)閉合使提醒單元得電進(jìn)行提醒。[0012]優(yōu)選的，所述報(bào)警控制子模塊的數(shù)量為三個(gè)以上。優(yōu)選的，所述提醒單元是指示燈。優(yōu)選的，所述顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置還包括蜂鳴器，所述報(bào)警控制子模塊還包括用于控制蜂鳴器工作的控制開關(guān)，所述控制開關(guān)包括相互串聯(lián)的開關(guān)和繼電器觸點(diǎn)組中的第三常開觸點(diǎn)，所述控制開關(guān)與蜂鳴器串聯(lián)。優(yōu)選的，所述液位傳感器安裝于所述廢液箱上。上述顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置和顯影系統(tǒng)，液位傳感器檢測(cè)到廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)發(fā)出停止顯影的控制信號(hào)，顯影機(jī)停止工作不再產(chǎn)生新的廢液，因而杜絕了廢液箱廢液溢出的現(xiàn)象，不會(huì)再因此而影響車間的生產(chǎn)，提高了生產(chǎn)效率及生產(chǎn)的安全性。

圖1是一實(shí)施例中報(bào)警控制子模塊的電路結(jié)構(gòu)圖；圖2是一實(shí)施例中液位傳感器使用時(shí)的安裝結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是一實(shí)施例中顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置的電路結(jié)構(gòu)圖。
具體實(shí)施方式為使本實(shí)用新型的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更為明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說(shuō)明。圖1是一實(shí)施例中報(bào)警控制子模塊的電路結(jié)構(gòu)圖，報(bào)警控制子模塊包括液位傳感器Si、繼電器和提醒單元Li。液位傳感器Sl用于在廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)向繼電器線圈CRlO發(fā)送上電信號(hào)。繼電器包括所述繼電器線圈CRlO及繼電器觸點(diǎn)組。繼電器線圈CRlO連接液位傳感器Si，接收到上電信號(hào)后上電。繼電器觸點(diǎn)組的第一常開觸點(diǎn)CRll —端連接地線，另一端連接相應(yīng)的顯影機(jī)或顯影機(jī)的控制模塊，在繼電器線圈CRll上電時(shí)向顯影機(jī)輸出停止顯影的控制信號(hào)。提醒單元Ll與繼電器觸點(diǎn)組的第二常開觸點(diǎn)CR13串聯(lián)，在繼電器線圈CRlO上電時(shí)第二常開觸點(diǎn)CR13閉合使提醒單元Ll得電進(jìn)行提醒。在本實(shí)施例中，提醒單元Ll是指示燈。在其他實(shí)施例中也可以采用蜂鳴器等。在本實(shí)施例中，采用MV的直流電源為顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置、報(bào)警控制子模塊供電，相應(yīng)采用24V繼電器。更具體的，可以看到圖1中液位傳感器Sl分別連接直流電源正負(fù)極。繼電器線圈CRlO—端連接液位傳感器Si，另一端連接直流電源正極。提醒單元Ll和第二常開觸點(diǎn)CR13串聯(lián)組成的提醒組件兩端分別連接直流電源正、負(fù)極。圖2是一實(shí)施例中液位傳感器使用時(shí)的安裝結(jié)構(gòu)示意圖，液位傳感器Sl安裝于廢液箱上。液位傳感器Si的位置可以進(jìn)行調(diào)整，液位傳感器Sl的感應(yīng)距離也可以通過傳感器本身調(diào)整。可以在各種類型的傳感器中進(jìn)行選擇，例如使用光傳感器作為液位傳感器。廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)，繼電器線圈CRlO上電，第一常開觸點(diǎn)CRll閉合，顯影機(jī)停止顯影工作，暫時(shí)停止產(chǎn)生新的廢液。同時(shí)，第二常開觸點(diǎn)CR13閉合，指示燈Ll發(fā)光對(duì)車間的操作人員進(jìn)行提醒。[0028]上述顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，液位傳感器檢測(cè)到廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)發(fā)出停止顯影的控制信號(hào)，顯影機(jī)停止工作不再產(chǎn)生新的廢液，因而杜絕了廢液箱廢液溢出的現(xiàn)象，不會(huì)再因此而影響車間的生產(chǎn)，提高了生產(chǎn)效率及生產(chǎn)的安全性。上述報(bào)警控制子模塊，每一個(gè)可以對(duì)一臺(tái)顯影機(jī)及其廢液箱進(jìn)行報(bào)警控制。為了可以同時(shí)對(duì)多臺(tái)顯影機(jī)及其廢液箱集中進(jìn)行控制，顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置的可以包括多個(gè)報(bào)警控制子模塊，例如3個(gè)或以上。在一個(gè)實(shí)施例中，顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置還包括蜂鳴器，報(bào)警控制子模塊還包括用于控制蜂鳴器工作的控制開關(guān)。該控制開關(guān)包括相互串聯(lián)的開關(guān)和繼電器觸點(diǎn)組中的第三常開觸點(diǎn)?？刂崎_關(guān)一端連接蜂鳴器的一端，另一端與蜂鳴器的另一端分別連接電源的正/負(fù)極。即控制開關(guān)連接直流電源的正極，蜂鳴器連接電源的負(fù)極；或控制開關(guān)連接直流電源的負(fù)極，蜂鳴器連接電源的正極。圖3為一實(shí)施例中顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置的電路結(jié)構(gòu)圖，該實(shí)施例中包括3個(gè)報(bào)警控制子模塊，可以通過斷開控制開關(guān)中的(手動(dòng)) 開關(guān)禁止蜂鳴器工作。所有的報(bào)警控制子模塊共用一個(gè)蜂鳴器，相比圖1所示實(shí)施例，在手動(dòng)開關(guān)閉合的情況下，廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)第三常開觸點(diǎn)閉合，蜂鳴器報(bào)警，操作人員可以通過指示燈判斷具體是哪一個(gè)廢液箱滿溢，斷開手動(dòng)開關(guān)蜂鳴器停止報(bào)警。操作人員不再需要經(jīng)常查看廢液箱的液位情況，只要聽到蜂鳴器報(bào)警再去處理便可。操作人員可以有更多的時(shí)間處理其它工作，提高了工作效率。還有必要提供一種顯影控制系統(tǒng)，包括顯影機(jī)和上述的顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置。以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)， 但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，其特征在于，包括報(bào)警控制子模塊，所述報(bào)警控制子模塊包括液位傳感器，用于在廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)向繼電器線圈發(fā)送上電信號(hào)；繼電器，包括所述繼電器線圈及繼電器觸點(diǎn)組；所述繼電器線圈連接所述液位傳感器， 接收到所述上電信號(hào)后上電；繼電器觸點(diǎn)組的第一常開觸點(diǎn)一端連接地線，另一端在所述繼電器線圈上電時(shí)向顯影機(jī)輸出停止顯影的控制信號(hào)；提醒單元，與所述繼電器觸點(diǎn)組的第二常開觸點(diǎn)串聯(lián)，在所述繼電器線圈上電時(shí)第二常開觸點(diǎn)閉合使提醒單元得電進(jìn)行提醒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，其特征在于，所述報(bào)警控制子模塊的數(shù)量為三個(gè)以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，其特征在于，所述提醒單元是指示燈。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，其特征在于，所述顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置還包括蜂鳴器，所述報(bào)警控制子模塊還包括用于控制蜂鳴器工作的控制開關(guān)，所述控制開關(guān)包括相互串聯(lián)的開關(guān)和繼電器觸點(diǎn)組中的第三常開觸點(diǎn)，所述控制開關(guān)一端連接所述蜂鳴器的一端，另一端與蜂鳴器的另一端分別連接電源的正/負(fù)極。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，其特征在于，所述液位傳感器安裝于所述廢液箱上。
6.一種顯影控制系統(tǒng)，包括顯影機(jī)，其特征在于，還包括顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置， 所述顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置包括報(bào)警控制子模塊，所述報(bào)警控制子模塊包括液位傳感器，用于在廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)向繼電器線圈發(fā)送上電信號(hào)；繼電器，包括所述繼電器線圈及繼電器觸點(diǎn)組；所述繼電器線圈連接所述液位傳感器， 接收到所述上電信號(hào)后上電；繼電器觸點(diǎn)組的第一常開觸點(diǎn)一端連接地線，另一端在所述繼電器線圈上電時(shí)向所述顯影機(jī)輸出停止顯影的控制信號(hào)；提醒單元，與所述繼電器觸點(diǎn)組的第二常開觸點(diǎn)串聯(lián)，在所述繼電器線圈上電時(shí)第二常開觸點(diǎn)閉合使提醒單元得電進(jìn)行提醒。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述報(bào)警控制子模塊的數(shù)量為三個(gè)以上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述提醒單元是指示燈。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置還包括蜂鳴器，所述報(bào)警控制子模塊還包括用于控制蜂鳴器工作的控制開關(guān)，所述控制開關(guān)包括相互串聯(lián)的開關(guān)和繼電器觸點(diǎn)組中的第三常開觸點(diǎn)，所述控制開關(guān)與蜂鳴器串聯(lián)。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的顯影控制系統(tǒng)，其特征在于，所述液位傳感器安裝于所述廢液箱上。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種顯影機(jī)廢液箱報(bào)警控制裝置，包括報(bào)警控制子模塊，報(bào)警控制子模塊包括液位傳感器，用于在廢液箱液位到達(dá)設(shè)定閾值時(shí)向繼電器線圈發(fā)送上電信號(hào)；繼電器，包括繼電器線圈及繼電器觸點(diǎn)組；繼電器線圈連接液位傳感器，接收到上電信號(hào)后上電；繼電器觸點(diǎn)組的第一常開觸點(diǎn)一端連接地線，另一端在繼電器線圈上電時(shí)向顯影機(jī)輸出停止顯影的控制信號(hào)；提醒單元，與繼電器觸點(diǎn)組的第二常開觸點(diǎn)串聯(lián)，在繼電器線圈上電時(shí)第二常開觸點(diǎn)閉合使提醒單元得電進(jìn)行提醒。本實(shí)用新型還涉及一種顯影系統(tǒng)。本實(shí)用新型在液位傳感器檢測(cè)到廢液箱溢滿時(shí)發(fā)出停止顯影的控制信號(hào)，顯影機(jī)不再產(chǎn)生新的廢液，杜絕了廢液溢出的現(xiàn)象，提高了生產(chǎn)效率及安全性。
文檔編號(hào)G05D9/12GK202331222SQ201120452488
公開日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月15日
發(fā)明者林盛浩, 王友旺 申請(qǐng)人:深圳深愛半導(dǎo)體股份有限公司