一種離子注入機工廠自動化控制方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種離子注入機工廠自動化控制方法，包括：服務器(1)、工控機(2)、離子注入機臺(3)、工廠自動化控制計算機(4)、工廠自動化處理層(5)、通訊處理(6)、HOST(7)和控制邏輯處理(8)，其中服務器(1)與工控機(2)，服務器(1)與工廠自動化控制計算機(4)之間是通過TCP/IP協(xié)議進行通信，離子注入機設備(3)與服務器(1)和工控機(2)之間都是通過RS232串口或者TCP/IP網絡通訊；工廠自動化處理層(5)、通訊處理(6)和控制邏輯處理(8)是運行于服務器(1)上的軟件，HOST(7)為運行在工廠自動化控制計算機(4)的軟件。
【專利說明】一種離子注入機工廠自動化控制方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種半導體器件制造工廠自動化車間級控制方法。
【背景技術】
[0002]離子注入機是一種是集成電路制造前工序中的關鍵設備，離子注入是對半導體表面附近區(qū)域進行摻雜的技術，其目的是改變半導體的載流子濃度和導電類型的設備，離子注入機由離子源、均勻性控制系統(tǒng)、傳輸系統(tǒng)、靶室系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和輔助系統(tǒng)等組成。此設備在高真空、高電壓等復雜環(huán)境下進行，在此背景下，對離子注入機設備的自動化控制尤其重要，以提高生產效能，減少人工數(shù)量，降低廠商成本。
【發(fā)明內容】
[0003]本發(fā)明是通過面向國際SEMI標準的工廠自動化設備控制方法，以提高生產效能，減少人工數(shù)量，降低廠商成本的設備遠程控制方法。
[0004]本發(fā)明通過以下技術方案實現(xiàn):
[0005]1.本發(fā)明公開了一種離子注入機工廠自動化控制方法，包括:服務器(I)、工控機(2)、離子注入機臺(3)、工廠自動化控制計算機(4)、工廠自動化處理層(5)、通訊處理(6)、HOST(7)和控制邏輯處理(8)，其中服務器(I)與工控機(2)，服務器(I)與工廠自動化控制計算機(4)之間是通過TCP/IP協(xié)議進行通信，離子注入機設備(3)與服務器(I)和工控機
(2)之間都是通過RS232串口或者TCP/IP網絡通訊；工廠自動化處理層(5)、通訊處理(6)和控制邏輯處理(8)是運行于服務器(I)上的軟件，HOST (7)為運行在工廠自動化控制計算機⑷的軟件。
[0006]2.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于:通過遠程的工廠自動化計算機(4)控制離子注入機臺(3)，以實現(xiàn)離子注入機的車間級管理。
[0007]3.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于:工廠自動化計算機(4)可以向不同的離子注入機臺(3)發(fā)出統(tǒng)一的、符合SEMI國際標準的操作指令。
[0008]4.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于:通過遠程的工廠自動化發(fā)出簡單的組合命令，離子注入機臺(3)完成一系列復雜的晶片離子注入操作。
[0009]本發(fā)明具有如下顯著優(yōu)點:
[0010]1.軟件模塊間面向接口編程，各個功能快層次清晰，確保單個軟件故障不影響整個設備，故障診斷簡單。
[0011]2.控制邏輯層周期請求讀取離子注入機臺(3)數(shù)據(jù)，以保證工廠自動化遠程獲取設備實時數(shù)據(jù)，提高設備性能。如圖2
[0012]3.采用狀態(tài)機的編程模式，通過完善的流程和系統(tǒng)控制方法，在保證設備安全的iu提下，提聞了程序的執(zhí)行速度，節(jié)約了時間，提聞了效率。[0013]4.采用國際半導體SEMI標準。如圖3，離子注入機臺(3)向工廠自動化控制計算機(4)發(fā)出S6F11命令(表示FOUP Arrived信息)，工廠自動化控制計算機(4)返回S6F12命令，進行下一步操作，其中S6F11和S6F12是國際半導體SEMI標準指令。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]圖1為離子注入工廠自動化的通信控制模式圖。
[0015]圖2為離子注入工廠自動化的軟件架構圖。
[0016]圖3為離子注入工廠自動化的控制流程圖。
【具體實施方式】
[0017]下面結合附圖1、附圖2和附圖3對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
[0018]如圖1中所示，服務器(I)和工廠自動化控制計算機(4)采用TCP/IP網絡通訊，雙方基于異步通信，服務器(4)端接收和處理工廠自動化控制計算機(4)發(fā)出的命令，同時向工廠自動化控制計算機(4)反饋事件及相關參數(shù)；服務器(I)與離子注入機臺(3)不同子系統(tǒng)采用TCP/IP網絡或者RS232串口通訊，雙方基于異步通信方式，關鍵設備間都采用設備連鎖方法保護設備以避免用戶的誤操作；工控機(2)上運行著離子注入機臺(2)設備的嵌入式程序，工控機(2)與離子注入機臺(3)不同子設備采用TCP/IP網絡或者RS232串口通訊，工控機(2)實時采集設備數(shù)據(jù)；而服務器(I)與工控機(2)是通過TCP/IP網絡進行通信，服務器發(fā)出命令后，不能再次進行相應操作，等待命令反饋結果后，才能進行其他命令操作，這樣可以避免誤操作，對設備部件造成損壞，同時也是設備聯(lián)鎖機制的一部分，提聞設備的穩(wěn)定性。
[0019]如圖2中所示，工廠自動化控制計算機⑷運行著HOST端SEMI標準程序，向設備發(fā)出命令，控制邏輯處理(8)翻譯SEMI命令，并向通訊處理(6)層轉發(fā)，通訊處理(6)向工廠自動化處理層(5)轉發(fā)，工廠自動化處理層(5)中維護工廠自動化狀態(tài)自動機，工廠自動化處理層(5)處理命令，并向通訊處理(6)反饋事件及參數(shù)，通訊處理(6)向控制邏輯處理
(8)轉發(fā)，控制邏輯處理(8)按照SEMI標準向H0ST(7)發(fā)送，操作人員收到信息后，進行下一步處理。
[0020]如圖3中所示，工廠自動化控制計算機(I)和服務器(I)間的控制流程，其中FA為服務器(I)上的工廠自動化處理層(5)程序。
[0021 ] 本發(fā)明專利的特定實施 例已對本發(fā)明專利的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【權利要求】
1.本發(fā)明公開了一種離子注入機工廠自動化控制方法，包括:服務器(I)、工控機(2)、離子注入機臺(3)、工廠自動化控制計算機(4)、工廠自動化處理層(5)、通訊處理(6)、HOST(7)和控制邏輯處理(8)，其中服務器(I)與工控機(2)，服務器(I)與工廠自動化控制計算機(4)之間是通過TCP/IP協(xié)議進行通信，離子注入機設備(3)與服務器(I)和工控機(2)之間都是通過RS232串口或者TCP/IP網絡通訊；工廠自動化處理層(5)、通訊處理(6)和控制邏輯處理(8)是運行于服務器(I)上的軟件，HOST (7)為運行在工廠自動化控制計算機⑷的軟件。
2.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于:通過遠程的工廠自動化計算機(4)控制離子注入機臺(3)，以實現(xiàn)離子注入機的車間級管理。
3.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于:工廠自動化計算機(4)可以向不同的離子注入機臺發(fā)出統(tǒng)一的、符合SEMI國際標準的操作指令。
4.如權利要求1所述的一種離子注入機工廠自動化控制方法，其特征在于:通過遠程的工廠自動化發(fā)出簡單的組合命令，離子注入機臺(3)完成一系列復雜的晶片離子注入操作。
【文檔編號】G05B19/418GK103809530SQ201210442534
【公開日】2014年5月21日 申請日期:2012年11月8日 優(yōu)先權日:2012年11月8日
【發(fā)明者】余佳 申請人:北京中科信電子裝備有限公司