專利名稱：一種液氮冷頭控溫裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種控溫冷頭裝置，尤其是一種使用液氮循環(huán)作為冷頭降溫方式的裝置。
背景技術(shù)：
冷頭一般是作為低溫捕集器用于捕集真空室中的污染，主要放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。所以低溫控制是冷頭技術(shù)的一項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。目前市面上常見的冷頭，大都是傳統(tǒng)的氦壓縮機(jī)搭冷頭的結(jié)構(gòu)。而目前大規(guī)模使用的國(guó)產(chǎn)氦壓縮機(jī)的性能不是很穩(wěn)定性，在溫控技術(shù)上存在一定的風(fēng)險(xiǎn)，而國(guó)外進(jìn)口的氦壓縮機(jī)價(jià)格比較高昂，使用和維護(hù)的費(fèi)用都比較貴，所以從性價(jià)比上來(lái)看，用氦壓縮機(jī)來(lái)實(shí) 現(xiàn)冷頭的降溫功能的可行性越來(lái)越小。所以，目前亟需一種既能夠穩(wěn)定控溫，性價(jià)比又高的裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容實(shí)用新型目的針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，我們經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的實(shí)踐摸索，創(chuàng)造了一種液氮冷頭控溫裝置。技術(shù)方案為了實(shí)現(xiàn)上述實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案為一種液氮冷頭控溫裝置，包括冷頭、液氮罐、液氮進(jìn)口和液氮出口，在液氮罐的上端設(shè)有隔穩(wěn)屏蔽層，所述隔穩(wěn)屏蔽層和液氮罐之間設(shè)有一組加熱組件。所述的加熱組件為電加熱絲，采用溫控儀通過(guò)PID自動(dòng)方式控制溫度。液氮罐采用雙層屏蔽罩，由鏡面不銹鋼板制作而成。有益效果本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，其有益效果是1、使用循環(huán)液氮的液位高度來(lái)實(shí)現(xiàn)溫度控制，效果明顯且易于操作；2、運(yùn)用液氮來(lái)實(shí)現(xiàn)溫控的性價(jià)比較高，大幅度節(jié)約了成本；3、電加熱器采用PID方式控制，可控性較高。

附圖為本實(shí)用新型一種液氮冷頭控溫裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖，通過(guò)一個(gè)最佳實(shí)施例，對(duì)本技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，但是本實(shí)用新型的保護(hù)范圍不局限于所述實(shí)施例。如圖所示，一種液氮冷頭控溫裝置，包括冷頭I、液氮罐6、液氮進(jìn)口 4和液氮出口5，在液氮罐6的上端設(shè)有隔穩(wěn)屏蔽層2，所述隔穩(wěn)屏蔽層2和液氮罐6之間設(shè)有一組加熱組件3。加熱組件3為電加熱絲，采用溫控儀通過(guò)PID自動(dòng)方式控制溫度。所述的液氮罐6采用雙層屏蔽罩，由鏡面不銹鋼板制作而成。實(shí)際工作的時(shí)候，冷頭I固定在液氮罐6上，通過(guò)打開液氮閥門的開 關(guān)，控制低溫液氮的液量來(lái)達(dá)到冷頭降溫的目的，當(dāng)冷頭I需要升溫的時(shí)候，則通過(guò)加熱組件3來(lái)實(shí)現(xiàn)。
權(quán)利要求1.一種液氮冷頭控溫裝置，包括冷頭(I)、液氮罐￠)、液氮進(jìn)口(4)和液氮出口(5)，其特征在于在液氮罐(6)的上端設(shè)有隔穩(wěn)屏蔽層(2)，所述隔穩(wěn)屏蔽層⑵和液氮罐(6)之間設(shè)有一組加熱組件(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種液氮冷頭控溫裝置，其特征在于所述的加熱組件(3)為電加熱絲，采用溫控儀通過(guò)PID自動(dòng)方式控制溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種液氮冷頭控溫裝置，其特征在于所述的液氮罐(6)采用雙層屏蔽罩，由鏡面不銹鋼板制作而成。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種液氮冷頭控溫裝置，包括冷頭、液氮罐、液氮進(jìn)口和液氮出口，在液氮罐的上端設(shè)有隔穩(wěn)屏蔽層，所述隔穩(wěn)屏蔽層和液氮罐之間設(shè)有一組加熱組件。加熱組件為電加熱絲，采用溫控儀通過(guò)PID自動(dòng)方式控制溫度。液氮罐采用雙層屏蔽罩，由鏡面不銹鋼板制作而成。這套裝置有以下幾點(diǎn)好處，使用循環(huán)液氮的液位高度來(lái)實(shí)現(xiàn)溫度控制，效果明顯且易于操作；運(yùn)用液氮來(lái)實(shí)現(xiàn)溫控的性價(jià)比較高，大幅度節(jié)約了成本；電加熱器采用PID方式控制，可控性較高。
文檔編號(hào)G05D23/19GK202522942SQ20122013440
公開日2012年11月7日 申請(qǐng)日期2012年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月1日
發(fā)明者戴建新 申請(qǐng)人:常熟市虞華真空設(shè)備科技有限公司